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固化狀態(tài)測定裝置的制作方法

文檔序號(hào):5841577閱讀:193來源:國知局

專利名稱::固化狀態(tài)測定裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域
:本發(fā)明涉及一種面向紫外線固化樹脂的固化處理的固化狀態(tài)測定裝置,特別涉及一種適用于多層膜生產(chǎn)線的裝置。
背景技術(shù)
:近年來,在很多工業(yè)領(lǐng)域,利用紫外線固化法(UltraVioletCuring)作為粘接劑或涂層劑的固化方法。紫外線固化法與利用熱能的熱固化方法相比,具有很多優(yōu)點(diǎn),例如有害物質(zhì)不會(huì)擴(kuò)散到大氣中、固化時(shí)間短、也能夠適用于非耐熱產(chǎn)品等。在紫外線固化法中,使用在照射紫外線前主要為液體而另一方面在照射紫外線后變化為固體的紫外線固化樹脂。這類紫外線固化樹脂不僅含有單體和低聚物中的至少一種作為主劑,還含有光聚合引發(fā)劑。光聚合引發(fā)劑受到紫外線的照射而產(chǎn)生自由基或陽離子,產(chǎn)生的自由基或陽離子與單體或低聚物發(fā)生聚合反應(yīng)。伴隨著該聚合反應(yīng),單體或低聚物變化為聚合物,分子量變得極大,并且融點(diǎn)降低。其結(jié)果,紫外線固化樹脂無法維持液體狀態(tài)而變化為固體。然而近年來,以液晶顯示器(LCD:LiquidCrystalDisplay)為首的平板顯示器的技術(shù)開發(fā)迅速發(fā)展。作為決定這類平板顯示器的顯示性能的要素,有在顯示器表面上形成的多層膜。該多層膜是層疊各自具有獨(dú)特的光學(xué)特性的片材而形成的膜。在大多數(shù)情況下,這類多層膜通過使用紫外線固化樹脂來層疊這些薄膜而形成。在這類多層膜的生產(chǎn)線上,以較高的速度(數(shù)十米/秒)進(jìn)行多次的緊密貼合處理。通常,測定紫外線固化樹脂的固化度并不容易。作為測定紫外線固化樹脂的固化狀態(tài)的方法,提出了使用傅里葉變換紅外分光光度計(jì)(FT-IR:Fourier-TransformInfraredSpectrometer)的方法(例如,非專禾U文獻(xiàn)l)。非專利文獻(xiàn)1:巖井茂彥、松原秀樹,《使用微分紅外分光法的紫外線固化樹脂的固化率的計(jì)測》、2005年度愛知縣工業(yè)技術(shù)試驗(yàn)所研究報(bào)告。然而,在上述的非專利文獻(xiàn)l中披露的方法中,需要進(jìn)行八次微分處理等,處理非常復(fù)雜。因此,雖然可能對(duì)于研究室水平或破壞檢查(抽樣檢査)等能夠適用,但在實(shí)際的生產(chǎn)線上難以適用。另外,由于與片材的膜厚相比,紫外線固化樹脂(粘接劑)的膜厚薄,所以也有從片材產(chǎn)生的紅外線相對(duì)大、難以得到充分的測定精度的問題。因此,只有對(duì)制造后的產(chǎn)品進(jìn)行抽樣檢査來判斷該產(chǎn)品是否正常的方法。因此,由于某種原因,即使紫外線固化樹脂的固化程度并不恰當(dāng),在制造過程中也不能對(duì)其糾正,而只有進(jìn)行事后處理。這樣,在使多個(gè)片材狀部件緊密貼合在一起這樣的生產(chǎn)線中,不存在能經(jīng)得住應(yīng)用的紫外線固化樹脂的測定方法。
發(fā)明內(nèi)容因此,本發(fā)明是為了解決這樣的問題而提出的,其目的在于提供一種能夠測定使用紫外線固化樹脂而連續(xù)制造的多層膜中的固化狀態(tài)的固化狀態(tài)測定裝置。本申請(qǐng)發(fā)明人等發(fā)現(xiàn)如下事實(shí),利用該事實(shí)實(shí)現(xiàn)本發(fā)明根據(jù)對(duì)紫外線固化樹脂的紫外線照射,紫外線固化樹脂含有的光聚合引發(fā)劑自身放射出與紫外線固化樹脂的固定狀態(tài)相關(guān)的能夠觀測的熒光。根據(jù)本發(fā)明,提供一種測定紫外線固化樹脂的固化狀態(tài)的固化狀態(tài)測定裝置,該紫外線固化樹脂含有主劑和光聚合引發(fā)劑,該主劑由單體和低聚物中的至少一種構(gòu)成。固化狀態(tài)測定裝置包括照射用于激發(fā)紫外線固化樹脂的紫外線的第一照射單元、接收通過照射紫外線而從紫外線固化樹脂產(chǎn)生的熒光的第一受光單元、基于由第一受光單元測定的熒光的量來判斷紫外線固化樹脂的固化狀態(tài)的好壞的判斷單元。紫外線固化樹脂介于至少兩個(gè)片材狀部件之間,第一照射單元經(jīng)由一個(gè)的片材狀部件向紫外線固化樹脂照射紫外線。優(yōu)選至少兩個(gè)片材狀部件沿著規(guī)定的搬送方向連續(xù)地被搬送,在至少兩個(gè)片材狀部件的搬送路徑上,配置有照射用于促進(jìn)紫外線固化樹脂中的固化反應(yīng)的紫外線的固化裝置。第一照射單元和第一受光單元由在與搬送方向垂直的方向上排列的多個(gè)頭部構(gòu)成。更優(yōu)選地,判斷單元基于來自通過固化裝置后的紫外線固化樹脂的熒光量的大小來判斷固化狀態(tài)的好壞。又優(yōu)選地,判斷單元基于與搬送方向垂直的方向上的熒光量的偏差來判斷固化狀態(tài)的好壞。還優(yōu)選地,固化狀態(tài)測定裝置還包括對(duì)通過固化裝置前的紫外線固化樹脂照射用于進(jìn)行激發(fā)的紫外線的第二照射單元、和接收因第二照射單元的紫外線照射而從紫外線固化樹脂產(chǎn)生的熒光的第二受光單元。判斷單元基于由第一受光單元測定的熒光的量和由第二受光單元測定的熒光的量來判斷紫外線固化樹脂的固化狀態(tài)的好壞。優(yōu)選受光單元包括通過對(duì)熒光分光而取得熒光的光譜的第一分光單元。判斷單元基于在第一分光單元中取得的熒光光譜中與紫外線固化樹脂對(duì)應(yīng)的特定波長的強(qiáng)度值,來判斷紫外線固化樹脂的固化狀態(tài)的好壞。還優(yōu)選固化狀態(tài)測定裝置還包括第二照射單元,對(duì)通過固化裝置前的紫外線固化樹脂照射用于進(jìn)行激發(fā)的紫外線;第二分光單元,通過接收因第二照射單元的紫外線照射而從紫外線固化樹脂產(chǎn)生的熒光,從而取得熒光的光譜。判斷單元基于由第一分光單元取得的光譜和由第二分光單元取得的光譜來判斷紫外線固化樹脂的固化狀態(tài)的好壞。根據(jù)本發(fā)明,能夠測定使用紫外線固化樹脂而連續(xù)制造的多層膜中的固化狀態(tài)。圖1是具有本發(fā)明實(shí)施方式1的固化狀態(tài)測定裝置的紫外線照射系統(tǒng)100A的概略結(jié)構(gòu)圖。圖2是本發(fā)明的實(shí)施方式1的固化狀態(tài)測定裝置110的示意性的外觀圖。圖3是本發(fā)明的實(shí)施方式1的固化狀態(tài)測定裝置110的概略結(jié)構(gòu)圖。圖4A、圖4B是示意性地表示從本發(fā)明的實(shí)施方式1的固化狀態(tài)測定裝置的頭部112照射的測定用紫外線50的照射區(qū)域的圖。圖5A、圖5B是用于說明測定用紫外線的照射不勻的影響的圖。圖6是表示對(duì)通常的紫外線固化樹脂照射規(guī)定強(qiáng)度的紫外線時(shí)的照射時(shí)間與產(chǎn)生的熒光量的關(guān)系的曲線圖。