專利名稱：薄膜吸收多通道測量裝置及測量方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明與激光薄膜的吸收測量有關(guān)，是一種適用于大口徑激光薄膜 元件的薄膜吸收多通道測量裝置及其測量方法。
背景技術(shù)：
光學(xué)薄膜吸收損耗是影響光學(xué)薄膜性能的重要參數(shù)，吸收損耗的存 在降低了光學(xué)薄膜元件的損傷閾值，限制了激光系統(tǒng)的傳輸功率和傳輸 質(zhì)量。吸收損耗的準(zhǔn)確測量對優(yōu)化鍍膜工藝和膜系設(shè)計，研究薄膜損傷 機理十分重要。
在激光薄膜吸收特性的探測技術(shù)中，光熱技術(shù)因具有極高的靈敏度 和精確度成為理想的無損測量手段。表面熱透鏡技術(shù)采用大于激勵光斑 的單模探測激光進行測量，在保證調(diào)節(jié)方便的同時提高了穩(wěn)定性。應(yīng)用 表面熱透鏡技術(shù)測量大口徑薄膜樣品時，通常借助傳動平臺對樣品進行 逐點測量。這種測量方法被稱為柵掃描模式或單像素測量模式，本質(zhì)上 是一種單通道測量方法。
對于大口徑激光薄膜元件，利用柵掃描模式難以完成對大口徑激光 薄膜整個膜面的吸收測量 一方面，測量單個樣品所耗費的時間長達(dá)數(shù) 十小時；另一方面，長時間測量由于激光器件的穩(wěn)定性，影響測量的準(zhǔn)
確性。因此，建立一種薄膜樣品吸收快速測量的儀器，對分析大口徑薄 膜的性能和損傷機理意義重大。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于克服上述表面熱透鏡技術(shù)中單點掃描測量的不 足，提供一種應(yīng)用于大口徑光學(xué)薄膜元件的薄膜吸收多通道測量裝置及 其測量方法。該裝置應(yīng)具有測量準(zhǔn)確、快速、高效、運行穩(wěn)定和數(shù)據(jù)處 理自動化的特點。
本發(fā)明的技術(shù)解決方案如下
一種應(yīng)用于大口徑激光薄膜的薄膜吸收多通道測量裝置，其特點在于該裝置由激勵激光器、探測激光器、激勵光衰減器、第一電子快門、 激勵光透鏡組、探測光衰減器、反射鏡、第二電子快門探測光衰減器、 探測光透鏡組、樣品夾具、步進電機、濾波片、聚焦透鏡、面陣CCD 相機、快門驅(qū)動器、圖像采集卡、數(shù)據(jù)卡以及計算機組成，上述各部件 的位置關(guān)系如下
步進電機驅(qū)動所述的的樣品夾具，該樣品夾具用于放置待測的薄膜 樣品；
激勵光路，包括激勵激光器，由該激勵激光器發(fā)出的激勵激光束依 次經(jīng)激勵光衰減器、第一電子快門、激勵光透鏡組垂直照射在所述的薄 膜樣品的表面構(gòu)成激勵光斑；
探測光路，包括探測激光器，由該探測激光器發(fā)出的探測激光束依 次經(jīng)探測光衰減器、反射鏡、第二電子快門、探測光透鏡組擴束后傾斜 地入射到所述的薄膜樣品表面構(gòu)成探測光斑，該探測光斑的中心與所述
的激勵光斑的中心重合；
由所述的薄膜樣品表面反射的探測光束經(jīng)濾波片、聚焦透鏡后在面
陣CCD相機上成像；
所述的面陣CCD相機的輸出端接計算機的輸入端，所述的圖像采 集卡和數(shù)據(jù)卡位于該計算機的插槽內(nèi)，該計算機的輸出端經(jīng)快門驅(qū)動器 分別與所述的第一電子快門和第二電子快門的控制端相連，該計算機的 另一輸出端接所述的步進電機的控制端。
在所述的激勵激光器和激勵光衰減器之間的激勵光路上設(shè)有分束 鏡，在該分束鏡的反射光路上設(shè)置激光功率計。
所述的激勵激光器為紅外基頻激光器，或其二倍頻或三倍頻激光器; 所述的探測激光器為He-Ne激光器。
