專利名稱:光學(xué)式測定裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域:
本發(fā)明涉及使放置在載物臺上的測定對象物的光學(xué)圖像在屏幕上成像 的光學(xué)式測定裝置。
背景技術(shù):
向放置在載物臺上的測定對象物照射照明光,使來自該測定對象物的 透射光或反射光在屏幕上擴(kuò)大成像,根據(jù)該屏幕上被擴(kuò)大成像的光學(xué)圖像 來測定測定對象物的尺寸和形狀等的投影機(jī)等光學(xué)式測定裝置被知曉。
例如載物臺具備雙軸線性編碼器等的投影機(jī),使在屏幕上成像的測定 對象物的光學(xué)圖像測定對象部(例如邊緣部)與屏幕上的基準(zhǔn)點(diǎn)對準(zhǔn),通 過讀取這時載物臺的平面坐標(biāo)就能測定測定對象物的尺寸和形狀。
這種光學(xué)式測定裝置在想記錄光學(xué)圖像時, 一般是采用通過銀鹽式照 相機(jī)和數(shù)碼相機(jī)等攝影裝置把成像有光學(xué)圖像的屏幕原封不動地進(jìn)行攝影 的方法。
文獻(xiàn)1 (特開平5-264216號公報(bào))公開了通過設(shè)置在屏幕內(nèi)側(cè)的專用 照相攝影裝置而能攝影光學(xué)圖像一部分的投影機(jī)。
但使用相機(jī)等攝影裝置的方法有可能隨攝影裝置的機(jī)器種類、照明和 攝影方法等條件和攝影者的不同而產(chǎn)生記錄圖像的差異。需要攝影時,在 光學(xué)式測定裝置之外還需要準(zhǔn)備相機(jī)等攝影裝置,有可能使操作變煩雜。
上述文獻(xiàn)1記載的投影機(jī)需要在屏幕的內(nèi)側(cè)設(shè)置專用的照相攝影裝置, 在攝影時不能辨認(rèn)光學(xué)圖像整體。因此,難于同時實(shí)施攝影和測定。
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的主要目的在于提供一種不準(zhǔn)備另外的攝影裝置就能在測定的 同時記錄光學(xué)圖像的光學(xué)式測定裝置。
本發(fā)明的光學(xué)式測定裝置具備屏幕、能移動的載物臺、把光向所述 載物臺上放置的測定對象物照射的照明機(jī)構(gòu)、檢測所述載物臺移動量的檢測機(jī)構(gòu)、把放置在所述載物臺上的測定對象物的光學(xué)圖像在所述屏幕上成 像的第 一 成像機(jī)構(gòu)和第二成像機(jī)構(gòu)、利用所述第 一成像機(jī)構(gòu)和所述第二成 像機(jī)構(gòu)的任一個把所述光學(xué)圖像在所述屏幕上成像進(jìn)行切換的切換機(jī)構(gòu)、
記錄所述光學(xué)圖像的記錄機(jī)構(gòu),其中,所述第一成像機(jī)構(gòu)具備對所述光
學(xué)圖像進(jìn)行攝像的攝像機(jī)構(gòu)、把所述攝像機(jī)構(gòu)攝像的所述光學(xué)圖像作為數(shù) 字形式的圖像數(shù)據(jù)輸出的輸出機(jī)構(gòu)、根據(jù)所述輸出機(jī)構(gòu)輸出的所述圖像數(shù) 據(jù)把所述光學(xué)圖像向所述屏幕進(jìn)行投影的投影機(jī)構(gòu),所述第二成像機(jī)構(gòu)具
備把被所述照明機(jī)構(gòu)照射并被所述測定對象物反射或透射所述測定對象 物的光向所述屏幕投影的投影透鏡,所述記錄機(jī)構(gòu)記錄所述第一成像機(jī)構(gòu) 的所述輸出機(jī)構(gòu)輸出的所述圖像數(shù)據(jù)。
根據(jù)本發(fā)明,輸出機(jī)構(gòu)把第一成像機(jī)構(gòu)的攝像機(jī)構(gòu)所攝像的測定對象 物的光學(xué)圖像作為數(shù)字形式的圖像數(shù)據(jù)進(jìn)行輸出。投影機(jī)構(gòu)根據(jù)該圖像數(shù) 據(jù)而把光學(xué)圖像向屏幕投影,記錄機(jī)構(gòu)記錄圖像數(shù)據(jù)。
在此,只要圖像數(shù)據(jù)被記錄,就能從圖像數(shù)據(jù)得到測定對象物的光學(xué) 圖像。即也可以說記錄機(jī)構(gòu)達(dá)成光學(xué)圖像的記錄。
由于圖像數(shù)據(jù)的記錄是由光學(xué)式測定裝置設(shè)置的記錄機(jī)構(gòu)來實(shí)施,所 以不需要另外準(zhǔn)備攝影裝置或把照相攝影裝置附加在光學(xué)式測定裝置上。 因此,由攝影條件和攝影者的不同而在記錄的光學(xué)圖像上產(chǎn)生差異的可能 性低。由于不像上述文獻(xiàn)1那樣需要在屏幕的內(nèi)側(cè)設(shè)置專用的照相攝影裝 置,所以不會被照相攝影裝置妨礙投影機(jī)構(gòu)的投影而不能確認(rèn)光學(xué)圖像的 整體。
因此,本發(fā)明的光學(xué)式測定裝置能不準(zhǔn)備另外的攝影裝置地在測定的 同時來記錄光學(xué)圖像。
在此,具備屏幕和第一成像機(jī)構(gòu)的本發(fā)明光學(xué)式測定裝置,具有通過 與現(xiàn)有所謂的投影機(jī)進(jìn)行同樣的操作就能進(jìn)行測定的優(yōu)點(diǎn)。
根據(jù)本發(fā)明,通過使用切換機(jī)構(gòu)選擇的第一成像機(jī)構(gòu)和第二成像機(jī)構(gòu) 的任一個就能把光學(xué)圖像在屏幕上成像。
在此,第二成像機(jī)構(gòu)具備把來自測定對象物的光向屏幕投影的投影透 鏡,具有與現(xiàn)有所謂的投影機(jī)設(shè)置的光學(xué)系統(tǒng)同樣的結(jié)構(gòu)。因此,在使用 第二成像機(jī)構(gòu)實(shí)施測定時,以與現(xiàn)有投影機(jī)同樣的操作就能測定被測定物 的尺寸和形狀等。在使用第二成像機(jī)構(gòu)的測定中當(dāng)需要記錄光學(xué)圖像時,使用切換機(jī)構(gòu) 就能簡單地切換成第一成像機(jī)構(gòu),能記錄光學(xué)圖像。
