專利名稱：接口裝置與其控制方法、老化測試系統(tǒng)的制作方法
技術領域：
本發(fā)明涉及半導體器件老化測試中的接口技術，以及老化測試系統(tǒng)。
背景技術：
為了確保器件的可靠性，在器件被制造出來之后，往往需要在老化測試系統(tǒng)中完 成老化測試工藝。老化測試(Burn-in Test)，就是在高溫下， 一般來說為IO(TC以上，長時 間用高于操作電源電壓的高電壓加到存儲器晶體管的控制極上，使器件中每個單元承受過 度的負荷，盡早地暴露出器件中的缺陷，從而檢測出有缺陷的器件。 常用的老化測試系統(tǒng)，包括老化測試裝置以及老化板(Burn-in Board)。老化測試 裝置可至少包括環(huán)境試驗箱以及在該環(huán)境試驗箱內(nèi)部并與該環(huán)境試驗箱成一體的驅(qū)動單 元環(huán)境試驗箱可提供并控制滿足靜態(tài)老化測試的測試環(huán)境條件，例如溫度條件；驅(qū)動單 元，用于在環(huán)境試驗箱所提供的測試環(huán)境下，對器件進行各項功能測試。為提高產(chǎn)量，常將 多個待測器件裝在一個大的印刷電路板上，也就是老化板。老化板上的多個待測器件相互 并聯(lián)，同時進行老化測試。老化測試裝置以及應用于老化測試的老化板的結(jié)構，也可參考申 請?zhí)枮?00610163541. 1的中國專利申請"老化試驗裝置及老化試驗板"。
在測試過程中，首先將待測器件與老化板相連接，接著將老化板放入老化測試裝 置的環(huán)境試驗箱中，并與其中的驅(qū)動單元相連接，接著根據(jù)待測器件所需測試的功能，通過 環(huán)境試驗箱調(diào)節(jié)溫度等條件，以實現(xiàn)測試所需要的測試環(huán)境，并通過驅(qū)動單元對老化板上 的待測器件進行功能性測試，以檢測出有缺陷的器件。 目前市場中，老化測試裝置制造廠商所提供的老化測試裝置中，環(huán)境試驗箱和驅(qū)
動單元往往是一體化的，只能提供有限的測試環(huán)境條件與功能性測試的組合。 舉例來說，大多數(shù)老化測試裝置所設置的老化測試溫度最高僅為150°C ，有時客戶
為了獲得較高的產(chǎn)品質(zhì)量，需要在較高的溫度下進行老化測試，例如175t:甚至更高，此時
大多數(shù)老化測試裝置就無法滿足用戶的需求，事實上，并不乏可替代環(huán)境試驗箱、提供較高
溫度的烤箱，然而這些烤箱由于不具備可提供功能性老化測試的驅(qū)動單元，無法進行使用。 又例如，對于存儲器件和邏輯器件，存儲器件所需要進行的功能性測試相對于邏
輯器件而言較為基礎。 一般來說，對存儲器件而言，將所有待測存儲器件由統(tǒng)一的方式寫
入，然后單獨選中每一個，將其存入的數(shù)據(jù)讀出并與原來的值對照，相應地，每個存儲器件
必須與其它器件進行電性隔離，并且對存儲器件進行老化測試的驅(qū)動單元被設計成具有地
址信號，通過對每個器件單獨選通來實施老化測試。而邏輯器件通常被用于測試是否能實
現(xiàn)所設計的功能，而適用于邏輯器件的驅(qū)動單元一般不需要具有地址信號。因而即使同樣
是對待測器件進行讀寫，由于器件類型不一致，必須分而使用不同的驅(qū)動單元。 因而，對于制造邏輯器件以及存儲器件的器件制造廠商而言，根據(jù)所生產(chǎn)器件的
特性，往往需要購買多個可提供各種不同測試環(huán)境條件與功能性測試組合的老化測試裝
置，這不僅增加了購置成本，還占用了大量的廠房，提高了維護成本，而每一臺老化測試裝
置也無法得到充分的利用。
專利號為99126840. 7的中國專利"電子元器件綜合型老化篩選裝置"中公開了一 種電子元器件的老化篩選裝置，所述老化篩選裝置具有多個試驗工位，實現(xiàn)了對不同封裝 及極性的電子元器件的老化，但是其老化溫度只能達到75°C 士5t:的范圍，遠不滿足半導 體器件老化所需要的高溫條件(至少大于IO(TC )，并且所述老化篩選裝置是通過巡檢控 制儀裝置控制電源極性變換裝置，使老化電源滿足不同極性元器件老化的要求，從而擴大 可適用元器件的范圍的，也就是說，所述老化篩選裝置只是通過改變適用電源電壓將可適 用元器件范圍由單一品種擴大到可用于如二、三極管、可控硅、三端穩(wěn)壓器、電阻等極性元 器件，但仍不能適用于更多其它類型的半導體器件，比如多種存儲器件，或者其它邏輯器件 等，也不能適用于更多測試條件下的老化測試。 另外，當器件制造出來之后，往往需要根據(jù)其器件類型以及需要進行的老化測試， 選擇相應的老化測試裝置，并且，根據(jù)驅(qū)動單元的引腳以及該待測器件的引腳，制作可適用 于采用該老化測試裝置對該待測器件進行老化測試的新的老化板。也就是說，每當制造出 一種新的半導體器件時，或者當對某待測器件進行了調(diào)整，需要使用不同的老化測試裝置 進行測試時，將不得不制作新的老化板。因此，在現(xiàn)有老化技術中，老化板的利用率比較低。
