專利名稱：一種半導(dǎo)體激光透過率分析系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及光電分析系統(tǒng)，特別涉及一種通過測(cè)量激光束透過率來分 析獲得被測(cè)參數(shù)的半導(dǎo)體激光透過率分析系統(tǒng)。
背景技術(shù)：
通過測(cè)量激光束透過率來分析獲得被測(cè)參數(shù)的半導(dǎo)體激光分析技術(shù)應(yīng)用領(lǐng) 域廣泛，例如半導(dǎo)體激光吸收光譜分析技術(shù)可以用于分析氣體、液體中化學(xué)成 分濃度，還可以分析氣體溫度和速度等，又例如還可以通過分析測(cè)量激光束透 過率來分析粉塵濃度。下面以氣體濃度分析為例介紹其應(yīng)用。半導(dǎo)體激光吸收 光譜氣體分析技術(shù)是一種高靈敏度氣體分析技術(shù)。半導(dǎo)體激光器發(fā)射出的特定 頻率的光束穿過被測(cè)氣體時(shí)，被測(cè)氣體的吸收譜線對(duì)光束能量的吸收導(dǎo)致光強(qiáng)
度衰減，光強(qiáng)吸收可由Beer-Lambert關(guān)系描述
/v = /v0r(v) = /v 。 exp[-S(r)g(v — v。
八,0和/v分別表示頻率為v的激光入射時(shí)和經(jīng)過壓力尸、濃度X和光程丄的 氣體后的光強(qiáng)，S(7)表示氣體吸收譜線的譜線強(qiáng)度，線形函數(shù)g(v-v。)表征該吸收 譜線的形狀。由Beer-Lambert關(guān)系可知，光強(qiáng)度的衰減與被測(cè)氣體含量、溫度、 壓力等相關(guān)，因此，通過測(cè)量光強(qiáng)度衰減信息就可以分析獲得被測(cè)氣體的相關(guān) 參數(shù)。
半導(dǎo)體激光器的輸出光波長(zhǎng)具有可調(diào)諧性。半導(dǎo)體激光吸收光譜氣體分析 技術(shù)通常采用DFB、 VCSEL等單模半導(dǎo)體激光器，通常通過給這些激光器注入
一定頻率的鋸齒波電流使光波長(zhǎng)掃描過整條吸收譜線來獲得完整的高分辨率單 線吸收光譜數(shù)據(jù)。對(duì)于常壓環(huán)境中的應(yīng)用，如圖1所示，單模半導(dǎo)體激光的譜寬 (通常小于幾十MHz)遠(yuǎn)小于被測(cè)氣體單吸收譜線的寬度，激光器的波長(zhǎng)調(diào)制 掃描范圍也僅包含被測(cè)氣體的單吸收譜線，將其它氣體的譜線排除在外，成功 避免了測(cè)量環(huán)境中背景氣體的交叉干擾。
在很多應(yīng)用場(chǎng)合，分析系統(tǒng)需要安裝在易燃易爆環(huán)境中，如含有一氧化碳或氫氣等危險(xiǎn)氣體的工作區(qū)內(nèi)。在這些場(chǎng)合就需要對(duì)分析系統(tǒng)做好防爆設(shè)計(jì)， 并取得防爆認(rèn)證。防爆設(shè)計(jì)有多種方式，如正壓防爆、隔爆、本安防爆等。由 于隔爆具有可靠性高、應(yīng)用方便等優(yōu)越性，獲得非常廣泛的應(yīng)用。
如圖2所示， 一種半導(dǎo)體激光吸收光譜氣體分析系統(tǒng)，包括光發(fā)射單元l、 光接收單元2和信號(hào)分析單元3，所述光發(fā)射單元1和光接收單元2安裝在被測(cè) 氣體4的兩側(cè)。所述光發(fā)射單元包括半導(dǎo)體激光器11、會(huì)聚透鏡12和玻璃窗片 13;所述光接收單元2包括會(huì)聚透鏡20、光接收器件21和玻璃窗片22。當(dāng)所 述分析系統(tǒng)需要防爆時(shí)，所述玻璃窗片13、 22使用鋼化玻璃，而且為了滿足隔 爆面大小的需要，鋼化玻璃13、 22的直徑較大；同時(shí)很多在位測(cè)量應(yīng)用也需要 大孔徑的光束來降低被測(cè)氣體中顆粒物散射對(duì)測(cè)量光產(chǎn)生的不均勻衰減，所以 會(huì)聚透鏡12和會(huì)聚透鏡20的直徑較大。