在使用第一成像機(jī)構(gòu)時,由于是把光學(xué)圖像切換成圖像數(shù)據(jù)輸出,把 輸出的圖像數(shù)據(jù)再返回到光學(xué)圖像進(jìn)行顯示,所以有把色調(diào)、亮度等微妙 的不同等失去的情況,但第二成像機(jī)構(gòu)不進(jìn)行光學(xué)圖像的切換,所以有能 把色調(diào)、亮度等微妙的不同原封不動進(jìn)行顯示的優(yōu)點(diǎn)。
本發(fā)明的所述投影機(jī)構(gòu)優(yōu)選具備根據(jù)所述圖像數(shù)據(jù)把所述光學(xué)圖像
進(jìn)行顯示的液晶板和向所述液晶板照射光的光源,利用從所述光源照射并 被所述液晶板反射或透射所述液晶板的光把所述光學(xué)圖像向所述屏幕投影。
根據(jù)這種結(jié)構(gòu),投影機(jī)構(gòu)利用從光源照射并被液晶板反射或透射液晶 板的光把測定對象物的光學(xué)圖像向所述屏幕投影。
一般來說,液晶板在能進(jìn)行高精細(xì)顯示的基礎(chǔ)上小型且消耗電力小。
本發(fā)明的光學(xué)式測定裝置中,投影機(jī)構(gòu)由于使用這種液晶板,所以能 把高精細(xì)的光學(xué)圖像向屏幕投影,能謀求裝置結(jié)構(gòu)的簡單化和省電力化。
本發(fā)明的光學(xué)式測定裝置優(yōu)選具備計(jì)算所述測定對象物的測定對象部 位置信息的演算部,所述演算部根據(jù)所述圖像數(shù)據(jù)和所述檢測機(jī)構(gòu)檢測出 的所述載物臺的移動量來計(jì)算所述測定對象部的位置信息。
根據(jù)這種結(jié)構(gòu),演算部根據(jù)圖像數(shù)據(jù)和檢測機(jī)構(gòu)檢測出的載物臺的移 動量來計(jì)算測定對象部的位置信息。能從多個測定對象部的位置信息中求 出測定對象物的尺寸和形狀等。
在此,例如演算部只要把邊緣部等測定對象部作為特定的結(jié)構(gòu),則能 防止由操作者的感覺不同而引起的測定誤差,能實(shí)施正確的測定。
圖像數(shù)據(jù)中也可以包含過去的記錄,演算部根據(jù)過去記錄的圖像數(shù)據(jù) 來計(jì)算其過去圖像數(shù)據(jù)中所包含的測定對象部的位置信息。
本發(fā)明優(yōu)選具備制作顯示有關(guān)測定信息的信息圖像的信息圖像制作 部,所述輸出機(jī)構(gòu)把所述信息圖像制作部制作的信息圖像與所述攝像機(jī)構(gòu) 攝像的所述光學(xué)圖像組合而作為數(shù)字形式的圖像數(shù)據(jù)來輸出。
根據(jù)這種結(jié)構(gòu),信息圖像制作部制作顯示有關(guān)測定信息的信息圖像, 輸出機(jī)構(gòu)把信息圖像與光學(xué)圖像組合而作為數(shù)字形式的圖像數(shù)據(jù)來輸出。 第 一 成像機(jī)構(gòu)把信息圖像和光學(xué)圖像在屏幕上成像。因此,操作者能 一 邊通過被屏幕成像的信息圖像來確認(rèn)有關(guān)測定的信 息, 一邊實(shí)施測定對象物的尺寸和形狀等的測定。
作為有關(guān)測定的信息,例如能舉出標(biāo)準(zhǔn)的形狀圖形、操作者定做的 形狀圖形、另外把這些圖形與實(shí)際測定的形狀進(jìn)行公差判斷等。
作為把信息,像與光學(xué)圖像組合的方法,例如能舉出把顯示標(biāo)準(zhǔn)形 狀圖形的圖線作為疊加圖而重疊寫在光學(xué)圖像的方法。
本發(fā)明的光學(xué)式測定裝置優(yōu)選具備設(shè)置在從所述第二成像機(jī)構(gòu)的所 述投影透鏡朝向所述屏幕的光路上的半透半反鏡,所述第一成像機(jī)構(gòu)利用 被所述半透半反鏡反射或透射所述半透半反鏡的光把所述光學(xué)圖像在所述 屏幕上成像,所述第二成像機(jī)構(gòu)利用透射所述半透半反鏡或被所述半透半 反鏡反射的光把所述光學(xué)圖像在所述屏幕上成像,所述切換機(jī)構(gòu)具備根 據(jù)從所述第 一 成像機(jī)構(gòu)和所述第二成像機(jī)構(gòu)中選擇的任 一 個成像機(jī)構(gòu)而停 止向所述半透半反鏡進(jìn)行光照射的停止機(jī)構(gòu)。
根據(jù)這種結(jié)構(gòu),第一成像機(jī)構(gòu)和第二成像機(jī)構(gòu)中的一個利用透射半透 半反鏡的光把光學(xué)圖像向屏幕上投影,另一個利用被半透半反鏡反射的光 把光學(xué)圖像向屏幕上投影。且停止機(jī)構(gòu)根據(jù)從第一成像機(jī)構(gòu)和第二成像機(jī) 構(gòu)中選擇的任一個成像機(jī)構(gòu)而停止向半透半反鏡進(jìn)行光照射。
因此,利用第 一成像機(jī)構(gòu)和第二成像機(jī)構(gòu)的任一個能使光學(xué)圖像在屏 幕上成像。
即,本發(fā)明的光學(xué)式測定裝置通過是使用半透半反鏡和停止機(jī)構(gòu)的簡 單機(jī)構(gòu)就能實(shí)現(xiàn)第 一 成像機(jī)構(gòu)與第二成像機(jī)構(gòu)的切換。
本發(fā)明中所述第 一成像機(jī)構(gòu)的所述投影機(jī)構(gòu)被設(shè)置在從所述第二成像 機(jī)構(gòu)的所述投影透鏡朝向所述屏幕的光路上偏離的待機(jī)位置,所述切換機(jī) 構(gòu)具備使所述投影機(jī)構(gòu)在所述待機(jī)位置與光能夠向所述屏幕照射的投影 位置之間移動的移動機(jī)構(gòu)、停止從所述第二成像機(jī)構(gòu)向所述屏幕進(jìn)行光照 射的停止機(jī)構(gòu),優(yōu)選在所述投影機(jī)構(gòu)位于所述投影位置時,所述停止機(jī)構(gòu) 停止從所述第二成像機(jī)構(gòu)向所述屏幕進(jìn)行光照射。
根據(jù)這種結(jié)構(gòu),移動機(jī)構(gòu)使投影機(jī)構(gòu)在待機(jī)位置與投影位置之間移動, 在投影機(jī)構(gòu)位于投影位置時,停止機(jī)構(gòu)停止從第二成像機(jī)構(gòu)向屏幕進(jìn)行光 照射。