因此，基于上述問題，對于半導體器件來說，需要一種可兼容現(xiàn)有老化測試裝置以 及老化板并可擴展的老化測試系統(tǒng)。
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明申請所解決的問題是，提供一種連接半導體器件老化測試裝置中的驅(qū)動單 元和老化板的接口裝置、對所述接口裝置的控制方法，以及包括所述接口裝置的老化測試 系統(tǒng)，以實現(xiàn)對老化測試裝置的擴展使用。 為解決上述問題，本發(fā)明提供了一種接口裝置，連接半導體器件老化測試裝置中 的驅(qū)動單元和老化板，其特征在于，包括驅(qū)動接口件，用于連接所述驅(qū)動單元并傳輸信號； 老化板接口件，用于連接所述老化板并傳輸信號；類型匹配單元，用于連接所述驅(qū)動接口件 和所述老化板接口件，根據(jù)待測器件的類型，對所述驅(qū)動接口件與所述老化板接口件通信 的信號進行類型匹配，并傳輸所述信號。 可選的，當通過所述接口裝置將存儲器件與適用于邏輯器件的驅(qū)動單元連接并進 行測試時，所述類型匹配單元將所述驅(qū)動接口件傳輸?shù)妮斎胄盘柵c所述老化板接口件傳輸 的地址信號匹配，將所述驅(qū)動接口件傳輸?shù)妮敵鲂盘柵c所述老化板接口件傳輸?shù)妮斎?輸 出信號匹配，將所述驅(qū)動接口件傳輸?shù)臏y試模式選擇信號與所述老化板接口件傳輸?shù)臅r鐘 信號匹配，以及將所述驅(qū)動接口件傳輸?shù)臏y試時鐘信號與所述老化板接口件傳輸?shù)碾娫葱?號匹配。 可選的，當通過所述接口裝置將邏輯器件與適用于存儲器件的驅(qū)動單元連接并進 行測試時，所述類型匹配單元將所述驅(qū)動接口件傳輸?shù)牡刂沸盘柵c所述老化板接口件傳輸 的輸入信號建立匹配，將所述驅(qū)動接口件傳輸?shù)妮斎?輸出信號與所述老化板接口件傳輸 的輸出信號建立匹配，將所述驅(qū)動接口件傳輸?shù)臅r鐘信號與所述老化板接口件傳輸?shù)臏y試 模式選擇信號建立匹配，以及將所述驅(qū)動接口件傳輸?shù)碾娫葱盘柵c所述老化板接口件傳輸 的測試時鐘信號建立匹配。
可選的，所述類型匹配單元包括開關單元，用于選擇待測器件類型；匹配單元，用于連接所述驅(qū)動接口件和所述老化板接口件，根據(jù)所述開關單元的選擇結(jié)果，對所述驅(qū)
動接口件與所述老化板接口件通信的信號進行類型匹配，并傳輸所述信號。 可選的，所述匹配單元為128針引腳的可編程IC或256針引腳的可編程IC。 可選的，還包括信號放大單元，用于接收所述類型匹配單元所匹配的信號，對其
進行放大，并通過所述老化板接口件傳輸至老化板。 可選的，當將邏輯器件通過所述接口裝置與適用于存儲器件的老化測試裝置連接 并進行老化測試時，所述信號放大單元對所接收的經(jīng)過類型匹配的信號進行放大，將放大 的信號通過所述老化接口件進行傳輸。
可選的，所述信號放大單元包括信號放大器。 可選的，還包括引腳匹配單元，用于接收經(jīng)過類型匹配的信號，根據(jù)待測器件的 引腳定義，進行引腳匹配，并將經(jīng)過引腳匹配的信號通過所述老化板接口件傳輸至所述老 化板。 可選的，所述引腳匹配包括，調(diào)整所述經(jīng)過類型匹配的信號與老化板實際引腳的
對應關系，使老化板引腳實際接收到的信號與所述待測器件的引腳定義相匹配。 可選的，所述引腳匹配單元，包括主匹配單元，用于調(diào)整所述信號與老化板實際
引腳的對應關系；輔助匹配單元，用于對主匹配單元的匹配結(jié)果進行輔助調(diào)整。 可選的，所述主匹配單元包括可編程跳線匹配IC，所述輔助匹配單元包括手動跳
線機械結(jié)構。 可選的，所述驅(qū)動接口件和所述老化板接口件包括光纖。 本發(fā)明還提供一種對所述接口裝置的控制方法，其特征在于，包括接收來自老化
測試裝置中驅(qū)動單元和來自老化板的信號；根據(jù)所述待測器件，對所述接收的信號進行匹
配；將來自所述驅(qū)動單元、經(jīng)匹配的信號傳輸至所述老化板，將來自所述老化板、經(jīng)匹配的
信號傳輸至所述驅(qū)動單元，實現(xiàn)老化測試中所述驅(qū)動單元和所述老化板的通信。 可選的，所述根據(jù)待測器件，對所接收的信號進行匹配包括根據(jù)所述待測器件類
型，對所述接收的信號進行類型匹配。 可選的，所述類型匹配單元通過所述驅(qū)動接口件從所述驅(qū)動單元接收信號，對所 接收信號進行類型匹配，并將經(jīng)過類型匹配的信號通過所述老化板接口件傳輸至所述老化 板，并且所述類型匹配單元通過所述老化板接口件從所述老化板接收信號，對所接收信號 進行類型匹配，并將經(jīng)過類型匹配的信號通過所述驅(qū)動接口件傳輸至所述驅(qū)動單元。