所述的數(shù)據(jù)卡在所述的計算機的控制下產(chǎn)生同頻率的激勵脈沖列和 探測脈沖列列經(jīng)所述的快門驅(qū)動器分別驅(qū)動所述的第一電子快門和第二 電子快門，在一個相對相位變化的周期內(nèi)，所述的激勵脈沖列和探測脈 沖列列之間的相對相位通過計算機設(shè)定。所述的面陣CCD相機具有百萬或百萬以上的像素，其圖像由所述
的圖像采集卡采集。
利用上述的薄膜吸收多通道測量裝置測量薄膜吸收的方法，其特征
在于包括下列步驟
① 將待測薄膜樣品固定在所述的樣品夾具中；
② 啟動激勵激光器和探測激光器，分別調(diào)節(jié)激勵光衰減器和探測光 衰減器，設(shè)定激勵激光功率和探測激光功率；
③ 打開所述的快門驅(qū)動器電源、面陣CCD相機電源和步進電機電
④ 調(diào)整探測激光束和激勵激光束在所述的薄膜樣品表面重合，并觀 察到反射的探測光束出現(xiàn)衍射環(huán)圖樣，在激勵光路中插入擋板；
⑤ 啟動測量程序，在計算機的程序主界面上設(shè)定 待測薄膜樣品的光斑區(qū)域數(shù)目； 步進電機步長；
數(shù)據(jù)卡產(chǎn)生的激勵脈沖列和探測脈沖列的四個脈沖串的頻率、脈沖 數(shù)、占空比和初相位差； 數(shù)據(jù)存儲路徑；
⑥ 撤掉激勵光路的擋板，點擊測量主界面的啟動按鈕開始測量所 述的計算機對所述步進電機發(fā)出傳動脈沖，移動所述的薄膜樣品，使所 述的探測激光束和激勵激光束進入到第一個待測的光斑區(qū)域；
⑦ 所述的計算機同時啟動所述激勵激光器和探測激光器分別發(fā)射出 激勵激光束和探測激光束，同時在所述的計算機的控制下，所述的數(shù)據(jù) 卡根據(jù)上述設(shè)定產(chǎn)生具有相同頻率、脈沖數(shù)和占空比的四個脈沖串組成 的激勵脈沖列和探測脈沖列，但所述的激勵脈沖列的四個脈沖串和探測 脈沖列的四個脈沖串的初相位差依次為么-O、 ；r/2、 ；r、 3;r/2 ，經(jīng)所述
的快門驅(qū)動器(16)分別驅(qū)動所述的第一電子快門和第二電子快門，分別 調(diào)制所述的激勵激光束和探測激光束，受調(diào)制的激勵激光束經(jīng)所述的激 勵光透鏡組垂直照射在所述的薄膜樣品的表面產(chǎn)生熱透鏡效應(yīng)；受調(diào)制的探測激光束經(jīng)所述的探測光透鏡組擴束后傾斜地入射到所述的薄膜樣 品表面；由所述的薄膜樣品表面反射的探測光束帶有薄膜樣品熱透鏡效 應(yīng)的信息，經(jīng)濾波片、聚焦透鏡后在面陣CCD相機上成像，該面陣CCD 相機得到對應(yīng)于所述的探測激光束調(diào)制的四個脈沖串的探測信號為分別 為S。、 &/2、 &、 &/2，經(jīng)所述的圖像采集卡采集并存入所述的計算機；所
述的計算機按下式運算，得到薄膜樣品激勵區(qū)域內(nèi)所有各點上的反映吸 收信號的光學(xué)鎖相信號的幅值和相位-
冷)=麵)4)]D)-S3 f
,、 <SW ，并存入所述的計算機，即完
= arctan~~
成所述的薄膜樣品的表面的一個光斑區(qū)域的測量；
⑧ 所述的計算機對所述步進電機發(fā)出傳動脈沖，移動所述的薄膜樣 品到下一個待測的光斑區(qū)域，所述的計算機同時驅(qū)動所述激勵激光器和 探測激光器分別發(fā)射出激勵激光束和探測激光束，重復(fù)第⑦步，完成下 一個光斑區(qū)域的測量；
⑨ 重復(fù)第⑧步，直至所述的薄膜樣品最后一個光斑區(qū)域的測量完成；
⑩ 所述的計算機的測量界面顯示"測量完成"，程序處于等待狀態(tài)， 點擊停止按鈕可終止測量，點擊退出按鈕退出測量程序。
本發(fā)明具有以下優(yōu)點