因此,在投影機(jī)構(gòu)位于待機(jī)位置時,通過第二成像機(jī)構(gòu)把光學(xué)圖像在屏幕上成像,在投影機(jī)構(gòu)位于投影位置時,通過第一成像機(jī)構(gòu)來進(jìn)行光學(xué) 圖像的成像。
因此,利用第 一成像機(jī)構(gòu)和第二成像機(jī)構(gòu)的任一個能使光學(xué)圖像在屏 幕上成像。
即本發(fā)明的光學(xué)式測定裝置通過是使用移動機(jī)構(gòu)和停止機(jī)構(gòu)的簡單機(jī) 構(gòu)就能實(shí)現(xiàn)第 一成像機(jī)構(gòu)與第二成像機(jī)構(gòu)的切換。
圖1是本發(fā)明第一實(shí)施例光學(xué)式測定裝置的立體圖2是表示上述第一實(shí)施例光學(xué)式測定裝置的第一成像機(jī)構(gòu)、第二成
像機(jī)構(gòu)和切換機(jī)構(gòu)概略結(jié)構(gòu)的圖3是表示上述第一實(shí)施例光學(xué)式測定裝置的第一成像機(jī)構(gòu)和操作終
端概略結(jié)構(gòu)的圖4是表示本發(fā)明第二實(shí)施例光學(xué)式測定裝置的第一成像機(jī)構(gòu)、第二 成像機(jī)構(gòu)和切換機(jī)構(gòu)概略結(jié)構(gòu)的圖5是表示上述第二實(shí)施例光學(xué)式測定裝置的第一成像機(jī)構(gòu)、第二成 像機(jī)構(gòu)和切換機(jī)構(gòu)概略結(jié)構(gòu)的圖6是本發(fā)明實(shí)施例的變形例光學(xué)式測定裝置的概略正面圖。
具體實(shí)施例方式
以下根據(jù)
本發(fā)明光學(xué)式測定裝置的實(shí)施例。 [第一實(shí)施例]
圖1是本實(shí)施例光學(xué)式測定裝置1的立體圖。
如圖l所示,光學(xué)式測定裝置l包括本體IO、屏幕ll、放置測定對 象物的載物臺12、向測定對象物照射光的照明機(jī)構(gòu)18、檢測載物臺12移 動量的檢測機(jī)構(gòu)121、使測定對象物的光學(xué)圖像向屏幕11成像的第一成像 機(jī)構(gòu)13和第二成像機(jī)構(gòu)14、把由第一成像機(jī)構(gòu)13和第二成像機(jī)構(gòu)14的任 一個來使光學(xué)圖像在屏幕11上成像進(jìn)行切換的切換機(jī)構(gòu)15和具有記錄光 學(xué)圖像的記錄機(jī)構(gòu)171的操作終端17。
本體10包括具有載物臺12的基部101、設(shè)置在基部101上面一端部的主體部102和:&置在主體部102正面上部的頭部103。
屏幕11具備設(shè)置在本體10的頭部103前面且在通過眼看進(jìn)行測定 時成為基準(zhǔn)線的十字線111。
十字線111是位于圓形屏幕11中心的正交的兩根直線。
載物臺12被設(shè)置成在本體IO的基部101的上面能向相互正交的X、Y、 Z方向移動,作為檢測載物臺12向各個方向移動量的4企測機(jī)構(gòu)121內(nèi)設(shè)有 三個線性編碼器121A、 121B、 121C。
圖1中前后方向與Y方向?qū)?yīng)、左右方向與X方向?qū)?yīng)、上下方向與 Z方向?qū)?yīng)。屏幕11上左右方向與X方向?qū)?yīng)、上下方向與Y方向?qū)?yīng)。
圖2表示第一成像機(jī)構(gòu)13、第二成像機(jī)構(gòu)14、切換機(jī)構(gòu)15和照明機(jī) 構(gòu)18的概略結(jié)構(gòu)。圖2中省略了載物臺12等結(jié)構(gòu)的表示。
如圖2所示,第一成像機(jī)構(gòu)13包括對測定對象物的光學(xué)圖像進(jìn)行攝 像的攝像機(jī)構(gòu)131、把攝像機(jī)構(gòu)131攝像的光學(xué)圖像作為數(shù)字形式的圖像數(shù) 據(jù)輸出的輸出機(jī)構(gòu)132、根據(jù)輸出機(jī)構(gòu)132輸出的圖像數(shù)據(jù)把光學(xué)圖像向屏 幕11投影的投影機(jī)構(gòu)133。
攝像機(jī)構(gòu)131是設(shè)置在本體10的頭部103下面的照相機(jī)部131A,具 有攝像透鏡和設(shè)置在攝像透鏡上部的攝像元件。作為攝像元件例如能舉出 CCD (Charge Coupled Device電荷耦合器件)等。
輸出機(jī)構(gòu)132內(nèi)設(shè)在該照相機(jī)部131A中且由攝像機(jī)構(gòu)131的攝像元件 所攝像的光學(xué)圖像作為數(shù)字形式的圖像數(shù)據(jù)進(jìn)行輸出的輸出電路132A。
投影機(jī)構(gòu)133包括設(shè)置在本體10的頭部103內(nèi)部下方且根據(jù)輸出機(jī) 構(gòu)132輸出的圖像數(shù)據(jù)來顯示光學(xué)圖像的液晶板133A和向該液晶板133A 照射光的光源133B。
投影機(jī)構(gòu)133利用從光源133B照射且透射液晶板133A的光把測定對 象物的光學(xué)圖像向屏幕11投影。具體說就是透射液晶板133A的光被設(shè)置 在頭部103內(nèi)部的半透半反鏡104和反射鏡105、 106、 107反射而向屏幕 11照射。
第二成像機(jī)構(gòu)14具備把從后述照明機(jī)構(gòu)18照射并被測定對象物反 射的光向屏幕11投影的投影透鏡142。
投影透鏡142設(shè)置在本體10的頭部103的下面。
從照明機(jī)構(gòu)18照射并被測定對象物反射的光在通過了投影透鏡142后透射半透半反鏡104,并被反射鏡105、 106、 107反射而向屏幕11照射。 切換機(jī)構(gòu)15包括能切換攝像機(jī)構(gòu)131和投影透鏡142的位置地進(jìn)行
支承的支承部151、能停止來自投影機(jī)構(gòu)133或投影透鏡142向半透半反鏡
104的光照射的停止機(jī)構(gòu)152。