圖7是表示本發(fā)明的實(shí)施方式1的控制部114中的控制結(jié)構(gòu)的框圖。圖8是表示本發(fā)明的實(shí)施方式1的用于判斷固化是否良好的控制結(jié)構(gòu)的框圖。圖9是具有本發(fā)明實(shí)施方式1的第一變形例的固化狀態(tài)測定裝置的紫外線照射系統(tǒng)100B的概略結(jié)構(gòu)圖。圖IO是用于說明照射頭部122和受光頭部124的位置關(guān)系的圖。圖11是表示照射頭部122的主要部分的立體圖。圖12是表示構(gòu)成照射頭部122的光學(xué)模塊602的一例的立體圖。圖13是用于說明本發(fā)明的實(shí)施方式1的第二變形例的照射頭部132的動(dòng)作狀態(tài)的圖。圖14是照射頭部132的光學(xué)系統(tǒng)的示意圖。圖15是表示代表性的液晶顯示器的剖面結(jié)構(gòu)的一例的圖。圖16是本發(fā)明的實(shí)施方式2的固化狀態(tài)測定裝置110A的概略結(jié)構(gòu)圖。圖17是對(duì)各個(gè)種類的紫外線固化樹脂繪制產(chǎn)生的熒光的主發(fā)光峰值的圖。圖18表示測定用紫外線(主發(fā)光峰值365nm)的光譜特性。圖19表示三鍵(7!i—求yK)公司制3034的光譜特性。圖20表示凱密(,$x:y夕)公司制凱密膠(^r$、>一少)U-1582的光譜特性。圖21表示凱密公司制凱密膠U-1481的光譜特性。圖22表示凱密公司制凱密膠U-1595的光譜特性。圖23表示凱密公司制凱密膠U-1542的光譜特性。圖24表示凱密公司制凱密膠U-1542J的光譜特性。圖25表示凱密公司制凱密膠U-1455B的光譜特性。圖26是本發(fā)明的實(shí)施方式2的紫外線照射系統(tǒng)100C的概略結(jié)構(gòu)圖。圖27是表示本發(fā)明的實(shí)施方式2的控制部中的控制結(jié)構(gòu)的框圖。圖28A、圖28B是用于說明校正多個(gè)頭部112的方法的圖。圖29是用于說明根據(jù)測定的熒光量進(jìn)行校正的方法的圖。具體實(shí)施例方式參照附圖詳細(xì)說明本發(fā)明的實(shí)施方式。此外,對(duì)于圖中相同或相當(dāng)?shù)牟糠郑瑯?biāo)注相同的附圖標(biāo)記,并不進(jìn)行重復(fù)說明。[實(shí)施方式1](生產(chǎn)線的概略結(jié)構(gòu))圖1是具有本發(fā)明實(shí)施方式1的固化狀態(tài)測定裝置的紫外線照射系統(tǒng)100A的概略結(jié)構(gòu)圖。參照?qǐng)D1,本發(fā)明的固化狀態(tài)測定裝置代表性地適用于通過由紫外線固化樹脂制成的UV粘接劑連續(xù)地緊密貼合兩種片材狀部件的生產(chǎn)線。具體地說,通過送出輥102送出第一片材204,并且,從規(guī)定的位置將UV粘接劑206涂布在該第一片材204的一個(gè)面(粘接面)上。在該VU粘接劑206的涂布位置的下游側(cè),通過送出輥104使第二片材202與第一片材204接合在一起。這樣,隔著UV粘接劑206而層疊的第一片材204和第二片材202,被處于更下游側(cè)的紫外線照射部106照射紫外線。紫外線照射部106是照射用于促進(jìn)紫外線固化樹脂206的固化反應(yīng)的紫外線的固化裝置,代表性地由多個(gè)紫外線燈等構(gòu)成,UV粘接劑206接受來自該紫外線照射部106的紫外線而發(fā)生固化反應(yīng),使得第一片材204和第二片材202粘接在一起。在該紫外線照射部106的下游側(cè)配置有構(gòu)成本實(shí)施方式的固化狀態(tài)測定裝置的多個(gè)頭部112。這些頭部112排列在與搬送方向垂直的方向上,測定所搬送的多層膜的一個(gè)方向上的UV粘接劑的固化狀態(tài)。固化狀態(tài)測定裝置實(shí)時(shí)(在線)測定介于第一片材204和第二片材202之間的UV粘接劑206的固化狀態(tài)。進(jìn)而,如果該UV粘接劑206的固化狀態(tài)有任何不良情形,就進(jìn)行與該不良情形相應(yīng)的處理,例如更換構(gòu)成紫外線照射部106的紫外線燈等。另外,在圖1中,例示出了使兩種片材狀部件緊密貼合在一起的結(jié)構(gòu),但在使更多種類的片材狀部件緊密貼合在一起那樣的生產(chǎn)線中,也能夠適用本發(fā)明。(紫外線固化樹脂)首先,針對(duì)在本發(fā)明的紫外線照射系統(tǒng)中使用的紫外線固化樹脂(UV粘接劑206)進(jìn)行說明。紫外線固化樹脂在紫外線照射前主要為液體,而另一方面,在紫外線照射后變化(固化)為固體。另外,在說明書中,所謂"紫外線固化樹脂"與其狀態(tài)(紫外線照射前的液體狀態(tài)或紫外線照射后的固體狀態(tài))無關(guān),而以統(tǒng)稱的意思使用。紫外線照射前(固化前)的紫外線固化樹脂含有單體和低聚物中的至少一種,并含有光聚合引發(fā)劑和各種添加劑。單體和低聚物為主劑,通過光聚合引發(fā)劑受到紫外線而產(chǎn)生的自由基或陽離子,產(chǎn)生聚合反應(yīng)(主鏈反應(yīng)或交聯(lián)反應(yīng)等)。然后,伴隨著該聚合反應(yīng),單體和低聚物變化為聚合物,分子量變得極大,并且融點(diǎn)降低。其結(jié)果,紫外線固化樹脂從液體變化為固體。單體和低聚物作為一例而由聚酯丙烯酸酯或聚氨酯丙烯酸酯、聚丁二烯丙烯酸酯、有機(jī)硅-丙烯酸酯、環(huán)氧丙烯酸酯等構(gòu)成。單體也稱為單量體,是成為通過聚合反應(yīng)合成聚合物時(shí)的原料的狀態(tài)。另一方面,低聚物也稱為低聚合體,是聚合度為220左右的聚合度較低的狀態(tài)。光聚合引發(fā)劑大致區(qū)分為受到紫外線而產(chǎn)生自由基的自由基聚合引發(fā)劑和受到紫外線而產(chǎn)生陽離子的陽離子聚合引發(fā)劑。此外,對(duì)于丙烯類的單體和低聚物使用自由基聚合引發(fā)劑,對(duì)于環(huán)氧類或乙烯醚類的單體和低聚物使用陽離子聚合引發(fā)劑。進(jìn)而,還可以使用由自由基聚合引發(fā)劑和陽離子聚合弓I發(fā)劑的混合物制成的光聚合引發(fā)劑。自由基聚合引發(fā)劑根據(jù)自由基的發(fā)生過程,大致區(qū)分為脫氫型和分子內(nèi)斷裂型。作為一例,脫氫型由二苯甲酮和鄰苯甲酰苯甲酸甲酯(才》乂xy、/,》安息香酸乂于》)等構(gòu)成。另一方面,作為一例,分子內(nèi)斷裂型由苯偶姻乙醚或芐基二甲基縮酮、a-羥基垸基苯基酮(匕K口年V7》年》7工乂>0、a-氨基垸基苯基酮(73/7W年少7工乂y)、氧苯甲酰苯甲酸甲酯(才年y《y乂^VV安息香酸^于少)(OBM)、4-苯甲?;?4,-甲基二苯硫醚(BMS)、異丙基硫雜蒽酮(IPTX)、二乙基硫雜蒽酮(DETX)、乙基4-(二乙基胺基)苯甲酸酯(DAB)、2-羥基-2-甲基-l-苯基-丙酮、芐基二甲基縮酮(BDK)、1,2a-羥基烷基苯基酮等構(gòu)成。另外,作為一例,陽離子聚合引發(fā)劑由二苯基碘鎗鹽等構(gòu)成。