專利名稱：：用于壓印壓力傳遞裝置的分離膜的方法
技術(shù)領(lǐng)域：
：本發(fā)明涉及一種用于壓印壓力傳遞裝置的分離膜的方法。技術(shù)背景壓力傳遞裝置在工業(yè)壓力測量技術(shù)中用于傳遞壓力。壓力傳遞裝置通常包括膜托架，分離膜在外沿焊接于膜托架上。在分離膜和膜床之間封閉的壓力接收腔被壓力傳遞液體填充，該壓力傳遞液體用于例如通過連接至壓力接收腔的壓力傳遞管線而將從外部作用于分離膜的壓力傳遞到其他位置。這種壓力傳遞裝置的典型應(yīng)用是壓力測量變送器。壓力測量變送器在幾乎所有工業(yè)領(lǐng)域用于測量壓力。測量的壓力值例如用于控制、調(diào)節(jié)和/或監(jiān)控工業(yè)制造和/或處理過程。壓力測量技術(shù)中常見的是所謂的"半導(dǎo)體傳感器"，例如具有經(jīng)摻雜的電阻元件作為壓敏元件的硅片。通常，這種壓力傳感器包括的壓力傳感器芯片的形式為安裝在平臺上的壓力測量腔。壓力傳感器通常非常敏感并且因而不直接由壓力待測的介質(zhì)影響。作為替代，在其間插入由液體填充且具有外部分離膜的壓力傳遞裝置。在操作中，待測壓力作用于分離膜并且通過壓力傳遞裝置而傳遞到壓力測量腔中。對于測量絕對壓力以及測量相對壓力和壓差都是這樣的。為了實(shí)現(xiàn)盡可能線性且無滯后的壓力傳遞性能，分離膜優(yōu)選地成形為波浪狀。集成在膜托架中的膜床提供了對于分離膜的過載保護(hù)。過載是指作用于分離膜的壓力超過壓力測量變送器的設(shè)計測量范圍或者壓力傳遞裝置的設(shè)計壓力范圍。在這種情況中，特別重要的是，膜床和分離膜的形狀盡可能相等，從而在過載的情況中，分離膜均勻地靠在同樣成形的膜床上并且得到均勻的支撐。以這種方式，在過載的情況中，分離膜被保護(hù)不受破壞和/或永久性形變。今天，分離膜的成形通常是通過壓印方法進(jìn)行的。在這種情況中，例如平面的分離膜坯被利用金屬沖頭、彈性壓花墊或者水壓或氣動壓印方法而壓印，并在隨后被焊接到膜托架上。然后，壓力傳遞裝置被填充壓力傳遞液體。這種方法的優(yōu)點(diǎn)是，分離膜可以被預(yù)制，其中它們例如在一個操作步驟中被剪裁并壓印。缺點(diǎn)是，在將分離膜焊接到膜托架上期間可能發(fā)生的焊接應(yīng)力以及分離膜翹曲是永久性的。這都降低了壓力傳遞裝置的壓力傳遞性能。特別地，它們對于線性化具有負(fù)面影響并且能夠?qū)е聹蟆Ａ硗?，在這種方法中，為了實(shí)現(xiàn)分離膜與其膜床盡可能形狀相同，對于各個部件的制造公差提出了非常高的要求。成形中的各個較小的偏差在過載的情況中都會導(dǎo)致分離膜的永久形變甚至破損并且因而對于壓力傳遞的準(zhǔn)確性和可再現(xiàn)性不利。于是，這直接影響裝備有壓力傳遞裝置的壓力測量變送器的測量精度。作為前述方法的替代，分離膜坯可以首先被焊接到膜托架上，并且隨后在膜床上被壓印。這個壓印可以例如液壓地、氣動地或者利用壓花墊而實(shí)現(xiàn)。然后，壓力傳遞裝置被填充壓力傳遞液體。這樣的優(yōu)點(diǎn)是，在膜床成形中的制造公差被通過分離膜成形中的壓印而接收，并且焊接應(yīng)力以及分離膜翹曲能夠至少部分被壓印處理而抵消。另外，分離膜在壓印期間經(jīng)受的機(jī)械負(fù)載類似于在后來可能發(fā)生的過載情況中經(jīng)受的機(jī)械負(fù)載。在前述壓印方法中，分離膜的成形依賴于在分離膜和膜床之間包圍的介質(zhì)在壓印之前和期間的物理特性。在中間空間中包圍的潮氣以及灰塵和/或包圍的顆粒都會影響成形。這樣的結(jié)果是，以相同方式制造的各個壓力傳遞裝置會具有非常不同的壓力傳遞性能。為了將這些壓力傳遞裝置用于測量壓力，這通常意味著必須對于每一壓力測量變送器執(zhí)行復(fù)雜的標(biāo)定或補(bǔ)償方法。
