專利名稱：承載臺(tái)及采用該承載臺(tái)的測(cè)量設(shè)備的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種承載臺(tái)及采用該承載臺(tái)的測(cè)量設(shè)備，尤其涉及一種用于精密測(cè)量的承載 臺(tái)及采用該承載臺(tái)的測(cè)量設(shè)備。
背景技術(shù)：
接觸式測(cè)長(zhǎng)裝置廣泛應(yīng)用于精密元件的測(cè)量，如光學(xué)元件的形狀測(cè)量領(lǐng)域。但在使用接 觸式測(cè)長(zhǎng)裝置對(duì)元件進(jìn)行測(cè)量時(shí)，該接觸式測(cè)長(zhǎng)裝置的測(cè)量頭需與元件保持接觸并相對(duì)元件 移動(dòng)，故接觸式測(cè)長(zhǎng)裝置通常被安裝于一個(gè)承載臺(tái)上，并隨著該承載臺(tái)運(yùn)動(dòng)。
如圖1所示， 一種現(xiàn)有裝載接觸式測(cè)長(zhǎng)裝置的承載臺(tái)IO，其包括一個(gè)基座ll、 一個(gè)滑鞍 12及一個(gè)滑臺(tái)13。該基座ll表面裝設(shè)有沿平行Y軸方向延伸的第一導(dǎo)軌lll，該滑鞍12設(shè)置于 第一導(dǎo)軌lll上并可相對(duì)基座ll滑動(dòng)。該滑鞍12表面裝設(shè)有沿平行X軸方向延伸的第二導(dǎo)軌 121，該滑臺(tái)13設(shè)置于第二導(dǎo)軌121上并可相對(duì)滑鞍12滑動(dòng)。接觸式測(cè)長(zhǎng)裝置20通常被安裝于 滑臺(tái)13上，且其測(cè)量頭201可沿平行Z軸方向運(yùn)動(dòng)。通過(guò)滑臺(tái)13、滑鞍12的運(yùn)動(dòng)可帶動(dòng)接觸式 測(cè)長(zhǎng)裝置20沿X軸、Y軸運(yùn)動(dòng)，而在此過(guò)程中該接觸式測(cè)長(zhǎng)裝置20的測(cè)量頭201在測(cè)量壓力的 作用下可沿Z軸方向伸縮運(yùn)動(dòng)，故該測(cè)量頭201可與元件30始終保持接觸并相對(duì)元件30移動(dòng)， 以測(cè)量出該元件30的形狀。
在對(duì)元件30的測(cè)量過(guò)程中，需使測(cè)量頭201的延伸方向與Z軸方向保持一致，以使測(cè)量頭 201伸出或縮入的長(zhǎng)度等于元件30沿Z軸方向的變化量。然而，接觸式測(cè)長(zhǎng)裝置20定位于滑臺(tái) 13表面后，通常會(huì)由于承載臺(tái)10各部件間的裝配誤差以及滑臺(tái)13表面不平整，而導(dǎo)致其測(cè)量 頭201的延伸方向與Z軸方向不平行，但該承載臺(tái)10僅能帶動(dòng)接觸式測(cè)長(zhǎng)裝置20沿X軸、Y軸方 向直線移動(dòng)，故無(wú)法將接觸式測(cè)長(zhǎng)裝置20的測(cè)量頭201調(diào)整至與Z軸平行的方向，因此導(dǎo)致該 接觸式測(cè)長(zhǎng)裝置20的測(cè)量準(zhǔn)確度較低。另外，如果對(duì)該承載臺(tái)10的各個(gè)部件均采用高精密加 工以使安裝于該承載臺(tái)10上的接觸式測(cè)長(zhǎng)裝置20的測(cè)量頭201的延伸方向與Z軸方向平行， 則會(huì)導(dǎo)致該承載臺(tái)10的制造成本過(guò)高。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明提供一種可使安裝于其上的測(cè)量裝置具有較高測(cè)量準(zhǔn)確度的承載臺(tái)及采用該承載 臺(tái)的測(cè)量設(shè)備。
