專利名稱：一種恒壓式正壓漏孔校準(zhǔn)裝置變?nèi)菔业闹谱鞣椒?br> 技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種恒壓式正壓漏孔校準(zhǔn)裝置變?nèi)菔?，屬于真空?jì)量領(lǐng)域。
背景技術(shù)：
文獻(xiàn)"恒壓式正壓漏孔校準(zhǔn)裝置的設(shè)計(jì)，《真空科學(xué)與技術(shù)學(xué)報(bào)》第
27巻、2007年第5期、第442頁(yè) 445頁(yè)"，介紹了恒壓式正壓漏孔校準(zhǔn) 裝置變?nèi)菔业囊环N設(shè)計(jì)方法。該方法采用一段管道作為變?nèi)菔?，管道長(zhǎng) 度為50mm，管道直徑為6mm。變?nèi)菔液投ㄈ菔抑g連接了一個(gè)閥門，在 利用變?nèi)菔覝y(cè)量流量時(shí)，這個(gè)閥門實(shí)際上是打開(kāi)的，此時(shí)定容室和變?nèi)?室聯(lián)為一體共同作為變?nèi)菔?。定容室用直?mm的不銹鋼管加工，長(zhǎng)度 小于500mm。變?nèi)菔遗c活塞的密封材料是聚四氟乙烯密封圈，沒(méi)有說(shuō)明密 封的機(jī)械結(jié)構(gòu)。
這種方法的不足之處就是變?nèi)菔夜艿乐睆捷^大，不利于減小變?nèi)菔?容積，導(dǎo)致測(cè)量下限較差；使用變?nèi)菔覝y(cè)量流量時(shí)，變?nèi)菔遗c定容室是 連通的，由于連接閥門的存在，增大了變?nèi)菔业娜莘e；定容室管道的總 長(zhǎng)度要求小于500mm，不便于正壓漏率、活塞及電機(jī)、電容薄膜規(guī)等設(shè)備 的安裝；沒(méi)有說(shuō)明活塞與變?nèi)菔业臋C(jī)械密封結(jié)構(gòu)。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的是提供一種恒壓式正壓漏孔校準(zhǔn)裝置變?nèi)菔?，變?nèi)菔?管道直徑變小，活塞與變?nèi)菔夜艿谰哂懈玫膭?dòng)密封連接效果，采用這 種變?nèi)菔?，可以擴(kuò)展測(cè)量下限，提高測(cè)量精度。
本發(fā)明的技術(shù)解決方案是 一種恒壓式正壓漏孔校準(zhǔn)裝置變?nèi)菔遥?br> 由螺母l、 10，管道2、 9，變?nèi)菔抑黧w3，變?nèi)菔覂?nèi)孔4，活塞卡套接頭 5，內(nèi)孔通道6、 8，檔板7組成?；钊ㄌ捉宇^5由聚四氟乙烯套筒ll， 卡套底座12，卡套13，螺母14，活塞15，卡套管道16組成。 一種恒壓式正壓漏孔校準(zhǔn)裝置變?nèi)菔业倪B接關(guān)系為 螺母1與管道2連接，管道2的截面直徑小于4mm，長(zhǎng)度小于20mm， 管道2焊接在變?nèi)菔抑黧w3的側(cè)面，與變?nèi)菔覂?nèi)孔4相連通，變?nèi)菔抑?體3的外型為立方體，用不銹鋼加工，變?nèi)菔覂?nèi)孔4在變?nèi)菔抑黧w3內(nèi)， 沿長(zhǎng)度方向，截面直徑小于2mm，檔板7焊接在變?nèi)菔抑黧w右側(cè)，與變?nèi)?室內(nèi)孔4密封；活塞卡套接頭5通過(guò)卡套管道16焊接在變?nèi)菔抑黧w3的 上面，卡套管道16與內(nèi)孔通道6相連通，內(nèi)孔通道6截面直徑小于2腿， 內(nèi)孔通道6與變?nèi)菔覂?nèi)孔4相連通，管道9焊接在變?nèi)菔抑黧w3的一側(cè)， 管道9截面直徑小于4mm，長(zhǎng)度小于20mm，管道9與內(nèi)孔通道8相連通， 內(nèi)孔通道8截面直徑小于2mm，與變?nèi)菔覂?nèi)孔4相連通，螺母10與管道 9連接。