此外,在本說明書中,所使用的"光聚合引發(fā)劑"意義在于,其并不限于殘存有使光聚合反應(yīng)開始的能力的引發(fā)劑,還包括如下的引發(fā)劑最初的光聚合引發(fā)劑因?qū)饩酆戏磻?yīng)做出貢獻(xiàn)而變化、或在周圍不存在成為光聚合對(duì)象的單體和低聚物,從而已經(jīng)成為對(duì)光聚合反應(yīng)的開始沒有貢獻(xiàn)的物質(zhì)。在這里,對(duì)光聚合反應(yīng)做出貢獻(xiàn)后的光聚合引發(fā)劑,在大多數(shù)的情況下大致保持著當(dāng)初的分子大小,或者以分裂為兩個(gè)或者更多個(gè)分子的狀態(tài)在聚合物的末端結(jié)合。如上述,本申請(qǐng)發(fā)明人等發(fā)現(xiàn)該紫外線固化樹脂含有的光聚合引發(fā)劑自身被紫外線照射時(shí),會(huì)放射出與紫外線固化樹脂的固化狀態(tài)相關(guān)的、能夠更詳細(xì)地,本申請(qǐng)發(fā)明人等使用光譜分析器,針對(duì)向具有代表性的紫外線固化樹脂照射波長為365nm的紫外線時(shí)放射出的光的波長進(jìn)行調(diào)查。其結(jié)果確認(rèn)了任一種紫外線固化樹脂也放射出具有比紫外線的波長更長的波長的光(熒光)。這里,紫外線固化樹脂含有的光聚合引發(fā)劑具有以下性質(zhì)。(1)生成用于使聚合反應(yīng)開始的活性種(自由基或酸等)的能力(量子產(chǎn)率、摩爾吸光系數(shù))高。(2)生成反應(yīng)性高的活性種。(3)用于發(fā)揮活性種的生成能力的激發(fā)能量的光譜域是紫外線區(qū)域。艮口,光聚合引發(fā)劑采用容易吸收紫外線的分子結(jié)構(gòu)的物質(zhì),從而容易將由吸收紫外線產(chǎn)生的能量(電子)賦予其它分子。另一方面,由于作為紫外線固化樹脂的主劑的單體和低聚物采用載流子(電子)在分子內(nèi)難以順暢地移動(dòng)的結(jié)構(gòu),所以認(rèn)為幾乎不產(chǎn)生熒光。因此,本申請(qǐng)發(fā)明人等得到本質(zhì)上光聚合弓I發(fā)材料是具有接受紫外線而放射出熒光的性質(zhì)的物質(zhì)的結(jié)論。本發(fā)明的紫外線照射系統(tǒng)是,測定該光聚合引發(fā)材料放射出的熒光,并根據(jù)測定結(jié)果判斷紫外線固化樹脂的固化狀態(tài)的系統(tǒng)。(固化狀態(tài)測定裝置的結(jié)構(gòu))圖2是本發(fā)明的實(shí)施方式1的固化狀態(tài)測定裝置110的示意性的外觀圖。參照?qǐng)D2,固化狀態(tài)測定裝置110由頭部112和控制部114構(gòu)成,控制部114上安裝有搭載了CPU(CentralProcessingUnit:中央處理器)和RAM(RandomAccessMemory:隨機(jī)存取存儲(chǔ)器)等的控制板114a等。頭部112對(duì)作為測定對(duì)象的發(fā)生固化反應(yīng)后的多層膜等照射測定用紫外線50,并且接收由該測定用紫外線50產(chǎn)生的熒光52。此外,控制部114控制來自該頭部112的測定用紫外線50的照射時(shí)機(jī)和照射量等,并且,接收由頭部112接收到的熒光量,來判斷紫外線固化樹脂(UV粘接劑)的固化狀態(tài)。圖3是本發(fā)明的實(shí)施方式1的固化狀態(tài)測定裝置110的概略結(jié)構(gòu)圖。參照?qǐng)D3,控制部114包括CPU40、面板部38、存儲(chǔ)部46和網(wǎng)絡(luò)接口部(I/F)48。另外,面板部38包括顯示部42和操作部44。CPU40是固化狀態(tài)測定裝置110中管理全部處理的控制裝置,通過讀入預(yù)先存儲(chǔ)在存儲(chǔ)部46等中的程序并實(shí)行,實(shí)現(xiàn)以下所示的處理。具體地說,CPU40經(jīng)由網(wǎng)絡(luò)接口部48,從未圖示的控制整個(gè)生產(chǎn)線的控制裝置等接收指令。然后,CPU40根據(jù)這樣的指令,從頭部112向測定對(duì)象照射測定用紫外線50。頭部112接收由該測定用紫外線50產(chǎn)生的熒光52,將與該接收的光量相應(yīng)的測定值輸出到CPU40。CPU40基于該測定值來判斷作為對(duì)象的紫外線固化樹脂(UV粘接劑)的固化狀態(tài)。顯示部42是用于對(duì)用戶顯示涉及固化反應(yīng)的信息的顯示裝置,作為一例,包括LCD(LiquidCrystalDisplay:液晶顯示器)或CRT(Cathode-RayTube:陰極射線管)等顯示器。操作部44是接受來自用戶的操作指令的指令輸入裝置,作為一例,由開關(guān)、觸摸面板或鼠標(biāo)等構(gòu)成,將與用戶操作相應(yīng)的操作指令輸出到CPU40。存儲(chǔ)部46包括存儲(chǔ)程序和各種設(shè)定的非易失性存儲(chǔ)器和用于暫時(shí)地展開程序的易失性存儲(chǔ)器等。網(wǎng)絡(luò)接口部48是用于在上位的控制裝置或其它固化狀態(tài)測定裝置110之間進(jìn)行數(shù)據(jù)通信的部位,作為一例,由以太網(wǎng)(注冊商標(biāo))或USB(UniversalSerialBus:通用串行總線)等構(gòu)成。另一方面,頭部112由投光驅(qū)動(dòng)電路20、投光元件22、半透半反鏡24、濾光器26、受光元件28、高通濾波器電路(HPF:HighPassFilter)30、放大電路32、采樣保持電路(S/H:SampleandHold)34和模擬數(shù)字變換部(ADC)36構(gòu)成。投光驅(qū)動(dòng)電路20根據(jù)來自CPU40的控制指令,供給用于在投光元件22中產(chǎn)生測定用紫外線50的驅(qū)動(dòng)電力。為了除去干擾光,以便能夠更正確地測定由光聚合引發(fā)劑放射出的熒光量,而期望測定用紫外線50的強(qiáng)度周期地發(fā)生變化。因此,投光驅(qū)動(dòng)電路20在接收到由CPU40指示照射的控制指令期間,將以規(guī)定周期變化的驅(qū)動(dòng)電力供給至投光元件22。投光元件22是產(chǎn)生測定用紫外線50的紫外線光源,具有代表性地由紫外線LED構(gòu)成。此外,投光元件22產(chǎn)生的測定用紫外線50的主發(fā)光峰值優(yōu)選為365nm。投光元件22接受由投光驅(qū)動(dòng)電路20供給的驅(qū)動(dòng)電力而產(chǎn)生測定用紫外線50,該測定用紫外線50通過半透半反鏡24而會(huì)聚在規(guī)定的照射位置。受到該測定用紫外線50的照射,在紫外線固化樹脂中產(chǎn)生與其固化狀態(tài)相應(yīng)的熒光52。所產(chǎn)生的熒光52的一部分在實(shí)質(zhì)上與測定用紫外線50的傳播路徑相同的傳播路徑上朝著與測定用紫外線50相反的方向傳播,并入射到半透半反鏡24。半透半反鏡24使該熒光52的傳播方向變化為從紙面向下的方向。于是,熒光52通過濾光器26而入射到受光元件28。S卩,半透半反鏡24分離來自投光元件22的測定用紫外線50和由紫外線固化樹脂放射出的熒光52。這樣,半透半反鏡24通過分離在同一光學(xué)路徑上傳播的測定用紫外線50和熒光52,從而可由受光元件28可靠地檢測出具有微弱強(qiáng)度的熒光52。濾光器26是為了抑制由投光元件22放射出的測定用紫外線50直接入射到受光元件28而配置的,其使紫外區(qū)域的光衰減,另一方面透過可視區(qū)域的光。