支承部151包括設(shè)置在本體IO的頭部103下面且相對半透半反鏡104
具有開口部的大致筒狀的固定部件153、被固定部件153支承的大致圓盤狀
的旋轉(zhuǎn)部件154。
旋轉(zhuǎn)部件154以其大致圓盤狀的中心部作為中心而在XY平面內(nèi)能旋 轉(zhuǎn)地被支承。在旋轉(zhuǎn)部件154的下面設(shè)置有攝像機(jī)構(gòu)131和投影透鏡142, 當(dāng)使旋轉(zhuǎn)部件154旋轉(zhuǎn),則能把攝像機(jī)構(gòu)131或投影透鏡142位于在固定 部件153的下方。'
在投影透鏡142位于在固定部件153的下方時,投影透鏡142的上面 與半透半反鏡104經(jīng)由固定部件153的開口部相對,在投影透鏡142的上 面與半透半反鏡104之間不存在有遮擋物。
停止機(jī)構(gòu)152包括控制向投影機(jī)構(gòu)133的光源133B的供電狀態(tài)的供 電電^各152A和支承部151的旋轉(zhuǎn)部件154 ( 152B)。
供電電路152A與支承部151的旋轉(zhuǎn)部件154 ( 152B )的旋轉(zhuǎn)連動并控 制向光源133B的供電狀態(tài)。具體說就是,在投影透鏡142位于在固定部件 153的下方時,停止向光源133B的供電以停止從投影機(jī)構(gòu)133向半透半反 鏡104進(jìn)行光照射,在攝像機(jī)構(gòu)131位于在固定部件153的下方時,向光 源133B供電以使光從投影機(jī)構(gòu)133向半透半反鏡104照射。
在攝像機(jī)構(gòu)131位于在固定部件153的下方時,投影透鏡142從固定 部件153的下方偏離,把從投影透鏡142向半透半反鏡104的光照射遮斷。 即,支承部151的旋轉(zhuǎn)部件154 ( 152B )有作為停止機(jī)構(gòu)152的作用。
照明機(jī)構(gòu)18包括設(shè)置在本體10的主體部102的前面且把光大致水 平地向攝像機(jī)構(gòu)131或投影透鏡142照射的光源181、設(shè)置在攝像機(jī)構(gòu)131 和投影透鏡142內(nèi)部的半透半反鏡182、 183。
如圖2那樣當(dāng)投影透鏡142位于在固定部件153的下方時,從光源181 照射的光被投影透鏡142內(nèi)部的半透半反鏡182反射,向圖2下方(即測 定對象物)照射。
另一方面,當(dāng)攝像機(jī)構(gòu)131位于在固定部件153的下方時,從光源181照射的光被攝像機(jī)構(gòu)131內(nèi)部的半透半反鏡182反射,向圖2下方(即測
定對象物)照射。
如圖1所示,操作終端17具有顯示器172和操作按鈕173。顯示器172 例如顯示檢測機(jī)構(gòu)121檢測出的載物臺12的移動量等簡單的數(shù)據(jù)。操作按 鈕173是實(shí)施有關(guān)測定的各種操作的機(jī)構(gòu)。
操作終端17經(jīng)由連接電纜122而與本體IO連接,并被放置在支架174上。
圖3表示第一成像機(jī)構(gòu)3和操作終端17的概略結(jié)構(gòu)。
第一成像機(jī)構(gòu)13包括攝像機(jī)構(gòu)131、輸出機(jī)構(gòu)132和投影機(jī)構(gòu)133。
被攝像機(jī)構(gòu)131攝像的光學(xué)圖像作為數(shù)字形式的圖像數(shù)據(jù)從輸出機(jī)構(gòu)
132輸出,并利用投影機(jī)構(gòu)133向屏幕11投影。
另一方面,操作終端17包括記錄光學(xué)圖像的記錄機(jī)構(gòu)171、計(jì)算測
定對象物的測定對象部位置信息的演算部175、制作顯示有關(guān)測定信息的信
息圖像的信息圖像制作部176。
記錄機(jī)構(gòu)171把從輸出機(jī)構(gòu)132輸出的圖像數(shù)據(jù)記錄在半導(dǎo)體存儲器
等記錄媒體中。記錄媒體可以內(nèi)設(shè)在操作終端17中,也可以以外帶的方式設(shè)置。
記錄機(jī)構(gòu)171能讀取過去記錄的圖像數(shù)據(jù)并經(jīng)由輸出機(jī)構(gòu)132向投影 機(jī)構(gòu)133輸出。這時,投影機(jī)構(gòu)133把根據(jù)過去記錄的圖像數(shù)據(jù)的光學(xué)圖 像與現(xiàn)在的光學(xué)圖像組合或是單獨(dú)地向屏幕11投影。
作為把過去的光學(xué)圖像與現(xiàn)在的光學(xué)圖像組合投影的方法,例如能舉 出把屏幕11的投影區(qū)域分割為2, 一側(cè)投影過去的光學(xué)圖像而一側(cè)投影 現(xiàn)在的光學(xué)圖像的方法等。
演算部H5根據(jù)輸出機(jī)構(gòu)132輸出的圖像數(shù)據(jù)和檢測機(jī)構(gòu)121檢測出 的載物臺2的移動量來計(jì)算測定對象部的位置信息。從多個測定對象部的 位置信息來求測定對象物的尺寸和形狀等。
在此,演算部175特定測定對象部即測定對象物的邊緣部來計(jì)算其位 置信息。
計(jì)算的測定對象部的位置信息向記錄機(jī)構(gòu)171和信息圖像制作部176 輸出。
記錄機(jī)構(gòu)171能把該位置信息與圖像數(shù)據(jù)組合或是單獨(dú)地向記錄媒體記錄。相對地,演算部175從記錄機(jī)構(gòu)171讀取過去記錄的圖像數(shù)據(jù)和位 置信息,并根據(jù)它能計(jì)算新的測定對象部的位置信息。
信息圖像制作部176制作顯示有關(guān)測定信息的信息圖像。
作為有關(guān)測定的信息,例如能舉出標(biāo)準(zhǔn)的形狀圖形、操作者專用的 形狀圖形、另外把這些圖形與實(shí)際測定的形狀進(jìn)行公差判斷等。
信息圖像制作部176也可以根據(jù)演算部175輸出的測定對象部的位置 信息例如來制作"測定點(diǎn)l:坐標(biāo)(X、 Y)"這樣的文字列信息圖像。
