專利名稱：衰減全反射探頭及設(shè)有該探頭的分光計的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及遠紫外區(qū)中的光諳分析。
背景技術(shù)：
近來，越來逸多地需要測定水溶液中的水的純度或特性的甚小變 化而不改變水質(zhì)。例如，在制作半導(dǎo)體器件的過程中，要求水溶液具 有與接近理論極限的等級上的水的電阻率對應(yīng)的高純度。近來還使用 對于從晶圓表面去除雜質(zhì)具有特效的自由基水。
在水或者其中的可溶成分的定性和定量分析中，光譜分析以各種 方式成為極有力的工具。根據(jù)要測定的波長區(qū)，光譜分析技術(shù)主要分 為紫外和可見光譜學(xué)、近紅外光譜學(xué)和紅外光譜學(xué)。
尤其是在紅外光譜學(xué)中，在800 - 1400 nm區(qū)域中顯著觀測到由于 水特有的氫鍵引起的吸收光譜。例如，日本專利"特開 H03-175341/1991"提出用光語學(xué)來測定溶質(zhì)成分。氫鍵在水中的水分 子之間形成，以及氬4泉的狀態(tài)由于溶解到水中的溶質(zhì)而非常靈敏地改 變。通過研究光語的變化，可定量分析4皮溶解的成分。具體來說，當(dāng) 無機電解質(zhì)在水溶液中離解為離子時，水分子本身的4建合態(tài)或水合離 子附近的水分子與體相水(bulkwater)之間的氬4定，因氪鍵的斷開或 變形而受到影響。于是，水溶液的近紅外光譜變成與純水不同。通過 使用預(yù)定的校準曲線，離子物種(ion species)的濃度可從水的吸收光 譜而不是從離子種的吸收光譜定量地測定。
近來提出測^遠紫外光譜，以確定水溶液中的水合物質(zhì)的濃度(曰 本專利"特開2005-214863"以及Applied Spectroscopy(應(yīng)用光譜 學(xué))Vo1.58, No.8(2004)910-916)。這基于以下事實水的遠紫外光譜與水中的氫鍵的狀態(tài)密切相關(guān)，與上述近紅外光譜相似。水的吸收光譜
因n-c/躍遷而具有波長150nm附近的峰值，以及峰值因水分子本身和 水合離子所產(chǎn)生的電場的作用而向長的波長偏移。因此，吸收光譜的 一部分偏移到可釆用常規(guī)光譜裝置(不需要真空系統(tǒng)或氮氣吹掃的光 譜裝置)來測定的波長區(qū)。通過測定遠紫外光譜，可定性分析水溶液， 并可定時地測定甚小濃度的溶質(zhì)。采用水的遠紫外光譜的這種分析遠 比采用近紅外光譜在定性和定量上更靈敏。但是，由于水本身的吸光 率在遠紫外區(qū)非常大，因此，可能僅在比對應(yīng)于透射光譜的下限的比 180 nm長的波長區(qū)中測定光譜。
在此說明衰減全反射(ATR)光譜測定法，在本發(fā)明中該方法用于 測定具有甚大吸收的材料的吸收光譜。采用衰減全反射光譜法可測定 樣品中的吸收，由于以從光探頭的表面?zhèn)鞑サ墓鉂B透到波長量級的樣 品中(衰減波(evanescentwave))，在4罙頭處光線^皮全反射。所得吸收 光譜在理論上與'用波長量級的樣品盒長度測定的相似。在日本專利"特 開S62-75230/1987"中提出用ATR探頭測定濃'溶液。合成石英或藍寶 石用作制作光探頭的辨料。例如在日本專利"特開H07-12716/1995，，中， 提出了增強衰減全反射光譜法本身的靈敏度的方案。
在水的近紅外區(qū)吸收光鐠中觀測到的吸收很弱，因為由于固有的 禁阻躍遷，不能測定水溶液中的溶質(zhì)的甚小濃度。于是，需要測定在 近紅外區(qū)中即使有明顯差異也無法測定的溶質(zhì)的甚小濃度。另 一方面， 水在150nm波長附近有大的吸收峰。通過檢測紫外區(qū)中吸收光譜的變 化，能夠以遠比近紅外光譜中高的靈敏度來定性和定量地測定水溶液 中的溶質(zhì)。但是，水的遠紫外光的吸收對于在遠紫外區(qū)中的水或水溶 液的光譜測定是一大障礙。如果除了水以外的某物質(zhì)在遠紫外區(qū)中強 吸收，則其吸收對于其光譜測定也是一大障礙。要注意，以上所述的 用于紅外和可見光區(qū)的現(xiàn)有技術(shù)的衰減全反射技術(shù)無法應(yīng)用于紫外