所述分析系統(tǒng)的工作過程如下所述半導(dǎo)體激光器ll發(fā)光，經(jīng)過光發(fā)射單 元1中的會(huì)聚透鏡12會(huì)聚成平行光，之后經(jīng)過玻璃窗片13穿過被測(cè)氣體4，穿過 被測(cè)氣體4的光在穿過光接收單元2中的玻璃窗片22后再經(jīng)過會(huì)聚透鏡20會(huì)聚， 之后被所述光接收器件21接收，而接收信號(hào)送信號(hào)分析單元3分析，從而得到被 測(cè)氣體4的濃度等。
激光由半導(dǎo)體激光器11發(fā)射出后，在經(jīng)過會(huì)聚透鏡12、玻璃窗片13、玻 璃窗片22、會(huì)聚透鏡20等各個(gè)光學(xué)元器件的表面時(shí)，盡管絕大多數(shù)激光能量折 射通過光學(xué)器件，但是一小部分激光能量會(huì)被上述光學(xué)器件的表面往復(fù)反射或 散射后再被光接收器件接收，因此，到達(dá)光接收器件的各次反射、散射激光束 之間會(huì)存在相位差，產(chǎn)生多光束干涉(etalon)現(xiàn)象。這種多光束干涉現(xiàn)象會(huì)對(duì) 測(cè)量光束的透過率產(chǎn)生影響，從而改變光接收器件接收到的光信號(hào)。由于吸收 光譜分析技術(shù)是通過分析光接收器件接收到的光信號(hào)來分析氣體濃度，上述多 光束干涉現(xiàn)象會(huì)對(duì)氣體濃度分析產(chǎn)生干擾，這種干擾通常被稱為etalon噪音。 在激光波長(zhǎng)掃描過吸收譜線的過程中，多光束之間相位差隨激光波長(zhǎng)不斷變化； 也就是說，在激光波長(zhǎng)掃描過吸收譜線的過程中光束的透過率是變化的，因此， etalon噪音隨光頻率的變化而變化，圖3給出了一種etalon噪音與光頻率的關(guān)系。 另外，受各種環(huán)境因素(溫度變化、機(jī)械振動(dòng)等)的影響，各光學(xué)元器件表面
之間的距離經(jīng)常發(fā)生微小的變化；由于激光波長(zhǎng)較短，微小的變化就會(huì)引起多 光束之間相位差的明顯改變，從而顯著改變上述多光束干涉產(chǎn)生的透過率變化， 也就是說etalon噪音隨光頻率的分布會(huì)受各種環(huán)境因素的影響而發(fā)生變化，進(jìn) 而給準(zhǔn)確氣體參數(shù)分析帶來困難。圖4給出了在沒有etakm噪音情況下分析系 統(tǒng)測(cè)得的氣體單線吸收光譜，在有etalon噪音情況下測(cè)得的氣體單線吸收光譜 的信噪比會(huì)顯著下降，如圖5所示。對(duì)于固定波長(zhǎng)測(cè)量方法，波長(zhǎng)的微小漂移 或環(huán)境因素的變化也均會(huì)導(dǎo)致光學(xué)系統(tǒng)表觀透過率的變化，從而影響測(cè)量精度。
上述分析系統(tǒng)存在一些不足1)結(jié)構(gòu)相對(duì)復(fù)雜，采用會(huì)聚透鏡來會(huì)聚發(fā)散 光，而同時(shí)還需要鋼化玻璃來實(shí)現(xiàn)隔爆；由于采用多個(gè)光學(xué)元器件，增加了反 射表面數(shù)目，增大了etalon光學(xué)噪音，降低了測(cè)量精度和測(cè)量靈敏度；2)在測(cè) 量一些介質(zhì)濃度時(shí)，如測(cè)量微量水份和氧氣的濃度時(shí)，由于半導(dǎo)體激光器、會(huì) 聚透鏡、隔爆玻片之間，光接收器件，會(huì)聚透鏡和隔爆玻片之間都存在不少空 間，如果這些空間中氣體存在被測(cè)氣體組分，就會(huì)對(duì)測(cè)量產(chǎn)生影響，當(dāng)前的方 法是或者采用氮?dú)獯祾?，或者采用氮?dú)夤喾獾姆椒▉肀苊膺@些空間中存在這些 被測(cè)氣體；但吹掃增加了系統(tǒng)的復(fù)雜度，另外灌封方法在發(fā)生泄漏時(shí)會(huì)產(chǎn)生較 大的測(cè)量不準(zhǔn)確性，尤其當(dāng)被測(cè)介質(zhì)濃度較低時(shí)，例如ppm量級(jí)，因此，光發(fā) 射單元l、光接收單元2均需要嚴(yán)格密封，防泄漏要求高，這進(jìn)一步增加了系統(tǒng) 設(shè)計(jì)和制造的復(fù)雜性。