相對地,輸出機(jī)構(gòu)132把信息圖像制作部176制作的信息圖像與光學(xué) 圖像組合而作為數(shù)字形式的圖像數(shù)據(jù)輸出。投影機(jī)構(gòu)133把信息圖像和光 學(xué)圖像在屏幕11上成像。
作為把信息圖像和光學(xué)圖像組合的方法,例如能舉出把表示標(biāo)準(zhǔn)形 狀圖形的線圖和表示測定對象部的位置信息的文字列重疊寫在光學(xué)圖像上 的方法等。
記錄機(jī)構(gòu)171能把有關(guān)測定的信息和信息圖像與圖像數(shù)據(jù)組合或單獨(dú) 地向i己錄i某體記錄。
相對地,信息圖像制作部176從記錄機(jī)構(gòu)171讀取過去記錄的圖像數(shù) 據(jù)、有關(guān)測定的信息和信息圖像,并根據(jù)它能制作新的信息圖像。
說明使用這種光學(xué)式測定裝置1在測定測定對象物的尺寸和形狀等時 的操作。
首先在圖1中把測定對象物放置在載物臺12上。
然后在圖2中旋轉(zhuǎn)旋轉(zhuǎn)部件154以使攝像機(jī)構(gòu)131位于在切換機(jī)構(gòu)15 的固定部件153的下方。
這樣,停止機(jī)構(gòu)152即供電電路152A向4殳影機(jī)構(gòu)133的光源133B供 電而使光源133B亮燈。
另一方面,攝像機(jī)構(gòu)131對測定對象物的光學(xué)圖像連續(xù)攝像,輸出機(jī) 構(gòu)132把攝像機(jī)構(gòu)131攝像的光學(xué)圖像作為數(shù)字形式的圖像數(shù)據(jù)輸出。
投影機(jī)構(gòu)133根據(jù)輸出機(jī)構(gòu)132輸出的圖像數(shù)據(jù)而把光學(xué)圖像向液晶 板133A顯示。
在此,從沖殳影機(jī)構(gòu)133的光源133B照射的光透射液晶板133A并被半透半反鏡104和反射鏡105、 106、 107反射而向屏幕11照射。 因此,在屏幕11上被投影有測定對象物的光學(xué)圖像。 接著在圖1中,移動載物臺12,把在屏幕11上成像的測定對象物的光
學(xué)圖像的測定對象部移動到十字線111的交點(diǎn)處。
這時,從顯示在操作終端17的顯示器172上的載物臺12的移動量等
就能求出測定對象部的位置信息。
使用演算部175也能求測定對象部的位置信息(參照圖1 圖3)。 這時,通過演算部175來特定光學(xué)圖像中包含的測定對象物的邊緣部,
能進(jìn)行利用計(jì)算其位置信息等的圖像處理功能圖像測定。
演算部175計(jì)算出的位置信息被顯示器172顯示。信息圖像制作部176
制作以該位置信息為基礎(chǔ)制作的信息圖像,也可以與現(xiàn)在的光學(xué)圖像一起
向屏幕ll投影。
只要利用操作按鈕173來操作記錄機(jī)構(gòu)171,就能在測定中的任意時刻 來記錄該時光學(xué)圖像的圖像數(shù)據(jù)。 [使用第二成像機(jī)構(gòu)的測定]
首先在圖1中把測定對象物放置在載物臺12上。
然后在圖2中旋轉(zhuǎn)旋轉(zhuǎn)部件154以使投影透鏡142位于在切換機(jī)構(gòu)15 的固定部件153的下方。
這樣,從照明機(jī)構(gòu)18的光源181照射的光經(jīng)由設(shè)置在投影透鏡142的 半透半反鏡183向測定對象物照射。
從照明機(jī)構(gòu)18照射并被測定對象物反射的光在通過了投影透鏡142之 后透射半透半反鏡104,被反射鏡105、 106、 107反射而向屏幕11照射。
因此,在屏幕11投影有測定對象物的光學(xué)圖像。
接著在圖1中,移動載物臺12,把在屏幕11上成像的測定對象物的光 學(xué)圖像的測定對象部移動到十字線111的交點(diǎn)處。
這時,從被操作終端17的顯示器172顯示的載物臺12的移動量等就 能求出測定對象部的位置信息。
根據(jù)本實(shí)施例,有以下所示的效果。 (1 )由于利用光學(xué)式測定裝置1設(shè)置的記錄機(jī)構(gòu)171而把測定對象物 的光學(xué)圖像作為圖像數(shù)據(jù)來記錄,所以不需要準(zhǔn)備另外的攝影裝置或在光學(xué)式測定裝置1中附帶照相攝影裝置。因此,由攝影條件和攝影者的不同 而在記錄的光學(xué)圖像上產(chǎn)生差異的可能性低,不會發(fā)生利用照相攝影裝置 而由于第一成像機(jī)構(gòu)13或第二成像機(jī)構(gòu)14的投影被妨礙而不能確認(rèn)光學(xué) 圖像的整體。
因此,本發(fā)明的光學(xué)式測定裝置1不準(zhǔn)備另外的攝影裝置就能與測定 同時來記錄光學(xué)圖像。
(2) 由于使用屏幕11和成像機(jī)構(gòu)(第一成像機(jī)構(gòu)13或第二成像機(jī)構(gòu) 14)來顯示光學(xué)圖像,所以僅把屏幕11大型化就能加大光學(xué)圖像的顯示尺 寸,能容易且便宜地達(dá)到顯示尺寸的大型化。
具備屏幕11和成像機(jī)構(gòu)(第一成像機(jī)構(gòu)13或第二成像機(jī)構(gòu)14)的本 發(fā)明光學(xué)式測定裝置1,具有能夠通過與現(xiàn)有所謂的投影機(jī)進(jìn)行同樣的操作 進(jìn)行測定的優(yōu)點(diǎn)。
(3) 由于投影機(jī)構(gòu)133使用液晶板133A,所以能把高精細(xì)的光學(xué)圖 像向屏幕11投影,且能謀求裝置結(jié)構(gòu)的簡單化和省電力化。
(4) 利用演算部175能計(jì)算測定對象部的位置信息,能從多個測定對 象部的位置信息中求出測定對象物的尺寸和形狀等。
由于演算部175把測定對象部特定,所以能防止由操作者的感覺不同 而引起的測定誤差,能實(shí)施正確的測定。
(5) 由于把信息圖像制作部176制作的顯示有關(guān)測定信息的信息圖像 與光學(xué)圖像組合在屏幕11上成像,所以操作者能一邊通過被屏幕11成像的 信息圖像來確認(rèn)有關(guān)測定的信息, 一邊實(shí)施測定對象物的尺寸和形狀等的 測定。
