專利名稱：四極質(zhì)譜計(jì)相對(duì)靈敏度校準(zhǔn)系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及四極質(zhì)譜計(jì)的相對(duì)靈敏度校準(zhǔn)，屬于校準(zhǔn)領(lǐng)域。
背景技術(shù)：
目前質(zhì)譜計(jì)特別是四極質(zhì)譜計(jì)廣泛運(yùn)用于殘余氣體分析，危險(xiǎn)氣體監(jiān) 測(cè)、空間環(huán)境粒子分析等領(lǐng)域，但是由于四極質(zhì)譜計(jì)自身的工作特性，在使 用過程中，其測(cè)量絕對(duì)靈敏度隨時(shí)間變化較大，且無規(guī)律可循，導(dǎo)致四極質(zhì) 譜計(jì)目前主要用于定性分析方面，定量分析方面用之較少，定量校準(zhǔn)工作較 難開展或定量校準(zhǔn)的結(jié)果不確定度大，無法滿足用戶的需求，特別是航天產(chǎn) 品研制方面的高可靠性要求。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的是提供一種結(jié)構(gòu)簡單、校準(zhǔn)不確定度小、使用方便的四極 質(zhì)譜計(jì)分壓力校準(zhǔn)系統(tǒng)
本發(fā)明的目的是通過下述技術(shù)方案實(shí)現(xiàn)的
本發(fā)明的四極質(zhì)譜計(jì)相對(duì)靈敏度校準(zhǔn)系統(tǒng)是由被校四極質(zhì)譜計(jì)、質(zhì)譜 室、高真空壓力測(cè)量規(guī)、進(jìn)樣系統(tǒng)、高真空抽氣系統(tǒng)、控制臺(tái)和計(jì)算機(jī)組成。
被校四極質(zhì)譜計(jì)如圖1所示，通過標(biāo)準(zhǔn)CF35法蘭連接到質(zhì)譜室上，采 用帶有RS232接口的數(shù)據(jù)線與計(jì)算機(jī)相連。被校四極質(zhì)譜計(jì)可以是國際著名 制造商的產(chǎn)品，如Inficon、 LeyBold、 PFEFFIER等公司制造的各型號(hào)四極 質(zhì)譜計(jì)。如果被校四極質(zhì)譜計(jì)的接口形式不是標(biāo)準(zhǔn)CF35法蘭接口，需根據(jù) 具體型號(hào)的要求加工過渡接頭。
質(zhì)譜室如圖l所示，采用球形結(jié)構(gòu)，用不銹鋼材料制作，尺寸可根據(jù)具 體需要設(shè)計(jì)。在它的頂部留有高真空壓力測(cè)量規(guī)標(biāo)準(zhǔn)KF25法蘭接口，在底 部采用標(biāo)準(zhǔn)CF250法蘭與插板閥相連，在球的赤道處對(duì)稱留有被校四極質(zhì)譜 計(jì)標(biāo)準(zhǔn)KF35法蘭接口和進(jìn)樣管道標(biāo)準(zhǔn)KF16法蘭接口 。
5高真空壓力測(cè)量規(guī)如圖1所示，通過標(biāo)準(zhǔn)KF25法蘭與質(zhì)譜室相連，規(guī) 的壓力測(cè)量范圍要求為1x10—卞a lx10—7Pa，校準(zhǔn)不確定度要求小于10%， 可選用國際著名廠商，如Inficon、 LeyBold、 PFEFFIER等公司制造的冷陰 極電離規(guī)或電容薄膜規(guī)。