可選的，當待測器件為存儲器件并采用適用于邏輯器件的驅(qū)動單元時，對從驅(qū)動 單元所接收的輸入信號、輸出信號、測試模式選擇信號和測試時鐘信號，對應進行類型匹 配，分別匹配為地址信號、輸入/輸出信號、時鐘信號和電源信號。 可選的，當待測器件為邏輯器件并采用適用于存儲器件的驅(qū)動單元時，對從驅(qū)動 單元所接收的地址信號、輸入/輸出信號、時鐘信號和電源信號，對應進行類型匹配，分別 匹配為輸入信號、輸出信號、測試模式選擇信號和測試時鐘信號。 可選的，所述根據(jù)待測器件，對所接收的信號進行匹配，還包括對所述接收的信 號進行類型匹配；接收所述經(jīng)過類型匹配的信號，根據(jù)所述待測器件的引腳定義，對所述信 號與老化板引腳的對應關系作調(diào)整。 可選的，所述引腳匹配單元接收來自所述類型匹配單元的經(jīng)過類型匹配的信號，
7根據(jù)所述待測器件的引腳定義，調(diào)整所述信號與老化板引腳的對應關系，使老化板引腳實 際接收到的信號與所述待測器件的引腳定義相匹配。 本發(fā)明還提供一種老化測試系統(tǒng)，包括環(huán)境試驗箱、驅(qū)動單元和老化板，其特征在 于，還包括所述的接口裝置，用于連接所述驅(qū)動單元和所述老化板，對所述驅(qū)動單元和所 述老化板進行通信的信號進行匹配。 可選的，所述環(huán)境試驗箱與所述驅(qū)動單元分別位于不同的老化測試裝置。
可選的，所述環(huán)境試驗箱用于提供測試溫度環(huán)境。 可選的，所述驅(qū)動單元用于提供老化測試的驅(qū)動程序，并執(zhí)行所述老化測試。
與現(xiàn)有技術相比，本發(fā)明實現(xiàn)了對老化測試裝置的擴展使用，并且在利用現(xiàn)有老 化測試裝置的前提下，提供種類更多的測試環(huán)境條件和功能性測試項目的組合，擴展了可 進行測試的器件種類，從而增加了所能提供的老化測試組合的多樣性，也提高了老化測試 裝置和老化板的使用效率。
圖1是本發(fā)明接口裝置實施方式的結(jié)構示意圖； 圖2是本發(fā)明接口裝置一種具體實施例的結(jié)構示意圖； 圖3是本發(fā)明接口裝置另一種具體實施例的結(jié)構示意圖； 圖4是圖1中所述類型匹配單元實施方式的結(jié)構示意圖； 圖5是本發(fā)明接口裝置另一種實施方式的結(jié)構示意圖； 圖6是本發(fā)明接口裝置又一種實施方式的結(jié)構示意圖； 圖7是本發(fā)明接口裝置實施方式中，老化板與待測器件引腳不匹配的示意圖； 圖8是通過本發(fā)明接口裝置實施方式的所述引腳匹配單元，調(diào)整圖7中所述信號 與老化板引腳的對應關系的結(jié)構示意圖； 圖9是圖6中所述引腳匹配單元實施方式的結(jié)構示意圖； 圖10是本發(fā)明對所述接口裝置控制方法實施方式的流程示意圖； 圖11是圖10中步驟S1具體實施方式
的流程示意圖； 圖12是本發(fā)明老化測試系統(tǒng)實施方式的結(jié)構示意圖； 圖13是本發(fā)明老化測試系統(tǒng)具體實施例的結(jié)構示意圖。
具體實施例方式
現(xiàn)有的老化測試裝置按照待測器件類型，可分為適用于存儲器件類型或適用于邏 輯器件類型，分別用于對所適用的器件類型進行老化測試?，F(xiàn)有技術中，由于老化測試裝置 僅被應用于其所適用的器件類型，因此老化板所接收信號類型與驅(qū)動單元所發(fā)送的信號類 型，以及老化板所發(fā)送的信號類型與驅(qū)動單元所接收的信號類型都是一致的。然而，存儲器 件和邏輯器件，由于所需要測試的功能性測試項目不一樣，應用于不同類型器件的驅(qū)動單 元所發(fā)送和接收的信號類型也是不一樣的，同樣地，應用于不同類型器件的老化板所發(fā)送 和接收的信號類型也不同。 當待測器件為存儲器件時，由于存儲器件老化測試的實現(xiàn)相對比較簡單，所有器 件由統(tǒng)一的方式寫入，然后單獨選中每個器件，將其存入的數(shù)據(jù)讀出并與原來的值對照。也就是說，存儲器件的老化測試，一般涉及到存儲器件的選取以及對選定的存儲器件的寫入 和讀取操作，因此，具體地來說，對于適用于存儲器件的驅(qū)動單元，其對外進行通信的信號
至少包括地址信號、輸入/輸出信號、時鐘信號和電源信號。相應地，對于裝載有存儲器件 的老化板，其對外進行通信的信號也至少包括地址信號、輸入/輸出信號、時鐘信號和電
源信號。 其中，一般來說，所述地址信號包括采用高低電平的信號用以指示待測器件的地 址單元。 當待測器件為存儲器件時，所述輸入或輸出信號，也就是向所述待測器件中"寫 入"或從待測器件中"讀出"的數(shù)據(jù)信號，需要較強的驅(qū)動能力。 所述時鐘信號為用于決定對器件進行何種測試操作的信號，對于不同的老化 測試項目，所述時鐘信號可包括不同信號。具體來說，所述時鐘信號可包括芯片致能 (Chip-select Enable)信號，用于標識所選取的器件是否處于活動狀態(tài)，還可包括寫操作 (Write Enable)信號，即以低電平標識所述操作處于"寫"狀態(tài)，以及以高電平標識所述操 作處于"讀"狀態(tài)。 電源信號包括多種標識電壓信息的信號，例如VDD、 VPP、 GND以及VSS等。 相對于存儲器件，邏輯器件的老化測試則要復雜得多，不同的邏輯器件往往具有