(6) 通過使用切換機(jī)構(gòu)15選擇的第一成像機(jī)構(gòu)13和第二成像機(jī)構(gòu)14 的任一個就能把測定對象物的光學(xué)圖像在屏幕11上成像。
例如在使用第一成像機(jī)構(gòu)13時,由于是把光學(xué)圖像切換成圖像數(shù)據(jù)輸 出,把輸出的圖像數(shù)據(jù)再返回到光學(xué)圖像進(jìn)行顯示,所以有丟失色調(diào)、亮 度等微妙的不同等的情況,但第二成像機(jī)構(gòu)14不伴隨光學(xué)圖像的切換,所 以有能把色調(diào)、亮度等微妙的不同原封不動進(jìn)行顯示的優(yōu)點(diǎn)。
利用切換機(jī)構(gòu)15能根據(jù)狀況而分別使用第一成像機(jī)構(gòu)13和第二成像 機(jī)構(gòu)14。
(7 )通過使用半透半反鏡104和停止機(jī)構(gòu)152的簡單結(jié)構(gòu)就能實(shí)現(xiàn)第一成像機(jī)構(gòu)13與第二成像機(jī)構(gòu)14的切換。
(8)由于記錄機(jī)構(gòu)171能讀取過去記錄的圖像數(shù)據(jù)并經(jīng)由輸出機(jī)構(gòu) 132向投影機(jī)構(gòu)133輸出,所以,能把根據(jù)過去記錄的圖像數(shù)據(jù)的光學(xué)圖像 與現(xiàn)在的光學(xué)圖像組合或是單獨(dú)地投影到屏幕11上。
在把現(xiàn)在和過去的光學(xué)圖像組合顯示時,操作者能一邊比較現(xiàn)在和過 去的光學(xué)圖像一邊實(shí)施測定對象物的尺寸和形狀等的測定。
本實(shí)施例在切換機(jī)構(gòu)15的結(jié)構(gòu)、第一成像機(jī)構(gòu)13的配置和不設(shè)置半 透半反鏡104的點(diǎn)上與所述第一實(shí)施例不同。其他的結(jié)構(gòu)和作用相同,因 此付與相同的符號而省略它們的說明。
圖4和圖5表示第二實(shí)施例光學(xué)式測定裝置1的第一成像機(jī)構(gòu)13、第 二成像^/L構(gòu)14和切換^L構(gòu)15的扭無略結(jié)構(gòu)。
如圖4所示,本實(shí)施例中第一成像機(jī)構(gòu)13的投影機(jī)構(gòu)133被設(shè)置在從 第二成像機(jī)構(gòu)14的投影透鏡142朝向所述屏幕的光路L上偏離的待機(jī)位置 A。
切換機(jī)構(gòu)15具備使投影機(jī)構(gòu)133在待機(jī)位置A與投影位置B之間 移動的移動機(jī)構(gòu)155、停止從第二成像機(jī)構(gòu)14向屏幕11進(jìn)行光照射的停止 機(jī)構(gòu)156和控制向投影機(jī)構(gòu)133的光源133B供電狀態(tài)的供電電路157。
移動機(jī)構(gòu)155通過未圖示的驅(qū)動機(jī)構(gòu)使投影機(jī)構(gòu)133在待機(jī)位置A與 投影位置B之間移動。
待機(jī)位置A在本體10的頭部103內(nèi)部的上方,是從第二成像機(jī)構(gòu)14 的投影透鏡142朝向屏幕的光路L上偏離的位置。
投影位置B在本體10的頭部103內(nèi)部的大致中心附近,是能向屏幕 11照射光的位置。
移動機(jī)構(gòu)155與支承部151的旋轉(zhuǎn)部件154的旋轉(zhuǎn)連動并使投影機(jī)構(gòu) 133移動。
具體說就是,在投影透鏡142位于在固定部件153的下方時,使投影 機(jī)構(gòu)133向待機(jī)位置A移動,在攝像機(jī)構(gòu)131位于在固定部件153的下方 時,使投影機(jī)構(gòu)133向投影位置B移動。
停止機(jī)構(gòu)156由支承部151的旋轉(zhuǎn)部件154 ( 156A)構(gòu)成,在投影機(jī)構(gòu)133位于投影位置B時,停止從第二成像機(jī)構(gòu)14向屏幕11的光的照射。 在此,考慮上述移動機(jī)構(gòu)155的作用,在投影機(jī)構(gòu)133位于投影位置B 時就意味著攝像機(jī)構(gòu)131位于在固定部件153的下方。這時如圖5所示, 投影透鏡142從固定部件153的下方偏離,從投影透鏡142向屏幕11的光 的照射被遮斷。即,支承部151的旋轉(zhuǎn)部件154 ( 156A)有作為停止機(jī)構(gòu) 156的作用。
供電電路157與支承部151的旋轉(zhuǎn)部件154的旋轉(zhuǎn)連動并控制向光源 133B的供電狀態(tài)。具體說就是,在投影透鏡142位于在固定部件153的下 方時,停止向光源133B的供電以停止從投影機(jī)構(gòu)133向屏幕11進(jìn)行光照 射,在攝像機(jī)構(gòu)131位于在固定部件153的下方時,向光源133B供電,使 光從投影機(jī)構(gòu)133向屏幕11照射。
說明使用這種光學(xué)式測定裝置1在測定測定對象物的尺寸和形狀等時 的操作。
首先在圖1中把測定對象物放置在載物臺12上。
然后在圖5中旋轉(zhuǎn)旋轉(zhuǎn)部件154以使攝像機(jī)構(gòu)131位于在切換機(jī)構(gòu)15 的固定部件153的下方。
這樣,移動機(jī)構(gòu)155使投影機(jī)構(gòu)133向投影位置B移動,供電電路157 向光源133B供電而使光從投影機(jī)構(gòu)133向屏幕11照射。
這時,投影透鏡142從固定部件153的下方偏離,停止從投影透鏡142 向屏幕11的光的照射。
攝像機(jī)構(gòu)131等與上述第一實(shí)施例同樣地進(jìn)行動作,把光學(xué)圖像向液 晶板133A顯示。
因此,屏幕ll被投影有測定對象物的光學(xué)圖像。
接著在圖1中,移動載物臺12,把在屏幕11上成像的測定對象物的光 學(xué)圖像的測定對象部移動到十字線111的交點(diǎn)處。
這時,從顯示在操作終端17的顯示器172上的載物臺12的移動量等 就能求出測定對象部的位置信息。
記錄機(jī)構(gòu)171、演算部175等的動作與上述第一實(shí)施例相同。首先在圖1中把測定對象物放置在載物臺12上。