進(jìn)樣系統(tǒng)如圖l所示，它由散射球、進(jìn)樣管道、進(jìn)樣闊、進(jìn)樣接口和進(jìn) 樣抽空管道組成。散射球選用不銹鋼材料制造，為直徑4)10mm的球形結(jié)構(gòu)， 表面均勻分布了 128個(gè)直徑d) lmm的小孔，采用焊接的方式與進(jìn)樣管道相連; 進(jìn)樣管道選用不銹鋼材料制造，直徑4)5mm，長度根據(jù)質(zhì)譜室的尺寸確定， 安裝方式為一端采用焊接結(jié)構(gòu)與進(jìn)樣閥相連，另一端采用過渡法蘭、通過焊 接的方式與散射球相連，過渡法蘭上采用激光打孔的技術(shù)開一個(gè)10um的小 孔；進(jìn)樣閥選用高精度真空壓力調(diào)節(jié)閥， 一端通過焊接的方式與進(jìn)樣管道相 連，另一端通過標(biāo)準(zhǔn)KF16法蘭與進(jìn)樣接口相連；進(jìn)樣接口為不銹鋼材料制 作的三通結(jié)構(gòu)， 一端通過標(biāo)準(zhǔn)KF16法蘭與進(jìn)樣閥相連， 一端通過標(biāo)準(zhǔn)KF25 法蘭與進(jìn)樣抽空管道相連， 一端用標(biāo)準(zhǔn)KF8法蘭與進(jìn)樣氣瓶相連；進(jìn)樣抽空 管道一端通過標(biāo)準(zhǔn)KF25法蘭與進(jìn)樣接口相連，另一端通過標(biāo)準(zhǔn)KF25法蘭與 質(zhì)譜室抽空管道相連。
高真空抽氣系統(tǒng)如圖1所示，它由插板閥、分子泵1、質(zhì)譜室抽空管道、 分子泵2和機(jī)械泵組成。插板閥通過標(biāo)準(zhǔn)CF250法蘭分別和質(zhì)譜室和分子泵 l連接；分子泵1的抽氣速度為4501/s，入氣口端通過標(biāo)準(zhǔn)CF250法蘭和插 板閥相連，出氣口端通過標(biāo)準(zhǔn)KF25法蘭和質(zhì)譜室抽空管道相連；質(zhì)譜室抽 空管道選用不銹鋼材料制作的三通結(jié)構(gòu)，通過標(biāo)準(zhǔn)KF25法蘭分別與分子泵 1、分子泵2和進(jìn)樣抽空管道相連；分子泵2的抽氣速度為1101/s，入氣口 端通過KF25法蘭與質(zhì)譜室抽空管道相連，出氣口端通過標(biāo)準(zhǔn)KF25法蘭與機(jī) 械泵相連；機(jī)械泵的抽氣速度為41/s，入氣口端通過標(biāo)準(zhǔn)KF25法蘭與分子 泵2相連。
控制臺(tái)圖1所示，由分子泵1控制電源、分子泵2控制電源、系統(tǒng)控制 柜組成。分子泵l控制電源通過螺釘固定安裝在系統(tǒng)控制柜內(nèi)；分子泵2控 制電源通過螺釘固定安裝在系統(tǒng)控制柜內(nèi)，并位于分子泵1控制電源的下 方；系統(tǒng)控制柜采用不銹鋼材料制作，具體尺寸根據(jù)需要制定，其面板上放 安裝了計(jì)算機(jī)和質(zhì)譜室，內(nèi)部安裝了分子泵1控制電源、分子泵2控制電源、插板閥、分子泵l、質(zhì)譜室抽空管道、分子泵2和機(jī)械泵。
計(jì)算機(jī)如圖1所示，選用通用的便攜式電腦，要求具有RS232數(shù)據(jù)接口 ， 使用時(shí)需通過帶有RS232接口的數(shù)據(jù)線與被校四極質(zhì)譜計(jì)相連，校準(zhǔn)前將被 校四極質(zhì)譜計(jì)的分析軟件安裝在電腦上。
本發(fā)明的工作原理是利用進(jìn)樣系統(tǒng)向質(zhì)譜室內(nèi)提供已知組份含量，且 壓力穩(wěn)定的氣體，被校四極質(zhì)譜計(jì)對(duì)質(zhì)譜室氣體組份含量進(jìn)行掃描，獲得校 準(zhǔn)時(shí)質(zhì)譜室內(nèi)被校組份氣體和氮?dú)鈿怏w的離子流強(qiáng)度，將質(zhì)譜計(jì)測(cè)量獲得的 被校組份氣體和氮?dú)鈿怏w的離子流強(qiáng)度之比結(jié)果與進(jìn)樣混合氣體中兩種氣 體組份含量的濃度比進(jìn)行比較，從而獲得被校氣體對(duì)氮?dú)獾男?zhǔn)因子。
