專利名稱：圖案檢查裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及對形成于基板的圖案照射照明光，獲得被照明了的圖案圖 像，自動地進(jìn)行檢查的圖案檢查裝置，特別涉及在每次進(jìn)行圖案的檢查時， 可測定照明光的照度，防止不良遺漏的圖案檢查裝置。
背景技術(shù)：
公知有如下的圖案檢查裝置具備對帶狀工件的寬度方向賦予張力的 工件保持機(jī)構(gòu)，對被該保持機(jī)構(gòu)所保持的薄膜狀帶狀工件照射照明光，通 過攝像機(jī)構(gòu)，對形成于帶狀工件的圖案予以攝像，進(jìn)行圖案檢查(參照例 如專利文獻(xiàn)l，專利文獻(xiàn)2等)。
另外，本發(fā)明者在先提案有如下的圖案檢查裝置及圖案檢查方法在 對形成于透光性的基板上的圖案照射照明光，根據(jù)所拍攝的圖像判斷圖案 的良否的圖案檢査中，對透光性基板，進(jìn)行下述照明，即利用由基板的形 成有圖案的側(cè)，以對檢查區(qū)域傾斜地射入的方式進(jìn)行照射的第1照明機(jī)構(gòu) 的照明；及利用由與基板的形成有圖案側(cè)相反側(cè)照射照明光的第2照明機(jī) 構(gòu)的照明，并對基板，通過設(shè)置于第1照明機(jī)構(gòu)側(cè)的攝像機(jī)構(gòu)，對基板的 圖案進(jìn)行攝像(日本特愿2007-137577號)。
通過使用此圖案檢查裝置及圖案檢查方法，根據(jù)由攝像機(jī)構(gòu)所拍攝的 圖像的輝度分布圖案，能夠檢測配線圖案的線寬及圖案上有無凹坑(凹部； pit)，能以1次的攝像圖像進(jìn)行凹坑的檢測與圖案的線寬的測定，因此能夠 在短時間內(nèi)進(jìn)行有無凹坑的存在與圖案的寬度檢查。[專利文獻(xiàn)1]日本特開2004-28597號公報 [專利文獻(xiàn)2]日本特開2006-17642號公報
若依據(jù)上述日本特愿2007-137577號，通過利用對檢查區(qū)域傾斜地照 射的第1照明機(jī)構(gòu)(反射照明機(jī)構(gòu))的照明光，檢測位于圖案上的凹坑。詳細(xì) 而言，當(dāng)在圖案上存在有凹坑時，則被該部分所反射的照明光射入至攝像 機(jī)構(gòu)，作為明亮的部分被攝像。另外，通過從與形成有基板的圖案側(cè)相反 側(cè)進(jìn)行照射的第2照明機(jī)構(gòu)(透射照明機(jī)構(gòu))的照明光來測定圖案的線寬。
作為反射及透射照明機(jī)構(gòu)的光源，可考慮使用燈、LED等，但無論使 用哪一個，照度均會因時間變化而降低。作為照度隨時間降低的狀態(tài)，考 慮下述3種組合。
(1 )僅透射照明機(jī)構(gòu)的照度降低的情況。
(2) 僅反射照明機(jī)構(gòu)的照度降低的情況。
(3) 反射照明機(jī)構(gòu)與透射照明機(jī)構(gòu)雙方降低的情況。
以下，說明關(guān)于各自的情況，說明檢查裝置如何進(jìn)行動作。 (1 )僅透射照明機(jī)構(gòu)的照度降低的情況。
透射照明機(jī)構(gòu)，形成有配線圖案的部分照明光不通過，而透光性的基 板的部分照明光通過，檢測配線圖案的線寬。
當(dāng)透射照明光的照度降低時，通過基板的部分的照明光的量變少，因 此，基板的部分也變暗，所拍攝的圖像整體性變暗。因此，檢查裝置會錯 誤判斷為線寬較粗的不良。以后，此線寬較粗的不良會連續(xù)產(chǎn)生。
(2)僅反射照明機(jī)構(gòu)的照度降低的情況。
當(dāng)反射照明機(jī)構(gòu)的照度較低時，即使在圖案的表面存在有凹部(凹坑)，也無法明亮地攝像，其結(jié)果，無法檢測到凹部(凹坑)的存在。但，由于透射 照明機(jī)構(gòu)的照度為正常，因此圖案的線寬能正常地進(jìn)行測定。因此，若在 線寬無異常的話，則會遺漏凹部(凹坑)的存在，造成視為良品的情況產(chǎn)生。
