專利名稱：工件搬運裝置及電子器件搬運裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及搬運芯片型電子器件等多個工件用的工件搬運裝置，更詳細地 講，涉及通過使設(shè)置有貫穿孔作為收納工件的收納部的搬運桌在搬運臺上移動 來搬運工件的工件搬運裝置及電子器件搬運裝置。
背景技術(shù)：
以往，在制造芯片型電子器件的時候，在制作芯片型電子器件且檢查了其 特性后，根據(jù)特性進行良品和不良品的挑選。另外，還根據(jù)特性將得到的芯片 型電子器件分類為多組。為了使這些作業(yè)自動化、提高生產(chǎn)率，提出了各種各 樣的制造裝置。
例如下面的專利文獻1中就揭示了一例這種電子器件搬運裝置。在該電子 器件搬運裝置中，為了搬運電子器件，配置有圓盤狀的搬運桌，使其與桌基座 的搬運面接觸。圓盤狀的搬運桌與旋轉(zhuǎn)驅(qū)動源連接，從而能繞著中心軸旋轉(zhuǎn)。 并且，沿著搬運桌的周方向形成多個貫穿孔，各貫穿孔收納從料斗依次供給的 l個電子器件。各貫穿孔內(nèi)的電子器件由料斗供給。通過使搬運桌在桌基座的 搬運面上邊滑動邊旋轉(zhuǎn)，電子器件沿搬運桌的周方向搬運。
這里，在將電子器件沿搬運桌的周方向搬運期間，要進行電子器件特性的 測定。并且，為了基于測定結(jié)果挑選良品、不良品，或是根據(jù)特性進行分類， 要使用適當?shù)碾娮悠骷〕鰡卧獜乃鲐灤┛兹〕鰷y定了特性的電子器件。
另外，在進行上述搬運時為了保持電子器件的姿勢，在所述搬運面上形成 與所述貫穿孔相連的吸引用凹部，該吸引用凹部與真空吸引源等連接。
另一方面，取出結(jié)束了特性測定的電子器件時，使用圖4所示的構(gòu)造。即 如圖4所示，電子器件搬運裝置101中，所述搬運桌102具有貫穿孔102a。在 貫穿孔102a內(nèi)收納有電子器件104。另外，搬運桌102的一個面102b與桌基 座103的搬運面103a接觸。而且在桌基座103的搬運面103a上，在電子器件104的取出位置設(shè)有開 口的噴出孔103b。噴出孔103b從搬運面103a向著與搬運面103a相反一側(cè)的 面103c延伸，并且與壓縮空氣供給管105連接。壓縮空氣供給管105與壓縮 機或儲氣瓶等壓縮空氣供給源連接。
在結(jié)束了測定的電子器件104由于搬運桌102的旋轉(zhuǎn)而來到電子器件取出 位置的時候，直徑小于貫穿孔102a的開口部的所述噴出孔103b便面向貫穿孔 102a的一部分。然后，從噴出孔103b噴射壓縮空氣。由于壓縮空氣的壓力， 使電子器件104向貫穿孔102a的外側(cè)移動，使電子器件104得以取出。
通過本方法，由于可以沒有機械沖撞地取出電子器件104，因此難以損傷 電子器件104。
專利文獻l:日本專利特開2004—226101號公報

發(fā)明內(nèi)容
然而，搬運桌102如前所述，是獨立于桌基座103而在桌基座103的搬運 面103a上邊滑動邊移動。所以，在通過所述壓縮空氣取出電子器件104后， 搬運桌102會進一步旋轉(zhuǎn)。結(jié)果是所述噴出孔103b會被搬運桌102的一個面 102b再次關(guān)閉。
此時，壓縮空氣完全排出至貫穿孔102a內(nèi)，使電子器件104得以取出。 然后，在停止供給壓縮空氣后，當噴出孔103b被搬運桌102的一個面102b關(guān) 閉的時候，不會產(chǎn)生問題。