發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明的目的是提供一種用于壓印壓力傳遞裝置的分離膜的方法，利用該方法可以最佳地形成與膜床的形狀匹配的分離膜。為此，本發(fā)明在于一種用于壓印壓力傳遞裝置的分離膜的方法，該壓力傳遞裝置包括具有膜床的膜托架。該方法包括以下步驟-將平面的分離膜坯焊接到膜托架上；-用潤滑劑填充由焊接的分離膜坯和膜托架封閉的壓力接收腔；以及-通過在膜床中壓印分離膜坯而同時潤滑劑存在于壓力接收腔內(nèi)，由分離膜坯制造分離膜。在一個優(yōu)選實(shí)施例中，潤滑劑是壓力傳遞液體。在另一實(shí)施例中，在焊接分離膜坯之后，檢査焊接連接的密封性。在另一實(shí)施例中，壓力接收腔在被填充潤滑劑之前被抽空。另外，本發(fā)明在于一種用于制造壓力測量變送器的方法，其中壓力測量變送器包括-設(shè)置在壓力測量腔中的壓力傳感器；和-壓力傳遞裝置，其由壓力傳遞介質(zhì)填充并且連接在壓力測量腔之前，其中壓力傳遞裝置包括安裝在具有膜床的膜托架之上的分離膜；--在測量操作期間，待測的壓力作用于該壓力傳遞裝置的外表面，該待測壓力被通過分離膜和壓力傳遞液體而傳遞到壓力測量腔中；其中該方法包括-將平面的分離膜坯焊接到膜托架上；-用潤滑劑填充由焊接的分離膜坯和膜托架封閉的壓力接收腔；以及-通過在膜床中壓印分離膜坯而同時潤滑劑存在于壓力接收腔內(nèi)，由分離膜坯制造分離膜。另外，本發(fā)明在于一種壓力傳遞裝置，其包括-具有膜床的膜托架；和-安裝在膜托架上的分離膜；其中-分離膜的形狀對應(yīng)于膜床的形狀，其中分離膜的形狀是這樣實(shí)現(xiàn)的-將平面的分離膜坯焊接到膜托架上；-用潤滑劑填充由焊接的分離膜坯和膜托架封閉的壓力接收腔；-在膜床中壓印分離膜坯；以及--在壓印之后，分離膜相對于膜床處于受潤滑劑影響的平衡位置。另外，本發(fā)明在于一種壓力傳遞裝置，其包括-具有膜床的膜托架；和-安裝在膜托架上的分離膜；^巾9-分離膜的形狀對應(yīng)于膜床的形狀，其中分離膜的形狀是這樣實(shí)現(xiàn)的--將平面的分離膜坯焊接到膜托架上；--用潤滑劑填充由焊接的分離膜坯和膜托架封閉的壓力接收腔；-在膜床中壓印分離膜坯；以及--在平衡狀態(tài)中，在膜床和分離膜之間存在間距，該間距通過使用潤滑劑而減小。本發(fā)明還在于一種壓力測量變送器，其包括-設(shè)置在壓力測量腔中的壓力傳感器；和-壓力傳遞裝置，其被壓力傳遞液體填充并且連接在壓力測量腔之前，其中壓力傳遞裝置包括安裝在具有膜床的膜托架之上的分離膜；--在測量操作期間待測壓力作用于分離膜的外表面，該待測壓力被通過分離膜和壓力傳遞液體而傳遞到壓力測量腔中；其中-分離膜的形狀對應(yīng)于膜床的形狀，其中分離膜的形狀是這樣實(shí)現(xiàn)的--將平面的分離膜坯焊接到膜托架上；--用潤滑劑填充由焊接的分離膜坯和膜托架封閉的壓力接收腔；-在膜床中壓印分離膜坯；以及--在壓印之后，分離膜相對于膜床處于受潤滑劑影響的平衡位置。