(3)反射照明機(jī)構(gòu)與透射照明機(jī)構(gòu)雙方降低的情況。
與僅透射照明機(jī)構(gòu)的照度降低的情況相同。即，由于通過基板的部分 的照明光的量變少，所以基板的部分也變暗，所拍攝的圖像整體性變暗。 因此，檢查裝置會錯誤判斷為線寬較粗的不良。以后，此線寬較粗的不良 會連續(xù)產(chǎn)生。
上述(l)的僅透射照明機(jī)構(gòu)的照度降低的情況、與上述(3)的反射照明機(jī) 構(gòu)和透射照明機(jī)構(gòu)雙方降低的情況，會將良品錯誤判斷為不良品，但至少 不會遺漏不良品。另外，若加上當(dāng)線寬較粗的不良情況連續(xù)產(chǎn)生時使裝置 停止并測定透射照明的照度的控制的話，能夠減少將良品錯誤判斷為不良 品的件數(shù)。
但，在僅反射照明機(jī)構(gòu)的照度降低的情況，會有遺漏不良，而使不良 品作為良品而流出，及未發(fā)現(xiàn)其照度降低的狀態(tài)長時間持續(xù)的情況。為了 防止此情況，必須定期地測定反射照明機(jī)構(gòu)的照度，確認(rèn)是否為預(yù)先設(shè)定 的照度值(照度的下限值)以上來進(jìn)行檢查。
為了測定照明光的照度，例如在工件的檢查區(qū)域配置照度計，對該處 照射照明光，進(jìn)行照度測定。
但，照度也有以某時間點(diǎn)為分界，急劇地降低的情況，對預(yù)測成為下 限值以下的時間點(diǎn)極為困難。因此，需要頻繁地進(jìn)行照度的測定，但當(dāng)照 度測定的次數(shù)增加時，則會造成工件的圖案檢查的時間相應(yīng)變長，處理量降低。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明是監(jiān)于上述事情而開發(fā)完成的發(fā)明，其目的在于，不會降低圖 案檢查的處理量，在每次進(jìn)行圖案的檢查時進(jìn)行反射照明機(jī)構(gòu)的照度測定， 不會遺漏凹坑的存在。
在本發(fā)明中，以下述的方式解決上述問題。
(1) 本發(fā)明提供的圖案檢査裝置，具備對形成有圖案的工件照射反射 照明光的反射照明機(jī)構(gòu)；對被上述反射照明機(jī)構(gòu)照明了的上述圖案進(jìn)行攝 像的攝像機(jī)構(gòu)；及保持工件的工件保持機(jī)構(gòu)，在攝像機(jī)構(gòu)通過的區(qū)域設(shè)置 反射構(gòu)件。
此反射構(gòu)件，將來自于反射照明機(jī)構(gòu)的照明光朝攝像機(jī)構(gòu)反射，攝像 機(jī)構(gòu)接收此反射光。裝置的控制部，基于此反射光的輝度，測定來自于反 射照明機(jī)構(gòu)的照明光的照度并比較閾值，判定是否持續(xù)進(jìn)行圖案檢查。
艮口，上述控制部讀入圖像，當(dāng)來自于反射構(gòu)件的反射光存在時，將其 亮度與預(yù)先所設(shè)定的閾值進(jìn)行比較。并且，如果所獲得的照度為預(yù)先設(shè)定 的照度的下限值以上，則持續(xù)進(jìn)行圖案檢査。另外，如果照度值比下限值 小，則不進(jìn)行有無凹坑的存在的判定，停止圖案檢查。
(2) 在上述(1)中，設(shè)置有具備反射照明機(jī)構(gòu)與上述攝像機(jī)構(gòu)的攝像單 元、和使工件保持機(jī)構(gòu)相對地移動的移動機(jī)構(gòu)，在上述攝像機(jī)構(gòu)通過的區(qū) 域，設(shè)置有將來自于上述反射照明機(jī)構(gòu)的光朝攝像機(jī)構(gòu)進(jìn)行反射的反射 構(gòu)件。