多種不同的功能特性。因此，對于適用于邏輯器件的驅(qū)動單元，其對外進行通信的信號至少
包括輸入信號、輸出信號、測試模式選擇信號和測試時鐘信號。相應地，對于裝載有邏輯器
件的老化板，其對外進行通信的信號也至少包括輸入信號、輸出信號、測試模式選擇信號
和測試時鐘信號。 其中，所述輸入信號包括向待測器件輸入的進行測試的數(shù)據(jù)信息，所述輸出信號 包括從待測器件輸出的數(shù)據(jù)信息。邏輯器件老化測試模式主要有平行和串行兩種，所述測 試模式選擇信號以高電平和低電平對所述兩種模式進行區(qū)分。所述測試時鐘信號，用于標 識處于測試操作所進行的時間周期。 發(fā)明人考慮到，老化板與驅(qū)動單元進行通信的信號，在表現(xiàn)形式上以及所起到的 作用上，存在相似之處。具體來說，從前者所接收到的時鐘信號與從后者所接收到的測試模 式選擇信號，都可表現(xiàn)為以位于高電平或低電平對測試操作處于何種模式狀態(tài)進行標識； 從前者所接收到的電源信號與從后者所接收到的測試時鐘信號，在測試的過程中，基本都 不隨操作類型或測試狀態(tài)的變化而發(fā)生變化；而從前者所接收到的地址信號以及輸入/輸 出信號與從后者所接收到的輸入信號以及輸出信號，根據(jù)操作類型或測試內(nèi)容的不同而發(fā) 生變化，在測試過程中，都攜帶選通信息或用于讀寫的數(shù)據(jù)信息。 參考圖l，本發(fā)明提供了一種接口裝置，用于連接半導體器件老化測試系統(tǒng)中的驅(qū) 動單元和老化板，其中，包括驅(qū)動接口件101，用于連接所述驅(qū)動單元并傳輸信號；老化板 接口件103，用于連接和所述老化板并傳輸信號；類型匹配單元102，用于連接驅(qū)動接口件 101和老化板接口件103，根據(jù)待測器件的類型，對驅(qū)動接口件101與老化板接口件103通 信的信號進行類型匹配，并傳輸所述信號。 下面結(jié)合附圖，具體對本發(fā)明實施方式進行詳細描述。 在具體實施中，參考圖2，待測器件為存儲器件，通過接口裝置將其與適用于邏輯 器件的驅(qū)動單元連接進行測試。其中，從所述驅(qū)動單元所接收的信號包括輸入信號、輸出信號、測試時鐘信號和測試模式選擇信號。通過驅(qū)動接口件202將所述信號傳輸至類型匹 配單元201 ;類型匹配單元201對所接收的信號進行類型匹配，并將經(jīng)過匹配的信號通過老 化板接口件203傳輸至所述老化板。在測試過程中，從所述老化板所接收的信號至少包括 輸入/輸出信號，通過老化板接口件203將所述信號傳輸至類型匹配單元201 ;類型匹配單 元201對所接收的信號進行類型匹配，并將經(jīng)過匹配的信號通過驅(qū)動接口件202傳輸至所 述驅(qū)動單元。 具體來說類型匹配單元201將驅(qū)動接口件202傳輸?shù)妮斎胄盘柵c老化板接口件 203傳輸?shù)牡刂沸盘柦⑵ヅ?，將?qū)動接口件202傳輸?shù)妮敵鲂盘柵c老化板接口件203傳輸 的輸入/輸出信號建立匹配，將驅(qū)動接口件202的測試模式選擇信號與老化板接口件203 傳輸?shù)臅r鐘信號建立匹配，以及將驅(qū)動接口件202的測試時鐘信號與老化板接口件203傳 輸?shù)碾娫葱盘柦⑵ヅ洹?參考圖3，待測器件為邏輯器件，通過接口裝置將其與適用于存儲器件的驅(qū)動單元 連接進行測試。其中，從所述驅(qū)動單元所接收的信號包括地址信號、輸入/輸出信號、時鐘 信號和電源信號。通過驅(qū)動接口件302將所述信號傳輸至類型匹配單元301 ;類型匹配單 元301對所接收的信號進行類型匹配，并將經(jīng)過匹配的信號通過老化板接口件303傳輸至 所述老化板。在測試過程中，從所述老化板所接收到的信號至少包括輸出信號，通過老化 板接口件303將所述信號傳輸至類型匹配單元301 ;類型匹配單元301對所接收的信號進 行類型匹配，并將經(jīng)過匹配的信號通過驅(qū)動接口件302傳輸至所述驅(qū)動單元。
具體來說，類型匹配單元301將驅(qū)動接口件302傳輸?shù)牡刂沸盘柵c老化板接口件 303傳輸?shù)妮斎胄盘柦⑵ヅ?，將?qū)動接口件302傳輸?shù)妮斎?輸出信號與老化板接口件 303傳輸?shù)妮敵鲂盘柦⑵ヅ洌瑢Ⅱ?qū)動接口件302傳輸?shù)臅r鐘信號與老化板接口件303傳 輸?shù)臏y試模式選擇信號建立匹配，以及將驅(qū)動接口件302傳輸?shù)碾娫葱盘柵c老化板接口件 303傳輸?shù)臏y試時鐘信號建立匹配。 所述接口裝置的類型匹配單元根據(jù)待測器件所屬類型，對與所述驅(qū)動單元進行通 信的信號進行類型匹配，使所述待測器件并不限定于與特定類型的老化測試裝置進行通 信，也就是說，所述接口裝置的類型匹配單元，改變了所述待測器件只能與適用于存儲器件 類型或適用于邏輯器件類型的老化測試裝置的驅(qū)動單元進行通信從而進行測試的情況，為 所述待測器件的老化測試提供了多種功能性測試的組合，并且提高了現(xiàn)有老化測試裝置的 使用率。 