專利名稱：故障源設(shè)備確定系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及故障源設(shè)備確定系統(tǒng)，詳細(xì)而言，本發(fā)明涉及在包含多個(gè)工序 的生產(chǎn)線中確定成為產(chǎn)品欠佳等的根源的異常的工序或設(shè)備的系統(tǒng)。
背景技術(shù)：
以往，包含多個(gè)工序的半導(dǎo)體器件和薄膜器件等的生產(chǎn)線中，為了實(shí)現(xiàn)產(chǎn) 品質(zhì)量提高和設(shè)備穩(wěn)定化，進(jìn)行各種在線檢査，導(dǎo)入根據(jù)在線檢查得到的檢查 信息確定成為產(chǎn)品欠佳的根源的異常的工序或設(shè)備的系統(tǒng)。例如日本國(guó)特開
2005 — 197629號(hào)公報(bào)揭示的技術(shù)，根據(jù)作為一種在線檢査的圖案缺陷檢查得到 的信息對(duì)產(chǎn)品基板的缺陷分布狀態(tài)進(jìn)行分類，使用產(chǎn)品履歷信息對(duì)缺陷分布狀 態(tài)的類似度的高低進(jìn)行共路徑分析，從而確定候選問題裝置。
日本國(guó)特開2005 — 197629號(hào)公報(bào)的技術(shù)中，為了將確定的候選問題裝置 的結(jié)果告知用戶，對(duì)報(bào)告顯示畫面進(jìn)行顯示。此報(bào)告顯示畫面包含規(guī)定受異 常檢測(cè)的被檢查晶圓的信息(品種、批號(hào)、檢查日期等)、關(guān)于該晶圓的檢查信 息(缺陷分布圖像)、規(guī)定候選問題裝置的信息(裝置名等)、成為該候選問題裝 置的確定源的信息(缺陷分布圖像)、以及表示候選問題裝置的狀態(tài)(有沒有問 題、是否對(duì)付過)的信息。

發(fā)明內(nèi)容
可是，在實(shí)際生產(chǎn)線中要執(zhí)行故障對(duì)策以提高成品率的情況下，通常 用戶(包括系統(tǒng)的操作員)要利用人工判斷，確認(rèn)上述系統(tǒng)自動(dòng)確定的候選問 題裝置是否真正為異常源。這是因?yàn)槿f一根據(jù)錯(cuò)誤的信息采取故障對(duì)策時(shí)， 對(duì)生產(chǎn)線造成很大的損失。
然而，日本國(guó)特開2005 — 197629號(hào)公報(bào)的技術(shù)中，報(bào)告畫面能顯示的信 息不夠，所以存在用戶難判斷確定的問題裝置是否真正為異常源的問題。例如，為了操作員確認(rèn)所確定的候選問題裝置是否真正為異常源，對(duì)使用 候選問題裝置時(shí)的在線檢查信息和使用候選問題裝置以外的設(shè)備時(shí)的在線檢
查信息進(jìn)行對(duì)比，容易判明。然而，日本國(guó)特開2005—197629號(hào)公報(bào)的技術(shù) 中，進(jìn)行這種對(duì)比時(shí)，操作員必須逐一檢索使用問題裝置以外的設(shè)備時(shí)的在線 檢查信息和生產(chǎn)履歷信息并進(jìn)行校對(duì)。因此，需要很多時(shí)間和勞力。其結(jié)果， 在準(zhǔn)確的故障對(duì)策的導(dǎo)入慢的情況下，例如設(shè)備混入異物為異常源時(shí)，故障的 產(chǎn)生持續(xù)好久，導(dǎo)致很大的損失。
因此，本發(fā)明的課題在于，提供一種在包含多個(gè)工序的生產(chǎn)線中確定成為 產(chǎn)品欠佳等的根源的異常源的設(shè)備、并且用戶能迅速且方便地判斷該確定的設(shè) 備(下文稱為"候選故障源設(shè)備")是否真正為異常源的故障源設(shè)備確定系統(tǒng)。
為了解決上述課題，本發(fā)明的故障源設(shè)備確定系統(tǒng)，是在用可執(zhí)行工序的 1套以上的設(shè)備分別執(zhí)行1個(gè)以上該工序的生產(chǎn)線上，對(duì)基板確定成為故障發(fā) 生源的設(shè)備的故障源設(shè)備確定系統(tǒng)，其中，
所述生產(chǎn)線包含規(guī)定的工序結(jié)束后取得表示各基板上的缺陷的位置的缺 陷分布信息的檢査工序，
所述故障源設(shè)備確定系統(tǒng)包括
使用關(guān)于所述各基板的缺陷分布信息，按每一缺陷分布圖案將所述各基板
分類的分類結(jié)果取得部；
根據(jù)所述分類結(jié)果取得部得到的分類結(jié)果和規(guī)定在所述各工序分別對(duì)所 述各基板執(zhí)行處理的設(shè)備的生產(chǎn)履歷信息，確定所述多個(gè)設(shè)備中成為故障發(fā)生 源的候選故障源設(shè)備的候選故障源設(shè)備確定部；
使所述候選故障源設(shè)備處理的各基板上的缺陷分布疊合，并制成第1缺陷
分布疊合圖像的第1缺陷分布圖像制成部；
使與所述候選故障源設(shè)備執(zhí)行的工序相同的工序中所述候選故障源設(shè)備 以外的設(shè)備處理的各基板上的缺陷分布疊合，并制成第2缺陷分布疊合圖像的 第1缺陷分布圖像制成部；以及