(3) 具備有對形成有圖案的長條狀的薄膜工件照射反射照明光的反射照明機(jī)構(gòu)；對被上述反射照明機(jī)構(gòu)所照明的上述圖案進(jìn)行攝像的攝像機(jī)構(gòu)； 保持上述薄膜工件的工件保持機(jī)構(gòu)；及將具備上述反射照明機(jī)構(gòu)與上述攝 像機(jī)構(gòu)的攝像單元朝上述工件的寬度方向移動的攝像單元移動機(jī)構(gòu)。
在上述攝像機(jī)構(gòu)通過的區(qū)域，設(shè)有將來自于上述反射照明機(jī)構(gòu)的光 朝攝像機(jī)構(gòu)進(jìn)行反射的反射構(gòu)件。
(4) 在上述(3)中，將反射構(gòu)件設(shè)置于工件保持機(jī)構(gòu)的工件的寬度方向兩 側(cè)(工件的寬度方向左右2部位)。在該情況，在進(jìn)行檢査的圖案的攝像前后， 能夠測定照明光的照度有無變化。
(5) 在上述(1)(2)(3)(4)中，將反射構(gòu)件做成為其反射面呈倒圓錐狀或圓 錐狀形狀。
發(fā)明的效果
在本發(fā)明，能夠獲得以下的效果。
(1) 在攝像機(jī)構(gòu)通過的區(qū)域設(shè)置反射構(gòu)件，基于攝像單元的攝像元件所 接收圖像的反射構(gòu)件的輝度，測定反射照明光的照度。因此，在檢查區(qū)域 配置照度計，進(jìn)行檢査時，不需要使照度計由檢查區(qū)域回避，能夠作為對 圖案進(jìn)行攝像的一連串的順序中的一部分來進(jìn)行照度測定。
因此，即使頻繁地進(jìn)行反射照明光的照度測定，圖案檢查的時間也不 會變長，處理量也不會降低。
(2) 在每次對圖案照射反射照明光進(jìn)行攝像時，可進(jìn)行照度測定，能夠 防止在比下限值低的照度下所進(jìn)行圖案的攝像。因此，能夠防止遺漏圖案 上的凹部(凹坑)。
(3) 在攝像機(jī)構(gòu)為對工件的寬度方向相對地移動并進(jìn)行攝像的情況時， 通過將反射構(gòu)件設(shè)置于工件保持機(jī)構(gòu)中的工件的寬度方向兩側(cè)(工件的寬度方向左右2個部位)，能夠在各圖案檢查的前后進(jìn)行照度測定。因此，即
使在圖案攝像途中，照度急劇地降低的情況，也能迅速地檢測到照明光的 照度降低。


圖1是表示本發(fā)明的第1實(shí)施例圖案檢查裝置的概略結(jié)構(gòu)的圖。
圖2是表示圖1的圖案檢查裝置的檢查部的詳細(xì)結(jié)構(gòu)的圖。
圖3是表示反射構(gòu)件(反射鏡)的形狀例的圖。
圖4是說明圖案檢查裝置的動作的圖(1)。
圖5是說明圖案檢查裝置的動作的圖(2)。
圖6是說明圖案檢査裝置的動作的圖(3)。
圖7是表示控制部的動作的流程圖。
圖8是表示本發(fā)明的第2實(shí)施例圖案檢查裝置的概略結(jié)構(gòu)的圖。 圖9是表示本發(fā)明的第3實(shí)施例圖案檢査裝置的概略結(jié)構(gòu)的圖。
符號說明
10:帶搬送機(jī)構(gòu)；11:送出用巻筒；12:巻取用巻筒；21:反射照明 機(jī)構(gòu)；22:透射照明機(jī)構(gòu)；3:標(biāo)記部；4:控制部；4a:圖像處理部；4b: CPU; 5:檢查部；51:攝像單元；52: CCD線傳感器；53:透鏡單元；54: CCD面?zhèn)鞲衅鳎?0:反射構(gòu)件(反射鏡)；61:反射鏡保持機(jī)構(gòu)；71:搬送 滾子；72:制動滾輪；80:掃描機(jī)構(gòu)；90:工件保持機(jī)構(gòu)；91:工件保持 機(jī)構(gòu)(工件平臺)；81:攝像單元驅(qū)動機(jī)構(gòu)；81a:馬達(dá)；81b:軌道；W:工 件；P:圖案
具體實(shí)施方式
圖1是表示本發(fā)明第1實(shí)施例的薄膜工件的圖案檢查裝置的概略結(jié)構(gòu) 的圖。
本實(shí)施例的薄膜工件的圖案檢査裝置(以下也稱為圖案檢查裝置)，具備