參考圖4，在其它的實施方式中，所述類型匹配單元可包括開關單元401，用于選 擇待測器件類型，以及匹配單元402，用于連接驅(qū)動接口件和老化板接口件，根據(jù)所述開關 單元的選擇結(jié)果，對所述驅(qū)動接口件與所述老化板接口件通信的信號進行類型匹配，并傳 輸所述信號。 例如，當待測器件為存儲類型、采用適用于邏輯器件的驅(qū)動單元進行測試時，所述 開關單元401選擇為存儲類型，并將所選擇的結(jié)果傳輸至所述匹配單元402 ;所述匹配單元 402接收來自所述驅(qū)動接口件的信號，將其所傳輸?shù)妮斎胄盘柶ヅ溆谒隼匣褰涌诩?輸?shù)牡刂沸盘?，將其所傳輸?shù)妮敵鲂盘柶ヅ溆谒隼匣褰涌诩鬏數(shù)妮斎?輸出信號， 將其所傳輸?shù)臏y試模式選擇信號匹配于所述老化板接口件傳輸?shù)臅r鐘信號，以及將其所傳 輸?shù)臏y試時鐘信號匹配于所述老化板接口件的電源信號。
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具體來說，所述開關單元401選擇器件類型，可為人工選定，也可為自動選定；其中所述自動選定可包括所述開關單元401向裝載有待測器件的老化板發(fā)送類型請求信號；老化板接收所述類型請求信號，向所述開關單元401發(fā)送回復信號，所述回復信號中包含待測器件類型；所述開關單元401根據(jù)所述回復信號，做出選擇。 其中，所述開關單元可包括開關，所述匹配單元可為具有128針引腳的可編程IC，也可以為具有256針引腳的可編程IC。 參考圖5，在其它的實施方式中，所述接口裝置還可包括信號放大單元503，用于接收所述類型匹配單元所匹配的信號，對其進行放大，并通過所述老化板接口件傳輸至老化板。 在具體實施中，當將邏輯器件通過所述接口裝置與適用于存儲器件的老化測試裝
置相連接，進行老化測試時，首先所述類型匹配單元對所述驅(qū)動接口件與所述老化板接口
件進行通信的信號進行類型匹配，然后，所述信號放大單元接收經(jīng)過類型匹配的信號，并對
所述信號進行放大，接著將所述經(jīng)過放大的信號通過老化接口件進行傳輸。 具體來說，所述信號放大單元所接收的可為驅(qū)動單元通過驅(qū)動接口件所傳輸?shù)牡?br>
址信號或者輸入/輸出信號或者為其組合，也就是，將通過老化接口件進行傳輸?shù)妮斎胄?br>
號或者輸出信號或者為其組合。由于對邏輯器件進行老化測試時，需要對其輸入信號或輸
出信號采用較大的驅(qū)動電流，以克服老化板所帶來的負載效應，而適用于存儲器件的老化
測試裝置中的驅(qū)動單元并不具有所要求的驅(qū)動能力。通過所述信號放大單元，對經(jīng)過類型
匹配的信號進行放大，使其達到測試要求。在具體的實施例中，所述信號放大單元可包括信
號放大器。 本發(fā)明接口裝置的另一種具體實施方式
中，參考圖6，所述接口裝置包括驅(qū)動接口件、老化板接口件和類型匹配單元601，其中還可包括引腳匹配單元602，所述引腳匹配單元602用于接收經(jīng)過類型匹配的信號，根據(jù)待測器件的引腳定義，調(diào)整所述信號與老化板實際引腳的對應關系。所述引腳匹配單元602接收來自類型匹配單元601的信號，進行引腳匹配，并將經(jīng)過匹配的信號通過所述老化板接口件傳輸至老化板。具體來說，所述待測器件的引腳定義，可為人工加載至所述引腳匹配單元602，也可為自動加載至所述引腳匹配單元602。 在具體實施方式
的測試過程中，首先，將所述待測器件放置于老化板上，與所述老化板相互連接，所述老化板與所述接口裝置的老化板接口件相連接，并且通過所述接口裝置的驅(qū)動接口件連接至老化測試裝置的驅(qū)動單元；其次，所述類型匹配單元601對通過驅(qū)動接口件接收到的信號進行類型匹配；接著，所述引腳匹配單元302接收所述經(jīng)過類型匹配的信號，根據(jù)所述待測器件的引腳定義，對所接收的信號與老化板引腳的對應關系作調(diào)整，使老化板引腳實際接收到的信號與所述待測器件的引腳定義相匹配；然后，所述引腳匹配單元602將從所接收到的信號通過所述老化板接口件進行傳輸。 舉個例子，參考圖7，調(diào)整前，老化板的引腳1、引腳9和引腳16分別對應于地址信號ADD1、電源電壓VDD信號和時鐘信號CLK，也就是說，可認為從老化板的引腳1、引腳9和引腳16輸入和/或輸出的信號，分別應當是地址信號ADD1、電源電壓VDD信號和時鐘信號CLK。而待測器件的引腳9、引腳16和引腳3分別對應于待測器件的地址信號ADD1、電源電壓VDD信號和時鐘信號CLK。因此，當將待測器件安裝至老化板上時，老化板引腳自身的定義就與待測器件的引腳定義產(chǎn)生了差別。直接按照老化板引腳定義進行信號傳輸，將會導致待測器件引腳接收到錯誤的信號，從而無法進行測試，嚴重的情況下，甚至會損壞器件。