1、 本發(fā)明采用擴展的激勵光束和探測光束，對樣品的測量范圍大， 能實現(xiàn)對激勵區(qū)域內(nèi)各點的多通道測量；
2、 本發(fā)明采用光學(xué)鎖相方法實現(xiàn)對薄膜全場弱吸收信號的檢測，測 量效率高；
3、 本發(fā)明釆用電子快門作為調(diào)制器，數(shù)字可控，調(diào)制精度高；
4、 本發(fā)明采用數(shù)據(jù)卡作為脈沖發(fā)生源，信號精度高而且穩(wěn)定；
5、 本發(fā)明采用高像素面陣CCD相機，空間分辨率高，測量精度好;
6、 本發(fā)明采用計算機軟件控制測量過程，集成性好，自動化高，操 作簡便。


圖1是本發(fā)明薄膜吸收多通道測量裝置結(jié)構(gòu)示意圖
圖2是本發(fā)明多通道測量裝置驅(qū)動脈沖圖
圖3是測量程序流程圖
具體實施例方式
下面結(jié)合實施例和附圖對本發(fā)明作進一步說明，但不應(yīng)以此限制本 發(fā)明的保護范圍。
先請參閱圖1，圖1是本發(fā)明薄膜吸收多通道測量裝置實施例的結(jié) 構(gòu)示意圖。由該圖可見，本發(fā)明薄膜吸收多通道測量裝置由激勵激光器 1、探測激光器2、分束鏡3、激勵光衰減器4、第一電子快門5、激勵光 透鏡組6、探測光衰減器7、反射鏡8、第二電子快門9探測光衰減器7、 探測光透鏡組10、樣品夾具11、步進電機12、濾波片13、聚焦透鏡14、 面陣CCD相機15、快門驅(qū)動器16、圖像采集卡19、數(shù)據(jù)卡20、計算 機17和激光功率計18組成，的反射光路上設(shè)置上述各部件的位置關(guān)系 如下-
步進電機12驅(qū)動所述的樣品夾具11，該樣品夾具11用于放置待測 的薄膜樣品；
激勵光路，包括激勵激光器1，由該激勵激光器1發(fā)出的激勵激光 束依次經(jīng)分束鏡3、激勵光衰減器4、第一電子快門5、激勵光透鏡組(6) 垂直照射在所述的薄膜樣品的表面形成激勵光斑；
探測光路，包括探測激光器2，由該探測激光器2發(fā)出的探測激光 束依次經(jīng)探測光衰減器7、反射鏡8、第二電子快門9、探測光透鏡組10 擴束后傾斜地入射到所述的薄膜樣品表面形成探測光斑，該探測光斑的 中心與所述的激勵光斑的中心重合；
由所述的薄膜樣品表面反射的探測光束經(jīng)濾波片13、聚焦透鏡14 后在面陣CCD相機15上成像；
所述的面陣CCD相機15的輸出端接計算機17的輸入端，所述的 圖像采集卡19和數(shù)據(jù)卡20插在該計算機17內(nèi)的插槽中，該計算機17的輸出端經(jīng)快門驅(qū)動器16分別與所述的第一電子快門5和第二電子快門
9的控制端相連，該計算機17的另一輸出端接所述的步進電機12的控 制端。
在該分束鏡3的反射光路上設(shè)置所述的激光功率計18。
所述的激勵激光器1為紅外基頻激光器，或其二倍頻或三倍頻激光 器；所述的探測激光器2為He-Ne激光器。
所述的面陣CCD相機15具有百萬或百萬以上的像素，其圖像由所 述的圖像采集卡19采集。
利用上述的薄膜吸收多通道測量裝置測量薄膜吸收的方法，其特征 在于包括下列步驟-
① 將待測薄膜樣品固定在所述的樣品夾具11中；
② 啟動激勵激光器1和探測激光器2，分別調(diào)節(jié)激勵光衰減器4和 探測光衰減器7，設(shè)定激勵激光功率和探測激光功率；
③ 打開所述的快門驅(qū)動器16電源、面陣CCD相機15電源和步進 電機12電源；
④ 調(diào)整探測激光束和激勵激光束在所述的薄膜樣品表面重合，并觀 察到反射的探測光束出現(xiàn)衍射環(huán)圖樣，在激勵光路中插入擋板；
⑤ 啟動測量程序，在計算機17的程序主界面上設(shè)定 待測薄膜樣品的光斑區(qū)域數(shù)目；
步進電機12步長；