薄膜工件搬送機(jī)構(gòu)(帶搬送機(jī)構(gòu))IO，形成有圖案的TAB(Tape Antomated Bonding)帶、FPC(Flexible Printed Circuits)等的薄膜工件W(以下也稱為工 件)，從帶搬送機(jī)構(gòu)10的送出用巻筒11開巻，被巻取至巻取用巻筒12。
在巻取用巻筒12的附近，設(shè)有對不良的圖案賦予標(biāo)記的標(biāo)記部3。在 標(biāo)記部3中，對被判定為不良的圖案，實(shí)施利用沖頭的穿孔、涂色等的標(biāo) 記，做成為能以目視來確認(rèn)該部分為不良。
由送出用巻筒U所送出的薄膜工件W，被送至檢查部5。在檢查部5 的搬送下游側(cè)設(shè)有搬送滾子71，另外，在檢査部5的搬送上游側(cè)設(shè)有制動 滾輪72，薄膜工件W在較長方向施加張力的同時間歇地被搬送。
在檢查部5上設(shè)有對形成于工件W的電路等的圖案進(jìn)行攝像的攝像單 元51，對于工件W與攝像單元51相同側(cè)設(shè)有反射照明機(jī)構(gòu)21，在攝像單 51的相反側(cè)設(shè)有透射照明機(jī)構(gòu)22。
攝像單元51接收反射照明機(jī)構(gòu)21的被薄膜工件W所反射的照明光產(chǎn) 生的圖案像、與透射照明機(jī)構(gòu)22的透射薄膜工件W的照明光產(chǎn)生的圖案 像而進(jìn)行攝像。
在攝像單元51上安裝有掃描機(jī)構(gòu)80，掃描機(jī)構(gòu)80在薄膜工件W的檢 查圖案上，以攝像單元51與反射照明機(jī)構(gòu)21及透射照明機(jī)構(gòu)22為一組， 使其朝工件W的寬度方向(該圖正前方^^度方向)移動，獲得薄膜工件W的 檢查區(qū)域(形成有圖案的區(qū)域)全體的圖像。另外，在檢査部5上也設(shè)有當(dāng)通過攝像單元51獲得圖案圖像時，保
持薄膜工件w的寬度方向的兩端(邊緣)，將工件w朝寬度方向拉引并施加
張力，降低松弛的工件保持機(jī)構(gòu)90。再者，圖1中省略工件保持機(jī)構(gòu)90 的結(jié)構(gòu)，工件保持機(jī)構(gòu)的構(gòu)成例在圖2中進(jìn)行說明。
裝置的控制部4具有圖像處理部4a與CPU4b，被攝像單元51所拍攝 的圖像圖案，在圖像處理部4a進(jìn)行圖像處理后送至CPU4b。
另外，向CPU4b從輸入部4c輸入照度的基準(zhǔn)值，CPU4b將圖像的輝 度分布圖案與上述基準(zhǔn)值進(jìn)行比較，檢測配線圖案的線寬、及圖案上有無 凹部。另外，若為異常的話，由警報產(chǎn)生部4d輸出警報。另外，控制部4 控制檢査部5、標(biāo)記部3及帶搬送機(jī)構(gòu)10等的圖案檢查裝置全體的動作。
圖2是表示圖1的圖案檢査裝置的檢查部的詳細(xì)結(jié)構(gòu)的圖。再者，省 略透射照明機(jī)構(gòu)22加以表示。
圖2(a)是由薄膜工件W的搬送方向觀看檢查部的圖，圖2(b)是由攝像 單元51側(cè)觀看工件W的圖。
反射照明機(jī)構(gòu)21呈輪帶(環(huán))狀設(shè)置于攝像單元51的周圍，由攝像單元 51的360°全方位對工件W進(jìn)行照明。
攝像單元51是以作為攝像元件的CCD線傳感器52、及具有使薄膜工 件W上的圖案成像于此CCD線傳感器52上的光學(xué)元件(單片或多片的透 鏡)的透鏡單元53所構(gòu)成。CCD線傳感器52的較長方向沿工件W的搬送 方向設(shè)置。
另外，在攝像單元51中，安裝有由對應(yīng)于前述的掃描機(jī)構(gòu)80的馬達(dá) 81a與軌道81b所構(gòu)成的攝像單元驅(qū)動機(jī)構(gòu)81，通過將攝像單元51朝工件W的寬度方向(圖2(b)的箭號方向)進(jìn)行掃描(scan)，來對形成于工件W上的 配線等的圖案P進(jìn)行攝像。