然而，在提高搬運速度的時候，有時會在壓縮空氣殘留在噴出孔103b內(nèi) 的狀態(tài)下噴出孔103b的開口部被搬運桌102關(guān)閉。此時，噴出孔103b內(nèi)會殘 留壓縮空氣，產(chǎn)生殘壓。
所以， 一旦搬運桌102進一步旋轉(zhuǎn)、且收納有在所述電子器件取出位置不 應(yīng)取出的電子器件的下一貫穿孔移動至所述噴出孔103b時，殘壓會導致本來 不應(yīng)該取出的電子器件被取出。所以，在以往的電子器件搬運裝置中，取出電 子器件104后，為了不使搬運桌102立即旋轉(zhuǎn)移動，以便完全排出空氣，必須 使搬運桌102以預(yù)定的時間待機。即，為了釋放出所述殘壓，需要待機時間， 無法使電子器件搬運裝置高速工作。特別是隨著電子器件尺寸的縮小，有必要使所述噴出孔103b的大小也縮 小。因此，若噴出孔103b的大小縮小，由于空氣噴出量不充分，必須進一步 延長去除殘壓所需的待機時間。另外，即使延長待機時間，也存在殘壓難以充 分放出的問題。
本發(fā)明的目的在于供給一種工件搬運裝置及電子器件搬運裝置，是消除上 述以往技術(shù)的缺點、具有從噴出孔向收納工件的貫穿孔噴出高壓氣體、以從貫 穿孔取出工件的結(jié)構(gòu)的工件搬運裝置，可以消除上述殘壓帶來的問題，所以可 以防止工件意外飛出，且可以使包含工件取出工序在內(nèi)的搬運工序高速化。
本發(fā)明的工件搬運裝置具備搬運臺，該搬運臺具有搬運工件的搬運面； 搬運桌，該搬運桌具有與所述搬運臺的所述搬運面相對配置的第1面和與第1 面相反一側(cè)的第2面，具備貫穿第l、第2面的貫穿孔；驅(qū)動裝置，該驅(qū)動裝 置與所述搬運桌及/或所述搬運臺連接，從而在使所述搬運桌的第1面與所述搬 運臺的搬運面相對的狀態(tài)下使所述搬運桌對于搬運面邊滑動邊移動；在工件插 入所述搬運桌的所述貫穿孔的狀態(tài)下，通過使所述搬運桌相對于所述搬運面移 動來搬運所述工件，其特征是，在所述搬運臺的搬運面上形成有在搬運方向 延伸的吸引用凹部，以及為了將插入在所述貫穿孔內(nèi)的所述工件取出而設(shè)在工 件取出位置上而成為與所述貫穿孔重合的狀態(tài)、且使壓縮氣體噴出用的噴出 孔；在所述搬運桌的第1面上形成有為了將所述噴出孔和所述吸引用凹部連通 而設(shè)置的吸引溝，還具備與所述吸引用凹部連接的吸引裝置，以及與所述噴出 孔連接的壓縮氣體供給裝置；還形成有與所述壓縮氣體供給裝置連接、在所述 搬運臺的搬運面上位于所述工件取出位置、向著所述吸引溝開口的輔助噴出 孔。
本發(fā)明的工件搬運裝置中，較好的是，所述搬運桌具有中心軸，該搬運桌 受所述驅(qū)動單元驅(qū)動而繞著所述中心軸旋轉(zhuǎn)，由此使所述工件搬運路徑沿著所 述搬運桌的周方向延伸，所述吸引用凹部設(shè)置在所述搬運臺的搬運面上而成為 沿搬運桌的周方向延伸的狀態(tài)。此時，由于搬運路徑在搬運桌內(nèi)沿周方向延伸， 可以使工件搬運裝置小型化，且可降低設(shè)置空間。
本發(fā)明中，工件不限定于電子器件，也可以是電子器件以外的其他工件。 不過，電子器件由于小型化的進展，其尺寸非常小，使用本發(fā)明的電子器件搬運裝置，可以有效地消除搬運時的殘壓引起的問題。即，本發(fā)明的工件搬運裝 置適用于電子器件搬運裝置。
本發(fā)明的工件搬運裝置中，配置有搬運桌且使其與搬運臺的搬運面相對， 在設(shè)置在搬運桌的貫穿孔內(nèi)有工件插入的狀態(tài)下，通過使搬運桌相對于搬運面 移動來搬運工件。而且，在該搬運面上設(shè)有與貫穿孔相連的吸引用凹部，因此 可以通過吸引將電子器件保持在合適的姿勢。