實(shí)用新型內(nèi)容
為了解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的上述不足，本實(shí)用新型提供了一種測(cè)量精度和 測(cè)量靈敏度較高、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單可靠、易于實(shí)現(xiàn)隔爆功能、無需吹掃、密封要求低 以及制造方便的半導(dǎo)體激光透過率分析系統(tǒng)。
為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型采用以下技術(shù)方案
一種半導(dǎo)體激光透過率分析系統(tǒng)，包括光發(fā)射單元、光接收單元和信號(hào)分 析單元，所述光發(fā)射單元和光接收單元安裝在被測(cè)介質(zhì)的一側(cè)或兩側(cè)；所述光 發(fā)射單元包括半導(dǎo)體激光器、第一會(huì)聚透鏡，所述第一會(huì)聚透鏡相對(duì)半導(dǎo)體激 光器的一端為斜面；所述半導(dǎo)體激光器與所述第一會(huì)聚透鏡之間激光束主光線 光程小于或等于7mm;所述第一會(huì)聚透鏡的中間部分的A-A截面為任意幾何形
狀，所述截面的最小覆蓋圓的直徑大于或等于25mm;所述半導(dǎo)體激光器發(fā)出的 光通過所述第一會(huì)聚透鏡后進(jìn)入被測(cè)介質(zhì)。
所述第一會(huì)聚透鏡的厚度大于或等于20mm。
所述第一會(huì)聚透鏡的中間部分的A-A截面為圓形，直徑大于或等于25mm。
所述第一會(huì)聚透鏡的中間部分的A-A截面為矩形或正多邊形，其最小覆蓋 圓的直徑大于或等于25mm。
所述第一會(huì)聚透鏡的中間部分的A-A截面為不規(guī)則圖形，其最小覆蓋圓的 直徑大于或等于25mm。
所述第一會(huì)聚透鏡的前端安裝緊固件。
所述第一會(huì)聚透鏡與所述光發(fā)射單元的殼體間安裝密封件。
本實(shí)用新型還提出了這樣一種半導(dǎo)體激光透過率分析系統(tǒng)，包括光發(fā)射單 元、光接收單元和信號(hào)分析單元，所述光發(fā)射單元和光接收單元安裝在被測(cè)介 質(zhì)的一側(cè)或兩側(cè)；所述光接收單元包括光接收器件、第二會(huì)聚透鏡，所述第二 會(huì)聚透鏡相對(duì)光接收器件的一端為斜面；所述光接收器件與所述第二會(huì)聚透鏡 之間激光束主光線光程小于或等于7mm;所述第二會(huì)聚透鏡的中間部分的A-A 截面為任意幾何形狀，所述截面的最小覆蓋圓的直徑大于或等于25mm;從被測(cè) 介質(zhì)中穿過的光通過所述第二會(huì)聚透鏡后被光接收器件接收。
所述第二會(huì)聚透鏡的厚度大于或等于20mm。
上述的截面的最小覆蓋圓的定義為能夠包圍該截面的直徑最小的圓。 與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型具有的有益效果為1)提高了測(cè)量精度。第 一透鏡不僅具有會(huì)聚準(zhǔn)直激光器發(fā)射光束的作用，還可以實(shí)現(xiàn)系統(tǒng)隔爆的作用， 減少了系統(tǒng)光學(xué)元器件的數(shù)目，減少了光學(xué)反射面數(shù)量，進(jìn)而降低了系統(tǒng)的光 學(xué)etalon噪音。同時(shí)，由于減小了激光器與第一會(huì)聚透鏡以及傳感器與第二會(huì) 聚透鏡之間距離(在系統(tǒng)中上述光學(xué)元件面之間產(chǎn)生的etalori噪音最明顯)， etalon噪音的FSR (自由光譜范圍)明顯增加，也就是etalon噪音隨光頻率的 變化較緩慢；因較易采用背景擬合等背景糾正算法來去除緩慢變化的etalon噪 音背景的影響，可以較好地提高測(cè)量精度。