區(qū)，這是因為在遠紫外區(qū)透射率不夠大，或者光探頭無法在與樣品物 質(zhì)接觸的表面上引起全反射。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的一個目的是易于在等于或小于180 nm波長的遠紫外區(qū) 中測定光語。
一個實施例的衰減全反射探頭具有棱鏡和支架。由在遠紫外區(qū)中 透射光的光學(xué)材料構(gòu)成的棱鏡具有與樣品接觸的接觸面以及均不與樣 品接觸的入射面和出射面。該支架具有開口，并與開口附近的棱鏡氣 密連接。因此，支架最終將面向開口的接觸面暴露于樣品。棱鏡的接 觸面、入射面和出射面形成為使透過入射面的光線以大于臨界角的入 射角進入接觸面，由接觸面全反射的光從出射面射出。
一個實施例的分光計具有衰減全反射探頭。光源向衰減全反射探 頭輻射紫外光，光檢測器檢測從該衰減全反射探頭接收的光線。用于 色散紫外光的光學(xué)元件設(shè)在從光源到光檢測器的光學(xué)通路中。
本發(fā)明的一個優(yōu)點在于，對在遠紫外區(qū)中有大吸光率的物質(zhì)進行 光譜測定。


通過以下結(jié)合本發(fā)明的優(yōu)選實施例、參照附圖進行的描述，本發(fā)
明的這些目的及其它目;.的和特征將變得非常清楚。
圖l是一般衰減全反射探頭的結(jié)構(gòu)的示意圖； 圖2是光學(xué)探頭的平面圖,、正視圖和側(cè)視圖； 圖3是進入光學(xué)探頭的光線通路的簡圖4是遠紫外區(qū)中各種光學(xué)對料的折射率的波長^/人關(guān)系的曲線
圖5是用藍寶石制的光學(xué)探頭測定的、吸光率相對于溶質(zhì)濃度的 實驗數(shù)據(jù)的曲線圖6是用于釆用遠紫外光譜法測定甚少量溶質(zhì)的裝置的框圖；以
及
圖7是非水物質(zhì)的遠紫外光譜圖。
具體實施例方式
下面參照附圖來說明本發(fā)明的實施例，其中，類同的附圖標記在
若干^L圖中表示相似或相應(yīng)的部分。
由于近紅外區(qū)中水的吸收光鐠具有歸因于固有的禁阻躍遷的弱吸 收，因此，溶質(zhì)的甚小濃度不能用近紅外光譜學(xué)來測定。本發(fā)明人研 究了遠紫外光譜并且發(fā)現(xiàn)，純水在遠紫外區(qū)中的150nm波長附近具有 極高吸收峰，且水溶液中水合溶質(zhì)的甚小濃度可通過測定遠紫外光譜 的高吸收峰的斜度變化來確定。換言之，光譜在遠紫外區(qū)中從150nm 附近的吸收峰急劇減少到200nm附近的吸收底，且峰值位置和吸收譜 帶的帶寬甚至?xí)艿缴跎倭咳苜|(zhì)的水合作用影響。因此，可在吸收峰 的斜度上以極高靈敏度檢測到吸收峰的甚小波長偏移，并且這可用來 測定水溶液中的的甚十濃度。這在日本專利"特開2005-214863，，中公 開。甚少量溶質(zhì)可通過采用在水的吸收峰斜度上的多個波長處所測定 的吸光率的多元分析所確定的校準曲線來測定。例如，在日本專利"特 開2005-214863，，的圖1表示在百萬分之0與百萬分之20(ppm)(或者1、 2、 3、 4、 5、 6、 8、 10、 12、 16,20 ppm)之間的十一種濃度的氯化 氫(HC1)溶液的遠紫外光譜，其圖2表示用于預(yù)測HC1的濃度的校準才莫 型的相關(guān)性。相關(guān)系數(shù)R為0.9987，標準偏差是0.18ppm。已經(jīng)發(fā)現(xiàn)， 甚少量HC1能夠^至少達到100ppm的高準確度來測定。在測定實例 中，水溶液中的HC1的檢測極限為0.5 ppm。