作為一例,濾光器26由透過波長為410nm以上的光的電介質(zhì)多層膜的濾光片構(gòu)成。作為一例,受光元件28由光電二極管構(gòu)成,產(chǎn)生與通過半透半反鏡24和濾光器26入射的熒光的強(qiáng)度相應(yīng)的電信號(hào)。認(rèn)為在本實(shí)施方式的固化狀態(tài)測定裝置110中,即使利用照明光等的干擾光也會(huì)從紫外線固化樹脂產(chǎn)生熒光。因?yàn)橛稍摳蓴_光產(chǎn)生的熒光主要由直流(DC)成分構(gòu)成,所以在頻率范圍上分離由該干擾光產(chǎn)生的熒光。g卩,照射其強(qiáng)度中含有交流成分(作為一例,脈沖狀變化)的測定用紫外線50,在表示通過該照射而測定的熒光量的信號(hào)中,提取與測定用紫外線50的強(qiáng)度變化周期相應(yīng)的周期成分,作為由測定用紫外線50產(chǎn)生的熒光量而測定。高通濾波器電路30是用于在受光元件28檢測出的熒光量中提取周期成分(起因于測定用紫外線50的成分)的濾波器,使頻率比測定用紫外線50的強(qiáng)度變化周期所對(duì)應(yīng)的周期成分頻率高的成分通過。放大電路32以規(guī)定的放大率(電流電壓變換率)放大來自HPF30的輸出信號(hào),并輸出到采樣保持電路34。然后,采樣保持電路34與從投光元件22照射的測定用紫外線50的脈沖周期同步地采集來自HPF30的輸出信號(hào),將采集的信號(hào)值保持到下一次采集時(shí)。由此,對(duì)應(yīng)于各脈沖的最大振幅值的值從采樣保持電路34輸出。從該采樣保持電路輸出的信號(hào)(模擬電壓信號(hào))由模擬數(shù)字變換部36變換為數(shù)字值,作為熒光量的測定值輸出到CPU4。(測定用紫外線的照射區(qū)域)圖4A、圖4B是示意性地表示由本發(fā)明的實(shí)施方式1的固化狀態(tài)測定裝置的頭部112照射的測定用紫外線50的照射區(qū)域的圖。圖4A表示使用單個(gè)頭部112的情況,圖4B表示在與生產(chǎn)線的搬送方向垂直的方向上配置多個(gè)頭部112的情況。參照?qǐng)D4A,本實(shí)施方式的固化狀態(tài)測定裝置110,由頭部112向測定對(duì)象照射測定用紫外線50,并接收由該測定用紫外線50產(chǎn)生的熒光52。通常,由頭部112照射的測定用紫外線50的照射區(qū)域的大小被設(shè)計(jì)成大于頭部112接收熒光的受光區(qū)域的大小。另一方面,該測定用紫外線50也能夠使紫外線固化樹脂發(fā)生固化反應(yīng)。因此,在頭部112照射的測定用紫外線50的強(qiáng)度相對(duì)大的情況下,與該測定用紫外線50的照射區(qū)域相當(dāng)?shù)牟糠直绕渌糠指赡艽龠M(jìn)固化反應(yīng)。因此,如圖4B所示,優(yōu)選在與搬送方向垂直的方向上配置多個(gè)頭部112,并且,在彼此相鄰的頭部112之間使測定用紫外線的照射區(qū)域重疊。即,通過使與搬送方向垂直的方向上的測定用紫外線的照射強(qiáng)度盡可能均勻化,使得測定用紫外線的照射強(qiáng)度相對(duì)變高,即使在紫外線固化樹脂因該測定用紫外線而發(fā)生固化反應(yīng)的情況下,也能夠抑制對(duì)最終產(chǎn)品的影響(特別是面內(nèi)的固化不勻)。此外,由于是使紫外線固化樹脂固化的反應(yīng)工序,所以即使對(duì)紫外線固化樹脂照射多余的紫外線,也可以忽視對(duì)最終產(chǎn)品的影響。艮P,對(duì)于影響最終產(chǎn)品的因素,只考慮片材面內(nèi)的照射不勻(固化不勻)即可。圖5A、圖5B是用于說明測定用紫外線的照射不勻的影響的圖。圖5A表示測定用紫外線的重疊部分少的情況,圖5B表示測定用紫外線在規(guī)定范圍內(nèi)重疊的情況。參照?qǐng)D5A,在從頭部112照射的測定用紫外線在與搬送方向垂直的方向上沒有充分重疊的情況下,測定用紫外線的照射強(qiáng)度的不勻(偏差)在該垂直的方向上相對(duì)變大。另一方面,參照?qǐng)D5B,從頭部112照射的測定用紫外線在與搬送方向垂直的方向上并在規(guī)定范圍內(nèi)重疊的情況下,測定用紫外線的照射強(qiáng)度的不勻(偏差)在該垂直的方向上相對(duì)變小。如圖5B所示,通過抑制測定用紫外線的照射強(qiáng)度在與搬送方向垂直的方向上的偏差,能夠抑制對(duì)最終產(chǎn)品造成的影響。(固化狀態(tài)和熒光量的關(guān)系)對(duì)于大多數(shù)的紫外線固化樹脂,伴隨著固化反應(yīng)的進(jìn)行,產(chǎn)生的熒光量增加。認(rèn)為這是取決于如下機(jī)理。即,伴隨著固化反應(yīng)(聚合反應(yīng))的進(jìn)行,光聚合引發(fā)劑被消耗,由于未反應(yīng)的光聚合引發(fā)劑減少,所以在由光聚合引發(fā)劑吸收的紫外線照射的光能中,作為用于生成活性種(自由基或酸等)的化學(xué)能量的使用量減少,其中,該活性種用于產(chǎn)生聚合反應(yīng)。另一方面,由于光聚合引發(fā)劑即使在用于聚合反應(yīng)后,還殘留有容易吸收紫外線的性質(zhì),所以通過光聚合引發(fā)劑吸收測定用紫外線而產(chǎn)生的光能量被維持,并變換為與熒光或熱這種化學(xué)能不同形態(tài)的能量。其結(jié)果是,出現(xiàn)隨著紫外線固化樹脂的固化反應(yīng)的進(jìn)行而熒光量增加的趨勢。進(jìn)而,這樣的趨勢起因于紫外線固化樹脂的基本組成,所以在大多數(shù)紫外線固化樹脂中非常普遍。圖6是表示對(duì)通常的紫外線固化樹脂照射規(guī)定強(qiáng)度的紫外線時(shí)的照射時(shí)間與產(chǎn)生的熒光量的關(guān)系的曲線圖。參照?qǐng)D6可知紫外線的照射時(shí)間越長,產(chǎn)生的熒光量也越單調(diào)地增加。由于紫外線的照射時(shí)間與紫外線固化樹脂的固化度密切相關(guān),因而能夠基于由紫外線固化樹脂產(chǎn)生的熒光量,判斷紫外線固化樹脂的固化狀態(tài)。作為一例,比較由紫外線固化樹脂產(chǎn)生的熒光量和規(guī)定的閾值(圖6中,閾值al),如果該熒光量超過閾值al,就能夠判斷為紫外線固化樹脂已充分固化。另外,該閾值al能夠預(yù)先通過實(shí)驗(yàn)求出。(控制結(jié)構(gòu)之一)圖7是表示本發(fā)明的實(shí)施方式1的控制部114中的控制結(jié)構(gòu)的框圖。在本實(shí)施方式中,配置有多個(gè)固化狀態(tài)測定裝置,對(duì)應(yīng)于各固化狀態(tài)測定裝置的控制部114判斷測定部分(下面也稱為"軌跡(track)")中的固化狀態(tài)的好壞。參照?qǐng)D7,各控制部114作為其功能而包括減法部302和比較部304。減法部302從對(duì)應(yīng)的頭部112測定出的熒光量中減去規(guī)定的偏移量(3。該偏移量卩相當(dāng)于從構(gòu)成測定對(duì)象的多層膜的片材狀部件產(chǎn)生的熒光量。即,頭部112測定出的熒光量包括由紫外線固化樹脂產(chǎn)生的成分和由各片材狀部件產(chǎn)生的成分。