另外，會(huì)聚透鏡靠近激光器或者傳 感器的一端為斜面，避免了與激光器以及傳感器中半導(dǎo)體晶片表面相互平行，也有效地降低了系統(tǒng)的光學(xué)etalon噪音。2)無需吹掃以及密封要求低。介質(zhì)吸 收跟光在介質(zhì)中的光程成正比，由于減少了光學(xué)部件，同時(shí)各部件間的距離都 較近，部件間空氣對(duì)于測(cè)量結(jié)果的影響顯著減少，可無需吹掃或密封。3)結(jié)構(gòu) 簡(jiǎn)單，可靠性較好。使用的厚會(huì)聚透鏡不僅實(shí)現(xiàn)會(huì)聚作用，還可以同時(shí)實(shí)現(xiàn)隔 爆的功能，減少了光學(xué)部件，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單。4)大通光孔徑可以較容易地實(shí)現(xiàn)隔爆 和提高原位測(cè)量的性能。5)隔溫效果較好，由于使用了較厚的會(huì)聚透鏡，外界 的熱量不易傳遞到光發(fā)射單元內(nèi)的激光器，從而使分析系統(tǒng)能在被測(cè)氣體溫度 較高場(chǎng)合下正常工作。


圖1是半導(dǎo)體激光譜寬和氣體吸收譜寬示意圖2是現(xiàn)有技術(shù)中一種半導(dǎo)體激光吸收光譜氣體分析系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖3是一種etalon噪音與光頻率的關(guān)系示意圖4是在沒有etalon噪音情況下測(cè)得的一條氣體吸收譜線的單線吸收光譜 示意圖5是在有etalon噪音情況下測(cè)得的一條氣體吸收譜線的單線吸收光譜示 意圖6是本實(shí)用新型實(shí)施例1中的一種半導(dǎo)體激光吸收光譜微量水分析系統(tǒng) 結(jié)構(gòu)示意圖7是實(shí)施例1中使用的會(huì)聚透鏡的結(jié)構(gòu)示意圖8是實(shí)施例2中會(huì)聚透鏡的中間部分的A-A截面圖9是實(shí)施例3中會(huì)聚透鏡的中間部分的A-A截面圖10是實(shí)施例4中會(huì)聚透鏡的中間部分的A-A截面圖。
具體實(shí)施方式
以下結(jié)合附圖和實(shí)施例，對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步詳盡描述。
實(shí)施例1:
如圖6所示， 一種半導(dǎo)體激光吸收光譜微量水分析系統(tǒng)，用于檢測(cè)被測(cè)氣
體4中微量氣態(tài)水的濃度，同時(shí)還滿足隔爆要求。所述分析系統(tǒng)包括光發(fā)射單 元1、光接收單元2和信號(hào)分析單元3，所述光發(fā)射單元1和光接收單元2安裝在被測(cè)氣體4的兩側(cè)。
所述光發(fā)射單元1包括殼體、半導(dǎo)體激光器11及其驅(qū)動(dòng)電路10、第一會(huì)聚 透鏡14及套筒5，所述半導(dǎo)體激光器11和第一會(huì)聚透鏡14安裝在所述套筒5 內(nèi)，其中半導(dǎo)體激光器11安裝在激光器座15上。所述半導(dǎo)體激光器ll驅(qū)動(dòng)電 路10安裝在所述殼體內(nèi)。所述套筒與所述第一會(huì)聚透鏡14間通過密封件如O 形圈16密封，同時(shí)第一會(huì)聚透鏡14的前端還安裝透鏡緊固件17。