第1顯示部，該第1顯示部在某一顯示屏幕上對(duì)比并顯示所述第1缺陷分 布疊合圖像和所述第2缺陷分布疊合圖像。
本發(fā)明的故障源設(shè)備確定系統(tǒng)中，在某一顯示屏幕上對(duì)比并顯示疊合所述候選故障源設(shè)備處理的各基板上的缺陷分布的第1缺陷分布疊合圖像和疊合與 所述候選故障源設(shè)備執(zhí)行的工序相同的工序中所述候選故障源設(shè)備以外的設(shè) 備處理的各基板上的缺陷分布的第2缺陷分布疊合圖像。因而，用戶(包括系 統(tǒng)操作員，下文同)可通過視覺直觀地掌握此系統(tǒng)確定的候選故障源設(shè)備是否 真正為異常源，能與以往情況對(duì)比并迅速且方便地作出判斷。 一實(shí)施方式的故障源設(shè)備確定系統(tǒng)，其中包括
使分類成某一缺陷分布圖案的各基板上的缺陷分布疊合，并制成第3缺陷 分布疊合圖像的第3缺陷分布圖像制成部；以及
第2顯示部，該第2顯示部在所述顯示屏幕上每一所述缺陷分布圖案，同 時(shí)以一覽表顯示與該缺陷分布圖案對(duì)應(yīng)的第3缺陷分布疊合圖像和表示與該缺 陷分布圖案對(duì)應(yīng)的候選故障源設(shè)備的候選故障源設(shè)備信息。
此一實(shí)施方式的故障源設(shè)備確定系統(tǒng)中，在所述顯示屏幕上每一所述缺陷
分布圖案，同時(shí)以一覽表顯示與該缺陷分布圖案對(duì)應(yīng)的第3缺陷分布疊合圖像
和表示與該缺陷分布圖案對(duì)應(yīng)的候選故障源設(shè)備的候選故障源設(shè)備信息。即，
將第3缺陷分布疊合圖像和候選故障源設(shè)備帶有關(guān)聯(lián)關(guān)系地以一覽表顯示。因
而，用戶能例如根據(jù)過去的經(jīng)驗(yàn)與以往情況對(duì)比，并迅速且方便地從此系統(tǒng)確 定的候選故障源設(shè)備中將范圍收攏到真正成為異常源的故障源設(shè)備。
一實(shí)施方式的故障源設(shè)備確定系統(tǒng)，其中，所述第2顯示部限定僅對(duì)與所
述缺陷分布圖案對(duì)應(yīng)的候選故障源設(shè)備中滿足有關(guān)確定故障源設(shè)備的規(guī)定閾 值的候選故障源設(shè)備所涉及的信息，進(jìn)行顯示。
此一實(shí)施方式的故障源設(shè)備確定系統(tǒng)中，將所述第2顯示部顯示的候選故 障源設(shè)備信息限定成僅為與所述缺陷分布圖案對(duì)應(yīng)的候選故障源設(shè)備中滿足 有關(guān)確定故障源設(shè)備的規(guī)定閾值的候選故障源設(shè)備所涉及的信息。這就是說， 將與所述缺陷分布圖案對(duì)應(yīng)的候選故障源設(shè)備中不滿足有關(guān)確定故障源設(shè)備 的規(guī)定閾值的候選故障源設(shè)備考慮為關(guān)聯(lián)度低的故障源設(shè)備，省略顯示。因而， 用戶能進(jìn)一步迅速且方便地從確定的候選故障源設(shè)備中將范圍收攏到真正成 為異常源的故障源設(shè)備。
一實(shí)施方式的故障源設(shè)備確定系統(tǒng)，其中包括輸入選擇所述顯示屏幕上顯 示候選故障源設(shè)備信息的候選故障源設(shè)備中的某一個(gè)的指示的指示輸入部，所述第1顯示部與通過所述指示輸入部選擇的候選故障源設(shè)備聯(lián)動(dòng)地切換 顯示內(nèi)容，以顯示關(guān)于該選擇的候選故障源設(shè)備的所述第1缺陷分布疊合圖像 和第2缺陷分布疊合圖像。
此一實(shí)施方式的故障源設(shè)備確定系統(tǒng)中，例如操作員能通過指示輸入部選 擇在所述顯示屏幕顯示候選故障源設(shè)備信息的候選故障源設(shè)備中的某一個(gè)。這 樣選擇候選故障源設(shè)備中的某一個(gè)時(shí)，此系統(tǒng)中，所述第l顯示部與通過所述 指示輸入部選擇的候選故障源設(shè)備聯(lián)動(dòng)地切換顯示內(nèi)容，以顯示關(guān)于該選擇的 候選故障源設(shè)備的所述第l缺陷分布疊合圖像和第2缺陷分布疊合圖像。因而，
即使操作員不逐一檢索并校對(duì)使用候選故障源設(shè)備以外的設(shè)備時(shí)的檢查信息 和生產(chǎn)履歷信息，也在所述顯示屏幕對(duì)比并顯示疊合所選擇的候選故障源設(shè)備 處理的各基板上的缺陷分布的第1缺陷分布疊合圖像和疊合與所述候選故障源 設(shè)備執(zhí)行的工序相同的工序中所述候選故障源設(shè)備以外的設(shè)備執(zhí)行的各基板
上的缺陷分布的第2缺陷分布疊合圖像。因而，用戶可通過視覺直觀地掌握此
系統(tǒng)確定的候選故障源設(shè)備是否真正為異常源，能與以往情況對(duì)比并迅速且方 便地作出判斷。
一實(shí)施方式的故障源設(shè)備確定系統(tǒng)，其中，所述第l、第2缺陷分布圖像
制成部分別根據(jù)規(guī)定所述各基板的信息和所述生產(chǎn)履歷信息，對(duì)每一設(shè)備制成