一種承載臺(tái)，其包括第一彈性件、第二彈性件及至少兩個(gè)鎖合件；該第一彈性件及第二
彈性件分別包括兩相對(duì)的側(cè)板及連接該兩側(cè)板的連接件，該兩側(cè)板及連接件共同圍成一開(kāi)槽 ;該第一彈性件與第二彈性件相疊合，且其開(kāi)槽朝向成一夾角；至少一個(gè)鎖合件連接該第一 彈性件的兩側(cè)板以調(diào)節(jié)該兩側(cè)板的相對(duì)位置，至少一個(gè)鎖合件連接該第二彈性件的兩側(cè)板以 調(diào)節(jié)該兩側(cè)板的相對(duì)位置。
一種承載臺(tái)，其包括一個(gè)彈性件及至少兩個(gè)鎖合件；該彈性件上開(kāi)設(shè)有第一開(kāi)槽及第二 開(kāi)槽，該第一開(kāi)槽及第二開(kāi)槽的朝向成一夾角；至少一個(gè)鎖合件連接與第一開(kāi)槽相對(duì)應(yīng)的兩 側(cè)板以調(diào)節(jié)該兩側(cè)板的相對(duì)位置，至少一個(gè)鎖合件連接與第二開(kāi)槽相對(duì)應(yīng)的兩側(cè)板以調(diào)節(jié)該 兩側(cè)板的相對(duì)位置。
一種測(cè)量設(shè)備，其包括一個(gè)承載臺(tái)及設(shè)置于該承載臺(tái)上的接觸式測(cè)長(zhǎng)裝置，該承載臺(tái)包 括第一彈性件、第二彈性件及至少兩個(gè)鎖合件；該第一彈性件及第二彈性件分別包括兩相對(duì) 的側(cè)板及連接該兩側(cè)板的連接件，該兩側(cè)板及連接件共同圍成一開(kāi)槽；該第一彈性件與第二 彈性件相疊合，且其開(kāi)槽朝向成一夾角；至少一個(gè)鎖合件連接該第一彈性件的兩側(cè)板以調(diào)節(jié) 該兩側(cè)板的相對(duì)位置，至少一個(gè)鎖合件連接該第二彈性件的兩側(cè)板以調(diào)節(jié)該兩側(cè)板的相對(duì)位 置。
一種測(cè)量設(shè)備，其包括一個(gè)承載臺(tái)及設(shè)置于該承載臺(tái)上的接觸式測(cè)長(zhǎng)裝置，該承載臺(tái)包 括一個(gè)彈性件及至少兩個(gè)鎖合件；該彈性件上開(kāi)設(shè)有第一開(kāi)槽及第二開(kāi)槽，該第一開(kāi)槽及第
二開(kāi)槽的朝向成一夾角；至少一個(gè)鎖合件連接與第一開(kāi)槽相對(duì)應(yīng)的兩側(cè)板以調(diào)節(jié)該兩側(cè)板的 相對(duì)位置，至少一個(gè)鎖合件連接與第二開(kāi)槽相對(duì)應(yīng)的兩側(cè)板以調(diào)節(jié)該兩側(cè)板的相對(duì)位置。
相對(duì)于現(xiàn)有技術(shù)，所述承載臺(tái)包括一個(gè)第一開(kāi)槽、 一個(gè)第二開(kāi)槽及至少兩個(gè)鎖合件，該 至少兩鎖合件分別用于調(diào)節(jié)與第一開(kāi)槽相對(duì)應(yīng)的兩側(cè)板的相對(duì)位置以及與第二開(kāi)槽相對(duì)應(yīng)的 兩側(cè)板的相對(duì)位置，由于該第一開(kāi)槽與第二開(kāi)槽的朝向成一夾角，故與第一開(kāi)槽相對(duì)應(yīng)的兩 側(cè)板相對(duì)位置改變，可帶動(dòng)設(shè)置于承載臺(tái)上的接觸式測(cè)長(zhǎng)裝置在第一平面內(nèi)進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，與第 二開(kāi)槽相對(duì)應(yīng)的兩側(cè)板相對(duì)位置改變，可帶動(dòng)設(shè)置于承載臺(tái)上的接觸式測(cè)長(zhǎng)裝置在與第一平 面成一夾角的第二平面內(nèi)進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，從而將該接觸式測(cè)長(zhǎng)精確調(diào)整至預(yù)定的測(cè)量位置，以提 高該測(cè)量設(shè)備的測(cè)量準(zhǔn)確度。