本發(fā)明還在于一種壓力測量變送器，其包括-設(shè)置在壓力測量腔中的壓力傳感器；和-壓力傳遞裝置，其被壓力傳遞液體填充并且連接在壓力測量腔之前，其中壓力傳遞裝置包括安裝在具有膜床的膜托架之上的分離膜；--在測量操作期間待測壓力作用于分離膜的外表面，該待測壓力被通過分離膜和壓力傳遞液體而傳遞到壓力測量腔中；其中-分離膜的形狀對應(yīng)于膜床的形狀，其中分離膜的形狀是這樣實(shí)現(xiàn)的--將平面的分離膜坯焊接到膜托架上；--用潤滑劑填充由焊接的分離膜坯和膜托架封閉的壓力接收腔；-在膜床中壓印分離膜坯；以及-在平衡狀態(tài)中，在膜床和分離膜之間存在間距，該間距通過使用潤滑劑而減小?，F(xiàn)在根據(jù)附圖詳細(xì)解釋本發(fā)明，附圖中圖1是具有壓力傳遞裝置的壓力變送器的剖面；圖2是其上焊接了平面分離膜坯的膜托架的剖面；圖3是沒有應(yīng)用潤滑劑而壓印的分離膜及其膜床的曲線；和圖4是應(yīng)用了潤滑劑而壓印的分離膜及其膜床的曲線。具體實(shí)施方式圖1顯示了壓力測量變送器的剖面，其具有設(shè)置在壓力測量腔1中的壓力傳感器3，例如半導(dǎo)體傳感器。適用的例如是具有摻雜的電阻元件的硅片。所示的壓力測量變送器是絕對壓力測量變送器，正如例如本申請人的DE10162044Al中所公開的。相應(yīng)地，壓力傳感器3在這里是絕對壓力傳感器。然而，本發(fā)明并不限于絕對壓力測量變送器，而是還可以類似的形式應(yīng)用于相對壓力測量變送器和壓差測量變送器。壓力傳遞裝置5連接在壓力測量腔1之前。壓力傳遞裝置5具有帶有膜床7的膜托架9，分離膜11安裝在膜托架上。分離膜11和膜床7圍繞相對于外部密封的壓力接收腔13，該壓力接收腔13通過壓力傳遞管線15與壓力測量腔1相連。壓力測量變送器具有密封的內(nèi)部空間，在所示實(shí)施例中，該內(nèi)部空間包括壓力測量腔1的內(nèi)部空間和壓力傳遞裝置5的內(nèi)部空間。壓力傳遞裝置5的內(nèi)部空間由壓力傳遞管線15的內(nèi)部空間以及壓力接收腔13的內(nèi)部空間構(gòu)成。這個密封的內(nèi)部空間被壓力傳遞液體17填充。液體17優(yōu)選地是具有較低熱膨脹系數(shù)的不可壓縮的液體，例如硅油。它在測量操作中用于將從外部作用于分離膜11的壓力PM傳遞到壓力測量腔1中并由此傳遞到壓力傳感器3。在所示實(shí)施例中，壓力PM的供應(yīng)是通過過程連接19進(jìn)行的，壓力傳遞裝置5插入到該過程連接19中。過程連接19具有緊固機(jī)構(gòu)20，其在這里是外螺紋，壓力測量變送器利用該緊固機(jī)構(gòu)能夠安裝在測量位置上。膜床7用于保護(hù)分離膜11不會過載。如果作用于分離膜11的壓力PM超過預(yù)定的上限，那么分離膜11貼靠于膜床7上并因而被保護(hù)不會永久形變或者破損。這里，特別重要的是，分離膜ll的形狀最優(yōu)地匹配膜床7的形狀。兩個形狀吻合越精確，通過膜床7可實(shí)現(xiàn)的保護(hù)越好。為了獲得最優(yōu)的一致性，根據(jù)本發(fā)明，使用下面描述的用于壓印壓力傳遞裝置的分離膜11的方法。描述的方法既可用于制造單獨(dú)的壓力傳遞裝置5，也可用于制造完整的壓力測量變送器。在第一方法步驟中，平面的金屬盤作為分離膜坯11a而焊接到膜托架9上。圖2顯示了膜托架9，其上焊接了平面的分離膜坯lla。