數(shù)據(jù)卡20產(chǎn)生的激勵脈沖列A和探測脈沖列B的四個脈沖串的頻 率、脈沖數(shù)、占空比和初相位差； 數(shù)據(jù)存儲路徑；
⑥ 撤掉激勵光路的擋板，點擊測量主界面的啟動按鈕開始測量(所 述的測量程序流程如圖3所示)所述的計算機17對所述步進電機12 發(fā)出傳動脈沖，移動所述的薄膜樣品，使所述的探測激光束和激勵激光 束進入到第一個待測的光斑區(qū)域；
⑦ 所述的計算機17同時驅(qū)動所述激勵激光器1和探測激光器2分別發(fā)出激勵激光束和探測激光束，同時在所述的計算機17的控制下，所述
的數(shù)據(jù)卡20根據(jù)上述設(shè)定產(chǎn)生具有相同頻率、脈沖數(shù)和占空比的四個脈 沖串組成的激勵脈沖列A和探測脈沖列B，但所述的激勵脈沖列A的四 個脈沖串和探測脈沖列B的四個脈沖串的初相位差依次為 ^=0、 ；r/2、 ；r、 3;r/2 ，如圖2所示，由圖可見，所述的探測脈沖列列
萬與激勵脈沖列j具有相同的頻率、脈沖數(shù)和占空比；它們的初相位差 按照0,;r/2,;r，3;r/2周期變化。所述的面陣CCD相機15的觸發(fā)脈沖C，該 觸發(fā)脈沖C與探測脈沖列B的初相位相同，即當(dāng)探測脈沖列B發(fā)出時同 時觸發(fā)面陣CCD相機的采集；所述四個相位下的探測信號被所述面陣 CCD相機15分別記錄。各個相位狀態(tài)內(nèi)，所述觸發(fā)脈沖C的正脈沖持續(xù) 時間為探測脈沖列的周期之和。經(jīng)所述的快門驅(qū)動器16分別驅(qū)動所述的 第一電子快門5和第二電子快門9，分別調(diào)制所述的激勵激光束和探測 激光束，受調(diào)制的激勵激光束經(jīng)所述的激勵光透鏡組6垂直照射在所述 的薄膜樣品的表面產(chǎn)生熱透鏡效應(yīng)；受調(diào)制的探測激光束經(jīng)所述的探測 光透鏡組10擴束后傾斜地入射到所述的薄膜樣品表面；由所述的薄膜樣 品表面反射的探測光束帶有薄膜樣品熱透鏡效應(yīng)的信息，經(jīng)濾波片13、 聚焦透鏡14后在面陣CCD相機15上成像，該面陣CCD相機得到對應(yīng) 于所述的探測激光束調(diào)制的四個脈沖串的探測信號為分別為 S。、 &/2、 &、 &,/2，經(jīng)所述的圖像采集卡19采集并存入所述的計算機17; 所述的計算機17按下式運算，得到薄膜樣品光斑區(qū)域內(nèi)所有各點上的反 映吸收信號的光學(xué)鎖相信號的幅值和相位
<formula>formula see original document page 12</formula> ，并存入所述的計算機17，即
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完成所述的薄膜樣品的表面的一個光斑區(qū)域的測量；
⑧所述的計算機17對所述步進電機12發(fā)出傳動脈沖，移動所述的 薄膜樣品到下一個待測的光斑區(qū)域，所述的計算機17同時驅(qū)動所述激勵 激光器1和探測激光器2分別發(fā)出激勵激光束和探測激光束，重復(fù)第⑦步，完成下一個光斑區(qū)域的測量；
⑨ 重復(fù)第⑧步，直至所述的薄膜樣品最后一個光斑區(qū)域的測量完成;
⑩ 所述的計算機17的測量界面顯示"測量完成"，程序處于等待狀 態(tài)，點擊停止按鈕可終止測量，點擊退出按鈕退出測量程序。
權(quán)利要求