如圖7所示，所述第一會(huì)聚透鏡14是厚的斜-凸透鏡， 一端是斜面，另一端 是球面，其球面的曲率半徑為13.66mm。所述第一會(huì)聚透鏡14的中間部分的 A-A截面是圓形，直徑為35mm，第一會(huì)聚透鏡厚度(激光束在第一會(huì)聚透鏡中 的主光線光程，即斜面中心與球面中心的間距)為31mm，斜面與圓柱面最長(zhǎng)母 線的夾角為76° ，可以使半導(dǎo)體激光器11發(fā)射的激光經(jīng)斜面反射后不進(jìn)入激光 器11內(nèi)，降低系統(tǒng)的光學(xué)噪聲。所述斜面的意義為既可以是傾斜的平面，也 可以是傾斜的弧面。所述半導(dǎo)體激光器11的發(fā)光點(diǎn)與斜面中心間距為5.6mm。 激光束主光線與圓柱面中心軸線夾角為7.49。，保證激光束主光線從球面中心 出射。第一會(huì)聚透鏡14與套筒5共同實(shí)現(xiàn)隔爆功能，兩者之間的隔爆接合面為 透鏡14的斜面與套筒5的斜面接合面。根據(jù)國(guó)標(biāo)GB3836.2-2000，在光發(fā)射單 元1的體積條件下平面接合面的寬度要求在9.5mm 15.8mm范圍內(nèi)，取平面接 合面為10mm;如果要求第一會(huì)聚透鏡14的有效通光孔徑大于13mm，則所述 第一會(huì)聚透鏡14的圓柱面直徑為2倍平面接合面寬度加通光孔徑為33mm，本 實(shí)施例取35mm。
所述光接收單元2包括第二會(huì)聚透鏡23、光電傳感器21。所述第二會(huì)聚透 鏡23的尺寸同第一會(huì)聚透鏡14。所述光接收單元2上的透鏡座與所述第二會(huì)聚 透鏡23間通過密封件如O形圈24密封，同時(shí)第二會(huì)聚透鏡23的前端還安裝透 鏡緊固件25。 實(shí)施例2:
一種半導(dǎo)體激光吸收光譜微量水分析系統(tǒng)，用于檢測(cè)微量氣態(tài)水的濃度， 同時(shí)還滿足隔爆要求。與實(shí)施例1不同的是，所述第一和第二會(huì)聚透鏡的中間 部分的A-A截面是正方形，如圖8所示，所述正方形的最小覆蓋圓的直徑為
40mm 。
實(shí)施例3:
一種半導(dǎo)體激光吸收光譜微量水分析系統(tǒng)，用于檢測(cè)微量氣態(tài)水的濃度，
同時(shí)還滿足隔爆要求。與實(shí)施例1不同的是，所述第一和第二會(huì)聚透鏡的中間 部分的A-A截面是橢圓形，如圖9所示，所述橢圓形的最小覆蓋圓的直徑為 45mm。
實(shí)施例4:
一種半導(dǎo)體激光吸收光譜微量水分析系統(tǒng)，用于檢測(cè)微量氣態(tài)水的濃度， 同時(shí)還滿足隔爆要求。與實(shí)施例1不同的是，所述第一和第二會(huì)聚透鏡的中間 部分的A-A截面是不規(guī)則圖形，如圖IO所示，所述不規(guī)則圖形的最小覆蓋圓的 直徑為50.8mm。
需要指出的是，上述實(shí)施方式不應(yīng)理解為對(duì)本實(shí)用新型保護(hù)范圍的限制。
實(shí)施例1中是用在氣體分析中，當(dāng)然還可以應(yīng)用于液體分析或粉塵分析中。
實(shí)施例中涉及到一種不規(guī)則圖形，當(dāng)然還可以是其它不規(guī)則圖形。
本實(shí)用新型的關(guān)鍵是，所述光發(fā)射單元內(nèi)的第一會(huì)聚透鏡相對(duì)半導(dǎo)體激光器的一端為斜面， 同時(shí)半導(dǎo)體激光器與所述第一會(huì)聚透鏡間主光線光程小于或等于7mm，所述第
一會(huì)聚透鏡的中間部分的A-A截面的最小覆蓋圓直徑大于或等于25mm，從而
顯著減少了 Etakm噪音，減少了光學(xué)部件間氣體對(duì)測(cè)量的影響，并可較容易地
實(shí)現(xiàn)隔爆或原位測(cè)量需要的大通光孔徑。在不脫離本實(shí)用新型精神的情況下，
對(duì)本實(shí)用新型作出的任何形式的改變均應(yīng)落入本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。
權(quán)利要求1、一種半導(dǎo)體激光透過率分析系統(tǒng)，包括光發(fā)射單元、光接收單元和信號(hào)分析單元，所述光發(fā)射單元和光接收單元安裝在被測(cè)介質(zhì)的一側(cè)或兩側(cè)；所述光發(fā)射單元包括半導(dǎo)體激光器、第一會(huì)聚透鏡；其特征在于所述第一會(huì)聚透鏡相對(duì)半導(dǎo)體激光器的一端為斜面；所述半導(dǎo)體激光器與所述第一會(huì)聚透鏡之間激光束主光線光程小于或等于7mm；所述第一會(huì)聚透鏡的中間部分的A-A截面為任意幾何形狀，所述截面的最小覆蓋圓的直徑大于或等于25mm；所述半導(dǎo)體激光器發(fā)出的光通過所述第一會(huì)聚透鏡后進(jìn)入被測(cè)介質(zhì)。