所述第l、第2缺陷分布疊合圖像。
此一實(shí)施方式的故障源設(shè)備確定系統(tǒng)中，所述第l、第2缺陷分布圖像制 成部分別對(duì)每一設(shè)備制成所述第1、第2缺陷分布疊合圖像。因而，用戶可對(duì) 每一設(shè)備通過視覺直觀地掌握此系統(tǒng)確定的候選故障源設(shè)備是否真正為異常 源，并能更迅速且方便地作出判斷。


圖1是示出一本發(fā)明實(shí)施方式的故障源設(shè)備確定系統(tǒng)和應(yīng)用該故障源設(shè)備 確定系統(tǒng)的傳輸線的概略組成的框圖。
圖2是說明生產(chǎn)履歷信息存放部存放生產(chǎn)履歷信息的方法的圖。 圖3是說明檢查結(jié)果信息存放部存放檢查結(jié)果信息的方法的圖。 圖4是示例所述故障源設(shè)備確定系統(tǒng)顯示的顯示屏幕的圖。圖5A是示例基板表面上產(chǎn)生的環(huán)狀型缺陷分布的圖。
圖5B是示例基板表面上產(chǎn)生的裂紋狀型缺陷分布的圖。 圖5C是示例基板表面上產(chǎn)生的短邊兩端型缺陷分布的圖。 圖6是示出所述故障源設(shè)備確定系統(tǒng)的動(dòng)作流程的圖。 圖7是示出所述檢查結(jié)果信息的格式的圖。 圖8是示出所述履歷信息的格式的圖。
具體實(shí)施例方式
下面，利用圖示的實(shí)施方式詳細(xì)說明本發(fā)明。
圖l示例一本發(fā)明實(shí)施方式故障源設(shè)備確定系統(tǒng)1的組件組成和應(yīng)用此系 統(tǒng)的薄膜器件生產(chǎn)線10。
薄膜器件或半導(dǎo)體器件生產(chǎn)線， 一般由從接納基板到完成器件為止，以制 造批為單位依次執(zhí)行的多個(gè)工序組成。
圖1中示出部分這種薄膜器件生產(chǎn)線10。此例中，生產(chǎn)線10包含使用 在線檢査裝置A的檢査工序10a、使用處理裝置B的工序10b、使用處理裝置 C的工序10c、使用處理裝置D的工序10d、使用處理裝置E的工序10e、使 用在線檢查裝置F的檢査工序10f。 g卩，各處理工序10b、 10c、 10d、 10e指例 如洗凈基板的洗凈工序、在該基板上形成薄膜的成膜工序(下文稱為"沉積工 序")、在該膜上形成光刻膠圖案的光刻制版工序(包含曝光工序、顯像工序等， 下文稱為"光工序")、將該光刻膠作為掩模對(duì)薄膜進(jìn)行圖案加工的蝕刻工序 等處理工序，處理裝置B、處理裝置C、處理裝置D、處理裝置E分別綜合表 示多個(gè)設(shè)備。即，做成例如OOO工序中使用分別稱為OOO—l號(hào)機(jī)、OOO — 2號(hào)機(jī)、……的多個(gè)設(shè)備。
檢查工序10a、 10b，在此例子中進(jìn)行圖案缺陷檢查，取得表示各基板上的 缺陷的位置和規(guī)模的信息，作為檢査結(jié)果信息。作為基板上的缺陷，如圖5A、 5B、 5C所示，產(chǎn)生各種缺陷分布。圖5A示出基板表面上缺陷呈現(xiàn)環(huán)狀的類 型(環(huán)狀型)，圖5B為基板表面上缺陷呈現(xiàn)裂紋的類型(裂紋狀型)，圖5C示出 基板表面上缺陷呈現(xiàn)沿基板的短邊集中的類型(短邊兩端型)。
如圖1中所示，故障源設(shè)備確定系統(tǒng)1包括數(shù)據(jù)庫2、分類結(jié)果取得部14、候選故障源設(shè)備確定部15、缺陷分布圖像制成部16、顯示部17、以及指 示輸入部18。數(shù)據(jù)庫2包含儲(chǔ)存生產(chǎn)履歷信息的生產(chǎn)履歷信息儲(chǔ)存部11、儲(chǔ) 存檢査結(jié)果信息的檢査結(jié)果信息儲(chǔ)存部12、以及主信息儲(chǔ)存部13。
生產(chǎn)履歷信息儲(chǔ)存部11如圖2示例那樣，從在線檢査裝置A或處理裝置 B等隨時(shí)實(shí)時(shí)地儲(chǔ)存生產(chǎn)履歷信息。如圖8所示例的表那樣，此生產(chǎn)履歷信息 的形態(tài)(格式)使規(guī)定生產(chǎn)批的批號(hào)(批ID)、規(guī)定基板的基板號(hào)(基板ID)、規(guī)定 某工序中使用的設(shè)備的機(jī)號(hào)(處理設(shè)備ID)和處理日期與時(shí)間相互帶有對(duì)應(yīng)關(guān) 系。根據(jù)此生產(chǎn)履歷信息判明例如對(duì)批AAA00001包含的基板AAA00001 —1使用處理設(shè)備AAA—1號(hào)機(jī)在2005年1月1日10時(shí)10分0秒執(zhí)行工序 10000。