參考圖8，應用所述引腳匹配單元對經(jīng)過類型匹配的信號與所述老化板引腳的對應關系進行調(diào)整，即按照待測器件引腳定義，通過所述老化板接口件將地址信號ADD1、電源電壓VDD信號和時鐘信號CLK分別對應傳輸至老化板的引腳9、引腳16和引腳3，而不是按照老化板自身的引腳定義，將地址信號ADD1 、電源電壓VDD信號和時鐘信號CLK分別對應傳輸至引腳1、引腳9和引腳16。 在具體的實施例中，參考圖9，所述引腳匹配單元可包括主匹配單元701，用于調(diào)
整所述信號與老化板實際引腳的對應關系，所述主匹配單元可由電子器件組成，具體地來
說，可為可編程跳線匹配IC。在其它的實施例中，所述引腳匹配單元還可包括輔助匹配單
元702，用于對主匹配單元的匹配結(jié)果進行輔助調(diào)整，具體地來說，可由手動跳線機械結(jié)構
組成，作為對可編程IC所未能實現(xiàn)的對應關系的進一步調(diào)整，或者雙重保證。 當待測器件發(fā)生改變時，所述引腳匹配單元可根據(jù)待測器件的引腳定義，動態(tài)地
實現(xiàn)所傳輸?shù)男盘栐谒隼匣逡_之間的重新匹配，并不局限于與所述老化板自身引腳
的定義。在現(xiàn)有的老化測試系統(tǒng)中，器件在制作完成之后以及測試之前，需要先參考該器件
的各個引腳，接著按照器件引腳的定義制作出老化板，然后應用該老化板對該器件進行下
一步測試。也就是說，現(xiàn)有技術中，所制作出來的老化板只能適用于特定待測器件或者與該
特定待測器件具有同樣數(shù)目的引腳以及引腳定義的器件。而本申請實施方式所提供的包括
所述引腳匹配單元的接口裝置可實現(xiàn)，即使使用同一塊老化板，也可對具有相同引腳數(shù)量、
但不同引腳定義的不同待測器件進行老化測試，而無須每制造一類器件的新型號，就制造
一種與之相匹配的老化板，從而大大提高了現(xiàn)有老化板的利用率，節(jié)約了成本。 在另外的實施例中，所述接口裝置中的接口件，包括驅(qū)動接口件和老化板接口件，
具體地來說，可包括光纖。所述接口件連接驅(qū)動單元以及老化板，通過光纖對測試中的控制
信號和數(shù)據(jù)信號進行傳輸，可減小信號在傳輸過程中的衰減。 參考圖IO，本申請實施方式還提供了一種對所述接口裝置的控制方法，包括步驟Sll，接收來自老化測試裝置中驅(qū)動單元和來自老化板的信號，步驟S12，根據(jù)所述待測器件，對所述接收的信號進行匹配，步驟S13，將來自所述驅(qū)動單元、經(jīng)匹配的信號傳輸至所述老化板，將來自所述老化板、經(jīng)匹配的信號傳輸至所述驅(qū)動單元，實現(xiàn)老化測試中所述驅(qū)動單元和所述老化板的通信。 其中，步驟S12包括根據(jù)所述待測器件類型，對所述接收的信號進行類型匹配。
具體來說，當待測器件為存儲器件并采用適用于邏輯器件的驅(qū)動單元時，從驅(qū)動單元所接
收的信號，至少包括輸入信號、輸出信號、測試模式選擇信號和測試時鐘信號，將所述接
收到的信號對應進行類型匹配，分別匹配為地址信號、輸入/輸出信號、時鐘信號和電源信
號；當待測器件為邏輯器件并采用適用于存儲器件的驅(qū)動單元時，從驅(qū)動單元所接收的信
號，至少包括地址信號、輸入/輸出信號、時鐘信號和電源信號，將所述接收到的信號對應
進行類型匹配，分別匹配為輸入信號、輸出信號、測試模式選擇信號和測試時鐘信號。 在具體實施方式
中，類型匹配單元通過驅(qū)動接口件從驅(qū)動單元接收信號，對所接
收信號進行類型匹配，并將所述經(jīng)過類型匹配的信號通過老化板接口件傳輸至老化板，并
且類型匹配單元通過老化板接口件從老化板接收信號，對所接收信號進行類型匹配，并將所述經(jīng)過類型匹配的信號通過驅(qū)動接口件傳輸至驅(qū)動單元。 在其它實施方式中，參考圖11，步驟S12還可包括步驟S21，對所述接收的信號進行類型匹配；步驟S22，接收所述經(jīng)過類型匹配的信號，根據(jù)所述待測器件的引腳定義，對所述信號與老化板引腳的對應關系作調(diào)整。 其中，步驟S22具體可包括所述引腳匹配單元接收來自所述類型匹配單元的經(jīng)
過類型匹配的信號，根據(jù)所述待測器件的引腳定義，調(diào)整所述信號與老化板引腳的對應關
系，使老化板引腳實際接收到的信號與所述待測器件的引腳定義相匹配。 參考圖12，本發(fā)明實施方式還提供了一種老化測試系統(tǒng)，包括環(huán)境試驗箱801、驅(qū)
動單元802和老化板804，其中還包括上述接口裝置803，用于連接所述驅(qū)動單元和所述老
化板，對所述驅(qū)動單元和所述老化板進行通信的信號進行匹配。在一種實施方式中，所述環(huán)
境試驗箱801與所述驅(qū)動單元802可分屬于不同的老化測試裝置，具體來說，所述環(huán)境試驗