四極質(zhì)譜計(jì)相對(duì)靈敏度校準(zhǔn)系統(tǒng)的工作方法，其步驟為 第一步校準(zhǔn)前準(zhǔn)備，將被校四極質(zhì)譜計(jì)連接到校準(zhǔn)系統(tǒng)上，確定被校 四極質(zhì)譜計(jì)所要校準(zhǔn)的氣體種類，準(zhǔn)備好并連接到進(jìn)樣系統(tǒng)上，啟動(dòng)高真空
抽氣系統(tǒng)將質(zhì)譜室壓力抽至10—5Pa以下，并確保質(zhì)譜室壓力的波動(dòng)小于2%;
第二步質(zhì)譜室本底氣體組份質(zhì)譜掃描，啟動(dòng)被校四極質(zhì)譜計(jì)，對(duì)質(zhì)譜 室內(nèi)的氣體組份進(jìn)行掃描，利用計(jì)算機(jī)分析需要被校氣體和氮?dú)饨M份氣體的 離子流強(qiáng)度；
第三步:被校氣體進(jìn)樣，打開進(jìn)樣系統(tǒng)上的進(jìn)樣閥，向質(zhì)譜室內(nèi)進(jìn)被校
混合氣體，進(jìn)樣壓力控制在1X10—3Pa，并確保質(zhì)譜室內(nèi)壓力波動(dòng)小于2%;
第四步質(zhì)譜室被校氣體組份質(zhì)譜掃描，啟動(dòng)被校四極質(zhì)譜計(jì)，對(duì)質(zhì)譜 室內(nèi)的氣體組份進(jìn)行掃描，利用計(jì)算機(jī)分析需要被校氣體和氮?dú)饨M份氣體的 離子流強(qiáng)度；
第五步校準(zhǔn)因子確定，采用被校氣體離子流強(qiáng)度和氮?dú)怆x子流強(qiáng)度相 比的方法分析被校四極質(zhì)譜計(jì)對(duì)某種被校氣體的校準(zhǔn)因子，具體采用公式 (1)進(jìn)行計(jì)算。
式中
A—被校四極質(zhì)譜計(jì)對(duì)被校組份氣體的校準(zhǔn)因子; 厶一被校組份氣體進(jìn)樣離子流強(qiáng)度，A/m—被校組份氣體本底離子流強(qiáng)度，A 厶一氮組份氣體進(jìn)樣離子流強(qiáng)度，A A。一氮組份氣體本底離子流強(qiáng)度，A G—進(jìn)樣氣體中被校氣體組份濃度含量，& G—進(jìn)樣氣體中氮?dú)饨M份氣體濃度含量，f。
本發(fā)明與現(xiàn)有技術(shù)相比的優(yōu)點(diǎn)在于本發(fā)明由于采用高精度真空壓力調(diào) 節(jié)閥加氣體散射球的進(jìn)樣結(jié)構(gòu)，確保了校準(zhǔn)時(shí)的進(jìn)樣壓力穩(wěn)定；選用分子泵 l加分子泵2的雙分子泵抽氣結(jié)構(gòu)，可以獲得校準(zhǔn)所需要的極高真空，降低 質(zhì)譜室內(nèi)本底殘余氣體對(duì)校準(zhǔn)結(jié)果的影響；采用相對(duì)靈敏校準(zhǔn)的方法，降低 了四極質(zhì)譜計(jì)測(cè)量時(shí)絕對(duì)靈敏度隨時(shí)間變化較大，且無規(guī)律可循的缺點(diǎn)，提 高校準(zhǔn)結(jié)果的準(zhǔn)確性。
本發(fā)明的工作原理是利用進(jìn)樣系統(tǒng)向質(zhì)譜室內(nèi)提供已知組份含量，且 壓力穩(wěn)定的氣體，被校四極質(zhì)譜計(jì)對(duì)質(zhì)譜室氣體組份含量進(jìn)行掃描，獲得校 準(zhǔn)時(shí)質(zhì)譜室內(nèi)被校組份氣體和氮?dú)鈿怏w的離子流強(qiáng)度，將質(zhì)譜計(jì)測(cè)量獲得的 被校組份氣體和氮?dú)鈿怏w的離子流強(qiáng)度之比結(jié)果與進(jìn)樣混合氣體中兩種氣 體組份含量的濃度比進(jìn)行比較，從而獲得被校氣體對(duì)氮?dú)獾男?zhǔn)因子。