圖l是一種現(xiàn)有承載臺(tái)裝設(shè)接觸式測(cè)長(zhǎng)裝置對(duì)元件進(jìn)行測(cè)量的示意圖。 圖2是本發(fā)明較佳實(shí)施例一的測(cè)量設(shè)備對(duì)元件進(jìn)行測(cè)量的示意圖。 圖3是圖2所示的接觸式測(cè)長(zhǎng)裝置的橫斷面圖。 圖4是圖2所示的接觸式測(cè)長(zhǎng)裝置的縱斷面圖。圖5是沿圖2所以承載臺(tái)及接觸式測(cè)長(zhǎng)裝置在XZ平面內(nèi)的運(yùn)動(dòng)示意圖。 圖6是沿圖2所以承載臺(tái)及接觸式測(cè)長(zhǎng)裝置在YZ平面內(nèi)的運(yùn)動(dòng)示意圖。 圖7是本發(fā)明較佳實(shí)施例二的測(cè)量設(shè)備的立體示意圖。
具體實(shí)施例方式
下面將結(jié)合承載臺(tái)及采用該承載臺(tái)的測(cè)量設(shè)備做進(jìn)一步詳細(xì)說(shuō)明。
請(qǐng)參閱圖2，本發(fā)明較佳實(shí)施例一提供一種對(duì)元件的形狀進(jìn)行量測(cè)的測(cè)量設(shè)備40。該測(cè) 量設(shè)備40包括一個(gè)承載臺(tái)41及設(shè)置于該承載臺(tái)41上的接觸式測(cè)長(zhǎng)裝置42。
該承載臺(tái)41包括一個(gè)第一U形塊412、 一個(gè)第二U形塊414及多個(gè)第一鎖合件416、第二鎖 合件417，本實(shí)施例中，該第一鎖合件416包括螺栓4161及與該螺栓4161相配合的螺母4162， 該第二鎖合件417包括螺栓4171及與該螺栓4171相配合的螺母4172。該第一U形塊412包括兩 相對(duì)側(cè)板4122及連接該兩側(cè)板的連接板4124，該兩側(cè)板4122及連接板4124共同圍成一個(gè)開(kāi)槽 4126。該第二U形塊414具有與第一U形塊412相似的結(jié)構(gòu)。該兩個(gè)U形塊412、 414疊合在一起 ，且第一U形塊412的開(kāi)槽4126的朝向與第二U形塊414的開(kāi)槽4146的朝向相互垂直。至少一個(gè) 螺栓4161穿過(guò)第一U形塊412的兩相對(duì)側(cè)板4122及與該第一U形塊412相貼合的第二U形塊414的 一側(cè)板4142，該螺母4162螺合于該螺栓4161的端部，通過(guò)旋轉(zhuǎn)螺母4162可調(diào)節(jié)該第一U形塊 412的兩相對(duì)側(cè)板4122的相對(duì)位置。至少一個(gè)螺栓4171穿過(guò)第二U形塊414的兩相對(duì)側(cè)板4142 及與該第二U形塊414相貼合的第一U形塊412的一側(cè)板4122，該螺母4172螺合于該螺栓4171的 端部，通過(guò)旋轉(zhuǎn)螺母4172可調(diào)節(jié)該第二U形塊414的兩相對(duì)側(cè)板4142的相對(duì)位置。本實(shí)施例中 ，該承載臺(tái)41包括兩個(gè)第一鎖合件416、兩個(gè)第二鎖合件417，其中，兩個(gè)第一鎖合件416設(shè) 置于第一U形塊412的開(kāi)槽4126兩端，兩個(gè)第二鎖合件417設(shè)置于第二U形塊414的開(kāi)槽4146兩 端。