檢查結(jié)果信息儲(chǔ)存部12中，如圖3所示例那樣隨時(shí)實(shí)時(shí)地儲(chǔ)存作為檢査 結(jié)果信息的缺陷分布信息，即儲(chǔ)存表示各基板上的缺陷的位置和規(guī)模的信息。 如圖7示例的表那樣，此缺陷分布信息的輸出形態(tài)(格式)使批ID、基板ID、工 序號(hào)、表示各缺陷的規(guī)模的缺陷規(guī)模(分成小規(guī)模S、中規(guī)模M、大規(guī)模L)和 表示該缺陷在基板表面上的位置的xy坐標(biāo)相互帶有對(duì)應(yīng)關(guān)系。根據(jù)此缺陷分 布信息判明例如對(duì)批AAA00001包含的基板AAA00001 — 1而言，工序30000 中第1缺陷的規(guī)模為S，該缺陷的x坐標(biāo)為100，該缺陷的y坐標(biāo)為200;第2 缺陷的規(guī)模為M，該缺陷的x坐標(biāo)為110，該缺陷的y坐標(biāo)為200;第n缺陷 的規(guī)模為S，該缺陷的x坐標(biāo)為900，該缺陷的y坐標(biāo)為800。
圖1中示出的主信息儲(chǔ)存部13存放候選故障源設(shè)備確定部15的確定故障 源設(shè)備所涉及的閾值。
分類結(jié)果取得部14使用關(guān)于各基板的缺陷分布信息，按每一缺陷分布圖 案將各基板分類。此例子中，分類結(jié)果取得部14將關(guān)于各基板的缺陷分布信 息分別與作為示教數(shù)據(jù)的已知缺陷分布圖案進(jìn)行比較，算出各基板的缺陷分布 與已知缺陷分布圖案之間的類似度，該算出的類似度高于某閾值，則使用對(duì)該 已知缺陷分布圖案分類的公知方法。作為此閾值，參照并使用圖l所示主信息 儲(chǔ)存部13存放的數(shù)據(jù)。再者，作為缺陷分布圖案分類方法，也可不用示教數(shù) 據(jù)，而用提取有特征的圖案并進(jìn)行分類的使用獨(dú)立分量分析的方法等其它分類 方法。候選故障源設(shè)備確定部15根據(jù)分類結(jié)果取得部11得到的分類結(jié)果和生產(chǎn) 履歷信息儲(chǔ)存部11儲(chǔ)存的生產(chǎn)履歷信息，進(jìn)行共路徑分析(求出用哪個(gè)設(shè)備共 同處理具有同類缺陷分布的多個(gè)基板的分析)，確定多個(gè)設(shè)備中成為故障發(fā)生 源的候選故障源設(shè)備。
缺陷分布圖像制成部16將各基板上的缺陷分布(位圖映象)，制成多種缺陷 分布疊合圖像(詳況后文闡述)。
顯示部17在CRT(陰極射線管)或CD(液晶顯示元件)組成的某顯示屏幕上， 將候選故障源設(shè)備確定部15確定的候選故障源設(shè)備所涉及的信息作為2維圖 像進(jìn)行顯示。
指示輸入部18包含鼠標(biāo)器或鍵盤等，用于操作員對(duì)此系統(tǒng)輸入希望的指示。
如本領(lǐng)域技術(shù)人員所知，能用計(jì)算機(jī)，具體而言，能用個(gè)人計(jì)算機(jī)，構(gòu)成
這種系統(tǒng)l。各部"、15..... 18的動(dòng)作，可用計(jì)算機(jī)程序(軟件)實(shí)現(xiàn)。
此系統(tǒng)1按照?qǐng)D6所示處理程序進(jìn)行動(dòng)作如下。
首先，步驟S51中，分類結(jié)果取得部14從檢査結(jié)果信息儲(chǔ)存部12讀入關(guān) 于各基板的檢查結(jié)果信息(即缺陷分布信息)，接著在步驟S52使用該缺陷分布 信息按每一缺陷分布圖案將各基板分類(基板面內(nèi)圖案自動(dòng)分類)。
接著，步驟S53中，分類結(jié)果取得部14對(duì)每一缺陷分布圖案提取分類得 符合該缺陷分布圖案的基板ID和不符合該缺陷分布圖案的基板ID。由此，能 使基板ID和相當(dāng)?shù)娜毕莘植紙D案帶有對(duì)應(yīng)關(guān)系。
接著，步驟S54中，候選故障源設(shè)備確定部15從生產(chǎn)履歷信息儲(chǔ)存部11 讀入生產(chǎn)履歷信息。接著，步驟S55中，候選故障源設(shè)備確定部15根據(jù)分類 結(jié)果取得部11得到的分類結(jié)果和生產(chǎn)履歷信息儲(chǔ)存部11儲(chǔ)存的生產(chǎn)履歷信 息，進(jìn)行共路徑分析，確定多個(gè)設(shè)備中成為故障發(fā)生源的候選故障源設(shè)備。一 般而言，為了確定故障工序和設(shè)備，多數(shù)使用數(shù)據(jù)挖掘軟件進(jìn)行檢定，并輸出 各個(gè)結(jié)果。然而，由進(jìn)行圖案分類的算法決定利用生產(chǎn)履歷信息判斷設(shè)備間的 明顯差的部分，所以本發(fā)明可用任一共路徑分析。
接著，步驟S56中，缺陷分布圖像制成部16作為第1、第2和第3缺陷 分布圖像制成部起作用，將各基板上的缺陷分布(位圖映象)疊合，制成多種缺陷分布疊合圖像。此例子中，按照疊合哪個(gè)基板的缺陷分布，制成第1、第2 和第3缺陷分布疊合圖像。第l缺陷分布疊合圖像，疊合某工序中候選故障源 設(shè)備處理的各基板上的缺陷分布。第2缺陷分布疊合圖像，疊合與該候選故障 源設(shè)備執(zhí)行的工序相同的工序中候選故障源設(shè)備以外的設(shè)備處理的各基板上
的缺陷分布。第3缺陷分布疊合圖像，對(duì)每一缺陷分布圖案疊合分類成該缺陷