1、一種應(yīng)用于大口徑激光薄膜的薄膜吸收多通道測量裝置，其特征在于該裝置由激勵激光器(1)、探測激光器(2)、激勵光衰減器(4)、第一電子快門(5)、激勵光透鏡組(6)、探測光衰減器(7)、反射鏡(8)、第二電子快門(9)探測光衰減器(7)、探測光透鏡組(10)、樣品夾具(11)、步進電機(12)、濾波片(13)、聚焦透鏡(14)、面陣CCD相機(15)、快門驅(qū)動器(16)、圖像采集卡(19)、數(shù)據(jù)卡(20)以及計算機(17)組成，上述各部件的位置關(guān)系如下步進電機(12)驅(qū)動所述的樣品夾具(11)，該樣品夾具(11)用于放置待測的薄膜樣品；激勵光路，包括激勵激光器(1)，由該激勵激光器(1)發(fā)出的激勵激光束依次經(jīng)激勵光衰減器(4)、第一電子快門(5)、激勵光透鏡組(6)垂直照射在所述的薄膜樣品的表面形成激勵光斑；探測光路，包括探測激光器(2)，由該探測激光器(2)發(fā)出的探測激光束依次經(jīng)探測光衰減器(7)、反射鏡(8)、第二電子快門(9)、探測光透鏡組(10)擴束后傾斜地入射到所述的薄膜樣品表面形成探測光斑，該探測光斑的中心與所述的激勵光斑的中心重合；由所述的薄膜樣品表面反射的探測光束經(jīng)濾波片(13)、聚焦透鏡(14)后在面陣CCD相機(15)上成像；所述的面陣CCD相機(15)的輸出端接計算機(17)的輸入端，所述的圖像采集卡(19)和數(shù)據(jù)卡(20)插在該計算機(17)內(nèi)的插槽中，該計算機(17)的輸出端經(jīng)快門驅(qū)動器(16)分別與所述的第一電子快門(5)和第二電子快門(9)的控制端相連，該計算機(17)的另一輸出端接所述的步進電機(12)的控制端。
2、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的薄膜吸收多通道測量裝置，其特征在于在 所述的激勵激光器(1)和激勵光衰減器(4)之間的激勵光路上設(shè)有分 束鏡(3)，在該分束鏡(3)的反射光路上設(shè)置激光功率計(18)。
3、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的薄膜吸收多通道測量裝置，其特征在于所述的激勵激光器(1)為紅外基頻激光器，或其二倍頻或三倍頻激光器； 所述的探測激光器(2)為He-Ne激光器。
4、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的薄膜吸收多通道測量裝置，其特征在于所 述的數(shù)據(jù)卡(20)在所述的計算機(17)的控制下產(chǎn)生同頻率的激勵脈 沖列(A)和探測脈沖列列(B)，經(jīng)所述的快門驅(qū)動器(16)分別驅(qū)動所 述的第一電子快門(5)和第二電子快門(9)，在一個初相位變化的周期 內(nèi)，所述的激勵脈沖列(A)和探測脈沖列列(B)之間的初相位差通過計 算機(17)設(shè)定。
5、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的薄膜吸收多通道測量裝置，其特征在于所 述的面陣CCD相機(15)具有百萬或百萬以上的像素，其圖像由所述 的圖像采集卡(19)采集。
6、 利用權(quán)利要求1所述的薄膜吸收多通道測量裝置測量薄膜吸收的 方法，其特征在于包括下列步驟① 將待測薄膜樣品固定在所述的樣品夾具(11)中；② 啟動激勵激光器(1)和探測激光器(2)，分別調(diào)節(jié)激勵光衰減器 (4)和探測光衰減器(7)，設(shè)定激勵激光功率和探測激光功率；③ 打開所述的快門驅(qū)動器(16)電源、面陣CCD相機(15)電源 和步進電機(12)電源；④ 調(diào)整探測激光束和激勵激光束在所述的薄膜樣品表面重合，并觀 察到反射的探測光束出現(xiàn)衍射環(huán)圖樣，在激勵光路中插入擋板；⑤ 啟動測量程序，在計算機(17)的程序主界面上設(shè)定 