可以理解，為使該兩個(gè)U形塊412、 414相接觸的側(cè)板4122、 4242具有較高的連接強(qiáng)度， 可對(duì)該兩側(cè)板4122、 4142進(jìn)行焊接或粘接；為提高該承載臺(tái)41自動(dòng)化的程度，該第一鎖合件 416的螺栓4161或螺母4162 ，第二鎖合件417的螺栓4171或螺母4172均可與驅(qū)動(dòng)電機(jī)(圖未示 )相連，并在驅(qū)動(dòng)電機(jī)的帶動(dòng)下旋轉(zhuǎn)以進(jìn)行調(diào)節(jié)，當(dāng)然，需在相應(yīng)的螺栓或螺母上裝設(shè)感應(yīng) 器以感測(cè)其位置的變化。
請(qǐng)同時(shí)參閱圖3及圖4，該接觸式測(cè)長(zhǎng)裝置42包括一個(gè)底座421、 一個(gè)導(dǎo)向塊422、兩個(gè)驅(qū) 動(dòng)氣缸423、兩個(gè)入氣管424、 一個(gè)第一固定件425、 一個(gè)測(cè)量頭426、 一個(gè)第二固定件427、 一個(gè)光學(xué)標(biāo)尺428、 一個(gè)支撐體429、 一個(gè)光感應(yīng)器430及一個(gè)罩體431。該導(dǎo)向塊422固設(shè)于 底座上421，其沿軸向開(kāi)設(shè)有兩個(gè)相互平行且間隔設(shè)置的導(dǎo)引孔4221，兩個(gè)驅(qū)動(dòng)氣缸423分別
插入該兩個(gè)導(dǎo)引孔4221中。兩個(gè)入氣管424的一端分別連接于該兩個(gè)驅(qū)動(dòng)氣缸423的開(kāi)口端， 且該入氣管424的端部與驅(qū)動(dòng)氣缸423之間存在間隙以使部分氣體逸出，從而使驅(qū)動(dòng)氣缸423 較為穩(wěn)定的運(yùn)行且獲得較小的驅(qū)動(dòng)力；該入氣管424的另一端與外界的氣體源相連。該第一 固定件425的兩端分別開(kāi)設(shè)一個(gè)通孔(圖未標(biāo))，兩個(gè)驅(qū)動(dòng)氣缸423的封閉端分別穿過(guò)該通孔 而固定于第一固定件425上，測(cè)量頭426固定于該第一固定件425的中部。第二固定件427的兩 端分別開(kāi)設(shè)有一個(gè)通孔(圖未標(biāo))，兩個(gè)驅(qū)動(dòng)氣缸423的開(kāi)口端分別插入第二固定件427上的 通孔而固定于第二固定件427上。光學(xué)標(biāo)尺428設(shè)置于第二固定件427的中部。支撐體429固設(shè) 于底座421上，且與第二固定件427相鄰。該支撐體429的兩端分別開(kāi)設(shè)有一個(gè)通孔(圖未標(biāo) )，兩個(gè)入氣管424分別穿過(guò)該兩通孔以被支撐體429所支撐。光感應(yīng)器430設(shè)置于該支撐體 429上，且與光學(xué)標(biāo)尺428相對(duì)應(yīng)以讀取光學(xué)標(biāo)尺428刻度的讀數(shù)。該罩體431扣合于底座421 上。
當(dāng)壓縮空氣由入氣管424吹入驅(qū)動(dòng)氣缸423時(shí)，將推動(dòng)驅(qū)動(dòng)氣缸423沿其軸向移動(dòng)，從而 推動(dòng)測(cè)量頭426沿平行于驅(qū)動(dòng)氣缸423軸向移動(dòng)。由于驅(qū)動(dòng)氣缸423始終保持對(duì)測(cè)量頭426—定 的推力，故該測(cè)量頭426與元件始終保持接觸。而測(cè)量頭426的移動(dòng)將帶動(dòng)光學(xué)標(biāo)尺428運(yùn)動(dòng) ，與該光學(xué)標(biāo)尺428對(duì)應(yīng)設(shè)置的光感應(yīng)器430可感應(yīng)光學(xué)標(biāo)尺428刻度的變化，并將感測(cè)到的 數(shù)據(jù)傳送給控制器(圖未示)進(jìn)行分析。