在測定水和水溶液的上例中，在水的吸收譜帶的斜度上要測定的
、，
波長限于190至210 nm。這是由于難以測定比180 nm短的波長區(qū)中 的透射光譜。例如，由于具有150nm附近的峰值的吸收譜帶的吸光率 非常大，因此，光線沿其中透if樣品的樣品盒長度必須減少到大約數(shù) 百nm的量級。還需要去除吸收刑定環(huán)境中的紫外光的氧。另一方面， 為了以高靈敏度分析水溶液中的溶舉，需要測定160至180nm之間的 波長區(qū)中的吸收峰的斜度，其中吸4丈光譜的變化顯得更大，雖然吸收 很大。
為了測定遠紫外區(qū)中的吸收峰(150 nm)附近的水或水溶液的光鐠，樣品盒長度必須短至約100nm。本發(fā)明人注意到用于具有甚大吸 光率的材料的吸收光譜的光譜測定的衰減全反射(ATR)。日本專利"特 開2005-214863"所^^開的采用遠紫外光鐠測定水i容液中的、溶質(zhì)濃度 的方法中，溶質(zhì)濃度不是根據(jù)水的光譜、而是根據(jù)溶質(zhì)的吸收譜帶來 測定。另一方面，通過使用以下說明的衰減全反射光譜法的光學(xué)探頭 (以下稱作ATR探頭)以及設(shè)有該探頭的分光計，日本專利"特開 2005-214863"的上述分析可擴展到180至160 nm的波長區(qū)，以進行更 靈敏的測定。
這里說明衰減全反射光譜法。圖l表示由具有較高折射率的材料、 如合成石英(合成硅石)構(gòu)成的棱鏡、的上側(cè)與具有較低折射率的材料、 例如待測定樣品、如水之間的分界兩。當(dāng)光線從棱鏡的一側(cè)入射到分
界面時，如果入射角e大于臨界角，則它被全反射。雖然光線全反射， 但光線也以波長章級滲透到較低折射率的材料中。它沿分界面?zhèn)鞑ィ?并且此后^皮反射。滲透到較低折射率材料中的光線稱作衰減波。該衰 減波的電場在反射點為最高，并沿分界面在垂直于分界面的方向上急 劇衰減。圖i中，在垂直于分界面的方向上示意表示了衰減波的電場變化。衰減波的電場以l/e的比率衰減的距離稱作滲透深度。利用衰
減全反射，衰減波的吸收(在全反射上的波長量級的光線滲透)可作為 吸收光譜;波測定。由于光線的滲造深度對應(yīng)于傳統(tǒng)透射光譜測定中的 光路長度，因此，可在理論上獲得^具有波長量級的樣品盒長度的透
射光譜相似的吸收光鐠。因此，測定水的吸收光譜須滿足一個條件 樣品盒長度的量,等于或小于數(shù)百nm;并須滿足一個要求160與180 nm之間的波長區(qū)中的測定對于對水溶液中甚少量溶質(zhì)的分析是重要 的。這里建議用ATR《笨頭來測定160至180 nm之間的波長區(qū)中的反
射/吸收光譜。
應(yīng)滿足以下兩個條件。
(A) 全反射條件光學(xué)探頭.、的材料的折射率大于樣品的折射率。
(B) 透射條件光學(xué)探頭的材料是透明的。然而，水的折射率隨著遠紫外區(qū)中波長的減小而顯著增加(參見圖
4)，并且現(xiàn)在沒有可用材料滿足ATR探頭的兩個條件。例如，諸如具 有大于水的折射率的石英或藍寶名之類的材料在160 nm附近沒有足 夠的透射，而諸如透射波長區(qū)中的遠紫外光的氟化鎂或氟化鈣之類的 材料的折射率小于水而不滿足全反射條件。因此，現(xiàn)有技術(shù)的光學(xué)探 頭僅可用于200 nm以上或之多190 nm以上的波長區(qū)。換言之，可用 于短至峰值波長150 nm附近的光學(xué)探頭尚未見報導(dǎo)。