然后在圖4中旋轉(zhuǎn)旋轉(zhuǎn)部件154以使^:影透鏡142位于在切換機(jī)構(gòu)15 的固定部件153的下方。
這樣,移動機(jī)構(gòu)155使投影機(jī)構(gòu)133向待機(jī)位置A移動,供電電路157 停止向光源133B的供電而停止從投影機(jī)構(gòu)133向屏幕11的光的照射。
另一方面,從照明機(jī)構(gòu)18的光源181經(jīng)由投影透鏡142設(shè)置的半透半 反鏡183向測定對象物照射光。
從照明機(jī)構(gòu)18照射并被測定對象物反射的光在通過了投影透鏡142之 后被反射鏡105、 106、 107反射而向屏幕11照射。
因此,在屏幕11上投影有測定對象物的光學(xué)圖像。
接著在圖1中,移動載物臺12,把在屏幕11上成像的測定對象物的光 學(xué)圖像的測定對象部移動到十字線111的交點(diǎn)處。
這時,從顯示在操作終端17的顯示器172上的載物臺12的移動量等 就能求出測定對象部的位置信息。
根據(jù)本實(shí)施例,在上述第一實(shí)施例的作用效果(1 ) (6)、 (8)的基 礎(chǔ)上有以下所示的效果。
(9) 通過使用移動機(jī)構(gòu)155和停止機(jī)構(gòu)156的簡單結(jié)構(gòu)就能實(shí)現(xiàn)第一 成像機(jī)構(gòu)13與第二成像機(jī)構(gòu)14的切換。
(10) 由于不經(jīng)由半透半反鏡104地把光學(xué)圖像向屏幕11投影,所以 與上述第一實(shí)施例相比能提高屏幕11所顯示的光學(xué)圖像的亮度。
本發(fā)明并不限定于所述實(shí)施例,而是包括能達(dá)到本發(fā)明目的的其他結(jié) 構(gòu),以下所示的變形等也被本發(fā)明所包含。
(I )上述第一實(shí)施例中半透半反鏡104和投影機(jī)構(gòu)133的配置并不 限定于圖2所示的位置。
例如也可以在反射鏡106與反射鏡107之間設(shè)置大的半透半反鏡,把 投影機(jī)構(gòu)133設(shè)置在能把光向該半透半反鏡照射的位置,使從投影機(jī)構(gòu)133 照射并被半透半反鏡反射的光經(jīng)由反射鏡107向屏幕11投影。
這種情況也能得到與上述第 一 實(shí)施例同樣優(yōu)良的作用效果。
在上述第一實(shí)施例中例如也可以代替半透半反鏡104而設(shè)置全反射的反射鏡,使該全反射鏡與旋轉(zhuǎn)部件154的旋轉(zhuǎn)連動并移動,在攝像機(jī)構(gòu)131 位于固定部件153的下方時配置在與半透半反鏡104同樣的位置處。
這時也是從投影機(jī)構(gòu)133的光源133B照射的光透射液晶板133A,被 全反射反射鏡和反射鏡105、 106、 107反射并向屏幕11照射。
因此,屏幕11被投影有測定對象物的光學(xué)圖像。
另一方面,在投影透鏡142位于固定部件153的下方時,全反射反射 鏡位于在與所述第一實(shí)施例的半透半反鏡104的位置不同的部位,來自投 影機(jī)構(gòu)133的光不能到達(dá)反射鏡105,不向屏幕11投影。
因此,這種情況也能得到與上述第一實(shí)施例同樣優(yōu)良的作用效果。 (II )上述第二實(shí)施例表示了把本體IO的頭部103內(nèi)部的上方設(shè)定為 待機(jī)位置A,把本體10的頭部103內(nèi)部的大致中心附近設(shè)定為投影位置B 的結(jié)構(gòu),但并不限定于此。
待機(jī)位置A只要是在從第二成像機(jī)構(gòu)14的投影透鏡142朝向屏幕11 的光路L上偏離的位置就可以,并且投影位置B只要是能把光從投影機(jī)構(gòu) 133向屏幕11照射的位置就可以。
例如待機(jī)位置A也可以在本體10的頭部103內(nèi)部的下方。
這種情況也能得到與上述第二實(shí)施例同樣優(yōu)良的作用效果。 (III )上述各實(shí)施例表示了把搡作終端17外帶設(shè)置的結(jié)構(gòu),但并不限 定于此。
例如也可以把與操作終端17同樣的結(jié)構(gòu)設(shè)置在本體10中。 這種情況也能得到與上述各實(shí)施例同樣優(yōu)良的作用效果。由于沒有操
作終端17,所以能縮小裝置的設(shè)置空間。
(IV)上述各實(shí)施例表示了利用從光源133B照射并透射液晶板133A
的光把測定對象物的光學(xué)圖像向屏幕11投影的結(jié)構(gòu)的投影機(jī)構(gòu)133,但并
不限定于此。
例如也可以使用反射型的液晶板。這種情況也能得到與上述各實(shí)施例 同樣優(yōu)良的作用效果。由于與透射型的液晶板133A相比開口率高,所以能
提高亮度。
例如也可以使用具備多個微小的反射鏡并利用各個反射鏡的傾斜來控 制亮度的DMD (數(shù)字反射鏡器件Digital Mirror Device)把圖像進(jìn)行投 影的DLP (數(shù)字的光處理Digital Light Processing),把它作為投影機(jī)構(gòu)133。這種情況也能得到與上述各實(shí)施例同樣良好的作用效果。且與具有壽 命的液晶相比而有時效惡化小、光難于進(jìn)入黑圖像、圖像格子難于醒目、 難于產(chǎn)生殘留圖像、印像等優(yōu)點(diǎn)。
(V) 在上述各實(shí)施例中,表示了所謂反射照明的照明機(jī)構(gòu)18,但并 不限定于此。
例如照明機(jī)構(gòu)18也可以是設(shè)置在栽物臺12下方的透射照明。 這時,也能使透射測定對象物的光在屏幕11上成像,能得到與上述各 實(shí)施例同樣良好的作用效果。
(VI) 在上述各實(shí)施例中,表示了旋轉(zhuǎn)部件154把攝像機(jī)構(gòu)131和投 影透鏡142的位置能切換地支承的結(jié)構(gòu),但并不限定于此。
例如也可以采用圖6所示的結(jié)構(gòu)。
圖6是從正面看本實(shí)施例光學(xué)式測定裝置1的概略圖。