2、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的分析系統(tǒng)，其特征在于所述第一會(huì)聚透鏡的厚 度大于或等于20mm。
3、 根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的分析系統(tǒng)，其特征在于所述第一會(huì)聚透鏡 的中間部分的A-A截面為圓形，直徑大于或等于25mm。
4、 根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的分析系統(tǒng)，其特征在于所述第一會(huì)聚透鏡 的中間部分的A-A截面為矩形或正多邊形，其最小覆蓋圓的直徑大于或等于 25mm。
5、 根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的分析系統(tǒng)，其特征在于所述第一會(huì)聚透鏡的中間部分的A-A截面為不規(guī)則圖形，其最小覆蓋圓的直徑大于或等于25mm。
6、 根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的分析系統(tǒng)，其特征在于所述第一會(huì)聚透鏡 的前端安裝緊固件。
7、 根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的分析系統(tǒng)，其特征在于所述第一會(huì)聚透鏡 與所述光發(fā)射單元的殼體間安裝密封件。
8、 一種半導(dǎo)體激光透過率分析系統(tǒng)，包括光發(fā)射單元、光接收單元和信號(hào) 分析單元，所述光發(fā)射單元和光接收單元安裝在被測(cè)介質(zhì)的一側(cè)或兩側(cè)，所述光接收單元包括光接收器件、第二會(huì)聚透鏡；其特征在于所述第二會(huì)聚透鏡 相對(duì)光接收器件的一端為斜面；所述光接收器件與所述第二會(huì)聚透鏡之間激光 束主光線光程小于或等于7mm;所述第二會(huì)聚透鏡的中間部分的A-A截面為任 意幾何形狀，所述截面的最小覆蓋圓的直徑大于或等于25mm;從被測(cè)介質(zhì)中穿 過的光通過所述第二會(huì)聚透鏡后被光接收器件接收。
9、根據(jù)權(quán)利要求8所述的分析系統(tǒng)，其特征在于所述第二會(huì)聚透鏡的厚 度大于或等于20mm。
專利摘要本實(shí)用新型公開了一種半導(dǎo)體激光透過率分析系統(tǒng)，包括光發(fā)射單元、光接收單元和信號(hào)分析單元，所述光發(fā)射單元和光接收單元安裝在被測(cè)介質(zhì)的一側(cè)或兩側(cè)；所述光發(fā)射單元包括半導(dǎo)體激光器、第一會(huì)聚透鏡；所述第一會(huì)聚透鏡相對(duì)半導(dǎo)體激光器的一端為斜面；所述半導(dǎo)體激光器與所述第一會(huì)聚透鏡之間激光束主光線光程小于或等于7mm；所述第一會(huì)聚透鏡的中間部分的A-A截面為任意幾何形狀，所述截面的最小覆蓋圓的直徑大于或等于25mm；所述半導(dǎo)體激光器發(fā)出的光通過所述第一會(huì)聚透鏡后進(jìn)入被測(cè)介質(zhì)。本實(shí)用新型還公開了另外一種半導(dǎo)體激光透過率分析系統(tǒng)。
文檔編號(hào)G01N21/39GK201075085SQ200720112469
公開日2008年6月18日 申請(qǐng)日期2007年8月3日 優(yōu)先權(quán)日2007年8月3日
發(fā)明者熊志才, 健 王, 顧海濤 申請(qǐng)人:聚光科技(杭州)有限公司