本發(fā)明人提出單居結(jié)構(gòu)的ATR探頭。但是，在說明單層探頭之前， 這里先討論一下多層ATR探頭。本發(fā)明人針對上述的關(guān)于全反射和透 射的兩個條件研究了多層ATR探頭。在多層ATR中，光線從滿足透 射條件的第 一光學(xué)材料傳播到滿足全反射條件的第二光學(xué)材料。然后， 它由第二光學(xué)材料與樣品之間的分界面反射。對于光線的衰減全反射 測定，如石英或藍寶石等在遠紫外區(qū)中具有高于水的折射率的第二光 學(xué)材料，在160nm附近沒有足夠的透射，但如果光學(xué)材料中的光路長 度縮短，則透射光保持，則反射/透射光譜可被測定。例如，在遠紫外 區(qū)中具有高透射率的合成石英或藍寶石的遠紫外區(qū)中的內(nèi)部透射率 (不考慮反射損耗的材,本身的透射率)，對于1 mm長度在160 nm附 近等于或高于50%。在垂直型三層結(jié)構(gòu)中，其第二即中央部分由較高 折射率和較低透射率的材料構(gòu)成，在笫二部分兩側(cè)的第一部分由具有
較低折射率和較高透射率的材料構(gòu)成。已經(jīng)發(fā)現(xiàn)，第二部分中的光學(xué) 長度可減少到具有等于或小于1 ipm的值。如果第二部分的材料是在 遠紫外區(qū)中較高透射率的石英或藍寶石，光學(xué)長度足夠短或者小于5 mm,即使它大于1 mm，其內(nèi)部透射率在160nm附近保持為10%或以 上。因此，將多層ATR探頭用于ATR探頭。據(jù)認為可實現(xiàn)這樣一種 多層ATR探頭，但本發(fā)明人提出 一種不同類型的ATR探頭即單層結(jié) 構(gòu)的ATR探頭，如下.^所述。
圖2和圖3說明基于此概念的一個實施例的光學(xué)探頭。光學(xué)探頭 具有矩形支承板10，其中有用以達到接近樣品物質(zhì)的開口 12以及由 具有較高折射率的材料構(gòu)成的矩形板14。矩形板10與矩形板14粘合，
9同時氣密地密封開口 J2。開口 12的形狀不限于圓形，也可為例如矩 形。較高折射率的平板14覆蓋支承板10的整個開口 12。較高折射率 的平板14與支承板10之向的接觸區(qū)以光接觸或熱熔合方式粘合。最 好不使用粘合劑，因為容易使雜質(zhì)進入樣品如水中，或者會有樣品填 充形成于粘合層中的空隙。支承板10用來支承其一側(cè)的較高折射率的 平板14，并與樣品物質(zhì)如水接觸。較高折射率的平板14與開口 12中 的平坦接觸面16上的樣品物質(zhì)接觸。較高折射率的平板14在接觸面 16的兩側(cè)具有彼此相對的入射面18和出射面20。這兩個面18和20 不與樣品物質(zhì)接觸。這兩個面18和20是平坦的，且它們相對于接觸 面16的角度設(shè)為大于全反射的臨界角。較高折射率的平板14的高度 或厚度根據(jù)入射角及開口 12或接觸面16的位置及大小來確定。圖3 中，平行線表示入光和出光.。！如圖3所示，垂直進入入射面18的紫外 光在接觸面16上被全反射，并垂直進入及透過出射面20。除了滿足 關(guān)于入射面18、出射面20和接觸面16的上述幾何條件之外，較高折 射率的平板14可具有任何形狀，或者可能不必一定是平板。因此，它 一般可稱為作為具有平坦表面的透明光學(xué)元件的棱鏡。支承板10可不 一定是平板，它一般可稱作支架，用以實現(xiàn)開口并形成與棱鏡的氣密 接合。
較高折射率的平板14的光學(xué)材料在下至160 nm附近的遠紫外區(qū) 中具有高于樣品如水的折射率(全反射條件)。光學(xué)材料例如可為合成 石英(Si0。、石英或藍寶石。(圖4說明諸如藍寶石、合成石英(Si02)或 石英、水和氟化鎂之類的各種材料的折射率的波長^/人關(guān)系，其中， 實線表示近似的函數(shù)曲線)。另一方面，在光學(xué)探頭中，支承板10不 透射光線，因為它相對較高折射率的平板14設(shè)置在樣品側(cè)面。因此， 支承板10不需要具有在遠紫外區(qū)的透射特性。僅需要與較高折射率的 平板14的良好粘合。用于支承板10的最理想材料與較高折射率的平 板14的材料相同，^f旦不限于此。