本實(shí)施例光學(xué)式測定裝置1的切換機(jī)構(gòu)15的結(jié)構(gòu)與上述各實(shí)施例不同。
本實(shí)施例的光學(xué)式測定裝置1中,切換機(jī)構(gòu)15的支承部151具備把攝 像機(jī)構(gòu)131和投影透鏡142相對本體10能向X方向滑動支承的滑動部件 157。
這種情況也能得到與上述各實(shí)施例同樣優(yōu)良的作用效果,由于能由一 個光源181構(gòu)成照明機(jī)構(gòu)18,所以能把光學(xué)式測定裝置1的結(jié)構(gòu)簡單化。
權(quán)利要求
1. 一種光學(xué)式測定裝置,其特征在于,具備屏幕、能移動的載物臺、使光向所述載物臺上放置的測定對象物照射的照明機(jī)構(gòu)、檢測所述載物臺移動量的檢測機(jī)構(gòu)、把放置在所述載物臺上的測定對象物的光學(xué)圖像在所述屏幕上成像的第一成像機(jī)構(gòu)和第二成像機(jī)構(gòu)、利用所述第一成像機(jī)構(gòu)和所述第二成像機(jī)構(gòu)的任一個把所述光學(xué)圖像在所述屏幕上成像進(jìn)行切換的切換機(jī)構(gòu)、記錄所述光學(xué)圖像的記錄機(jī)構(gòu),所述第一成像機(jī)構(gòu)具備對所述光學(xué)圖像進(jìn)行攝像的攝像機(jī)構(gòu)、把所述攝像機(jī)構(gòu)攝像的所述光學(xué)圖像作為數(shù)字形式的圖像數(shù)據(jù)輸出的輸出機(jī)構(gòu)、根據(jù)所述輸出機(jī)構(gòu)輸出的所述圖像數(shù)據(jù)把所述光學(xué)圖像向所述屏幕進(jìn)行投影的投影機(jī)構(gòu),所述第二成像機(jī)構(gòu)具備把被所述照明機(jī)構(gòu)照射并被所述測定對象物反射或透射所述測定對象物的光向所述屏幕投影的投影透鏡,所述記錄機(jī)構(gòu)記錄所述第一成像機(jī)構(gòu)的所述輸出機(jī)構(gòu)輸出的所述圖像數(shù)據(jù)。
2、 如權(quán)利要求1所述的光學(xué)式測定裝置,其特征在于, 所述投影機(jī)構(gòu)具備根據(jù)所述圖像數(shù)據(jù)把所述光學(xué)圖像進(jìn)行顯示的液晶板和向所述液晶板 照射光的光源,利用從所述光源照射并被所述液晶板反射或透射所述液晶板的光把所 述光學(xué)圖像向所述屏幕投影。
3、 如權(quán)利要求1所述的光學(xué)式測定裝置,其特征在于, 具備計(jì)算所述測定對象物的測定對象部位置信息的演算部, 所述演算部根據(jù)所述圖像數(shù)據(jù)和所述檢測機(jī)構(gòu)檢測出的所述載物臺的移動量來計(jì)算所述測定對象部的位置信息。
4、 如權(quán)利要求1所述的光學(xué)式測定裝置,其特征在于, 具備制作顯示有關(guān)測定信息的信息圖像的信息圖像制作部,所述輸出機(jī)構(gòu)把所述信息圖像制作部制作的信息圖像與所述攝像機(jī)構(gòu) 攝像的所述光學(xué)圖像組合而作為數(shù)字形式的圖像數(shù)據(jù)來輸出。
5、 如權(quán)利要求1到權(quán)利要求4任一項(xiàng)所述的光學(xué)式測定裝置,其特征 在于,具備設(shè)置在從所述第二成像機(jī)構(gòu)的所述投影透鏡朝向所述屏幕的光路 上的半透半反鏡,所述第一成像機(jī)構(gòu)利用被所述半透半反鏡反射或透射所述半透半反鏡 的光把所述光學(xué)圖像在所述屏幕上成像,所述第二成像機(jī)構(gòu)利用透射所述半透半反鏡或被所述半透半反鏡反射 的光把所述光學(xué)圖像在所述屏幕上成像,所述切換機(jī)構(gòu)具備根據(jù)從所述第一成像機(jī)構(gòu)和所述第二成像機(jī)構(gòu)中 選擇的任一個成像機(jī)構(gòu)而停止向所述半透半反鏡進(jìn)行光照射的停止機(jī)構(gòu)。
6、 如權(quán)利要求1到權(quán)利要求4任一項(xiàng)所述的光學(xué)式測定裝置,其特征 在于,所述第 一成像機(jī)構(gòu)的所述投影機(jī)構(gòu)被設(shè)置在從所述第二成像機(jī)構(gòu)的所 述投影透鏡朝向所述屏幕的光路上偏離的待機(jī)位置處, 所述切換機(jī)構(gòu)具備使所述投影機(jī)構(gòu)在所述待機(jī)位置與光能向所述屏幕照射的投影位置之間移動的移動才幾構(gòu)、停止從所述第二成像機(jī)構(gòu)向所述屏幕進(jìn)行光照射的停止機(jī)構(gòu), 在所述投影機(jī)構(gòu)位于所述投影位置時,所述停止機(jī)構(gòu)停止從所述第二成像機(jī)構(gòu)向所述屏幕進(jìn)行光照射。
全文摘要
一種光學(xué)式測定裝置(1),具備具有基準(zhǔn)線的屏幕(11)、能移動的載物臺(12)、檢測載物臺(12)的移動量的檢測機(jī)構(gòu)(121)、把放置在載物臺(12)上的測定對象物的光學(xué)圖像在屏幕(11)上成像的第一成像機(jī)構(gòu)(13)和第二成像機(jī)構(gòu)(14)、記錄光學(xué)圖像的記錄機(jī)構(gòu)(171),第一成像機(jī)構(gòu)(13)具備對光學(xué)圖像進(jìn)行攝像的攝像機(jī)構(gòu)、把攝像機(jī)構(gòu)攝像的光學(xué)圖像作為數(shù)字形式的圖像數(shù)據(jù)進(jìn)行輸出的輸出機(jī)構(gòu)、根據(jù)輸出機(jī)構(gòu)輸出的圖像數(shù)據(jù)把光學(xué)圖像向屏幕(11)投影的投影機(jī)構(gòu),記錄機(jī)構(gòu)(171)記錄輸出機(jī)構(gòu)輸出的圖像數(shù)據(jù)。
文檔編號G01B11/00GK101285675SQ200810088658
公開日2008年10月15日 申請日期2008年4月10日 優(yōu)先權(quán)日2007年4月12日
發(fā)明者下川清治, 岡部憲嗣, 松宮貞行 申請人:三豐株式會社