活塞卡套接頭5的連接關(guān)系是螺母14與卡套管道16的螺紋連接， 卡套底座12，卡套13套在聚四氟乙烯套筒11的外側(cè)，活塞15插入聚四氟乙烯套筒ll內(nèi)孔，卡套底座12，卡套13、聚四氟乙烯套筒ll、活塞
15連為一體，安裝在卡套管道16的連接處，通過(guò)擰緊螺母14，實(shí)現(xiàn)活 塞15與卡套管道16的動(dòng)密封連接。
在螺母1上安裝上一個(gè)三通接頭，分別連接正壓漏孔和差壓式電容 薄膜規(guī)。在螺母10上可以安裝一個(gè)四通接頭，分別連接絕壓式電容薄膜 規(guī)、氣瓶和抽氣機(jī)組。
一種恒壓式正壓漏孔校準(zhǔn)裝置變?nèi)菔业墓ぷ鞣绞?br> (1) 用抽氣機(jī)組通過(guò)四通接頭對(duì)變?nèi)菔覂?nèi)孔4、內(nèi)孔通道6、 8和管 道2、 9抽真空，然后再用氣瓶通過(guò)四通接頭對(duì)之充入一個(gè)大氣壓的
(2) 正壓漏孔漏出的氣體通過(guò)三通接頭流入到變?nèi)菔覂?nèi)孔4、內(nèi)孔 通道6、 8和管道2、 9中，引起壓力上升，上升值用差壓式電容薄 膜規(guī)測(cè)量。
(3) 根據(jù)差壓式電容薄膜規(guī)的測(cè)量數(shù)據(jù)，采用PID控制方法，控制 活塞15運(yùn)動(dòng)，保持在測(cè)量過(guò)程中變?nèi)菔覂?nèi)孔4內(nèi)的壓力始終為一個(gè) 大氣壓。
(4) 通過(guò)測(cè)量活塞的移動(dòng)速度、移動(dòng)距離、橫截面積以及變?nèi)菔覂?nèi) 孔4內(nèi)部的氣體壓力，計(jì)算出正壓漏孔的漏率。
本發(fā)明與現(xiàn)有技術(shù)相比的有益效果是
(1)增大了變?nèi)菔业耐獠矿w積，有利于壓力測(cè)量設(shè)備、活塞及控制電機(jī)和真空閥門等設(shè)備的安裝；
(2) 減小了變?nèi)菔业膬?nèi)部容積，可以使流量測(cè)量下限達(dá)到5X 10—Va.m3"及以下。
(3) 提高了活塞與變?nèi)菔业膭?dòng)密封連接性能，減小了漏、放氣，有
利于測(cè)量精度的提高。


圖1是本發(fā)明恒壓式正壓漏孔校準(zhǔn)裝置變?nèi)菔业慕Y(jié)構(gòu)示意圖。
圖2是本發(fā)明活塞與變?nèi)菔疫B接卡套接頭結(jié)構(gòu)示意圖。
權(quán)利要求