在一例中，支承板10的厚度和較高折射率的平板14的厚度均為 1 mm。支承板10的開口 12的直徑為2.0 mm。較高折射率的平板14的大小為5.0 mmx4.0 mm。入哥回15我出射面20(或者較高折射率的 平板14的側(cè)平面)與接觸面16之間的角度為IIO度。在此例中，通過 較高折射率的平板14的光學(xué)材料的光路約為3.8 mm。
在上述光學(xué)探頭+.,如果與樣品物質(zhì)接觸的較高折射率的平板14 的光學(xué)材料是在遠紫外區(qū)具有較高透射率的合成石英，則160nm波長 的遠紫外光的透射率在與樣品的分界面上成為約70%，并且在透過較 高折射率的平板14之后變成大約50%。如果較高折射率的平板14由 藍寶石構(gòu)成，則在150 nm的紫外光從藍寶石射出之后透射率約為 20%。在上述4笨頭中，如果光學(xué)材料中的光路長度足夠短至5mm或以 下，則內(nèi)部透射，在160nm附近大約為10%或以上。于是，該探頭可 用作ATR探頭。
一般來說，在滿足全反射條件的較高折射率的平板14中，通過接 觸面16從入射面18到出射面20的光路長度設(shè)置為對于160 mn波長 具有等于或大于10%、理想地等于或大于20%、更理想地等于或大于 50%的透射率。要注意，在16Pnm附近與水的分界面上的反射率大約 為10%，這取決于平板14的折射率以及進入光線的入射角?？紤]到剩 余光線強度成為小于進入光線的百分之一時的裝置穩(wěn)定性， 一般的分
上所述，透過光學(xué)材料的光線的內(nèi)部透射率要求等于或大于10%。
下面說明一例用ATR探頭得到的測定數(shù)據(jù)。圖5說明用具有由藍 寶石構(gòu)成的較高折射率的平板14的光學(xué)探頭測定的溶質(zhì)(碘化鈉Nal) 的不同濃度的水溶液的吸光率波長^^人關(guān)系。入射角設(shè)為60°。在195 nm附近觀察到因Nal引起的吸收峰。隨著溶質(zhì)濃度的增加，因Nal 引起的吸收峰升高，同時水的吸收峰在小于180nm的波長區(qū)中偏移到 較長波長。偏移的定量分析使得能夠比因Nal引起的吸收峰更靈敏地 分析溶質(zhì)濃度。
圖6表示將上述光學(xué)探頭即ATR探頭用于160與210 nm之間的 波長區(qū)的測定的遠紫外分光計。該分光計可用來測定水溶液卞的甚小 溶質(zhì)濃度。ATR探頭102設(shè)置成與樣品通路100中的樣品物質(zhì)18接觸?；蛘?，樣品物質(zhì)被導(dǎo)入樣品盒，且光學(xué)探頭設(shè)置成面對樣品盒中 的樣品物質(zhì)?；蛘撸徊捎脴悠泛?，將通過其中加入樣品物質(zhì)的管壁用作探頭。紫外光源104、如氘核燈》欠射光，光經(jīng)由作為單色鏡的光 柵鏡106由反光鏡108反射，進入光學(xué)探頭102。可用另 一光柵鏡106 之外的光學(xué)元件將光路中來自光源的的紫外光色散到光檢測器。光線 對光學(xué)探頭102的入射角被適當(dāng)設(shè)置。從光學(xué)探頭101反射的光線由 反光鏡110反射，并進入紫外光探測器112。在以上說明的光學(xué)系統(tǒng) 中，加入氮氣以從分光計的光學(xué)系統(tǒng)中吹掃氧氣?；蛘?，可用氬氣來 吹掃氧。因此，光路中的氧氣可被不吸收紫外光的氣體取代?；蛘?， 光學(xué)系統(tǒng)可抽成真空。采用紫外光探測器112檢測的光譜由數(shù)據(jù)處理 器114進行處理，其中，根據(jù)所測定數(shù)據(jù)中計算吸光率。對于多個波 長處的吸光率，用公知的多元分析來確定校準曲線。為了測定160nm 處的水光譜，現(xiàn)有技術(shù)的分光計中需要大約100nm的樣品盒長度。