可以理解，導(dǎo)向塊422的導(dǎo)引孔4221內(nèi)可通過(guò)氣管432注入空氣，以于驅(qū)動(dòng)氣缸423與導(dǎo) 向塊422之間形成空氣軸承，從而減小驅(qū)動(dòng)氣缸423在導(dǎo)引孔4221內(nèi)運(yùn)動(dòng)的摩擦力。另外，該 驅(qū)動(dòng)氣缸423上還可設(shè)置除驅(qū)動(dòng)氣缸423與入氣管424之間的間隙外的其它排氣機(jī)構(gòu)，如在驅(qū) 動(dòng)氣缸423的封閉端或側(cè)壁上開(kāi)設(shè)多個(gè)貫通孔以使部分壓縮空氣透出，以使該驅(qū)動(dòng)氣缸423較 為穩(wěn)定的移動(dòng)且獲得較小的驅(qū)動(dòng)力，從而使測(cè)量頭426較為穩(wěn)定地移動(dòng)且具有較小的測(cè)量壓 力。當(dāng)然，該接觸式測(cè)長(zhǎng)裝置42也可根據(jù)情況設(shè)置一個(gè)或兩個(gè)以上的驅(qū)動(dòng)氣缸423。
請(qǐng)同時(shí)參閱圖2、圖5及圖6，使用時(shí)，將該測(cè)量設(shè)備40安裝于可沿X軸及Y軸方向運(yùn)動(dòng)的 平臺(tái)(圖未示)上，然后調(diào)節(jié)第一U形塊412上的第一鎖合件416，以調(diào)整第一U形塊412兩相 對(duì)側(cè)板4122的相對(duì)位置，即調(diào)整第一U形塊412的開(kāi)槽4126的大小，從而帶動(dòng)接觸式測(cè)長(zhǎng)裝置 42不但在Z軸方向位置改變，而且繞Y軸旋轉(zhuǎn)，直至該接觸式測(cè)長(zhǎng)裝置42的測(cè)量頭426被旋轉(zhuǎn) 至與YZ平面相互平行的位置。接著調(diào)節(jié)第二U形塊414上的第二鎖合件417，以調(diào)節(jié)第二U形塊 414兩相對(duì)側(cè)板4142的相對(duì)位置，即調(diào)節(jié)第二U形塊414的開(kāi)槽4146的大小，從而使接觸式測(cè) 長(zhǎng)裝置42的測(cè)量頭426在平行于YZ平面的平面內(nèi)旋轉(zhuǎn)至預(yù)定測(cè)量位置，即與Z軸平行的位置。 之后該接觸式測(cè)長(zhǎng)裝置42可在平臺(tái)的帶動(dòng)下沿X軸、Y軸運(yùn)動(dòng)，再結(jié)合接觸式測(cè)長(zhǎng)裝置42的測(cè)
量頭426沿Z軸方向的伸縮運(yùn)動(dòng)，可測(cè)量出該元件50的形狀。
由于上述承載臺(tái)41可通過(guò)第一鎖合件416調(diào)節(jié)第一U形塊412的兩側(cè)板4122的相對(duì)位置， 第二鎖合件417調(diào)節(jié)第二U形塊414的兩側(cè)板4142的相對(duì)位置，而該第一U形塊412及第二U形塊 414疊合在一起，且其開(kāi)槽朝向相互垂直，因此，第一U形塊412側(cè)板相對(duì)位置的改變，可帶 動(dòng)設(shè)置于第一U形塊412上的接觸式測(cè)長(zhǎng)裝置42繞Y軸進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，第二U形塊414側(cè)板相對(duì)位置 的改變，可帶動(dòng)設(shè)置于第一U形塊412上的接觸式測(cè)長(zhǎng)裝置42繞X軸旋轉(zhuǎn)，從而可將該接觸式 測(cè)長(zhǎng)42的測(cè)量頭423精確調(diào)整至與Z軸方向平行的預(yù)定測(cè)量位置，以提高該測(cè)量設(shè)備40的測(cè)量 準(zhǔn)確度。