工件邊緣保持機(jī)構(gòu)90設(shè)置于工件W的進(jìn)行攝像的區(qū)域的寬度方向兩 側(cè)，從上下把持工件W的未形成有圖案的兩側(cè)周邊部，以不會產(chǎn)生松弛的 方式對工件W賦予張力。再者，關(guān)于這種把持工件W的兩側(cè)周邊部的圖 案檢査裝置，在前述專利文獻(xiàn)l， 2中被記載。
在工件邊緣保持機(jī)構(gòu)卯的攝像單元51側(cè)中的攝像單元51通過的區(qū)域， 安裝有反射構(gòu)件(反射鏡)60。
反射構(gòu)件(反射鏡)60，為了能夠?qū)碜杂诔瘦啂?環(huán))狀設(shè)置于攝像單元 51的周圍的反射照明機(jī)構(gòu)21的光均勻地反射，如圖3(a)所示，反射面呈例 如研缽狀(倒圓錐狀)。反射面的角度設(shè)定成，來自于反射照明機(jī)構(gòu)21的照 明光可射入至攝像單元51。
再者，反射構(gòu)件(反射鏡)60，也可如圖3(b)所示，是具有配合照明光的
射入角度而傾斜的反射面的圓錐狀反射鏡。
通過反射構(gòu)件(反射鏡)60所反射的照明光，射入至攝像單元51的CCD 線傳感器52?？刂撇?檢測反射構(gòu)件(反射鏡)的輝度為256色階中的哪一 色階。
預(yù)先根據(jù)實(shí)驗(yàn)，求出在能夠檢測出圖案上的凹部(凹坑)的下限的照度下 進(jìn)行照明時的反射構(gòu)件(反射鏡)60的輝度的色階，對控制部4從前述輸入
部4c輸入該值，作為照度的基準(zhǔn)值予以存儲。
控制部4，將射入至CCD線傳感器52的反射構(gòu)件(反射鏡)60的輝度、 與所存儲的下限照度的輝度進(jìn)行比較，若反射構(gòu)件(反射鏡)60的輝度較下限照度的輝度低的話，則判斷為反射照明光的輝度降低，停止裝置的檢查 動作，進(jìn)行警報等的故障顯示。
另外，反射構(gòu)件(反射鏡)60是如圖2(a)(b)所示，設(shè)置于工件保持機(jī)構(gòu) 90中的工件W的寬度方向兩側(cè)的2個部位。
以下，根據(jù)圖4、圖5、圖6的動作說明圖、圖7的流程圖，說明圖案 檢査裝置的動作。
如圖4所示，工件W被搬送，進(jìn)行檢查的區(qū)域停止于檢查部5。接著， 反射照明機(jī)構(gòu)21及透射照明機(jī)構(gòu)22(未圖示)亮燈。
在進(jìn)行配線圖案的攝像的前，使來自反射照明機(jī)構(gòu)21的照明光反射于 設(shè)置在工件保持機(jī)構(gòu)90的一方側(cè)的反射構(gòu)件(反射鏡)60，并被攝像單元51 的CCD線傳感器52所接收。此反射構(gòu)件60的圖像被送至控制部4并被存 儲。
如圖5所示，通過攝像單元驅(qū)動機(jī)構(gòu)81，使攝像單元51在工件W的 寬度方向，由一方側(cè)朝另一方側(cè)(由該圖右朝左)掃描。被反射照明機(jī)構(gòu)21 及透射照明機(jī)構(gòu)22照明的配線圖案像，被攝像單元51的CCD線傳感器所 接收，以控制部4加以存儲(圖7的步驟S1， S2)。
如圖6所示，當(dāng)配線圖案的攝像結(jié)束時，來自反射照明機(jī)構(gòu)21的照明 光反射于設(shè)置在工件保持機(jī)構(gòu)90的另一方側(cè)的反射構(gòu)件(反射鏡)60，被攝 像單元51的CCD線傳感器52所接收。反射構(gòu)件60的圖像由控制部4加 以存儲。
反射照明機(jī)構(gòu)21及透射照明機(jī)構(gòu)22熄燈。'
控制部4，對在配線圖案拍攝前后所接收的反射構(gòu)件60的反射光進(jìn)行圖像處理，求出反射構(gòu)件60的輝度的色階(圖7的步驟S3)。將此輝度與上 述的預(yù)先存儲的在能夠檢測出圖案上凹部(凹坑)的下限值的照度下迸行照 明時的反射構(gòu)件60的輝度進(jìn)行比較(圖7的步驟S4)。