在 本實施例中，通過采用ATR探頭，實質(zhì)上實現(xiàn)極短的樣品盒長度，并 且可測定160nm附近的水的吸收峰。此外，測定可實時執(zhí)行。由于紫 外光僅滲透到樣品中極短的距離，所以整個樣品實質(zhì)上沒有暴露于紫 外光。本領(lǐng)域技術(shù)人員會理解，除了水之外，上迷光學(xué)探頭還可用來測 定在遠紫外區(qū)中具有大吸光率的液體、氣體或固體樣品。例如，可測 定諸如異丙醇之類的液體或者諸如氧之類的氣體。圖7說明各例用由 藍寶石制成的較高折射率的平板14側(cè)定的遠紫外區(qū)中的甲醇、乙醇和 異丙醇的光i普。如上所述，在遠紫外區(qū)可對具有大吸光率的物質(zhì)采用光譜法。因 此，水溶液等中的甚少量溶質(zhì)容易凈皮高靈敏度地測定，或者定量地測 定。雖然已經(jīng)參照附圖、結(jié)合本發(fā)明的優(yōu)選實施例全面描述了本發(fā)明， 但要指出，對于本領(lǐng)域技術(shù)人員而言，顯然存在各種變更和修改。這 類變更和修改應(yīng)包含在如權(quán)利要求書規(guī)定的本發(fā)明的范風(fēng)內(nèi),除非它 們背離了所述范圍。
權(quán)利要求
1.一種衰減全反射探頭，包括棱鏡，由在遠紫外區(qū)中透射光的光學(xué)材料制成，包括與樣品接觸的接觸面以及均不與樣品接觸的入射面和出射面；以及支架，具有開口，在所述開口周圍與棱鏡氣密地接合，所述支架最終使朝向所述開口的所述接觸面露出，其中，所述棱鏡的接觸面、入射面和出射面形成為使得透過所述入射面的光以大于臨界角的入射角進入所述接觸面，并且由所述接觸面全反射的光通過所述出射面射出。
2. 如權(quán)利要求1所述的衰減全反射探頭，其特征在于，從所述入 射面通過所述接觸面到所述出射面的光路長度，對于入射到所述入射 面上的160nm波長的光線具有等于或大于10%的內(nèi)部透射率。
3. 如權(quán)利要求1或2所述的衰減全反射探頭，其特征在于，所述 棱鏡的光學(xué)材料是合成石英、石英和藍寶石之一。
4. 如權(quán)利要求1或2所述的衰減全反射探頭，其特征在于，所述 棱鏡的光學(xué)材料是合成石英，且所述支架由合成石英制成。
5. 如權(quán)利要求1或2所述的衰減全反射探頭，其特征在于，所述 棱鏡的光學(xué)材料是藍寶石，且所述支架由藍寶石制成。
6. —種分光計，包括衰減全反射探頭，其中設(shè)有棱4fe，由在遠紫外區(qū)中透射光的光 學(xué)材料制成，包括與樣品接觸的接觸面以及均不與樣品接觸的入射面 和出射面；以及支架，具有開口，在所述開口周圍與所述棱鏡氣密地接合，所述支架最終使朝向所述開口的所述接觸面露出，其中，所述 棱鏡的接觸面、入射面和,出射面形成為使得透過所述入射面的光以大 于臨界角的入射角進入所述接觸面，并且由所述接觸面全反射的光通過所述出射面射出；光源，向所述衰減全反射探頭輻射紫外光；光檢測器，檢測從所述衰減全反射探頭接收的全反射光；以及光學(xué)元件，用于色散/人所述光源到所述光^^測器的光路中的紫外光。
全文摘要
一種具有棱鏡和支架的衰減全反射探頭。所述棱鏡由在遠紫外區(qū)透射光的光學(xué)材料制成，具有與樣品接觸的接觸面以及均不與樣品接觸的入射面和出射面。所述支架具有開口，在所述開口周圍與棱鏡氣密地接合，并且最終使朝向開口的接觸面露出。所述棱鏡的接觸面、入射面和出射面形成為使得透過入射面的光線以大于臨界角的入射角進入接觸面，且由接觸面全反射的光通過出射面射出。
文檔編號G01N21/33GK101261216SQ20081008531
公開日2008年9月10日 申請日期2008年3月7日 優(yōu)先權(quán)日2007年3月8日
發(fā)明者升 東, 尾崎幸洋, 池羽田晶文 申請人:倉敷紡績株式會社