箱801可為一老化測試裝置中的環(huán)境試驗箱，或為能提供測試溫度環(huán)境的試驗容器，例如
烤箱等，所述驅(qū)動單元802可為內(nèi)置于另一老化測試裝置的環(huán)境試驗箱中的驅(qū)動單元，或
為記錄老化測試程序的驅(qū)動單元。 在具體實施例中，參考圖13，老化測試裝置920包括環(huán)境試驗箱921和驅(qū)動單元922，老化測試裝置910包括環(huán)境試驗箱911和驅(qū)動單元912。老化板930需要在20(TC的溫度條件下，通過老化測試裝置910的驅(qū)動單元912進行測試。然而，老化測試裝置910的環(huán)境試驗箱911只能提供15(TC的溫度條件，而老化測試裝置920的環(huán)境試驗箱921可提供20(TC的溫度條件。因此，將老化板930置于環(huán)境試驗箱921中，并通過接口裝置900，將所述老化板930與老化測試裝置910的驅(qū)動單元912相連接。其中，老化板930上裝有需要進行老化測試的器件，環(huán)境試驗箱921提供老化測試的溫度條件，驅(qū)動單元912提供老化測試的驅(qū)動程序，并執(zhí)行老化測試。 相較于現(xiàn)有技術，本申請諸實施例可兼容于多種現(xiàn)有的老化測試裝置和老化板，
使現(xiàn)有老化測試裝置及老化板得到充分地利用，進而節(jié)約了購置新老化測試裝置以及制作
新老化板的成本，且節(jié)省了置放新的老化測試裝置的空間；此外，還可在利用現(xiàn)有老化測試
裝置的前提下，提供更多樣的老化測試，例如可以提供更高的測試溫度等。 雖然本發(fā)明已通過較佳實施例說明如上，但這些較佳實施例并非用以限定本發(fā)
明。本領域的技術人員，在不脫離本發(fā)明的精神和范圍內(nèi)，應有能力對該較佳實施例做出各
種改正和補充，因此，本發(fā)明的保護范圍以權利要求書的范圍為準。
權利要求
一種接口裝置，連接半導體器件老化測試裝置中的驅(qū)動單元和老化板，其特征在于，包括驅(qū)動接口件，用于連接所述驅(qū)動單元并傳輸信號；老化板接口件，用于連接所述老化板并傳輸信號；類型匹配單元，用于連接所述驅(qū)動接口件和所述老化板接口件，根據(jù)待測器件的類型，對所述驅(qū)動接口件與所述老化板接口件通信的信號進行類型匹配，并傳輸所述信號。
2. 如權利要求l所述的接口裝置，其特征在于，當通過所述接口裝置將存儲器件與適 用于邏輯器件的驅(qū)動單元連接并進行測試時，所述類型匹配單元將所述驅(qū)動接口件傳輸?shù)?輸入信號與所述老化板接口件傳輸?shù)牡刂沸盘柶ヅ洌瑢⑺鲵?qū)動接口件傳輸?shù)妮敵鲂盘柵c 所述老化板接口件傳輸?shù)妮斎?輸出信號匹配，將所述驅(qū)動接口件傳輸?shù)臏y試模式選擇信 號與所述老化板接口件傳輸?shù)臅r鐘信號匹配，以及將所述驅(qū)動接口件傳輸?shù)臏y試時鐘信號 與所述老化板接口件傳輸?shù)碾娫葱盘柶ヅ洹?br>
3. 如權利要求l所述的接口裝置，其特征在于，當通過所述接口裝置將邏輯器件與適 用于存儲器件的驅(qū)動單元連接并進行測試時，所述類型匹配單元將所述驅(qū)動接口件傳輸?shù)?地址信號與所述老化板接口件傳輸?shù)妮斎胄盘柦⑵ヅ洌瑢⑺鲵?qū)動接口件傳輸?shù)妮斎? 輸出信號與所述老化板接口件傳輸?shù)妮敵鲂盘柦⑵ヅ?，將所述?qū)動接口件傳輸?shù)臅r鐘信 號與所述老化板接口件傳輸?shù)臏y試模式選擇信號建立匹配，以及將所述驅(qū)動接口件傳輸?shù)?電源信號與所述老化板接口件傳輸?shù)臏y試時鐘信號建立匹配。
4. 如權利要求1所述的接口裝置，其特征在于，所述類型匹配單元包括開關單元，用 于選擇待測器件類型；匹配單元，用于連接所述驅(qū)動接口件和所述老化板接口件，根據(jù)所述開關單元的選擇 結(jié)果，對所述驅(qū)動接口件與所述老化板接口件通信的信號進行類型匹配，并傳輸所述信號。
5. 如權利要求4所述的接口裝置，其特征在于，所述匹配單元為128針引腳的可編程 IC或256針引腳的可編程IC。
6. 如權利要求1所述的接口裝置，其特征在于，還包括信號放大單元，用于接收所述 類型匹配單元所匹配的信號，對其進行放大，并通過所述老化板接口件傳輸至老化板。
7. 如權利要求6所述的接口裝置，其特征在于，當將邏輯器件通過所述接口裝置與適 用于存儲器件的老化測試裝置連接并進行老化測試時，所述信號放大單元對所接收的經(jīng)過 類型匹配的信號進行放大，將放大的信號通過所述老化接口件進行傳輸。
8. 如權利要求6所述的接口裝置，其特征在于，所述信號放大單元包括信號放大器。
9. 如權利要求1所述的接口裝置，其特征在于，還包括引腳匹配單元，用于接收經(jīng)過 類型匹配的信號，根據(jù)待測器件的引腳定義，進行引腳匹配，并將經(jīng)過引腳匹配的信號通過 所述老化板接口件傳輸至所述老化板。