若反射構(gòu)件60的輝度比下限照度的輝度低的話，則視為反射照明光的 照度降低，控制部4停止裝置運(yùn)作，進(jìn)行警報等的故障顯示(圖7的步驟S6)。
若反射構(gòu)件60的輝度為下限照度的輝度以上的話，則控制部4進(jìn)行在 圖5中所拍攝的配線圖案的檢査(圖7的步驟S5)。
若該圖案的檢查結(jié)束的話，則搬送工件W，使下一個進(jìn)行檢査的區(qū)域 停止于檢查部5。
以下，反覆進(jìn)行上述的動作，但攝像單元51朝與上述相反方向(由圖5 左朝右)移動。如此，攝像單元51呈鋸齒狀移動，用以進(jìn)行攝像與檢査。
在本實(shí)施例的情況，因在工件保持機(jī)構(gòu)90中的工件W的寬度方向兩 側(cè)2個部位設(shè)置反射鏡，所以，不論在攝像單元51由圖5的右朝左移動的 情況還是由左朝右移動的情況，均可進(jìn)行配線圖案拍攝前后的輝度(照度) 的測定。因此，在進(jìn)行圖案攝像的途中，反射照明光產(chǎn)生大的照度變化的 情況，在該階段能夠停止進(jìn)行檢査。
若反射鏡僅設(shè)置于工件保持機(jī)構(gòu)90的其中一方時，則照度的測定僅可 在某圖案的攝像前與下一個圖案的攝像后進(jìn)行。因此，當(dāng)檢測到照度成為 下限值以下時，不易判別為是剛結(jié)束的圖案攝像時照度降低，還是在其之 前的圖案攝像時照度降低。
本發(fā)明不限于上述實(shí)施例，也可為以下的結(jié)構(gòu)。
(l)在上述實(shí)施例中，將反射照明光的照度僅對下限值進(jìn)行比較，但也可進(jìn)一步與上限值進(jìn)行比較。當(dāng)反射照明光的照度過高時，原本不具問題 的小凹坑(凹部)也變亮即看起來很大，成為過渡檢測的原因。為了防止此問 題產(chǎn)生，確認(rèn)反射照明光的照度不會過亮。
(2) 上述實(shí)施例所表示的為同時地進(jìn)行反射照明與透射照明的圖案檢查 裝置，但在僅使用反射照明進(jìn)行檢査的裝置，也可用于確認(rèn)反射照明光的 照度。
(3) 在上述實(shí)施例中，使攝像單元51對工件移動，但也可適用于固定攝 像單元51，使把持工件W的工件保持機(jī)構(gòu)90移動的結(jié)構(gòu)的裝置。
(4) 在上述實(shí)施例中，在攝像單元51上使用CCD線傳感器，將攝像單 元51朝工件W的寬度方向移動，用以對圖案進(jìn)行攝像，但也可在攝像單 元51使用CCD面陣照相機(jī)，將檢查區(qū)域一并地進(jìn)行攝像的裝置。在該情 況，于位在CCD面陣照相機(jī)的攝像區(qū)域(視野)內(nèi)的工件保持機(jī)構(gòu)的部分設(shè) 置反射構(gòu)件，進(jìn)行圖案的攝像的同時，讀入反射構(gòu)件的圖像，計算其輝度(照 度)。
(5) 另外，在上述實(shí)施例中，說明了關(guān)于薄膜工件的圖案檢查裝置的情 況，但本發(fā)明也可同樣地適用于形成在印刷基板等的葉片式工件的圖案的 檢查裝置。
圖8是表示本發(fā)明的第2實(shí)施例的印刷基板的圖案檢查裝置的檢查部 的結(jié)構(gòu)的圖。本檢查裝置為通過使用CCD面?zhèn)鞲衅鞯臄z像機(jī)構(gòu)一并地獲得 較小的印刷基板(工件W)的整個面的圖像，并進(jìn)行檢查的裝置。
圖8(a)是由側(cè)面觀看檢查部的圖，圖8(b)是由攝像單元51側(cè)觀看作為 工件W的印刷基板的圖。再者，在該圖中，省略透射照明機(jī)構(gòu)22。反射照明機(jī)構(gòu)21呈輪帶(環(huán))狀地設(shè)置于攝像單元51的周圍，由攝像單 元的360°全方位，對已被載置于工件保持機(jī)構(gòu)(工件平臺)91上的工件W 的前面進(jìn)行照明。