因此,減法部302從該頭部112測定出的熒光量中減去相當(dāng)于由片材狀部件產(chǎn)生的成分的熒光量。該偏移量(3能夠預(yù)先通過實(shí)驗(yàn)求出,例如在不涂布紫外線固化樹脂的狀態(tài)下,可根據(jù)測定的熒光量確定。比較部304比較從減法部302輸出的值和閾值al,如果該值超過閾值al,就判斷為固化狀態(tài)良好;否則,就判斷為固化狀態(tài)不良。關(guān)于該閾值al,也可以預(yù)先通過實(shí)驗(yàn)求出。這樣,多個(gè)控制部114各自判斷對(duì)應(yīng)的軌跡中的固化狀態(tài)的好壞并輸出該判斷結(jié)果。基于這些判斷結(jié)果,可以判斷在生產(chǎn)線的任一部位中是否發(fā)生什么不良情況。此外,由于在生產(chǎn)線中沿著搬送方向搬送測定對(duì)象,所以如果發(fā)生什么不良情況,就認(rèn)為在相同軌跡上連續(xù)發(fā)生固化不良。進(jìn)而,通過將來自多個(gè)控制部114的固化狀態(tài)的好壞判斷結(jié)果和線速度(延伸距離)建立關(guān)聯(lián)存儲(chǔ),從而也可以特定最終產(chǎn)品中固化狀態(tài)不充分的部位。進(jìn)而,也可以二維表示這類測繪結(jié)果。(控制結(jié)構(gòu)之二)對(duì)于在平板顯示器等中使用的多層膜,需要抑制面內(nèi)的固化不均勻。因此,不僅需要如上述那樣基于來自各軌跡的熒光量的大小的絕對(duì)值進(jìn)行判斷,而且還需要判斷軌跡間的熒光量的偏差是否也在允許范圍內(nèi)。圖8是表示本發(fā)明的實(shí)施方式1的用于判斷固化好壞的控制結(jié)構(gòu)的框圖。這種控制結(jié)構(gòu)既可以安裝在多個(gè)控制部114中的一個(gè)上,也可以安裝在總括多個(gè)控制部114的控制裝置等上。圖8所示的控制結(jié)構(gòu)包括最大值提取部(MAX)312、最小值提取部(MIN)314、減法部316和比較部318。最大值提取部312提取在多個(gè)頭部112中分別測定出的熒光量中最大的值。另外,最小值提取部314提取在多個(gè)頭部112中分別測定出的熒光量中最小的值。然后,減法部316計(jì)算出在最大值提取部312中提取的熒光量和在最小值提取部314中提取的熒光量之差。g卩,減法部316計(jì)算出在多個(gè)頭部112中分別測定的熒光量中最大值和最小值之差。比較部318將該減法部316計(jì)算出的熒光量的最大值和最小值之差與規(guī)定的閾值運(yùn)算部a2進(jìn)行比較,若該值超過閾值a2,則視為在多層膜的面內(nèi)產(chǎn)生了固化不勻,判斷為固化狀態(tài)不良。否則,就判斷為固化狀態(tài)良好。艮口,如果由多個(gè)頭部112分別測定的熒光量中的最大值和最小值之差(偏差)超過了能夠允許的范圍,則比較部318判斷為固化不良。對(duì)于該閾值a2,可預(yù)先通過實(shí)驗(yàn)求出。根據(jù)該發(fā)明的實(shí)施方式,在使用紫外線固化樹脂(UV粘結(jié)劑)貼合多個(gè)片材狀部件的生產(chǎn)線上,能夠在線判斷該紫外線固化樹脂的固化狀態(tài)。因此,即使有在制造過程中產(chǎn)生不良情況等,也能夠檢測到該不良情況的發(fā)生,并且根據(jù)該不良情況的內(nèi)容進(jìn)行生產(chǎn)線的調(diào)整等。由此,與在事后進(jìn)行抽樣檢査的情況不同,能夠避免在制造后判斷為產(chǎn)品全部為不良產(chǎn)品這樣的事故。在上述實(shí)施方式l中,雖然針對(duì)相同的頭部照射測定用紫外線并且接收熒光的結(jié)構(gòu)進(jìn)行了例示,但是將各功能分開來構(gòu)成也可以。圖9是具有本發(fā)明實(shí)施方式1的第一變形例的固化狀態(tài)測定裝置的紫外線照射系統(tǒng)100B的概略結(jié)構(gòu)圖。參照?qǐng)D9,在本實(shí)施方式的紫外線照射系統(tǒng)100B中,在第一片材204和第二片材202通過UV粘結(jié)劑206而層疊的位置的下游側(cè),配置有用于照射測定用紫外線的照射頭部122和多個(gè)受光頭部124。圖10是用于說明照射頭部122和受光頭部124的位置關(guān)系的圖。參照?qǐng)D10,照射頭部122在與搬送方向垂直的方向上照射大致均勻的測定用紫外線(投光區(qū)域),各受光頭部124接收從各受光區(qū)域產(chǎn)生的熒光量并測定該熒光量。對(duì)于其他的部位(控制部等),由于與上述的實(shí)施方式1相同,所以不再重復(fù)進(jìn)行詳細(xì)的說明。圖11是表示照射頭部122的主要部位的立體圖。圖12是表示構(gòu)成照射頭部122的光學(xué)模塊602的一例的立體圖。參照?qǐng)D11,作為一個(gè)示例,照射頭部122是將多個(gè)光學(xué)模塊602排列配置為一列而構(gòu)成的。該被連接的光學(xué)模塊602的數(shù)目根據(jù)所適用的生產(chǎn)線的寬度等進(jìn)行適當(dāng)選擇。參照?qǐng)D12,各光學(xué)模塊602包括產(chǎn)生測定用紫外線的光源604;透過從光源604產(chǎn)生的測定用紫外線的透鏡部606;保持光源604和透鏡部606的保持架部608;覆蓋保持架608的切口部的蓋部610。光源604代表性地由紫外線LED(LightEmittingDiode:發(fā)光二極管)等構(gòu)成,由光源604產(chǎn)生的測定用紫外線在被透鏡部606擴(kuò)散后,向測定對(duì)象照射。利用上述這樣的結(jié)構(gòu),照射頭部122在與搬送方向垂直的方向上照射大致均勻的測定用紫外線。對(duì)于其他的控制結(jié)構(gòu)等,由于與實(shí)施方式1相同,不重復(fù)進(jìn)行詳細(xì)說明。根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施方式,除了上述實(shí)施方式1中得到的效果外,可使與搬送方向垂直的方向上的測定用紫外線的照射強(qiáng)度進(jìn)一步均勻化。[實(shí)施方式1的第二變形例]在上述實(shí)施方式1及其第一變形例中,針對(duì)使用多個(gè)光源產(chǎn)生測定用紫外線的結(jié)構(gòu)進(jìn)行了說明,但是,在實(shí)施方式l的第二變形例中,針對(duì)使用單一光源的結(jié)構(gòu)進(jìn)行說明。本發(fā)明的實(shí)施方式1的第二變形例的紫外線照射系統(tǒng)的概略結(jié)構(gòu)與圖9所示的本發(fā)明的實(shí)施方式1的第一變形例的紫外線照射系統(tǒng)100B相同,不重復(fù)進(jìn)行詳細(xì)的說明。圖13是用于說明本發(fā)明的實(shí)施方式1的第二變形例的照射頭部132的動(dòng)作狀態(tài)的圖。參照?qǐng)D13,照射頭部132將測定用紫外線放射為線束(LineBeam)狀。圖14是照射頭部132的光學(xué)系統(tǒng)的示意圖。參照?qǐng)D14,照射頭部132包括產(chǎn)生紫外線的激光光源502;配置在激光光源502的光軸上的準(zhǔn)直透鏡504;配置在該激光光源502的光軸上的擴(kuò)散透鏡506。