待測薄膜樣品的光斑區(qū)域數(shù)目；步進電機(12)步長；數(shù)據(jù)卡(20)產(chǎn)生的激勵脈沖列(A)和探測脈沖列(B)的四個脈 沖串的頻率、脈沖數(shù)、占空比和初相位差； 數(shù)據(jù)存儲路徑；⑥ 撤掉激勵光路的擋板，點擊測量主界面的啟動按鈕開始測量所 述的計算機(17)對所述步進電機(12)發(fā)出傳動脈沖，移動所述的薄膜樣品，使所述的探測激光束和激勵激光束進入到第一個待測的光斑區(qū)域；⑦ 所述的計算機(17)同時驅(qū)動所述激勵激光器(1)和探測激光器 (2)分別發(fā)出激勵激光束和探測激光束，同時在所述的計算機(17)的控制下，所述的數(shù)據(jù)卡(20)根據(jù)上述設(shè)定產(chǎn)生具有相同頻率、脈沖數(shù) 和占空比的四個脈沖串組成的激勵脈沖列(A)和探測脈沖列(B)，但 所述的激勵脈沖列(A)的四個脈沖串和探測脈沖列(B)的四個脈沖串 的初相位差依次為^=0、 ；r/2、 ；r、 3W2 ，經(jīng)所述的快門驅(qū)動器(16)分別驅(qū)動所述的第一電子快門(5)和第二電子快門(9)，分別調(diào)制所述的 激勵激光束和探測激光束，受調(diào)制的激勵激光束經(jīng)所述的激勵光透鏡組 (6)垂直照射在所述的薄膜樣品的表面產(chǎn)生熱透鏡效應(yīng)；受調(diào)制的探測 激光束經(jīng)所述的探測光透鏡組(10)擴束后傾斜地入射到所述的薄膜樣 品表面；由所述的薄膜樣品表面反射的探測光束帶有薄膜樣品熱透鏡效 應(yīng)的信息，經(jīng)濾波片(13)、聚焦透鏡(14)后在面陣CCD相機(15) 上成像，該面陣CCD相機得到對應(yīng)于所述的探測激光束調(diào)制的四個脈 沖串的探測信號為分別為S。、 &/2、 &、 &/2，經(jīng)所述的圖像采集卡(19) 采集并存入所述的計算機(17);所述的計算機(17)按下式運算，得到 薄膜樣品光斑區(qū)域內(nèi)所有各點上的反映吸收信號的光學(xué)鎖相信號的幅值 和相位<formula>formula see original document page 4</formula>即完成所述的薄膜樣品的表面的一個光斑區(qū)域的測量；⑧ 所述的計算機(17)對所述步進電機(12)發(fā)出傳動脈沖，移動 所述的薄膜樣品到下一個待測的光斑區(qū)域，所述的計算機(17)同時驅(qū) 動所述激勵激光器(1)和探測激光器(2)分別發(fā)射出激勵激光束和探 測激光束，重復(fù)第⑦步，完成下一個光斑區(qū)域的測量；(D重復(fù)第⑧步，直至所述的薄膜樣品最后一個光斑區(qū)域的測量完成;⑩計算機(17)的測量界面顯示"測量完成"，程序處于等待狀態(tài)， 點擊停止按鈕可終止測量，點擊退出按鈕退出測量程序。
全文摘要
一種應(yīng)用于大口徑激光薄膜的薄膜吸收多通道測量裝置及其測量方法，該裝置由激勵激光器、探測激光器、激勵光衰減器、第一電子快門、激勵光透鏡組、探測光衰減器、反射鏡、第二電子快門探測光衰減器、探測光透鏡組、樣品夾具、步進電機、濾波片、聚焦透鏡、面陣CCD相機、快門驅(qū)動器、圖像采集卡、數(shù)據(jù)卡以及計算機組成，本發(fā)明具有測量準(zhǔn)確、快速、高效、運行穩(wěn)定和數(shù)據(jù)處理自動化的特點。
文檔編號G01N21/17GK101435767SQ20081020447
公開日2009年5月20日 申請日期2008年12月12日 優(yōu)先權(quán)日2008年12月12日
發(fā)明者劉曉鳳, 雷 張, 李大偉, 柯立公, 賀洪波, 趙元安, 陶春先 申請人:中國科學(xué)院上海光學(xué)精密機械研究所