攝像單元51由作為攝像元件的CCD面?zhèn)鞲衅?4、與具有使工件W上 的圖案成像于此CCD面?zhèn)鞲衅?4上的光學(xué)元件的透鏡單元53所構(gòu)成。 CCD面?zhèn)鞲衅?4，將通過照明機(jī)構(gòu)21所照明的工件W全面的圖像一并地 進(jìn)行攝像。其與第l實(shí)施例不同處為，攝像單元51被固定，當(dāng)進(jìn)行工件W 的攝像時不會移動。
攝像單元51的CCD面?zhèn)鞲衅?4的視野與反射照明機(jī)構(gòu)21照明的區(qū) 域被設(shè)定成比被攝像的工件W的整面稍廣。
當(dāng)進(jìn)行工件W的攝像時，使來自于反射照明機(jī)構(gòu)21的照明光反射于 攝像單元的CCD面?zhèn)鞲衅?4的反射構(gòu)件(反射鏡)60，被插入至工件W的 外側(cè)即CCD面?zhèn)鞲衅?4的視野內(nèi)及反射照明機(jī)構(gòu)21照明的區(qū)域內(nèi)。再者， 所插入的反射構(gòu)件60，若對工件的搬入搬出不會造成問題的話，不需要加 以退避。
如圖8所示，反射構(gòu)件(反射鏡)60，通過反射鏡保持機(jī)構(gòu)61加以保持， 反射鏡保持機(jī)構(gòu)61通過未圖示的驅(qū)動機(jī)構(gòu)，使反射構(gòu)件(反射鏡)60可插入 退避于CCD面?zhèn)鞲衅?4的視野內(nèi)即反射照明機(jī)構(gòu)21照明的區(qū)域內(nèi)。
再者，在該圖中，雖設(shè)有2個反射構(gòu)件(反射鏡)60，但也可僅設(shè)置1 個。其中，若為2個以上的話，也可測定反射照明光的內(nèi)面的照度分布。 另外，反射構(gòu)件(反射鏡)60，也可以埋入至工件平臺91的CCD面?zhèn)鞲衅?54的視野內(nèi)的反射照明機(jī)構(gòu)21照明的區(qū)域內(nèi)等加以設(shè)置。通過反射構(gòu)件(反射鏡)60所反射的照明光，射入至CCD面?zhèn)鞲衅?4， 與第1實(shí)施例的情況同樣地，控制部4檢測反射構(gòu)件(反射鏡)60的輝度， 若比下限照度的輝度低的話，則判斷為反射照明光的照度降低，停止裝置 的檢查動作，進(jìn)行警報等的故障顯示。
圖9是表示本發(fā)明的第3實(shí)施例的印刷基板的圖案檢查裝置的檢査部 的結(jié)構(gòu)的圖。
本檢查裝置為在較大的印刷基板(工件W)上，使攝像單元移動，獲得 圖像并進(jìn)行檢查的裝置，僅工件W的形狀不同，其余的檢查部的結(jié)構(gòu)、動 作，基本上與前述第l實(shí)施例相同。
圖9(a)是由側(cè)面觀看檢查部的圖，圖9(b)是由攝像單元51側(cè)觀看作為 工件W的印刷基板的圖。再者，省略了透射照明機(jī)構(gòu)22。
反射照明機(jī)構(gòu)21是呈輪帶(環(huán))狀地設(shè)置于攝像單元51的周圍，從攝像 單元的36CT全方位，對工件W全面進(jìn)行照明。
攝像單元51由作為攝像元件的CCD線傳感器52、與具有使工件W上 的圖案成像于此CCD線傳感器52上的光學(xué)元件的透鏡單元53所構(gòu)成。
在攝像單元51上安裝有由馬達(dá)81a與軌道81b所構(gòu)成的攝像單元驅(qū)動 機(jī)構(gòu)81，通過使攝像單元51在工件W上朝該圖箭號方向掃描(scan)，對形 成于此工件W上的配線等的圖案進(jìn)行攝像。
另外，在攝像單元51通過的區(qū)域，插入有將來自于反射照明機(jī)構(gòu)21 的照明光反射于攝像單元51的CCD線傳感器52的反射構(gòu)件(反射鏡)60。 如圖9所示，反射構(gòu)件(反射鏡)60被反射鏡保持機(jī)構(gòu)61所保持。反射鏡保 持機(jī)構(gòu)61，通過未圖示的驅(qū)動機(jī)構(gòu)，將反射構(gòu)件(反射鏡)61可插入、退出攝像單元51所通過的區(qū)域。