圖1為本發(fā)明的組成原理框圖。
圖中l(wèi)一分子泵l控制電源、2—分子泵2控制電源、3—系統(tǒng)控制柜、 4一計(jì)算機(jī)、5—被校四極質(zhì)譜計(jì)、6—系統(tǒng)工作臺(tái)、7—質(zhì)譜室、8—高真空 壓力測(cè)量規(guī)、9一散射球、IO—進(jìn)樣管道、ll一進(jìn)樣閥、12—進(jìn)樣氣接口、 13—進(jìn)樣抽空管道、14一插板閥、15—分子泵1、 16—質(zhì)譜室抽空管道、17— 分子泵2、 18—機(jī)械泵。
具體實(shí)施例方式
如圖1所示，為本發(fā)明的系統(tǒng)結(jié)構(gòu)示意圖，它由分子泵l控制電源(l)、 分子泵2控制電源(2)、系統(tǒng)控制柜(3)、計(jì)算機(jī)(4)、被校四極質(zhì)譜計(jì)(5)、 系統(tǒng)工作臺(tái)(6)、質(zhì)譜室(7)、高真空壓力測(cè)量規(guī)(8)、散射球(9)、進(jìn)樣管道(10)、進(jìn)樣閥(ll)、進(jìn)樣氣接口(12)、進(jìn)樣抽空管道(13)、插板閥(14)、分 子泵1(15)、質(zhì)譜室抽空管道(16)、分子泵2(17)、機(jī)械泵(18)組成。 本校準(zhǔn)系統(tǒng)工作流程為
第一步:校準(zhǔn)前準(zhǔn)備，將被四極校質(zhì)譜計(jì)(5)連接到校準(zhǔn)系統(tǒng)上，確定
被校四極質(zhì)譜計(jì)所要校準(zhǔn)的氣體種類，準(zhǔn)備好并連接到進(jìn)樣系統(tǒng)的進(jìn)樣氣接
口(12)上，打開插板閥(14)，依次啟動(dòng)機(jī)械泵(18)、分子泵1(15)、分子泵 2(17)和高真空壓力測(cè)量規(guī)(8)，將質(zhì)譜室(7)壓力抽至10"Pa以下，并確保質(zhì) 譜室壓力的波動(dòng)小于2%;
第二步質(zhì)譜室本底氣體組份質(zhì)譜掃描，啟動(dòng)被校四極質(zhì)譜計(jì)(5)，對(duì) 質(zhì)譜室(7)內(nèi)的氣體組份進(jìn)行掃描，利用計(jì)算機(jī)(4)分析需要被校氣體和氮?dú)?組份氣體的離子流強(qiáng)度；
第三步被校氣體進(jìn)樣，打開進(jìn)樣系統(tǒng)上的進(jìn)樣閥(ll)，向質(zhì)譜室(7) 內(nèi)進(jìn)被?；旌蠚怏w，進(jìn)樣壓力控制在1X10—3Pa，并確保質(zhì)譜室內(nèi)壓力波動(dòng)小
于2%;
第四步質(zhì)譜室被校氣體組份質(zhì)譜掃描，啟動(dòng)被校四極質(zhì)譜計(jì)(5)，對(duì)
質(zhì)譜室(7)內(nèi)的氣體組份進(jìn)行掃描，利用計(jì)算機(jī)(4)分析需要被校氣體和氮?dú)?組份氣體的離子流強(qiáng)度；
第五步校準(zhǔn)因子確定，采用被校氣體離子流強(qiáng)度和氮?dú)怆x子流強(qiáng)度相
比的方法分析被校四極質(zhì)譜計(jì)對(duì)某種被校氣體的校準(zhǔn)因子，具體采用公式 (1)進(jìn)行計(jì)算。
式中
A—被校四極質(zhì)譜計(jì)對(duì)被校組份氣體的校準(zhǔn)因子;