此外，在工件取出位置上，從所述噴出孔噴出壓縮空氣，由于壓縮氣體的 壓力，可以迅速地從貫穿孔取出被搬運到工件取出位置上的工件。
此時，本發(fā)明中，由于壓縮氣體供給裝置與所述輔助噴出孔連接，且該輔 助噴出孔位于工件取出位置，所以被吸引保持的工件通過從輔助噴出孔噴出的 壓縮氣體被解除吸引，從而可以更迅速地將工件從貫穿孔取出。
艮P，在未設(shè)有輔助噴出孔的時候，不僅是為了取出工件，首先是為了解除 被吸引保持的工件的吸引，需要通過從噴出口噴出的壓縮氣體而施加適當?shù)膲?力。所以，必須從噴出孔噴出高壓且大量的壓縮氣體，且首先要解除吸引，之 后才移動工件，因此取出工件需要較長的時間。另外，由于必須噴出高壓的壓 縮氣體，在噴出孔內(nèi)容易殘留殘壓，也容易發(fā)生前述的問題。
對此，本發(fā)明在工件取出位置上設(shè)置所述輔助噴出孔，且該輔助噴出孔在 吸引溝開口，所以首先可以通過從輔助噴出孔噴出的壓縮氣體解除上述吸引。 之后，在解除吸引的同時，或者在解除吸引后，通過從噴出孔噴射的壓縮氣體， 使工件從貫穿孔移動。此時，由于吸引已經(jīng)解除，因此即使不從噴出孔噴出那 么高壓的壓縮氣體，也可以確實地從貫穿孔取出工件。所以，在噴出孔內(nèi)難以 產(chǎn)生殘壓，因此不需要待機時間，或者縮短了待機時間，可以高速搬運、取出 工件。另外可以防止由于殘壓使工件意外飛出。


圖l(a)、 (b)是表示本發(fā)明的電子器件搬運裝置中，通過壓縮氣體取出作為 工件的電子器件部分的結(jié)構(gòu)的部分切除側(cè)面剖視圖及模式俯視圖。
圖2(a)是本發(fā)明的一實施形態(tài)的電子器件搬運裝置的主視圖，圖2(b)是說 明設(shè)置在搬運面上的吸引溝用的主視圖。圖3是將沿圖2的A—A'線的部分放大表示的側(cè)面剖視圖。
圖4是說明以往的電子器件搬運裝置中的取出電子器件的部分的正剖視
標號說明
1…電子器件搬運裝置
2…底板
3…搬運臺
3a…搬運面
3b、 3c…吸引溝
3d…第1面
3e…第2面
4…搬運桌
4a…中心軸
4b…貫穿孔
4c…溝
4e…吸引溝
5…驅(qū)動裝置
6…電子器件
7…電子器件供給裝置
8…特性測定裝置
9…取出裝置
10…吸引源
11…噴出孔
11a…噴出孔本體部
12b…噴嘴部
12…輔助噴出孔
具體實施例方式
下面參照

本發(fā)明的具體實施形態(tài)，可以了解本發(fā)明。圖2(a)、 (b)是表示本發(fā)明的一實施形態(tài)的電子器件搬運裝置的簡圖的主視 圖及除去后述的搬運桌的狀態(tài)的簡圖的主視圖。
電子器件搬運裝置1具有底板2。本實施形態(tài)中，底板2豎設(shè)在設(shè)置空間， 成為沿上下方向延伸的狀態(tài)。不過，底板2也可以從上下方向傾斜，另外底板 2也可以配置成在水平方向延伸的狀態(tài)。
底板2的一個面2a上配置有搬運臺3。搬運臺3在本實施形態(tài)中是圓盤狀 的板，但也可以是多邊形等其他形狀。搬運臺3相對于底板2是固定的。搬運 板3在與底板2側(cè)相反一側(cè)的面上具有搬運面3a。
在搬運面3a上配置有搬運桌4。搬運桌4具有圓盤狀的形狀。搬運桌4 配置成能繞著中心軸4a旋轉(zhuǎn)，該中心軸4a與簡圖中表示的驅(qū)動裝置5連接。 通過驅(qū)動裝置5使搬運桌4順時針旋轉(zhuǎn)移動。