從激光光源502射出的測定用紫外線,在通過準(zhǔn)直透鏡504后變換為平行光,并導(dǎo)向至擴(kuò)散透鏡506。在該擴(kuò)散透鏡506中,測定用紫外線被變換為擴(kuò)散光束,射向測定對(duì)象。對(duì)于其他的控制結(jié)構(gòu),由于與上述實(shí)施方式l相同,不重復(fù)進(jìn)行詳細(xì)說明。根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施方式,除了上述實(shí)施方式1中得到的效果外,既可維持結(jié)構(gòu)簡單,又能夠使與搬送方向垂直的方向上的測定用紫外線的照射強(qiáng)度進(jìn)一步均勻化。在上述實(shí)施方式1及其變形例中,針對(duì)將多層膜作為測定對(duì)象的情況進(jìn)行了例示,該多層膜經(jīng)由一層紫外線固化樹脂使兩個(gè)種類的片材狀部件緊密貼合而成,但是,在本實(shí)施方式中,針對(duì)測定具有多個(gè)紫外線固化樹脂層的多層膜的固化狀態(tài)的情況進(jìn)行例示。(多層膜的結(jié)構(gòu))首先,參照?qǐng)D15,針對(duì)在具有代表性的平板顯示器中使用的多層膜進(jìn)行說明。圖15是表示具有代表性的液晶顯示器的剖面結(jié)構(gòu)的一例的圖。參照?qǐng)D15,液晶顯示器由分別實(shí)現(xiàn)特定功能的多個(gè)層構(gòu)成。具體地說,由兩個(gè)玻璃層416夾持的液晶層418位于中心,在其顯示面?zhèn)纫来螌盈B有光學(xué)補(bǔ)償片420、偏振片422、防反射片424。另外,液晶層418的背光側(cè)依次層疊有光學(xué)補(bǔ)償片414、偏振片412、亮度提高片410、透鏡片408、光擴(kuò)散片406。另外,作為背光,由光源400、改變來自光源的光的傳播方向的導(dǎo)光板402和反射板404構(gòu)成。光擴(kuò)散片406擴(kuò)散來自光源400的光而使其在面內(nèi)方向均勻化。透鏡片408將由光擴(kuò)散片406擴(kuò)散的光會(huì)聚在規(guī)定的位置上。亮度提高片410調(diào)整色溫度等來提高亮度。偏振片412、422根據(jù)液晶的取向方向等,將來自光源400的光在規(guī)定方向偏振。光學(xué)補(bǔ)償片414、420具體地為1/4波長片等,并且對(duì)光學(xué)相位或偏振光方向等進(jìn)行調(diào)整。另外,防反射片424防止由環(huán)境光等的干擾光引起的漫反射。進(jìn)而,光學(xué)補(bǔ)償片414、420及偏振片412、422等為了實(shí)現(xiàn)所要求的光學(xué)特性,大多是將多個(gè)片材緊密貼合而形成。在制造用于這類液晶顯示器的多層膜的過程中,在層疊多個(gè)片材的狀態(tài)下,有時(shí)也必須測定處于特定的層的紫外線固化樹脂的固化狀態(tài)。因此,在本實(shí)施方式中,基于由紫外線固化樹脂產(chǎn)生的熒光的波長,測定紫外線固化樹脂的在各層的固化狀態(tài)。(固化狀態(tài)測定裝置的結(jié)構(gòu))圖16是本發(fā)明的實(shí)施方式2的固化狀態(tài)測定裝置110A的概略結(jié)構(gòu)圖。參照?qǐng)D16,固化狀態(tài)測定裝置110A由頭部142、控制部114A構(gòu)成,測定通過測定用紫外線的照射而產(chǎn)生的熒光的光譜,并且,基于該熒光光譜,判斷紫外線固化樹脂在各層的固化狀態(tài)。另外,也有利于分離由紫外線固化樹脂產(chǎn)生的熒光和由片材本身產(chǎn)生的熒光。頭部142包括LED投光模塊152、透鏡模塊154、分光模塊156和AD(AnalogtoDigital:模擬/數(shù)字)變換部158。LED投光模塊152包括紫外線LED152a,其產(chǎn)生例如波長為365nm的測定用紫外線;準(zhǔn)直透鏡152b,其將由該紫外線LED152a產(chǎn)生的測定用紫外線變換為平行光。透過該準(zhǔn)直透鏡152b的測定用紫外線被導(dǎo)入到透鏡模塊154。透鏡模塊154包括用于反射來自LED投光模塊152的測定用紫外線50并將其導(dǎo)向測定位置的二色鏡(dichroicmirror)154a、配置于二色鏡154a和測定位置之間的光學(xué)路徑上的準(zhǔn)直透鏡154b、配置于準(zhǔn)直透鏡154b和二色鏡154a的光軸延長線上的反射鏡154c。此外,可采用如下所述的結(jié)構(gòu)來代替圖示的透鏡模塊154的結(jié)構(gòu)設(shè)置半透半反鏡來代替二色鏡154a,并且,在該半透半反鏡和分光模塊165之間的光學(xué)路徑上設(shè)置透過熒光且遮擋紫外線的濾光器。由LED投光模塊152放射出的測定用紫外線50被二色鏡154a反射,傳播方向變化為從紙面向下方向,透過準(zhǔn)直透鏡154b,照射到測定對(duì)象上。因該測定用紫外線50而由測定對(duì)象產(chǎn)生的熒光52,在與測定用紫外線50大致相同的光學(xué)路徑上沿著與測定用紫外線50相反的方向傳播,通過準(zhǔn)直透鏡154b和二色鏡154a而入射到反射鏡154c。反射鏡154c所反射的熒光52被導(dǎo)入到分光模塊156。分光模塊156包括將熒光52按波長分離的分光元件、接收被按波長分離的熒光52并輸出與該受光強(qiáng)度相應(yīng)的信號(hào)的強(qiáng)度檢測部156b。作為強(qiáng)度檢測部156b,使用具有代表性的線性CCD(ChargedCoupleDevice:電荷藕合裝置)等。通過這樣的結(jié)構(gòu),根據(jù)測定用紫外線而能夠測定由測定對(duì)象產(chǎn)生的熒光光譜。(熒光的波長特性)首先,針對(duì)由紫外線固化樹脂產(chǎn)生的熒光的波長特性進(jìn)行說明。表1表示調(diào)査具有代表性的紫外線固化樹脂有無放射熒光的結(jié)果。表1中表示如下的結(jié)果使用光譜分析器,調(diào)查對(duì)多個(gè)紫外線固化樹脂分別照射波長365nm的紫外線時(shí)有無熒光放射和熒光放射所涉及的峰值波長。表l光聚合引發(fā)劑熒光放射的有無峰值波長三鍵公司制3034〇有熒光放射420nm三鍵公司制3114〇有熒光放射470nm三鍵公司制3033〇有熒光放射450nm三鍵公司制3042〇有熒光放射460nm三鍵公司制3065〇有熒光放射480腦三鍵公司制3064〇有熒光放射500nm三鍵公司制3113B〇有熒光放射420nm500腿三鍵公司制3114B〇有熒光放射480nm三鍵公司制3056B〇有熒光放射420nm530nm三鍵公司制3134〇有熒光放射470nm凱密公司制凱密膠U-1582〇有熒光放射480nm凱密公司制凱密膠U-1481〇有熒光放射430nm凱密公司制凱密膠U-1595〇有熒光放射420nm凱密公司制凱密膠U-406B〇有熒光放射470nm凱密公司制凱密膠U-1541〇有熒光放射420nm520nm凱密公司制凱密膠U-1542O:有熒光放射480證凱密公司制凱密膠U-1542J〇有熒光放射470nm凱密公司制凱密膠U-403B〇有熒光放射480腦凱密公司制凱密膠U-1455B〇有熒光放射430nm凱密公司制凱密膠U-1537〇有熒光放射425證510nm凱密公司制凱密膠U-483B〇有熒光放射470nm凱密公司制凱密膠U-401O:有熒光放射420nm<table>tableseeoriginaldocumentpage21</column></row><table>圖17是對(duì)各個(gè)種類的紫外線固化樹脂繪制產(chǎn)生的熒光的主發(fā)光峰值的曲線圖。