A—被校組份氣體進(jìn)樣離子流強(qiáng)度，A A。一被校組份氣體本底離子流強(qiáng)度，A 厶一氮組份氣體進(jìn)樣離子流強(qiáng)度，A
/w—氮組份氣體本底離子流強(qiáng)度，/!;
G—進(jìn)樣氣體中被校氣體組份濃度含量，劣； Cv—進(jìn)樣氣體中氮?dú)饨M份氣體濃度含量，I第六步當(dāng)校準(zhǔn)結(jié)束時(shí)，依次關(guān)閉進(jìn)樣閥(ll)、被四極質(zhì)譜計(jì)(5)、高
真空壓力測(cè)量規(guī)(8)、插板閥(14)、分子泵2 (17)、分子泵l (15)和機(jī)械泵(18)。
為了校準(zhǔn)結(jié)果的準(zhǔn)確和計(jì)算校準(zhǔn)不確定度上述第二步 第五步可以重復(fù)進(jìn)行。
權(quán)利要求
1、四極質(zhì)譜計(jì)相對(duì)靈敏度校準(zhǔn)系統(tǒng)，其特征在于該系統(tǒng)由被校四極質(zhì)譜計(jì)(5)、質(zhì)譜室(7)、高真空壓力測(cè)量規(guī)(8)、進(jìn)樣系統(tǒng)、高真空抽氣系統(tǒng)、控制臺(tái)和計(jì)算機(jī)(4)組成，由進(jìn)樣系統(tǒng)向質(zhì)譜室內(nèi)提供已知組份含量的混合氣體，被校四極質(zhì)譜計(jì)對(duì)質(zhì)譜室內(nèi)的進(jìn)樣氣體組份含量進(jìn)行測(cè)量，計(jì)算機(jī)利用已知?dú)怏w組份含量和被校四極質(zhì)譜計(jì)的氣體組份含量測(cè)量結(jié)果進(jìn)行分析，得到被校四極質(zhì)譜計(jì)對(duì)被校氣體的校準(zhǔn)因子和校準(zhǔn)不確定度。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的被校四極質(zhì)譜計(jì)，其特征在于通過標(biāo)準(zhǔn)CF35 法蘭連接到質(zhì)譜室上，采用帶有RS232接口的數(shù)據(jù)線與計(jì)算機(jī)相連；如果被 校四極質(zhì)譜計(jì)的接口形式不是標(biāo)準(zhǔn)CF35法蘭接口，需根據(jù)具體型號(hào)的要求 加工過渡接頭。
3. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的質(zhì)譜室，其特征在于采用球形結(jié)構(gòu)，用不 銹鋼材料制作，尺寸可根據(jù)具體需要設(shè)計(jì)；在它的頂部留有高真空壓力測(cè)量 規(guī)(8)法蘭接口，在底部采用標(biāo)準(zhǔn)CF250法蘭與插板閥(14)相連，在球 的赤道處對(duì)稱留有被校四極質(zhì)譜計(jì)(5)的法蘭接口和進(jìn)樣管道(10)的法 蘭接口。
4. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的高真空壓力測(cè)量規(guī)，其特征在于高真空壓 力測(cè)量規(guī)通過標(biāo)準(zhǔn)KF25法蘭與質(zhì)譜室(5)相連，規(guī)的壓力測(cè)量范圍要求為 1x10—'Pa lxl0—7Pa，校準(zhǔn)不確定度要求小于10%，可選用冷陰極電離規(guī)或電 容薄膜規(guī)。