另外，本實施形態(tài)中，是搬運桌4繞著中心軸4a順時針旋轉(zhuǎn)，但也可以 是搬運桌4固定而搬運臺3繞著中心軸旋轉(zhuǎn)，另外也可以是搬運臺3和搬運桌 4雙方以不同速度繞著中心軸4a旋轉(zhuǎn)或者向相反方向旋轉(zhuǎn)。
艮P，只要構(gòu)成為搬運桌4相對于搬運臺3的搬運面3a移動即可。
搬運桌4由例如金屬或者合成樹脂等硬質(zhì)材料形成。在該搬運桌4的外周 附近在周方向排列配置有多個貫穿孔4b。貫穿孔4b構(gòu)成收納部，收納作為工 件的電子器件。多個貫穿孔4b在周方向形成2列。
不過，對多個貫穿孔4b組成的列數(shù)沒有特別限定，可以以1列或者3列 以上的形態(tài)配置多個貫穿孔4b。
圖3表示沿著圖2的A—A'線部分的部分切除剖視圖。從圖3可知，搬運 桌4具有與搬運臺3的搬運面3a接觸或者接近的第1面4c和作為與第1面相 反的面的第2面4d。貫穿孔4b從第1面4c貫穿至第2面4d。貫穿孔4b的第 2面4d上的開口部的大小可以使電子器件6進入。
本實施形態(tài)中，貫穿孔4b在第2面4d具有矩形的開口形狀。
再來看圖2(a)，電子器件由電子器件供給裝置7從搬運桌4的第2面4d 側(cè)插入至所述貫穿孔4b。作為該電子器件供給裝置7，可以使用料斗或者適當 的電子器件供給裝置，并沒有特別限定。
另外，通過使上述搬運桌4順時針旋轉(zhuǎn)，使搬運桌4移動，從而使得搬運桌4的第1面4c在搬運臺3的搬運面3a上滑動。其結(jié)果是收納在貫穿孔4b 的電子器件6沿搬運桌4的周方向被搬運，在其搬運路徑的途中配置有特性測 定裝置8。特性測定裝置8具有例如與電子器件的電極接觸的多個探頭，是為 了測定電子器件6的電學特性而設(shè)置的。根據(jù)此測定結(jié)果判斷是良品還是不良 品，或者根據(jù)特性值對被搬運來的電子器件進行分組。
作為所述測定裝置8，可以根據(jù)要測定的特性使用各種電計測裝置。
另一方面，圖2(b)中，表示取下所述搬運桌4，使搬運臺3的搬運面3a露 出的狀態(tài)，在搬運面3a上，2個吸引用凹部3b、 3c設(shè)在同心圓上。該吸引用 凹部3b、 3c通過后述的吸引溝與在搬運臺3上配置的搬運桌4的貫穿孔4b的 一部分相連。同心圓上設(shè)置2個吸引凹部3b、 3c是因為要在周方向排列配置2 列貫穿孔。B卩， 一個吸引凹部3b位于由多個貫穿孔4b形成的2列中外側(cè)列的 徑向外側(cè)，吸引凹部3c位于貫穿孔4b的直徑較小的列的徑向外側(cè)。而且，外 側(cè)列的貫穿孔4b通過后述的吸引溝與吸引凹部3b連接，內(nèi)側(cè)列的貫穿孔4b 通過后述的吸引溝與內(nèi)側(cè)的吸引凹部3c連接。吸引用凹部3b、 3c如圖2(b)所 示，與真空吸引源等吸引源IO連接。
如圖3所示，所述貫穿孔4b在第1面4c側(cè)與在搬運桌4的徑向延伸的吸 引溝4e相連。該吸引溝4e設(shè)置在其一部分與所述吸引用凹部3b或者吸引用 凹部3c重合的位置。
所以，通過用吸引源10從吸引用凹部3b、 3c吸引，被施加其負壓的電子 器件便在貫穿孔4b內(nèi)保持正確的位置。
另一方面，在電子器件取出裝置9上，如圖2(b)所示，多個噴出孔ll在 搬運面3a上開口。
圖l(a)及(b)是在所述搬運路徑上設(shè)有工件取出裝置9的部分的模式側(cè)剖視 圖及模式主視圖。
本實施形態(tài)中，在搬運桌4的第1主面4c側(cè)設(shè)有與所述貫穿孔4b相連的 吸引溝4e，而在搬運面3a的工件取出位置9上，在噴出孔ll的側(cè)方設(shè)有輔助 噴出孔12，且使其向該吸引溝4e開口。