這里，分離膜坯lla的外邊緣通過環(huán)形圍繞的焊縫21而與膜托架9的鄰接膜床7的端面相連。在焊上分離膜坯lla之后，優(yōu)選地檢查焊接連接的密封性。這里適用的例如是在壓力測量技術(shù)中普遍使用的測試方法，其中測試物體(這里是壓力測量變送器的內(nèi)部空間或者壓力傳遞裝置5的壓力接收腔13)在一定壓力下被填充氦，并且利用相應(yīng)的氦泄漏探測器確定可能發(fā)生的泄漏。之后，壓力接收腔13優(yōu)選被排空并且被排空的壓力接收腔13被填充潤滑劑。用作潤滑劑的優(yōu)選是上面提到的壓力傳遞液體17。如果本發(fā)明的方法用于制造壓力測量變送器，那么優(yōu)選地同樣將壓力測量變送器的整個內(nèi)部空間排空并且填充壓力傳遞液體17。正如在通常的壓力傳遞裝置中那樣，排空和填充是通過至少一個通入密封內(nèi)部空間或壓力接收腔13的入口而進(jìn)行的。這里，在本發(fā)明的方法中，特別具有優(yōu)點(diǎn)的是，執(zhí)行這兩個方法步驟，而同時平面的分離膜坯lla仍然密封壓力接收腔13。以這種方式，可自由地達(dá)到整個壓力接收腔13，并且特別是在壓力接收腔13中沒有會令排空和/或填充困難的狹窄間隙或者甚至分離的部分空間。如果在這些方法步驟中，壓力接收腔13已經(jīng)被分離膜以其與膜床7的形狀相匹配的最終形狀而密封，那么這個分離膜將在真空下貼靠其膜床。這里，存在分離膜不會在所有地方且特別是在靠近邊緣區(qū)域的間隙中完全貼靠膜床的危險，并且，在最壞的情況中，甚至在壓力接收腔13中出現(xiàn)完全隔離的部分區(qū)域，這些完全隔離的空間僅被不充分地排空甚至根本沒有被排空。以這種方式，氣體殘留在這些間隙或部分區(qū)域中，從而氣體隨后在壓力接收腔的填充期間仍然保留并且阻止了完全的無氣泡的填充。由于在壓力測量變送器被平面的分離膜坯lla密封的情況下進(jìn)行排空和填充，所以可以實(shí)現(xiàn)非常高質(zhì)量的排空和特別是在壓力接收腔13的區(qū)域中基本上無氣泡的填充。特別是在壓力接收腔13的區(qū)域中無氣泡地填充壓力傳遞液體17導(dǎo)致了以這種方式制造的壓力測量變送器的真空穩(wěn)定性增加。這意味著，在負(fù)壓從外部作用于分離膜11的情況中，所得到的壓力測量變送器提供更精確的測量結(jié)果。正是在負(fù)壓從外部作用于分離膜11的情況中，在分離膜11下封閉的氣泡具有非常不利的影響，因?yàn)樗鼈冊谪?fù)壓下增大并且改變分離膜11或者整個壓力傳遞裝置5的傳遞性能，這不利地導(dǎo)致測量精度下降。同樣，無氣泡導(dǎo)致可獲得的測量精度的溫度穩(wěn)定性提高。溫度波動也導(dǎo)致封閉的氣泡的尺寸改變并從而導(dǎo)致傳遞特性改變。在由潤滑劑填充之后，通過在膜床7中壓印分離膜坯lla，從分離膜坯lla制成分離膜11。這個壓印可以例如水力地、氣動地或者利用壓花墊而進(jìn)行。本申請人的調(diào)査已經(jīng)顯示，壓印處理由分離膜ll和其膜床lla之間的滑動摩擦決定性地影響。這意味著，通過施加潤滑劑而壓印的分離膜的最終形狀與沒有潤滑劑的情況下可實(shí)現(xiàn)的最終形狀明顯不同。由于使用潤滑劑，分離膜采取了相對于膜床9的平衡位置，這與沒有潤滑劑的壓印不同。這特別突出地在于改進(jìn)的成形以及分離膜11和膜床7之間較小的間隔。