5. 根據(jù)權(quán)利要求l所述的進(jìn)樣系統(tǒng)，其特征在于由散射球(9)、進(jìn) 樣管道(10)、進(jìn)樣閥(11)、進(jìn)樣接口 (12)和進(jìn)樣抽空管道(13)組成； 散射球(9)選用不銹鋼材料制造，為球形結(jié)構(gòu)，表面均勻分布了 128個(gè)直 徑4)lmm的小孔，采用焊接的方式與進(jìn)樣管道(10)相連；進(jìn)樣管道(10) 選用不銹鋼材料制造，直徑、長度根據(jù)質(zhì)譜室的尺寸確定；安裝方式為一端 采用焊接結(jié)構(gòu)與進(jìn)樣閥相連，另一端采用過渡法蘭、通過焊接的方式與散射 球相連，過渡法蘭上采用激光打孔的技術(shù)開有小孔；進(jìn)樣閥(11)選用高精 度真空壓力調(diào)節(jié)閥， 一端通過焊接的方式與進(jìn)樣管道(10)相連，另一端通 過法蘭與進(jìn)樣接口 (12)相連；進(jìn)樣接口 (12)為不銹鋼材料制作的三通結(jié)構(gòu)， 一端通過法蘭與進(jìn)樣閥(11)相連， 一端通過法蘭與進(jìn)樣抽空管道(13) 相連， 一端用法蘭與進(jìn)樣氣瓶相連；進(jìn)樣抽空管道(13) —端通過法蘭與進(jìn) 樣接口相連，另一端通過標(biāo)準(zhǔn)KF25法蘭與質(zhì)譜室抽空管道(16)相連。
6. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的高真空抽氣系統(tǒng)，其特征在于由插板閥(14)、 分子泵1 (15)、質(zhì)譜室抽空管道(16)、分子泵2 (17)和機(jī)械泵(18) 組成；插板閥(14)通過法蘭分別和質(zhì)譜室(7)和分子泵1 (15)連接； 分子泵l (15)的抽氣速度為4501/s，入氣口端通過法蘭和插板閥(14)相 連，出氣口端通過法蘭和質(zhì)譜室抽空管道(16)相連；質(zhì)譜室抽空管道(16) 選用不銹鋼材料制作的三通結(jié)構(gòu)，通過法蘭分別與分子泵l (15)、分子泵 2 (17)和進(jìn)樣抽空管道(13)相連；分子泵2 (17)的抽氣速度為1101/s， 入氣口端通過法蘭與質(zhì)譜室抽空管道(16)相連，出氣口端通過法蘭與機(jī)械 泵(18)相連；機(jī)械泵(18)的抽氣速度為41/s，入氣口端通過法蘭與分 子泵2 (17)相連。
7. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的控制臺(tái)，其特征在于由分子泵1控制電源(1) 、分子泵2控制電源(2)、系統(tǒng)控制柜(3)組成；分子泵l控制電 源(1)通過螺釘固定安裝在系統(tǒng)控制柜(3)內(nèi)；分子泵2控制電源(2) 通過螺釘固定安裝在系統(tǒng)控制柜(3)內(nèi)，并位于分子泵l控制電源(1)的 下方；系統(tǒng)控制柜(3)采用不銹鋼材料制作，具體尺寸根據(jù)需要制定，其 面板上放安裝了計(jì)算機(jī)(4)和質(zhì)譜室(7)，內(nèi)部安裝了分子泵l控制電源(2) 、分子泵2控制電源(2)、插板閥(14)、分子泵l (15)、質(zhì)譜室 抽空管道(16)、分子泵2 (17)和機(jī)械泵(18)。
8. 根據(jù)權(quán)利要求7所述的計(jì)算機(jī)，其特征在于選用通用的便攜式電 腦，要求具有RS232數(shù)據(jù)接口，使用時(shí)需通過帶有RS232接口的數(shù)據(jù)線與被 校四極質(zhì)譜計(jì)相連，校準(zhǔn)前將被校四極質(zhì)譜計(jì)的分析軟件安裝在電腦上。