圖17所示的圖的橫軸是為了方便而對(duì)作為對(duì)象的紫外線固化樹脂標(biāo)記的連續(xù)號(hào)碼。參照表1和圖17,能夠確認(rèn)與照射紫外線(波長為365nm)相比,作為對(duì)象的所有紫外線固化樹脂放射出波長長的熒光。這樣可以說通過測定用紫外線的照射而由紫外線固化樹脂產(chǎn)生的熒光的波長比測定用紫外線的波長更長,并且其波長依存于紫外線固化樹脂的種類。以下,參照?qǐng)D18圖25,針對(duì)所測定的熒光的光譜特性的一例進(jìn)行說明。另外,圖19圖25表示如下情況下測定的熒光的光譜特性以預(yù)先照射規(guī)定量的紫外線而發(fā)生固化反應(yīng)后的紫外線固化樹脂為對(duì)象,對(duì)這些紫外線固化樹脂都照射主發(fā)光峰值為365nm的紫外線。圖18表示測定用紫外線(主發(fā)光峰值365nm)的光譜特性。圖19表示三鍵公司制3034的光譜特性。圖20表示凱密公司制凱密膠U-1582的光譜特性。圖21表示凱密公司制凱密膠U-1481的光譜特性。圖22表示凱密公司制凱密膠U-1595的光譜特性。圖23表示凱密公司制凱密膠U-1542的光譜特性。圖24表示凱密公司制凱密膠U-1542J的光譜特性。圖25表示凱密公司制凱密膠U-1455B的光譜特性。與圖18所示的光譜特性相比可知關(guān)于圖19圖25所示的光譜特性,在不同的波長存在主發(fā)光峰值。這樣,通過測定由紫外線固化樹脂產(chǎn)生的熒光的光譜,能夠確定紫外線固化樹脂的種類,并且,基于該主發(fā)光峰值的絕對(duì)值,能夠判斷該紫外線固化樹脂的固化狀態(tài)。即,即使對(duì)含有多個(gè)紫外線固化樹脂的層的多層膜,如果能夠確定各紫外線固化樹脂的種類,則在產(chǎn)生的熒光光譜中,有選擇地提取對(duì)應(yīng)的波長,從而也能夠判斷各層的固化狀態(tài)。但是,對(duì)于經(jīng)過多個(gè)制造工序依次層疊的多層膜,有時(shí)也難以在任一制造工序中判斷固化狀態(tài)。這是因?yàn)樵谇肮ば虻奶幚韮?nèi)容不明確的情況下,不能確定已經(jīng)使用的紫外線固化樹脂的種類。因此,在本實(shí)施方式的紫外線照射系統(tǒng)中,在對(duì)紫外線固化樹脂照射用于促進(jìn)固化反應(yīng)的紫外線之前和之后的位置,分別測定熒光的光譜,基于該光譜之差,判斷作為對(duì)象的紫外線固化樹脂的固化狀態(tài)。由此,不依存于前工序中的處理,就能夠評(píng)價(jià)成為對(duì)象的工序中的紫外線固化樹脂的固化反應(yīng)。(整體結(jié)構(gòu))圖26是本發(fā)明的實(shí)施方式2的紫外線照射系統(tǒng)100C的概略結(jié)構(gòu)圖。參照?qǐng)D26,在本實(shí)施方式的紫外線照射系統(tǒng)100C中,在紫外線照射部106的上游側(cè)和下游側(cè),分別配置有多個(gè)頭部142。即,在紫外線照射部106的上游側(cè)配置的多個(gè)頭部142,對(duì)UV粘接劑206在固化反應(yīng)前的初期狀態(tài)下的熒光的光譜進(jìn)行測定;在紫外線照射部106的下游側(cè)配置的多個(gè)頭部142,對(duì)UV粘接劑206在固化反應(yīng)后的熒光的光譜進(jìn)行測定。(控制結(jié)構(gòu))圖27是表示本發(fā)明的實(shí)施方式2的控制部中的控制結(jié)構(gòu)的框圖。在本實(shí)施方式中,基于在照射用于促進(jìn)紫外線固化樹脂的固化反應(yīng)的紫外線前后測定的兩種熒光光譜,判斷固化狀態(tài)的好壞。此外,分別配置頭部142,從而在照射用于促進(jìn)固化反應(yīng)的紫外線前后分別接收來自共同的軌跡的熒光量的方式。另外,圖27中具有代表性示出判斷一條軌跡中的固化狀態(tài)的好壞的結(jié)構(gòu),但在覆蓋多條軌跡來配置頭部142的情況下,設(shè)置多個(gè)圖27所示的控制結(jié)構(gòu)。參照?qǐng)D27,本實(shí)施方式的控制部包括波長選擇部362、364、減法部366和比較部368。波長選擇部362在通過配置于紫外線照射部106(圖26)的下游側(cè)的頭部142測定的熒光光譜中,選擇與以下特定波長X對(duì)應(yīng)的強(qiáng)度值并輸出,其中,該特定波長X相當(dāng)于成為對(duì)象的紫外線固化樹脂(UV粘接劑206)的主發(fā)光峰值。同樣,波長選擇部364在通過配置于紫外線照射部106(圖26)的上游側(cè)的頭部142測定的熒光光譜中,選擇與以下特定波長X對(duì)應(yīng)的強(qiáng)度值并輸出,其中,該特定波長X相當(dāng)于成為對(duì)象的紫外線固化樹脂(UV粘接劑206)的主發(fā)光峰值。這里,波長X由用戶設(shè)定或根據(jù)來自上位的控制裝置等的指令設(shè)定。此外,可以輸出對(duì)以特定波長X為中心的規(guī)定范圍內(nèi)所含有的強(qiáng)度值累計(jì)而得到的值。減法部366從來自波長選擇部362的輸出值中減去來自波長選擇部364的輸出值。即,減法部366將由配置于紫外線照射部106的上游側(cè)的頭部142測定的特定波長入的強(qiáng)度值作為初期值,從來自波長選擇部362的輸出值中減去該初期值。由此,即使在第一片材204或第二片材202上預(yù)先含有紫外線固化樹脂的情況下,也在減法部366輸出的值中,除去了依存于這類初期條件的要素。比較部368比較由減法部366輸出的輸出值和閾值a3,如果該輸出值超過閾值a3,就判斷為固化狀態(tài)良好;否則,就判斷為固化狀態(tài)不良。關(guān)于該閾值a3,也可以預(yù)先通過實(shí)驗(yàn)求出。除上述方法以外,也可以計(jì)算出在上游側(cè)測定的熒光光譜和在下游側(cè)測定的熒光光譜之差后,求出峰值波長或求出特定波長范圍的強(qiáng)度。根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施方式,除在上述實(shí)施方式1中得到的效果以外,即使對(duì)含有多個(gè)紫外線固化樹脂層的多層膜,也能夠判斷固化狀態(tài)。即,基于根據(jù)紫外線固化樹脂的種類而產(chǎn)生的熒光的特定波長的成分,可以確定特定的紫外線固化樹脂。此外,即使在含有什么種類的紫外線固化樹脂不明確的情況下,也可以基于在新涂布的紫外線固化樹脂的固化反應(yīng)前和固化反應(yīng)后測定的熒光,判斷該紫外線固化樹脂的固化狀態(tài)。因此,可以提高在經(jīng)過多種工序制造的平板顯示器中使用的多層膜的品質(zhì)。(頭部間的校正)在多個(gè)頭部排列在與搬送方向垂直的方向上的情況下,為了檢査該垂直方向上的固化狀態(tài)的偏差,需要使各頭部中的用于產(chǎn)生測定用紫外線50的紫外線光源或用于接收所產(chǎn)生的熒光的受光元件的特性相互一致。