在壓印處理期間，分離膜坯lla或分離膜11之間的滑動摩擦通過壓力接收腔13中存在的潤滑劑而明顯減小。這使得在相等的壓印壓力下得到了分離膜11的明顯改進(jìn)且可再現(xiàn)的壓印。通過潤滑劑，分離膜坯lla以及膜床7的表面不連續(xù)性或者粗糙度對于壓印處理的影響顯著減小。通過潤滑劑，分離膜坯11a在壓印期間明顯更容易在膜床7上滑動，從而可以實(shí)現(xiàn)分離膜11和膜床7的成形的明顯更高的一致性。另外，分離膜ll在壓印處理期間經(jīng)受的機(jī)械負(fù)荷也減小。于是，由于潤滑劑，可以在分離膜11上施加更高的壓印力，而不會扯破或損壞分離膜11。在膜床7的成形中的制造公差由分離膜11成形中的壓印而接受。另外，焊接應(yīng)力以及分離膜坯lla的翹曲至少部分由壓印處理而抵消。在沒有潤滑劑的壓印處理的情況中，很難控制的變量(諸如在分離膜和膜床之間封閉的潮氣或顆粒)在不同的壓印處理中對于分離膜的最終形狀具有顯著變化的影響；而在利用潤滑劑的不同壓印處理中，制造條件保持恒定。這導(dǎo)致了高度的可再現(xiàn)性。這樣的優(yōu)點(diǎn)是，通過使用潤滑劑而制造的各個壓力傳遞裝置或者壓力測量變送器具有幾乎等同的壓力傳遞特性。以這種方式，壓力測量所需的后續(xù)的標(biāo)定或補(bǔ)償方法可以明顯簡化，并且可實(shí)現(xiàn)的測量精度提高。潤滑劑的使用不僅實(shí)現(xiàn)保持相同的可再現(xiàn)的制造條件，而且還實(shí)現(xiàn)了明顯改進(jìn)的成形。下面根據(jù)使用有限元方法執(zhí)行的仿真的結(jié)果，詳細(xì)解釋這種通過本發(fā)明的方法改進(jìn)的成形，在仿真中對兩種壓印處理進(jìn)行仿真。圖3示出了膜床7的分布和未使用潤滑劑而壓印的分離膜23的最終形狀。圖4繪出了膜床7的表面和利用潤滑劑壓印的分離膜11的最終形狀。由于存在的對稱性，兩幅圖中的曲線都僅僅示出從膜床中心或者分離膜中心到各自外邊緣。中心在圖中以x軸的零點(diǎn)重合。分離膜23、分離膜11和膜床7的半徑都為16mm。對于沒有潤滑劑的壓印處理，使用滑動摩擦系數(shù)^1=0;對于利用潤滑劑的壓印處理，滑動摩擦系數(shù)|_1=1。例如當(dāng)使用壓力測量技術(shù)中常用于壓力傳遞的硅油作為潤滑劑時，存在滑動摩擦系數(shù)^1=1。用作兩次仿真計算的起始點(diǎn)的是平面地施加于膜托架9上的分離膜坯lla。在兩種情況中使用相同的壓印處理。通過仿真可以清楚看到，與未使用潤滑劑壓印的分離膜23相比，使用潤滑劑壓印的分離膜11在形狀上很好地匹配膜床7的形狀。于是，潤滑劑使得分離膜11在壓印之后所處的平衡位置中明顯改變。另外，在圖4所示的壓印之后的結(jié)束狀態(tài)中，使用潤滑劑壓印的分離膜11與其4所示膜床7之間的間隔遠(yuǎn)遠(yuǎn)小于在未使用潤滑劑壓印的分離膜23與其膜床7之間的間隔。在未使用潤滑劑壓印的分離膜23的情況中，分離膜23與其膜床7之間的間隔在分離膜23的中心處達(dá)到23-160而在使用潤滑劑壓印的分離膜11的情況中，這個間距僅僅為82pm。這個明顯減小的間隔的優(yōu)點(diǎn)是，相關(guān)的壓力接收腔13的內(nèi)部體積顯著較小。由此，填充壓力接收腔13所需的壓力傳遞液體的液體體積顯著較小。這導(dǎo)致壓力傳遞特性的溫度依賴性顯著降低，并因而導(dǎo)致可實(shí)現(xiàn)的測量精度改進(jìn)。