分布圖案的各基板上的缺陷分布。再者，進(jìn)行圖像疊合的方法對(duì)各個(gè)基板進(jìn)行 包含透明度的色彩設(shè)定，即使各個(gè)基板重疊，也能區(qū)分缺陷信息(缺陷規(guī)模和 位置)。
接著，圖6的步驟S57中，顯示部17作為第1和第2顯示部起作用，在 CRT或LCD組成的顯示屏幕顯示有關(guān)候選故障源設(shè)備確定部15確定的候選故 障源設(shè)備的信息。
圖4示例將候選故障源設(shè)備確定部15確定的候選故障源設(shè)備所涉及的信 息作為包含所述缺陷分布疊合圖像的2維圖像，由顯示部17顯示在顯示屏幕 90的狀態(tài)。
此圖4的顯示屏幕卯大體上劃分，包含顯示按每一缺陷分布圖案將基板 的缺陷分布分類的結(jié)果的上部表區(qū)91、以及顯示每一設(shè)備對(duì)基板缺陷分布的差 異(號(hào)機(jī)差)的下部表區(qū)92。
上部表區(qū)91對(duì)縱向分成項(xiàng)目顯示區(qū)36、表示每一缺陷分布圖案的分類結(jié) 果的圖案分類區(qū)37、 38、 39、 40和41。此設(shè)備表區(qū)91對(duì)橫向分成操作員用未 圖示的鼠標(biāo)器添加核對(duì)的核對(duì)欄31、顯示所述第3缺陷分布疊合圖像的"圖像 疊合"欄32、顯示分類成對(duì)應(yīng)的缺陷分布圖案的基板數(shù)的"分類基板數(shù)"欄 33A、顯示分類成該缺陷分布圖案的每一基板的缺陷數(shù)平均值的"基板平均缺 陷數(shù)"欄33B、表示工序號(hào)的"工序號(hào)"欄34A、表示工序名稱的"工序名" 欄34B、表示執(zhí)行對(duì)應(yīng)的工序的候選各種設(shè)備的機(jī)號(hào)的"設(shè)備號(hào)機(jī)"欄34C、 以及表示對(duì)應(yīng)的候選故障源設(shè)備的概率值的概率值(p-value)欄35。
此顯示例中，例如在圖案分類區(qū)37中判明此圖案分類區(qū)的缺陷分布圖 案是圖像疊合欄32中顯示的缺陷分布疊合圖像(缺陷集中呈現(xiàn)在左上角)，分類 成該缺陷分布圖案的基板數(shù)為30塊，基板平均缺陷數(shù)的值為60個(gè)。還判明確 定的候選故障源設(shè)備為BBB — 4號(hào)機(jī)、CCC一4號(hào)機(jī)、AAA — 5號(hào)機(jī)。它們是異常源的概率分別為0.90、 0.80、 0.70。
對(duì)各圖案分類區(qū)37、 38、 39、 40和41，分別設(shè)置核對(duì)欄31。操作員使用 作為指示輸入部18的鼠標(biāo)器(未圖示)在某圖案分類區(qū)的核對(duì)欄31添加核對(duì)時(shí)， 與該添加聯(lián)動(dòng)地將已加該核對(duì)的圖案分類區(qū)所涉及的信息切換到下部表區(qū)92 進(jìn)行顯示(后文闡述)。
各圖案分類區(qū)37、 38、 39、 40和4I信號(hào)，在圖像疊合欄32顯示缺陷分 布疊合圖像，因此操作員對(duì)每一圖案分類區(qū)能通過視覺直觀地掌握缺陷分布圖 案。
將各圖案分類區(qū)37、 38、 39、 40和41中在圖像疊合欄32顯示的第3缺 陷分布疊合圖像，按分類基板數(shù)多的順序從上往下排列。由此，操作員能方便 地掌握重要的缺陷分布圖案。
又，各圖案分類區(qū)37、 38、 39、 40和41中，在"基板平均缺陷數(shù)"欄33B 顯示每一塊基板的缺陷數(shù)平均值。據(jù)此，將某圖案分類區(qū)所涉及的異?，F(xiàn)象分 類成具有特征的缺陷分布圖案，但每一塊基板產(chǎn)生的缺陷數(shù)少的情況下，用戶 能降低對(duì)該異常現(xiàn)象的對(duì)策(成品率提高對(duì)策)的優(yōu)先度。
各圖案分類區(qū)37、 38、 39、 40和41中，在"設(shè)備號(hào)機(jī)"欄34C，顯示候 選故障源設(shè)備確定部15確定的候選故障源設(shè)備的機(jī)號(hào)。在"工序號(hào)"欄34A、 "工序名"欄34B，分別顯示該候選故障源設(shè)備執(zhí)行的工序編號(hào)、工序名。將 它們顯示得與圖像疊合欄32中顯示的第3缺陷分布疊合圖像帶有對(duì)應(yīng)關(guān)系。 即，每一圖案分類區(qū)37、 38、 39、 40和41將分類成第3缺陷分布疊合圖像和 表示與該缺陷分布圖案對(duì)應(yīng)的候選故障源設(shè)備的候選故障源設(shè)備信息帶有關(guān) 聯(lián)關(guān)系地以一覽表加以顯示。因而，用戶能方便地判斷該候選故障源設(shè)備是否 真正為異常源。
例如，產(chǎn)生圖5A所示的環(huán)狀型缺陷分布時(shí)，旋轉(zhuǎn)系統(tǒng)的裝置為異常源的 情況居多。產(chǎn)生圖5C所示的短邊兩端型的缺陷分布時(shí)，溶液噴射系統(tǒng)的處理 裝置為異常源的情況居多。根據(jù)這些經(jīng)驗(yàn)性實(shí)況，用戶能方便地判斷該候選故 障源設(shè)備是否真正為異常源。