9. 四極質(zhì)譜計(jì)相對(duì)靈敏度校準(zhǔn)系統(tǒng)的工作流程，其特征在于 第一步.*校準(zhǔn)前準(zhǔn)備，將被校四極質(zhì)譜計(jì)連接到校準(zhǔn)系統(tǒng)上，確定被校四極質(zhì)譜計(jì)所要校準(zhǔn)的氣體種類，準(zhǔn)備好并連接到進(jìn)樣系統(tǒng)上，啟動(dòng)高真空 抽氣系統(tǒng)將質(zhì)譜室壓力抽至105pa以下，并確保質(zhì)譜室壓力的波動(dòng)小于2%;第二步:質(zhì)譜室本底氣體組份質(zhì)譜掃描，啟動(dòng)被校四極質(zhì)譜計(jì)，對(duì)質(zhì)譜 室內(nèi)的氣體組份進(jìn)行掃描，利用計(jì)算機(jī)分析需要被校氣體和氮?dú)饨M份氣體的 離子流強(qiáng)度；第三步被校氣體進(jìn)樣，打開進(jìn)樣系統(tǒng)上的進(jìn)樣閥，向質(zhì)譜室內(nèi)進(jìn)被校 混合氣體，進(jìn)樣壓力控制在lXl(T3pa，并確保質(zhì)譜室內(nèi)壓力波動(dòng)小于2%;第四步質(zhì)譜室被校氣體組份質(zhì)譜掃描，啟動(dòng)被校四極質(zhì)譜計(jì)，對(duì)質(zhì)譜 室內(nèi)的氣體組份進(jìn)行掃描，利用計(jì)算機(jī)分析需要被校氣體和氮?dú)饨M份氣體的 離子流強(qiáng)度；第五步校準(zhǔn)因子確定，采用被校氣體離子流強(qiáng)度和氮?dú)怆x子流強(qiáng)度相 比的方法分析被校四極質(zhì)譜計(jì)對(duì)某種被校氣體的校準(zhǔn)因子，具體采用公式 (1)進(jìn)行計(jì)算>式中-A—被校四極質(zhì)譜計(jì)對(duì)被校組份氣體的校準(zhǔn)因子; /r一被校組份氣體進(jìn)樣離子流強(qiáng)度，A 厶。一被校組份氣體本底離子流強(qiáng)度，A 厶一氮組份氣體進(jìn)樣離子流強(qiáng)度，A Zv。一氮組份氣體本底離子流強(qiáng)度，A進(jìn)樣氣體中被校氣體組份濃度含量，氛-G—進(jìn)樣氣體中氮?dú)饨M份氣體濃度含量，％。
全文摘要
本發(fā)明涉及四極質(zhì)譜計(jì)的相對(duì)靈敏度校準(zhǔn)，屬于校準(zhǔn)領(lǐng)域。四極質(zhì)譜計(jì)相對(duì)靈敏度校準(zhǔn)系統(tǒng)由被校四極質(zhì)譜計(jì)、質(zhì)譜室、高真空壓力測(cè)量規(guī)、進(jìn)樣系統(tǒng)、高真空抽氣系統(tǒng)和計(jì)算機(jī)組成。其中被校四極質(zhì)譜計(jì)用于測(cè)量質(zhì)譜室內(nèi)的氣體組分含量，質(zhì)譜室提供四極質(zhì)譜計(jì)所需的高真空環(huán)境，高真空壓力測(cè)量規(guī)用于質(zhì)譜室內(nèi)壓力的精確測(cè)量，進(jìn)樣系統(tǒng)確保向質(zhì)譜室內(nèi)充入滿足要求的已知組分含量氣體，高真空抽空系統(tǒng)用于質(zhì)譜室高真空環(huán)境的獲得，計(jì)算機(jī)用于被校四極質(zhì)譜計(jì)測(cè)量數(shù)據(jù)分析和校準(zhǔn)因子計(jì)算。具有校準(zhǔn)不確定度小，能克服四極質(zhì)譜計(jì)定量分析困難等優(yōu)點(diǎn)。
文檔編號(hào)G01N27/64GK101470101SQ20071030453
公開日2009年7月1日 申請(qǐng)日期2007年12月28日 優(yōu)先權(quán)日2007年12月28日
發(fā)明者溫永剛, 王麗紅, 王榮宗, 葛瑞宏, 聯(lián) 陳, 陳光奇 申請(qǐng)人:中國航天科技集團(tuán)公司第五研究院第五一〇研究所