本發(fā)明的方法的進(jìn)一步的優(yōu)點(diǎn)是，分離膜11在壓印期間經(jīng)受的機(jī)械負(fù)荷與后來可能發(fā)生的過載中的機(jī)械負(fù)荷相同。在壓印期間以及過載的情況中，液體都位于壓力接收腔13中。特別是與通過潤滑劑優(yōu)化的分離膜11成形相結(jié)合，這導(dǎo)致了分離膜11在過載的情況下被最優(yōu)地保護(hù)，并且分離膜11在第一次發(fā)生過載情況時不會由于過載而有附加的永久形狀改變。相反，在分離膜是未使用潤滑劑而壓印的情況中，第一次發(fā)生的過載會導(dǎo)致永久的形狀改變，因?yàn)樵诘谝淮芜^載情況時的機(jī)械負(fù)荷由于存在于壓力接收腔中的壓力傳遞液體而與在未使用潤滑劑的壓印期間發(fā)生的機(jī)械負(fù)荷不同。這種永久形狀改變導(dǎo)致傳遞性能改變，并因而導(dǎo)致測量精度以及可再現(xiàn)性改變。16附圖標(biāo)記<table>tableseeoriginaldocumentpage17</column></row><table>權(quán)利要求1.用于壓印壓力傳遞裝置(5)的分離膜(11)的方法，該壓力傳遞裝置包括具有膜床(7)的膜托架(9)，其中-將平面的分離膜坯(11a)焊接到所述膜托架(9)上；-用潤滑劑填充由焊接的分離膜坯(11a)和所述膜托架(9)封閉的壓力接收腔(13)；以及-通過在所述膜床(7)中壓印所述分離膜坯(11a)而同時潤滑劑存在于所述壓力接收腔(13)內(nèi)，由所述分離膜坯(11a)制造所述分離膜(11)。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中，潤滑劑是壓力傳遞液體(17)。3.根據(jù)權(quán)利要求l所述的方法，其中，在焊接分離膜坯(lla)之后，檢查焊接連接(21)的密封性。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中，壓力接收腔(13)在被填充潤滑劑之前被抽空。5.用于制造壓力測量變送器的方法，該壓力測量變送器包括-設(shè)置在壓力測量腔(1)中的壓力傳感器(3);和-壓力傳遞裝置(5)，其連接在所述壓力測量腔(1)之前并且由壓力傳遞介質(zhì)(17)填充，該壓力傳遞裝置包括安裝在具有膜床(7)的膜托架(9)之上的分離膜(11);-在測量操作期間，待測壓力(Pm)作用于該壓力傳遞裝置的外表面，該待測壓力被通過所述分離膜(11)和所述壓力傳遞液體(17)而傳遞到所述壓力測量腔(1)中；其中該方法包括-將平面的分離膜坯(lla)焊接到所述膜托架(9)上；-用潤滑劑填充由焊接的分離膜坯(lla)和所述膜托架(9)封閉的壓力接收腔(13);以及-通過在所述膜床(7)中壓印所述分離膜坯(lla)而同時潤滑劑存在于所述壓力接收腔(13)內(nèi)，由所述分離膜坯(lla)制造所述分離膜(11)。6.壓力傳遞裝置(5)，包括-具有膜床(7)的膜托架(9);和-安裝在所述膜托架(9)上的分離膜(11);其中-所述分離膜(11)的形狀對應(yīng)于所述膜床(7)的形狀，其中分離膜的形狀是這樣實(shí)現(xiàn)的-將平面的分離膜坯(lla)焊接到所述膜托架(9)上；--用潤滑劑填充由焊接的分離膜坯(lla)和所述膜托架(9)封閉的壓力接收腔(13);--在所述膜床(7)中壓印所述分離膜坯(lla);以及--在壓印之后，所述分離膜(11)相對于所述膜床(7)處于受所述潤滑劑影響的平衡位置。