再者，各圖案分類區(qū)37、 38、 39、 40和41中，"設(shè)備號(hào)機(jī)"欄34中可 顯示多個(gè)候選故障源設(shè)備。圖4的例子中，圖案分類區(qū)37中，作為候選故障源設(shè)備確定部15確定的候選故障源設(shè)備，顯示BBB — 4號(hào)機(jī)、CCC一4號(hào)機(jī)、 AAA — 5號(hào)機(jī)這3個(gè)設(shè)備。這里，顯示部17限定僅對(duì)候選故障源設(shè)備確定部 15確定的候選故障源設(shè)備中滿足有關(guān)確定故障源設(shè)備的規(guī)定閾值的候選故障 源設(shè)備所涉及的信息進(jìn)行顯示。即，此情況下，將不滿足該閾值的候選故障源 設(shè)備判斷為關(guān)聯(lián)度低的故障源設(shè)備，省略顯示。因而，用戶能進(jìn)一步迅速且方 便地從確定的候選故障源設(shè)備中將范圍收攏到真正成為異常源的故障源設(shè)備。 再者，從圖1中示出的主信息儲(chǔ)存部13參考此閾值。
"概率值(p-value)"欄35顯示對(duì)應(yīng)的候選故障源設(shè)備的概率值。此值是候 選故障源設(shè)備確定部15的共路徑分析中確定該候選故障源設(shè)備時(shí)的概率值。 此概率值也有助于用戶從此系統(tǒng)1確定的候選故障源設(shè)備中將范圍收攏到真正 成為異常源的候選故障源設(shè)備。
再者，圖4的例子中，顯示的圖案分類區(qū)(即缺陷分布圖案)的數(shù)量為5個(gè)， 但不限于此，可使其增減。由于顯示屏幕面積的制約，l個(gè)畫面顯示不完分類 的全部缺陷分布圖案時(shí)，可用往縱向滾動(dòng)圖案分類區(qū)的方式進(jìn)行顯示。
下部表區(qū)92包含用標(biāo)記71、 72、 73選擇的多個(gè)頁面?？勺兊卦O(shè)定此頁數(shù) (即標(biāo)記的數(shù)量)，使其與上部表區(qū)91的核對(duì)欄31進(jìn)行核對(duì)的圖案分類區(qū)舉出 的候選故障源設(shè)備數(shù)一致。再者，圖4的例子中，進(jìn)行核對(duì)的圖案分類區(qū)37 中舉出的候選故障源設(shè)備數(shù)為3，所以頁數(shù)為3頁。
此下部表區(qū)92的各頁對(duì)縱向分成工序和設(shè)備顯示區(qū)64、規(guī)定設(shè)備的"裝 置號(hào)機(jī)"區(qū)65、對(duì)比并顯示第1和第2缺陷分布疊合圖像的"基板圖像疊合" 區(qū)66、"估計(jì)基板數(shù)"顯示區(qū)67、"處理基板數(shù)"顯示區(qū)68和"％"顯示區(qū) 69。對(duì)橫向分成項(xiàng)目顯示欄60、顯示確定的候選故障源設(shè)備所涉及的信息的第 1信息顯示欄61和顯示與候選故障源設(shè)備執(zhí)行的工序相同的工序中候選故障 源設(shè)備以外的設(shè)備所涉及的信息的第2信息顯示欄62。
工序和設(shè)備顯示區(qū)64中，按照操作員在上部表區(qū)91的核對(duì)欄31進(jìn)行核 對(duì)的圖案分類區(qū)(即缺陷分布圖案)，顯示工序編號(hào)、工序名、候選故障源設(shè)備 的機(jī)號(hào)(裝置號(hào)機(jī))、概率值。圖4的例子中，此工序和設(shè)備顯示區(qū)64中顯示工 序編號(hào)"20000"、工序名"光工序"、候選故障源設(shè)備的機(jī)號(hào)(裝置號(hào)機(jī))"BBB 一4號(hào)機(jī)"、概率"0.90"。這是與己闡述的圖案分類區(qū)37中舉出的3個(gè)候選CCC一4號(hào)機(jī)、AAA — 5號(hào)機(jī)中作為第1候選的BBB 一4號(hào)機(jī)對(duì)應(yīng)的信息。
"基板圖像疊合"區(qū)66中，在第1信息顯示欄62顯示疊合候選故障源設(shè) 備處理的各基板上的缺陷分布的第l缺陷分布疊合圖像。與此相對(duì)比，在第2 信息顯示欄62顯示疊合與該候選故障源設(shè)備執(zhí)行的工序相同的工序中候選故 障源設(shè)備以外的設(shè)備處理的各基板上的缺陷分布的第2缺陷分布疊合圖像。
此第l缺陷分布疊合圖像、第2缺陷分布疊合圖像，相當(dāng)于疊合分類在相 同圖案分類區(qū)的基板的缺陷分布的圖像。圖4的例子中，疊合分類在圖案分類 區(qū)37的30塊基板中由BBB — 4號(hào)機(jī)執(zhí)行光工序20000的基板的缺陷分布，從 而制成第1信息顯示欄61的第1缺陷分布疊合圖像。又，對(duì)每一設(shè)備疊合分 類在圖案分類區(qū)37的30塊基板中由BBB — 4號(hào)機(jī)以外的設(shè)備(艮卩BBB—1號(hào) 機(jī)、BBB —2號(hào)機(jī)、BBB — 3號(hào)機(jī)、BBB — 5號(hào)機(jī)、BBB — 8號(hào)機(jī)、BBB —9號(hào) 機(jī))執(zhí)行光工序20000的基板的缺陷分布，從而制成第2信息顯示欄62的第2 缺陷分布疊合圖像。