該輔助噴出孔12與噴出孔11的噴出孔本體部lla連通。噴出孔11具有 所述噴出孔本體部11a和與搬運面3a側(cè)相連的噴嘴部llb。噴出孔本體部lla與儲氣瓶或壓縮機等壓縮空氣供給源X連接。由于所述輔助噴出孔12與噴出 孔本體部lla相連，所以壓縮空氣不僅從噴出孔11的噴嘴部llb，還從輔助噴 出孔12噴出。
另一方面，如上所述，輔助噴出孔12在吸引溝4e內(nèi)開口。所以，壓縮空 氣不僅從噴出孔11的噴嘴部lla，還從所述輔助噴出孔12噴出。另一方面， 由于上述的真空吸引使得吸引溝4e內(nèi)變?yōu)樨搲骸Ｈ欢?，通過從所述輔助噴出 孔12供給壓縮空氣，負壓首先被解除，因此容易從貫穿孔4b取出作為工件的 電子器件6。 g卩，由于首先解除負壓，因此只需通過從噴出孔ll噴出的壓縮空 氣向電子器件6施加一點壓力，就可以迅速地從貫穿孔4b取出電子器件6。從 而在解除所述負壓后，通過從所述噴出孔11的噴嘴部llb噴出壓縮空氣，可 以迅速從貫穿孔4b取出電子器件6。
如上所述，本實施形態(tài)中，輔助噴出孔12在吸引溝4e內(nèi)開口，且向吸引 溝4e供給壓縮空氣以解除負壓。由于吸引溝4e內(nèi)的負壓被預(yù)先解除，因此在 利用從噴出孔11的噴嘴部lib噴出的壓縮空氣使作為工件的電子器件6從貫 穿孔4b飛出的時候，壓力也可以小一些。因此，在噴出孔11內(nèi)難以產(chǎn)生殘壓。 所以，即使接下來有不該在該位置取出的電子器件6移動至噴出后的噴出孔11 上，也難以發(fā)生因殘壓而導致該電子器件6意外飛出的情況。
下面說明本實施形態(tài)的電子器件搬運裝置的動作。
如圖2所示，使用電子器件搬運裝置1來區(qū)分特性且搬運電子器件的時候， 從電子器件供給裝置7將電子器件1個個地插入所述搬運桌4的貫穿孔4b。而 且通過驅(qū)動裝置5的驅(qū)動使搬運桌4順時針旋轉(zhuǎn)。其結(jié)果是收納在貫穿孔4b 的電子器件6在搬運桌4的周方向被順時針搬運。此時，通過從吸引用凹部3b、 3c的吸引，使電子器件6在貫穿孔4b內(nèi)保持正確的姿勢而被搬運。
然后，在特性測定裝置8中測定被搬運來的電子器件6的特性，根據(jù)特性 結(jié)果進行電子器件的區(qū)分。即，當在電子器件取出裝置9上取出電子器件的時 候，只將良品在特定的位置上取出，且將不良品在不同的位置上取出，或是根 據(jù)特性值決定在多個不同位置上取出電子器件。這樣根據(jù)特性測定結(jié)果而在電 子器件取出裝置9上在特定的電子器件取出位置上取出電子器件，而這樣的控 制只要在電子器件搬運裝置1上連接控制單元，且根據(jù)從特性測定裝置8得到的測定結(jié)果來驅(qū)動電子器件裝置9即可。
然后，在所述電子器件取出裝置9上，若收納在貫穿孔4b的電子器件6
由于搬運桌4的旋轉(zhuǎn)被搬運來，則貫穿孔4b與設(shè)置在應(yīng)該取出電子器件位置 的噴出孔ll重合。此時，所述輔助噴出孔12面向吸引溝4e。
所以，由于從輔助噴出孔12向吸引溝供給壓縮空氣，所以消除了吸引溝 4e內(nèi)的負壓。另一方面，來自噴出孔ll的噴嘴部llb的壓縮空氣向電子器件 6噴射，而如上所述，由于吸引溝4e內(nèi)的負壓被消除，所以取出電子器件6 用的必要壓力也可以較小。所以，取出電子器件6后，由于可以縮小所述必要 壓力，因此在噴出孔11的噴出孔本體部lla內(nèi)和噴嘴部lib內(nèi)難以產(chǎn)生殘壓。