10. 如權利要求9所述的接口裝置，其特征在于，所述引腳匹配包括，調(diào)整所述經(jīng)過類 型匹配的信號與老化板實際引腳的對應關系，使老化板引腳實際接收到的信號與所述待測 器件的引腳定義相匹配。
11. 如權利要求9所述的接口裝置，其特征在于，所述引腳匹配單元，包括 主匹配單元，用于調(diào)整所述信號與老化板實際引腳的對應關系； 輔助匹配單元，用于對主匹配單元的匹配結(jié)果進行輔助調(diào)整。
12. 如權利要求11所述的接口裝置，其特征在于，所述主匹配單元包括可編程跳線匹 配IC，所述輔助匹配單元包括手動跳線機械結(jié)構。
13. 如權利要求1所述的接口裝置，其特征在于，所述驅(qū)動接口件和所述老化板接口件 包括光纖。
14. 一種對如權利要求1所述接口裝置的控制方法，其特征在于，包括 接收來自老化測試裝置中驅(qū)動單元和來自老化板的信號； 根據(jù)所述待測器件，對所述接收的信號進行匹配；將來自所述驅(qū)動單元、經(jīng)匹配的信號傳輸至所述老化板，將來自所述老化板、經(jīng)匹配的 信號傳輸至所述驅(qū)動單元，實現(xiàn)老化測試中所述驅(qū)動單元和所述老化板的通信。
15. 如權利要求14所述的控制方法，其特征在于，所述根據(jù)待測器件，對所接收的信號 進行匹配包括根據(jù)所述待測器件類型，對所述接收的信號進行類型匹配。
16. 如權利要求15所述的控制方法，其特征在于，所述類型匹配單元通過所述驅(qū)動接 口件從所述驅(qū)動單元接收信號，對所接收信號進行類型匹配，并將經(jīng)過類型匹配的信號通 過所述老化板接口件傳輸至所述老化板，并且所述類型匹配單元通過所述老化板接口件從 所述老化板接收信號，對所接收信號進行類型匹配，并將經(jīng)過類型匹配的信號通過所述驅(qū) 動接口件傳輸至所述驅(qū)動單元。
17. 如權利要求15所述的控制方法，其特征在于，當待測器件為存儲器件并采用適用 于邏輯器件的驅(qū)動單元時，對從驅(qū)動單元所接收的輸入信號、輸出信號、測試模式選擇信號 和測試時鐘信號，對應進行類型匹配，分別匹配為地址信號、輸入/輸出信號、時鐘信號和 電源信號。
18. 如權利要求15所述的控制方法，其特征在于，當待測器件為邏輯器件并采用適用 于存儲器件的驅(qū)動單元時，對從驅(qū)動單元所接收的地址信號、輸入/輸出信號、時鐘信號和 電源信號，對應進行類型匹配，分別匹配為輸入信號、輸出信號、測試模式選擇信號和測試 時鐘信號。
19. 如權利要求14所述的控制方法，其特征在于，所述根據(jù)待測器件，對所接收的信號 進行匹配，還包括對所述接收的信號進行類型匹配；接收所述經(jīng)過類型匹配的信號，根據(jù)所述待測器件的引腳定義，對所述信號與老化板 引腳的對應關系作調(diào)整。
20. 如權利要求19所述的控制方法，其特征在于，所述引腳匹配單元接收來自所述類 型匹配單元的經(jīng)過類型匹配的信號，根據(jù)所述待測器件的引腳定義，調(diào)整所述信號與老化 板引腳的對應關系，使老化板引腳實際接收到的信號與所述待測器件的引腳定義相匹配。
21. —種老化測試系統(tǒng)，包括環(huán)境試驗箱、驅(qū)動單元和老化板，其特征在于，還包括如 權利要求1所述的接口裝置，用于連接所述驅(qū)動單元和所述老化板，對所述驅(qū)動單元和所 述老化板進行通信的信號進行匹配。
22. 如權利要求21所述的老化測試系統(tǒng)，其特征在于，所述環(huán)境試驗箱與所述驅(qū)動單 元分別位于不同的老化測試裝置。
23. 如權利要求21所述的老化測試系統(tǒng)，其特征在于，所述環(huán)境試驗箱用于提供測試 溫度環(huán)境。
24.如權利要求21所述的老化測試系統(tǒng)，其特征在于，所述驅(qū)動單元用于提供老化測 試的驅(qū)動程序，并執(zhí)行所述老化測試。
全文摘要
一種接口裝置與其控制方法、老化測試系統(tǒng)，其中，接口裝置連接半導體器件老化測試裝置中的驅(qū)動單元和老化板，包括驅(qū)動接口件，用于連接所述驅(qū)動單元并傳輸信號；老化板接口件，用于連接所述老化板并傳輸信號；類型匹配單元，用于連接所述驅(qū)動接口件和所述老化板接口件，根據(jù)待測器件的類型，對所述驅(qū)動接口件與所述老化板接口件通信的信號進行類型匹配，并傳輸所述信號。本發(fā)明可兼容多種類型的老化測試裝置，有效地利用了現(xiàn)有老化測試裝置及老化板，節(jié)約了購置新老化測試裝置以及制作新老化板的成本，節(jié)省了置放新老化測試裝置的空間，并且可利用現(xiàn)有老化測試裝置提供更高的測試溫度。
文檔編號G01R31/00GK101738503SQ200810202959
公開日2010年6月16日 申請日期2008年11月18日 優(yōu)先權日2008年11月18日
發(fā)明者張榮哲, 簡維廷 申請人:中芯國際集成電路制造(上海)有限公司