這樣，此系統(tǒng)1中，在某顯示屏幕90中對(duì)比并顯示疊合候選故障源設(shè)備 處理的各基板上的缺陷分布的第1缺陷分布疊合圖像和與候選故障源設(shè)備執(zhí)行 的工序相同的工序中候選故障源設(shè)備以外的設(shè)備處理的各基板上的缺陷分布 的第2缺陷分布疊合圖像。因而，用戶可通過視覺直觀地掌握此系統(tǒng)1確定的 候選故障源設(shè)備是否真正為異常源，能與以往的情況比較并迅速且方便地作出 判斷。即，操作員與以往不同，不逐一檢索并校對(duì)使用候選故障源設(shè)備以外的 設(shè)備時(shí)的生產(chǎn)線檢查信息和生產(chǎn)履歷信息等，也能解決。
又，分別每一設(shè)備制成并顯示第1信息顯示欄61的第1缺陷分布疊合圖 像、第2信息顯示欄62的第2缺陷分布疊合圖像，因此用戶能進(jìn)一步迅速且 方便地判斷此系統(tǒng)確定的候選故障源設(shè)備是否真正為異常源。
再者，不限于將疊合缺陷分布的對(duì)象分類在某圖案分類區(qū)的基板，也可擴(kuò) 充到生產(chǎn)線上處理的全部基板。即，疊合生產(chǎn)線上處理的全部基板中確定的候 選故障源設(shè)備處理的各基板上的缺陷分布，從而制成第1缺陷分布疊合圖像。 另一方面，疊合生產(chǎn)線上處理的全部基板中與該候選故障源設(shè)備執(zhí)行的工序相 同的工序中候選故障源設(shè)備以外的設(shè)備處理的各基板上的缺陷分布，從而制成第2缺陷分布疊合圖像。這樣做的情況下，疊合缺陷分布的對(duì)象增多，所以用 戶更容易掌握有關(guān)故障源的處理設(shè)備的趨勢(shì)
又，圖4中的"估計(jì)基板數(shù)"顯示區(qū)67，對(duì)裝置號(hào)機(jī)欄65顯示的每一設(shè)
備分別顯示分類在相同的圖案分類區(qū)的基板中疊合缺陷分布的基板的數(shù)量。
"處理基板數(shù)"顯示區(qū)68，對(duì)每一設(shè)備顯示裝置號(hào)機(jī)欄65顯示的設(shè)備處理的 基板的數(shù)量。"％"顯示區(qū)69，顯示裝置號(hào)機(jī)欄65顯示的設(shè)備處理的基板中 分類在相同圖案分類區(qū)的基板數(shù)量的百分比。利用此顯示，用戶能不僅直觀上 而且數(shù)字上都容易判斷此系統(tǒng)確定的候選故障源設(shè)備是否真正為異常源。
此例子中，第2信息顯示欄62應(yīng)顯示的處理設(shè)備的數(shù)量多，l個(gè)畫面顯示 不完有關(guān)這些處理設(shè)備的全部第2缺陷分布疊合圖像時(shí)，能以往橫向滾動(dòng)第2 信息顯示欄62的方式進(jìn)行顯示。操作員通過用鼠標(biāo)器等移動(dòng)滾動(dòng)條70,能使 第2信息顯示欄62的內(nèi)容往橫向滾動(dòng)。
如上文已述那樣，操作員通過用鼠標(biāo)器等選擇標(biāo)記71、 72、 73，能切換下 部表區(qū)92的多個(gè)頁面。圖4的例子中，操作員選擇與第1候選對(duì)應(yīng)的標(biāo)記71 時(shí)，顯示工序編號(hào)"20000"、工序名"光工序"的候選故障源設(shè)備"BBB — 4 號(hào)機(jī)"的頁面。操作員選擇與第2候選對(duì)應(yīng)的標(biāo)記72時(shí)，顯示工序編號(hào)"30000"、 工序名"蝕刻工序"的候選故障源設(shè)備"CCC一4號(hào)機(jī)"的頁面。操作員選擇 與第3候選對(duì)應(yīng)的標(biāo)記73時(shí)，顯示工序編號(hào)"10000"、工序名"沉積工序" 的候選故障源設(shè)備"AAA — 5號(hào)機(jī)"的頁面。這樣做的情況下，顯示屏幕卯 的有限的面積中，能對(duì)多個(gè)候選故障源設(shè)備分別對(duì)比并顯示疊合該候選故障源 設(shè)備處理的各基板上的缺陷分布的第1缺陷分布疊合圖像和疊合與候選故障源 設(shè)備執(zhí)行的工序相同的工序中候選故障源設(shè)備以外的設(shè)備處理的各基板上的 缺陷分布的第2缺陷分布疊合圖像。
又，如上文已述那樣，操作員在上部表區(qū)91對(duì)某圖案分類區(qū)的核對(duì)欄31 添加核對(duì)時(shí)，與該添加聯(lián)動(dòng)地將已加該核對(duì)的圖案分類區(qū)(即缺陷分布圖案)所 涉及的信息切換到下部表區(qū)92進(jìn)行顯示。例如，圖4的例子中，核對(duì)圖案分 類區(qū)37，隨著該核對(duì)，在下部表區(qū)92顯示有關(guān)圖案分類區(qū)37的信息，即顯示 圖案分類區(qū)37中的作為第1候選的光工序的候選故障源設(shè)備"BBB — 4號(hào)機(jī)" 等的頁面。這里，假設(shè)操作員核對(duì)圖案分類區(qū)38以代替圖案分類區(qū)37，則隨著該核對(duì)，在下部表區(qū)92顯示有關(guān)圖案分類區(qū)38的信息，即顯示圖案分類區(qū) 38中的作為第1候選的光工序的候選故障源設(shè)備"BBB—1號(hào)機(jī)"等的頁面。 這樣動(dòng)作的情況下，顯示屏幕90的有限的面積中，能顯示許多信息，尤其能 顯示每一設(shè)備對(duì)基板缺陷分布的差異(號(hào)機(jī)差)。因而，用戶能進(jìn)一步迅速且方 便地判斷選擇的候選故障源設(shè)備是否真正為異常源。