所以，上述的待機時間不是必須的，或者即使要設(shè)置待機時間，也可將待 機時間設(shè)置得較短，搬運裝置的搬運效率可以得到飛躍性的提高。
上述實施形態(tài)中，搬運桌具有圓盤狀的形狀，受驅(qū)動而繞著中心軸4a順 時針旋轉(zhuǎn)，但搬運桌并非一定要具有圓盤狀的形狀。另外，也可以是搬運桌沿 直線等其他方向移動，使設(shè)置在搬運桌的貫穿孔不是沿周方向、而是沿其他方 向搬運，如此構(gòu)成搬運路徑。即，本發(fā)明的工件搬運裝置并非限定于使圓盤狀 的搬運桌相對于搬運臺的搬運面旋轉(zhuǎn)。
另外，上述電子器件搬運裝置是搬運電子器件作為工件，但也可以用于搬 運電子器件以外的其他工件。
另外，上述實施形態(tài)是使用壓縮空氣作為壓縮氣體，但也可以使用氮等其 他非活性氣體。
權(quán)利要求
1. 一種工件搬運裝置，具備搬運臺，該搬運臺具有搬運工件的搬運面；搬運桌，該搬運桌具有與所述搬運臺的所述搬運面相對配置的第1面和與第1面相反一側(cè)的第2面，且具備貫穿第1、第2面的貫穿孔；驅(qū)動裝置，該驅(qū)動裝置與所述搬運桌及/或所述搬運臺連接，從而可在使所述搬運桌的第1面與所述搬運臺的搬運面相對的狀態(tài)下使所述搬運桌對于搬運面邊滑動邊移動；在工件插入所述搬運桌的所述貫穿孔的狀態(tài)下，通過使所述搬運桌相對于所述搬運面移動來搬運所述工件，其特征在于，在所述搬運臺的搬運面形成有在搬運方向延伸的吸引用凹部，以及為了取出插入在所述貫穿孔內(nèi)的所述工件而以與所述貫穿孔重合的狀態(tài)設(shè)在工件取出位置上且使壓縮氣體噴出用的噴出孔，在所述搬運桌的第1面上形成有將所述噴出孔和所述吸引用凹部連通的吸引溝，還具備與所述吸引用凹部連接的吸引裝置，以及與所述噴出孔連接的壓縮氣體供給裝置；還形成有與所述壓縮氣體供給裝置連接、在所述搬運臺的搬運面上位于所述工件取出位置、向所述吸引溝開口的輔助噴出孔。
2. 如權(quán)利要求l所述的工件搬運裝置，其特征在于，所述搬運桌具有中心軸，該搬運桌受所述驅(qū)動單元驅(qū)動而繞著所述中心軸 旋轉(zhuǎn)，由此使所述工件搬運路徑沿所述搬運桌的周方向延伸，所述吸引用凹部設(shè)置在所述搬運臺的搬運面上，成為沿搬運桌的周方向延 伸的狀態(tài)。
3. 如權(quán)利要求1或2所述的工件搬運裝置，其特征在于， 以搬運電子器件作為工件。
全文摘要
本發(fā)明提供一種工件搬運裝置，搬運收納在搬運桌的貫穿孔中的電子器件，使用壓縮氣體可以從貫穿孔迅速且確實地取出電子器件，且難以產(chǎn)生壓縮空氣的殘壓導致的工件意外飛出，可以提高搬運效率。工件搬運裝置(1)的構(gòu)成為在搬運臺(3)的搬運面(3a)有開口，驅(qū)動搬運桌(4)至噴出孔(11)與貫穿孔(4b)重合的位置，通過壓縮氣體取出容納在貫穿孔(4b)內(nèi)的電子器件(6)；且吸引溝(4e)設(shè)置在搬運桌(4)的第(1)主面(4c)上而與所述噴出孔(11)相連，輔助噴出孔(12)在所述搬運面(3a)上開口，成為面向該吸引溝(4e)的狀態(tài)，該輔助噴出孔(12)與壓縮氣體供給裝置連接。
文檔編號G01R31/00GK101432210SQ20078001527
公開日2009年5月13日 申請日期2007年5月2日 優(yōu)先權(quán)日2006年5月24日
發(fā)明者武內(nèi)悟, 笹岡嘉一 申請人:株式會社村田制作所