可以理解，該承載臺(tái)41的第一U形塊412的開(kāi)槽4126及第二U形塊414的開(kāi)槽4146的朝向也 可根據(jù)需要成一銳角，該種承載臺(tái)可使接觸式測(cè)長(zhǎng)裝置在相交成一銳角的兩個(gè)平面內(nèi)分別旋 轉(zhuǎn)，以將該接觸式測(cè)長(zhǎng)裝置調(diào)節(jié)至預(yù)定的測(cè)量位置。當(dāng)然，該承載臺(tái)41也可由除U形塊以外 的其它彈性件疊合而成，如可采用以U形簧作為連接件連接兩平板而制成的彈性件。另外， 該承載臺(tái)41上也可搭載其它類型的測(cè)量裝置，如非接觸式測(cè)量裝置，該承載臺(tái)41同樣可將該 種測(cè)量裝置調(diào)整至預(yù)定的測(cè)量位置。
請(qǐng)參閱圖2，本發(fā)明較佳實(shí)施例二提供一種對(duì)元件的形狀進(jìn)行量測(cè)的測(cè)量設(shè)備60，該測(cè) 量設(shè)備60具有與較佳實(shí)施例一的測(cè)量設(shè)備40相似的結(jié)構(gòu)，其不同在于該測(cè)量設(shè)備60的承載臺(tái) 61包括一個(gè)彈性件612及四個(gè)鎖合件616。該彈性件612上開(kāi)設(shè)有第一開(kāi)槽6121及第二開(kāi)槽 6122，該第一開(kāi)槽6121及第二開(kāi)槽6122的朝向相互垂直。兩個(gè)鎖合件616設(shè)置于第一開(kāi)槽 6121的兩端以連接與該第一開(kāi)槽6121相對(duì)應(yīng)的兩側(cè)板，另外兩個(gè)鎖合件616設(shè)置于第二開(kāi)槽 6122的兩端以連接與該第二開(kāi)槽6122相對(duì)應(yīng)的兩側(cè)板。該測(cè)量設(shè)備60可取得與較佳實(shí)施例一 的測(cè)量設(shè)備40相同的測(cè)量準(zhǔn)確度。
權(quán)利要求
1.一種承載臺(tái)，其特征在于該承載臺(tái)包括第一彈性件、第二彈性件及至少兩個(gè)鎖合件；該第一彈性件及第二彈性件分別包括兩相對(duì)的側(cè)板及連接該兩側(cè)板的連接件，該兩側(cè)板及連接件共同圍成一開(kāi)槽；該第一彈性件與第二彈性件相疊合，且其開(kāi)槽朝向成一夾角；至少一個(gè)鎖合件連接該第一彈性件的兩側(cè)板以調(diào)節(jié)該兩側(cè)板的相對(duì)位置，至少一個(gè)鎖合件連接該第二彈性件的兩側(cè)板以調(diào)節(jié)該兩側(cè)板的相對(duì)位置。
2. 如權(quán)利要求l所述的承載臺(tái)，其特征在于該鎖合件包括一個(gè)螺 栓及一個(gè)與該螺栓配合的螺母。
3. 如權(quán)利要求l所述的承載臺(tái)，其特征在于該第一彈性件的開(kāi)槽 朝向與第二彈性件的開(kāi)槽朝向相互垂直。
4. 如權(quán)利要求l所述的承載臺(tái)，其特征在于該第一彈性件與第二 彈性件疊合時(shí)相互抵靠的側(cè)板被焊接或粘接至一起。
5.一種承載臺(tái)，其特征在于該承載臺(tái)包括一個(gè)彈性件及至少兩個(gè) 鎖合件；該彈性件上開(kāi)設(shè)有第一開(kāi)槽及第二開(kāi)槽，該第一開(kāi)槽及第二開(kāi)槽的朝向成一夾角； 至少一個(gè)鎖合件連接與第一開(kāi)槽相對(duì)應(yīng)的兩側(cè)板以調(diào)節(jié)該兩側(cè)板的相對(duì)位置，至少一個(gè)鎖合 件連接與第二開(kāi)槽相對(duì)應(yīng)的兩側(cè)板以調(diào)節(jié)該兩側(cè)板的相對(duì)位置。