即,這是因?yàn)槲忠蜻@些元件的偏差而錯(cuò)誤地判斷固化狀態(tài)有偏差。另外,如上所述,即使在基于在上游側(cè)測定的熒光光譜和在下游側(cè)測定的熒光光譜之差來判斷固化狀態(tài)的好壞的結(jié)構(gòu)中,對(duì)降低在上游側(cè)配置的受光元件和在下游側(cè)配置的受光元件之間的偏差也是有效的。因此,為了使這些頭部的特性一致,優(yōu)選采用以下說明的校正方法。圖28A、圖28B是用于說明校正多個(gè)頭部112的方法的圖。參照?qǐng)D28A、圖28B,作為具有代表性的校正方法,有使用預(yù)先已知應(yīng)產(chǎn)生的熒光量的樣品的方法。具體地說,準(zhǔn)備具有多個(gè)頭部112配置的寬度(或線寬)的標(biāo)準(zhǔn)樣品1和標(biāo)準(zhǔn)樣品2。這里,標(biāo)準(zhǔn)樣品1選擇產(chǎn)生的熒光量相對(duì)少的物品,標(biāo)準(zhǔn)樣品2選擇產(chǎn)生的熒光量相對(duì)多的物品。具有代表性的是,標(biāo)準(zhǔn)樣品1由金屬構(gòu)成,標(biāo)準(zhǔn)樣品2由有機(jī)物構(gòu)成。然后,將各個(gè)標(biāo)準(zhǔn)樣品配置于頭部112的照射區(qū)域(受光區(qū)域),分別測定熒光量。圖29是用于說明根據(jù)測定的熒光量進(jìn)行校正的方法的圖。參照?qǐng)D29,基于應(yīng)從標(biāo)準(zhǔn)樣品1測定的測定值和實(shí)際測定的值之差,進(jìn)行偏移校正。進(jìn)而,進(jìn)行用于調(diào)整頭部112的熒光的檢測靈敏度的增益校正,使得應(yīng)從標(biāo)準(zhǔn)樣品2測定的測定值和實(shí)際測定的值一致。另外,偏移校正和增益校正通過調(diào)整圖3所示的放大電路32來實(shí)現(xiàn)。(溫度補(bǔ)正)受到測定用紫外線的照射而由紫外線固化樹脂產(chǎn)生的熒光具有溫度依存性。S卩,產(chǎn)生的熒光的量依存于含有紫外線固化樹脂的多層膜的溫度而發(fā)生變動(dòng),因而為了避免因這樣的變動(dòng)而造成的錯(cuò)誤判斷,優(yōu)選使在各控制結(jié)構(gòu)中使用的閾值等與這類多層膜的溫度建立關(guān)系而進(jìn)行最優(yōu)化。(掃描機(jī)構(gòu))在上述實(shí)施方式中,雖然針對(duì)將固化狀態(tài)測定裝置相對(duì)于生產(chǎn)線加以固定的情況進(jìn)行了例示,但是,也可以使用X-Y工作臺(tái)等而使固化狀態(tài)測定裝置自身自由移動(dòng)。應(yīng)該認(rèn)為本次公開的實(shí)施方式中的所有內(nèi)容僅是例示的內(nèi)容,而本發(fā)明的范圍并不僅限于此。本發(fā)明的范圍并不是通過上述的說明內(nèi)容來表示的,而是通過權(quán)利要求的內(nèi)容來確定的,包括與權(quán)利要求同等意義或范圍內(nèi)的所有變更。權(quán)利要求1.一種固化狀態(tài)測定裝置,用于測定紫外線固化樹脂的固化狀態(tài),該紫外線固化樹脂包括主劑和光聚合引發(fā)劑,其中,該主劑由單體和低聚物的至少一種構(gòu)成,該固化狀態(tài)測定裝置的特征在于,包括第一照射單元,照射用于激發(fā)所述紫外線固化樹脂的紫外線,第一受光單元,接收通過照射所述紫外線而從所述紫外線固化樹脂產(chǎn)生的熒光,判斷單元,基于由所述第一受光單元測定的熒光的量,來判斷所述紫外線固化樹脂的固化狀態(tài)的好壞;所述紫外線固化樹脂介于至少兩個(gè)片材狀部件之間,所述第一照射單元隔著一個(gè)所述片材狀部件向所述紫外線固化樹脂照射所述紫外線。2.如權(quán)利要求l所述的固化狀態(tài)測定裝置,其特征在于,所述至少兩個(gè)片材狀部件沿著規(guī)定的搬送方向連續(xù)地被搬送,在所述至少兩個(gè)片材狀部件的搬送路徑上,配置有照射紫外線的固化裝置,該紫外線用于促進(jìn)所述紫外線固化樹脂中的固化反應(yīng),所述第一照射單元和所述第一受光單元由排列在與所述搬送方向垂直的方向上的多個(gè)頭部構(gòu)成。3.如權(quán)利要求2所述的固化狀態(tài)測定裝置,其特征在于,所述判斷單元基于來自通過所述固化裝置后的紫外線固化樹脂的熒光量的大小,來判斷所述固化狀態(tài)的好壞。4.如權(quán)利要求2所述的固化狀態(tài)測定裝置,其特征在于,所述判斷單元基于與所述搬送方向垂直的方向上的熒光量的偏差,來判斷所述固化狀態(tài)的好壞。5.如權(quán)利要求2所述的固化狀態(tài)測定裝置,其特征在于,還包括第二照射單元,對(duì)通過所述固化裝置前的紫外線固化樹脂照射用于進(jìn)行激發(fā)的紫外線,第二受光單元,接收因所述第二照射單元照射紫外線而從所述紫外線固化樹脂產(chǎn)生的熒光;所述判斷單元基于由所述第一受光單元測定出的熒光的量和由所述第二受光單元測定出的熒光的量,來判斷所述紫外線固化樹脂的固化狀態(tài)的好壞。6.如權(quán)利要求1或2所述的固化狀態(tài)測定裝置,其特征在于,所述受光單元包括第一分光單元,該第一分光單元通過對(duì)所述熒光進(jìn)行分光,從而取得所述熒光的光譜,所述判斷單元基于在所述第一分光單元中取得的熒光光譜中與所述紫外線固化樹脂對(duì)應(yīng)的特定波長的強(qiáng)度值,來判斷所述紫外線固化樹脂的固化狀態(tài)的好壞。7.如權(quán)利要求6所述的固化狀態(tài)測定裝置,其特征在于,還包括第二照射單元,對(duì)通過所述固化裝置前的紫外線固化樹脂照射用于進(jìn)行激發(fā)的紫外線,第二分光單元,通過接收因所述第二照射單元照射紫外線而從所述紫外線固化樹脂產(chǎn)生的熒光,來取得所述熒光的光譜;所述判斷單元基于由所述第一分光單元取得的光譜和由所述第二分光單元取得的光譜,來判斷所述紫外線固化樹脂的固化狀態(tài)的好壞。全文摘要本發(fā)明提供一種能夠測定使用紫外線固化樹脂連續(xù)制造的多層膜中的固化狀態(tài)的固化狀態(tài)測定裝置。在紫外線照射部(106)的下游側(cè)配置有構(gòu)成本實(shí)施方式的固化狀態(tài)測定裝置的多個(gè)頭部(112)。該多個(gè)頭部(112)被排列在與搬送方向垂直的方向上,測定所搬送的多層膜的一方向上的UV粘接劑的固化狀態(tài)。固化狀態(tài)測定裝置實(shí)時(shí)(在線)測定介于第一片材(204)和第二片材(202)之間的UV粘接劑(206)的固化狀態(tài)。進(jìn)而,如果該UV粘接劑(206)的固化狀態(tài)有任何不良情形,就進(jìn)行與該不良情形相應(yīng)的處理、例如更換構(gòu)成紫外線照射部(106)的紫外線燈等。文檔編號(hào)G01N21/64GK101393125SQ20081016564公開日2009年3月25日申請(qǐng)日期2008年9月19日優(yōu)先權(quán)日2007年9月21日發(fā)明者中宗憲一,今井清司,長谷部洋治申請(qǐng)人:歐姆龍株式會(huì)社
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