此實(shí)施方式中，說明了將本發(fā)明用于薄膜器件的生產(chǎn)線的例子。然而，本 發(fā)明能廣泛應(yīng)用于在用可執(zhí)行工序的1套以上的設(shè)備分別執(zhí)行1個(gè)以上的該工 序的生產(chǎn)線中對(duì)基板確定成為故障發(fā)生源的設(shè)備的場(chǎng)合。例如，也能用于半導(dǎo) 體器件的生產(chǎn)線等。
權(quán)利要求
1、一種故障源設(shè)備確定系統(tǒng)，其特征在于，是在用可執(zhí)行各種工序的1套以上的設(shè)備分別執(zhí)行1個(gè)以上該工序的生產(chǎn)線上，對(duì)基板確定成為故障發(fā)生源的設(shè)備的故障源設(shè)備確定系統(tǒng)，所述生產(chǎn)線包含規(guī)定的工序結(jié)束后取得表示各基板上的缺陷的位置的缺陷分布信息的檢查工序，所述故障源設(shè)備確定系統(tǒng)包括使用關(guān)于所述各基板的缺陷分布信息，按每一缺陷分布圖案對(duì)所述各基板進(jìn)行分類的分類結(jié)果取得部；根據(jù)所述分類結(jié)果取得部得到的分類結(jié)果和確定在所述各工序中分別對(duì)所述各基板執(zhí)行處理的設(shè)備的生產(chǎn)履歷信息，確定所述多個(gè)設(shè)備中成為故障發(fā)生源的候選故障源設(shè)備的候選故障源設(shè)備確定部；使所述候選故障源設(shè)備處理的各基板上的缺陷分布疊合，以制成第1缺陷分布疊合圖像的第1缺陷分布圖像制成部；在與所述候選故障源設(shè)備所執(zhí)行的工序相同的工序中，使由所述候選故障源設(shè)備以外的設(shè)備所處理的各基板上的缺陷分布疊合，以制成第2缺陷分布疊合圖像的第2缺陷分布圖像制成部；以及第1顯示部，該第1顯示部在某一顯示屏幕上對(duì)比并顯示所述第1缺陷分布疊合圖像和所述第2缺陷分布疊合圖像。
2、 如權(quán)利要求1中所述的故障源設(shè)備確定系統(tǒng)，其特征在于，包括 使分類成某一缺陷分布圖案的各基板上的缺陷分布疊合，以制成第3缺陷分布疊合圖像的第3缺陷分布圖像制成部；以及第2顯示部，該第2顯示部在所述顯示屏幕上每一所述缺陷分布圖案，同 時(shí)以一覽表顯示與該缺陷分布圖案對(duì)應(yīng)的第3缺陷分布疊合圖像和表示與該缺 陷分布圖案對(duì)應(yīng)的候選故障源設(shè)備的候選故障源設(shè)備信息。
3、 如權(quán)利要求2中所述的故障源設(shè)備確定系統(tǒng)，其特征在于，所述第2顯示部在對(duì)與所述缺陷分布圖案對(duì)應(yīng)的候選故障源設(shè)備中，僅限 定滿足與故障源設(shè)備的確定有關(guān)的規(guī)定閾值的候選故障源設(shè)備所涉及的信息，并進(jìn)行顯示。
4、 如權(quán)利要求2中所述的故障源設(shè)備確定系統(tǒng)，其特征在于， 包括輸入選擇所述顯示屏幕上顯示候選故障源設(shè)備信息的候選故障源設(shè)備中的某一個(gè)的指示的指示輸入部，所述第1顯示部與通過所述指示輸入部選擇的候選故障源設(shè)備聯(lián)動(dòng)地切換 顯示內(nèi)容，以便顯示關(guān)于該選擇的候選故障源設(shè)備的所述第1缺陷分布疊合圖 像和第2缺陷分布疊合圖像。
5、 如權(quán)利要求1中所述的故障源設(shè)備確定系統(tǒng)，其特征在于， 所述第l、第2缺陷分布圖像制成部，分別根據(jù)確定所述各基板的信息和所述生產(chǎn)履歷信息，對(duì)每一設(shè)備制成所述第l、第2缺陷分布疊合圖像。
全文摘要
使候選故障源設(shè)備處理的各基板上的缺陷分布疊合，制成第1缺陷分布疊合圖像。使與該候選故障源設(shè)備執(zhí)行的工序相同的工序中該候選故障源設(shè)備以外的設(shè)備處理的各基板上的缺陷分布疊合，制成第2缺陷分布疊合圖像。在某一顯示屏幕上對(duì)比并顯示第1缺陷分布疊合圖像和第2缺陷分布疊合圖像。利用本發(fā)明，用戶可通過視覺直觀地掌握確定的候選故障源設(shè)備是否真正為異常源，能與以往的情況比較并迅速且方便地作出判斷。
文檔編號(hào)G01N21/956GK101432863SQ20078001506
公開日2009年5月13日 申請(qǐng)日期2007年4月24日 優(yōu)先權(quán)日2006年4月25日
發(fā)明者山本敏雄 申請(qǐng)人:夏普株式會(huì)社