再者，在該圖中，設(shè)有2個反射構(gòu)件(反射鏡)60，但也可設(shè)置l個。另 外，反射構(gòu)件(反射鏡)60也可設(shè)置成為埋入于工件平臺91中的攝像單元51 通過的區(qū)域等。
通過反射構(gòu)件(反射鏡)60所反射的照明光，射入至CCD線傳感器52， 與第1實(shí)施例的情況同樣地，控制部4檢測反射構(gòu)件(反射鏡)60的輝度， 若比下限照度的輝度低的話，則判斷為反射照明光的照度降低，停止裝置 的檢査動作，進(jìn)行警報等的故障顯示。
權(quán)利要求
1. 一種圖案檢查裝置，其特征為具備對形成有圖案的工件照射反射照明光的反射照明機(jī)構(gòu)；對被上述反射照明機(jī)構(gòu)照明了的上述圖案進(jìn)行攝像的攝像機(jī)構(gòu)；及保持工件的工件保持機(jī)構(gòu)，在上述攝像機(jī)構(gòu)的視野內(nèi)，設(shè)有將來自上述反射照明機(jī)構(gòu)的光朝攝像機(jī)構(gòu)進(jìn)行反射的反射構(gòu)件。
2. —種圖案檢査裝置，其特征為具備對形成有圖案的工件照射反射照明光的反射照明機(jī)構(gòu)；對被上 述反射照明機(jī)構(gòu)照明了的上述圖案進(jìn)行攝像的攝像機(jī)構(gòu)；保持工件的工件 保持機(jī)構(gòu)；具備上述反射照明機(jī)構(gòu)與上述攝像機(jī)構(gòu)的攝像單元；及使上述 工件保持機(jī)構(gòu)相對地移動的移動機(jī)構(gòu)，在上述攝像機(jī)構(gòu)通過的區(qū)域，設(shè)有將來自上述反射照明機(jī)構(gòu)的光朝攝像機(jī)構(gòu)進(jìn)行反射的反射構(gòu)件。
3. —種圖案檢査裝置，其特征為具備對形成有圖案的長條狀的薄膜工件照射反射照明光的反射照明 機(jī)構(gòu)；對被上述反射照明機(jī)構(gòu)照明了的上述圖案進(jìn)行攝像的攝像機(jī)構(gòu)；保 持上述薄膜工件的工件保持機(jī)構(gòu)；及使具備上述反射照明機(jī)構(gòu)與上述攝像 機(jī)構(gòu)的攝像單元朝上述工件的寬度方向移動的攝像單元移動機(jī)構(gòu)，在上述攝像機(jī)構(gòu)通過的區(qū)域，設(shè)有將來自上述反射照明機(jī)構(gòu)的光朝 攝像機(jī)構(gòu)進(jìn)行反射的反射構(gòu)件。
4. 如權(quán)利要求3所述的圖案檢查裝置，其特征為上述反射構(gòu)件設(shè)置于工件保持機(jī)構(gòu)的工件的寬度方向兩側(cè)。
5.如權(quán)利要求l、 2、 3或4任一項(xiàng)所述的圖案檢查裝置，其特征為 上述反射構(gòu)件，其反射面為倒圓錐狀或圓錐狀。
全文摘要
本發(fā)明提供一種圖案檢查裝置，其不會降低圖案檢查的處理量，可進(jìn)行反射照明機(jī)構(gòu)的照度測定，且不會遺漏凹坑的存在。該圖案檢查裝置，其攝像單元(51)于工件(W)的寬度方向進(jìn)行掃描，以攝像單元接收被反射照明機(jī)構(gòu)(21)照明了的配線圖案像，以未圖示的控制部予以存儲。另外，來自于反射照明機(jī)構(gòu)的照明光被反射構(gòu)件(反射鏡)(60)反射，以攝像單元接收。控制部將反射構(gòu)件的反射光進(jìn)行圖像處理，求出輝度，將此輝度與下限值進(jìn)行比較，若比下限照度的輝度低的話，則視為反射照明光的照度降低，控制部停止裝置運(yùn)作，進(jìn)行警報等的故障顯示。另外，若反射構(gòu)件的輝度為下限照度的輝度以上的話，控制部(4)進(jìn)行所拍攝的配線圖案的檢查。
文檔編號G01N21/956GK101441182SQ200810178239
公開日2009年5月27日 申請日期2008年11月17日 優(yōu)先權(quán)日2007年11月22日
發(fā)明者松田僚三, 野本憲太郎 申請人:優(yōu)志旺電機(jī)株式會社