6. 一種測(cè)量設(shè)備，其包括一個(gè)承載臺(tái)及設(shè)置于該承載臺(tái)上的接觸式 測(cè)長(zhǎng)裝置，其特征在于該承載臺(tái)包括第一彈性件、第二彈性件及至少兩個(gè)鎖合件；該第一 彈性件及第二彈性件分別包括兩相對(duì)的側(cè)板及連接該兩側(cè)板的連接件，該兩側(cè)板及連接件共 同圍成一開(kāi)槽；該第一彈性件與第二彈性件相疊合，且其開(kāi)槽朝向成一夾角；至少一個(gè)鎖合 件連接該第一彈性件的兩側(cè)板以調(diào)節(jié)該兩側(cè)板的相對(duì)位置，至少一個(gè)鎖合件連接該第二彈性 件的兩側(cè)板以調(diào)節(jié)該兩側(cè)板的相對(duì)位置。
7. 如權(quán)利要求6所述的測(cè)量設(shè)備，其特征在于該接觸式測(cè)長(zhǎng)裝置 包括至少一個(gè)驅(qū)動(dòng)氣缸及與該驅(qū)動(dòng)氣缸相連的一個(gè)測(cè)量頭，該驅(qū)動(dòng)氣缸用于驅(qū)動(dòng)該測(cè)量頭。
8. 如權(quán)利要求7所述的測(cè)量設(shè)備，其特征在于該驅(qū)動(dòng)氣缸設(shè)置有氣體排出結(jié)構(gòu)以使測(cè)量頭平穩(wěn)的移動(dòng)，該氣體排出結(jié)構(gòu)包括開(kāi)設(shè)在驅(qū)動(dòng)氣缸封閉端的貫通孔 、開(kāi)設(shè)在驅(qū)動(dòng)氣缸側(cè)壁上的貫通孔、設(shè)在驅(qū)動(dòng)氣缸與插入該驅(qū)動(dòng)氣缸開(kāi)口端的吹氣管之間的 間隙中的任意一種結(jié)構(gòu)或多個(gè)結(jié)構(gòu)的組合。
9. 如權(quán)利要求8所述的測(cè)量設(shè)備，其特征在于該接觸式測(cè)長(zhǎng)裝置還包括一個(gè)光學(xué)標(biāo)尺和一個(gè)光感應(yīng)器，該光學(xué)標(biāo)尺或光感應(yīng)器之一可與測(cè)量頭一起移動(dòng)，該 光感應(yīng)器用于讀取該光學(xué)標(biāo)尺的刻度。
10 一種測(cè)量設(shè)備，其包括一個(gè)承載臺(tái)及設(shè)置于該承載臺(tái)上的接觸式測(cè)長(zhǎng)裝置，其特征在于該承載臺(tái)包括一個(gè)彈性件及至少兩個(gè)鎖合件；該彈性件上開(kāi)設(shè)有 第一開(kāi)槽及第二開(kāi)槽，該第一開(kāi)槽及第二開(kāi)槽的朝向成一夾角；至少一個(gè)鎖合件連接與第一 開(kāi)槽相對(duì)應(yīng)的兩側(cè)板以調(diào)節(jié)該兩側(cè)板的相對(duì)位置，至少一個(gè)鎖合件連接與第二開(kāi)槽相對(duì)應(yīng)的 兩側(cè)板以調(diào)節(jié)該兩側(cè)板的相對(duì)位置。
全文摘要
本發(fā)明公開(kāi)一種承載臺(tái)，其包括第一彈性件、第二彈性件及至少兩個(gè)鎖合件；該第一彈性件及第二彈性件分別包括兩相對(duì)的側(cè)板及連接該兩側(cè)板的連接件，該兩側(cè)板及連接件共同圍成一開(kāi)槽；該第一彈性件與第二彈性件相疊合，且其開(kāi)槽朝向成一夾角；至少一個(gè)鎖合件連接該第一彈性件的兩側(cè)板以調(diào)節(jié)該兩側(cè)板的相對(duì)位置，至少一個(gè)鎖合件連接該第二彈性件的兩側(cè)板以調(diào)節(jié)該兩側(cè)板的相對(duì)位置。
文檔編號(hào)G01B11/02GK101354245SQ20071020117
公開(kāi)日2009年1月28日 申請(qǐng)日期2007年7月26日 優(yōu)先權(quán)日2007年7月26日
發(fā)明者慶 劉, 李軍旗 申請(qǐng)人:鴻富錦精密工業(yè)(深圳)有限公司;鴻海精密工業(yè)股份有限公司