1. 一種恒壓式正壓漏孔校準(zhǔn)裝置變?nèi)菔?，包括螺母，管道，變?nèi)菔抑黧w，變?nèi)菔覂?nèi)孔，活塞卡套接頭，內(nèi)孔通道，檔板組成；活塞卡套接頭包括聚四氟乙烯套筒，卡套底座，卡套，螺母，活塞，卡套管道；其特征在于連接關(guān)系為螺母1與管道2連接，管道2焊接在變?nèi)菔抑黧w3的側(cè)面，與變?nèi)菔覂?nèi)孔4相連通，變?nèi)菔抑黧w3的外型為立方體，用不銹鋼加工，變?nèi)菔覂?nèi)孔4在變?nèi)菔抑黧w3內(nèi)，檔板7焊接在變?nèi)菔抑黧w右側(cè)，與變?nèi)菔覂?nèi)孔4密封；活塞卡套接頭5通過(guò)卡套管道16焊接在變?nèi)菔抑黧w3的上面，卡套管道16與內(nèi)孔通道6相連通，內(nèi)孔通道6與變?nèi)菔覂?nèi)孔4相連通，管道9焊接在變?nèi)菔抑黧w3的一側(cè)，管道9與內(nèi)孔通道8相連通，與變?nèi)菔覂?nèi)孔4相連通，螺母10與管道9連接；在螺母1上安裝上一個(gè)三通接頭，分別連接正壓漏孔和差壓式電容薄膜規(guī)。在螺母10上可以安裝一個(gè)四通接頭，分別連接絕壓式電容薄膜規(guī)、氣瓶和抽氣機(jī)組；此外，活塞卡套接頭5的連接關(guān)系是螺母14與卡套管道16的螺紋連接，卡套底座12，卡套13套在聚四氟乙烯套筒11的外側(cè)，活塞15插入聚四氟乙烯套筒11內(nèi)孔，卡套底座12，卡套13、聚四氟乙烯套筒11、活塞15連為一體，安裝在卡套管道16的連接處，通過(guò)擰緊螺母14，實(shí)現(xiàn)活塞15與卡套管道16的動(dòng)密封連接。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種恒壓式正壓漏孔校準(zhǔn)裝置變?nèi)菔?，其特征?于管道2、 9的截面直徑小于4mm，長(zhǎng)度小于20鵬；變?nèi)菔覂?nèi)孔4沿長(zhǎng)度方向， 截面直徑小于2mm，內(nèi)孔通道6、 8截面直徑小于2mm。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種恒壓式正壓漏孔校準(zhǔn)裝置變?nèi)菔遥菽?，管道，變?nèi)菔抑黧w，變?nèi)菔覂?nèi)孔，活塞卡套接頭，內(nèi)孔通道，擋板組成；用抽氣機(jī)組通過(guò)四通接頭對(duì)變?nèi)菔覂?nèi)孔、內(nèi)孔通道和管道抽真空，然后再用氣瓶通過(guò)四通接頭對(duì)之充入一個(gè)大氣壓的氮?dú)?。正壓漏孔漏出的氣體通過(guò)三通接頭流入到變?nèi)菔覂?nèi)孔、內(nèi)孔通道和管道中，引起壓力上升，上升值用差壓式電容薄膜規(guī)測(cè)量。根據(jù)差壓式電容薄膜規(guī)的測(cè)量數(shù)據(jù)，控制活塞運(yùn)動(dòng)，通過(guò)測(cè)量活塞的移動(dòng)速度、移動(dòng)距離、橫截面積以及變?nèi)菔覂?nèi)孔內(nèi)部的氣體壓力，計(jì)算出正壓漏孔的漏率。本發(fā)明增大了變?nèi)菔业耐獠矿w積，減小了變?nèi)菔业膬?nèi)部容積，提高了活塞與變?nèi)菔业膭?dòng)密封連接性能。
文檔編號(hào)G01M3/28GK101470042SQ20071030471
公開(kāi)日2009年7月1日 申請(qǐng)日期2007年12月28日 優(yōu)先權(quán)日2007年12月28日
發(fā)明者焱 馮, 盧耀文, 張滌新, 成永軍, 李得天, 趙光平 申請(qǐng)人:中國(guó)航天科技集團(tuán)公司第五研究院第五一〇研究所