7.壓力傳遞裝置(5)，包括-具有膜床(7)的膜托架(9);和-安裝在所述膜托架(9)上的分離膜(11);其中-所述分離膜(11)的形狀對應(yīng)于所述膜床(7)的形狀，其中分離膜的形狀是這樣實(shí)現(xiàn)的-將平面的分離膜坯(lla)焊接到所述膜托架(9)上；--用潤滑劑填充由焊接的分離膜坯(lla)和所述膜托架(9)封閉的壓力接收腔(13);—在所述膜床(7)中壓印所述分離膜坯(lla);以及--在平衡狀態(tài)中，在所述膜床(7)和所述分離膜(11)之間存在間距，該間距通過使用所述潤滑劑而減小。8.壓力測量變送器，包括-設(shè)置在壓力測量腔(1)中的壓力傳感器(3);和-壓力傳遞裝置(5),其連接在所述壓力測量腔(1)之前并且被壓力傳遞液體(17)填充，該壓力傳遞裝置包括安裝在具有膜床(7)的膜托架(9)上的分離膜(11);--在測量操作期間待測壓力(Pm)作用于分離膜的外表面，該待測壓力被通過所述分離膜(11)和所述壓力傳遞液體(17)而傳遞到所述壓力測量腔(1)中；其中-所述分離膜(11)的形狀對應(yīng)于所述膜床(7)的形狀，該分離膜的形狀是這樣實(shí)現(xiàn)的—將平面的分離膜坯(lla)焊接到所述膜托架(9)上；--用潤滑劑填充由焊接的分離膜坯(lla)和所述膜托架(9)封閉的壓力接收腔(13);-在所述膜床(7)中壓印所述分離膜坯(lla);以及--在壓印之后，所述分離膜(11)相對于所述膜床(7)處于受所述潤滑劑影響的平衡位置。9.壓力測量變送器，包括-設(shè)置在壓力測量腔(1)中的壓力傳感器(3);和-壓力傳遞裝置(5)，其連接在所述壓力測量腔(1)之前并且被壓力傳遞液體(17)填充，該壓力傳遞裝置包括安裝在具有膜床(7)的膜托架(9)上的分離膜(11);--在測量操作期間待測壓力(Pm)作用于分離膜的外表面，該待測壓力被通過所述分離膜(11)和所述壓力傳遞液體(17)而傳遞到所述壓力測量腔(1)中；其中-所述分離膜(11)的形狀對應(yīng)于所述膜床(7)的形狀，該分離膜的形狀是這樣實(shí)現(xiàn)的-將平面的分離膜坯(lla)焊接到所述膜托架(9)上；-用潤滑劑填充由焊接的分離膜坯(lla)和所述膜托架(9)封閉的壓力接收腔(13);--在所述膜床(7)中壓印所述分離膜坯(lla);以及--在平衡狀態(tài)中，在所述膜床(7)和所述分離膜(11)之間存在間距，該間距通過使用所述潤滑劑而減小。全文摘要一種用于壓印壓力傳遞裝置(5)的分離膜(11)的方法，該壓力傳遞裝置包括具有膜床(7)的膜托架(9)。利用該方法，可以最佳地形成與膜床(7)的形狀匹配的分離膜(11)。該方法包括以下步驟將平面的分離膜坯(11a)焊接到膜托架(9)上；用潤滑劑填充由焊接的分離膜坯(11a)和膜托架(9)封閉的壓力接收腔(13)；通過將分離膜坯(11a)壓向膜床(7)而同時潤滑劑存在于壓力接收腔(13)內(nèi)，由分離膜坯(11a)制造分離膜(11)。文檔編號G01L7/02GK101558288SQ200780044398公開日2009年10月14日申請日期2007年11月27日優(yōu)先權(quán)日2006年11月29日發(fā)明者伊戈爾·格特曼,哈里·諾塔克爾,沃爾夫?qū)さず罓柹暾埲?恩德萊斯和豪瑟爾兩合公司