專利名稱：一種用于低溫探針臺中的磁場產(chǎn)生裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種產(chǎn)生平行磁場的設(shè)備，具體涉及一種用于低溫探針臺中的 磁場產(chǎn)生裝置。 背景4支術(shù)
半個(gè)多世紀(jì)以來，以CMOS為主流技術(shù)的半導(dǎo)體集成電路一直在遵循"摩 爾定律，，迅速發(fā)展，其特征尺寸已進(jìn)入到納米級，因此基于新材料、新原理的 納米電子器件如各種量子點(diǎn)器件、納米線、納米管器件、單電子器件等成為研 究的熱點(diǎn)。而對這些量子器件的表征中，其低溫特性和在^f茲場中的特性成為一 種常用的表征手段。
但是在傳統(tǒng)的測試設(shè)備中，低溫特性和磁場特性很少能夠同時(shí)完成。有些 能夠同時(shí)完成的裝置，也因?yàn)槠洚a(chǎn)生磁場的裝置體積大不易攜帶等缺點(diǎn)，^f吏得 低溫情況下的^f茲特性測試一直沒有很好的普及。

發(fā)明內(nèi)容
為了克服上述缺陷，本發(fā)明提供一種用于低溫探針臺中的磁場產(chǎn)生裝置， 能夠方便的調(diào)節(jié)磁場方向和大小，且其體積小，可以放在低溫探針臺的測試腔 體中。
為了達(dá)到上述目的，本發(fā)明采用的技術(shù)方案為 一種用于低溫探針臺中的 磁場產(chǎn)生裝置，其特殊之處在于包括底托、樣品托和永磁鐵，所述底托上方 設(shè)有兩根平行螺桿，兩根螺桿上設(shè)有可沿螺桿滑動(dòng)的滑桿；所述永磁鐵對立設(shè) 置在底托上方，通過鐵圈分別固定在螺桿一端下方的底托上和滑桿中部；所述 樣品托設(shè)置在永磁鐵中間的底托上。上述底托兩側(cè)設(shè)有連接臂，連接臂將底托固定在探針臺的樣品搭載臺上。 上述螺桿通過支撐柱固定在底托上。 上述滑桿兩端設(shè)有套筒，可在螺桿上滑動(dòng)。
上述螺桿上分別設(shè)有兩顆與螺桿螺纟丈相匹配的螺母，兩顆螺母設(shè)置于滑桿 套筒的兩端。
上述樣品托通過螺釘與底托連接，且可自由轉(zhuǎn)動(dòng)180度。
上述底托、連接臂、螺桿、支撐柱、樣品托和滑桿的材質(zhì)均為紫銅。
與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明技術(shù)方案產(chǎn)生的有益效果如下
1、 本發(fā)明利用滑桿來調(diào)節(jié)永磁鐵之間的距離，達(dá)到調(diào)節(jié)磁場強(qiáng)度的目的； 本發(fā)明通過旋轉(zhuǎn)樣品托來調(diào)節(jié)樣品于磁力線的夾角，從而改變樣品所處的磁場 方向。
2、 本發(fā)明通過各零件間的巧妙連接使得整個(gè)裝置的體積很小，結(jié)構(gòu)簡單， 便于攜帶，易于操作，能與低溫探針臺無縫兼容，可以適用于各種需要磁場的 小容積的環(huán)境中，特別是低溫探針臺的高真空低溫腔體中。


圖1為本發(fā)明整體結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施例方式
下面結(jié)合附圖和具體實(shí)施例對本發(fā)明的技術(shù)方案進(jìn)行詳細(xì)說明。
如圖l所示，本發(fā)明為一種用于低溫探針臺中的磁場產(chǎn)生裝置，包括底托
1、樣品托6和永磁鐵8,底托1通過其兩側(cè)設(shè)置的連接臂2固定在低溫探針臺
的樣品搭載臺上。
本發(fā)明底托1上方的兩根平行螺桿3是通過四根支撐柱4支撐在底托1上 的，支撐柱4的兩端均是通過螺紋與底托1和螺桿3連接的。兩根螺桿3上設(shè)有可沿螺桿滑動(dòng)的滑桿7，滑桿7通過其兩端的套筒在螺桿3上滑動(dòng)，并且其 位置由四個(gè)螺母9來確定。
本發(fā)明中永磁鐵8對立設(shè)置在底托1上方，產(chǎn)生平行磁場，通過鐵圈5分 別固定在螺桿3 —端下方的底托1上和滑桿7中部；所述樣品托6通過螺釘固 定設(shè)置在兩個(gè)永磁鐵中間的底托1上，且可自由轉(zhuǎn)動(dòng)180度，從而調(diào)節(jié)樣品所 處的》茲場方向。
本發(fā)明兩根螺桿3上分別設(shè)有兩顆與螺桿螺故相匹配的螺母9,四顆螺母 9設(shè)置于滑桿套筒的兩端，夾住套筒，使得滑桿7帶動(dòng)固定在其上的鐵圈5可 自由精確的滑動(dòng)，調(diào)節(jié)兩個(gè)永磁鐵之間的間距，從而調(diào)節(jié)樣品所處的磁場強(qiáng)度。
本發(fā)明中底托l(wèi)、連接臂2、螺桿3、支撐柱4、樣品托6和滑桿7的材質(zhì) 均為紫銅，使得低溫探針臺的溫度可以和樣品托的溫度同步。
本發(fā)明不僅能夠提供相對高的平行磁場，并且能夠方便的調(diào)節(jié)磁場方向和 大小，而且因?yàn)槠潴w積小，可以放在低溫探針臺的測試腔體中，從而也可以在 極低溫的環(huán)境下完成器件的測試表征工作。
以上所述的具體實(shí)施例，對本發(fā)明的目的、技術(shù)方案和有益效果進(jìn)行了進(jìn) 一步詳細(xì)說明，所應(yīng)理解的是，以上所述僅為本發(fā)明的具體實(shí)施例而已，并不 用于限制本發(fā)明，凡在本發(fā)明的精神和原則之內(nèi)，所做的任何修改、等同替換、 改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。
權(quán)利要求
1、一種用于低溫探針臺中的磁場產(chǎn)生裝置，其特征在于包括底托、樣品托和永磁鐵，所述底托上方設(shè)有兩根平行螺桿，兩根螺桿上設(shè)有可沿螺桿滑動(dòng)的滑桿；所述永磁鐵對立設(shè)置在底托上方，通過鐵圈分別固定在螺桿一端下方的底托上和滑桿中部；所述樣品托設(shè)置在永磁鐵中間的底托上。
2、 如權(quán)利要求1所述的一種用于低溫探針臺中的磁場產(chǎn)生裝置，其特征 在于所述底托兩側(cè)i殳有連接臂。
3、 如權(quán)利要求1所述的一種用于低溫探針臺中的磁場產(chǎn)生裝置，其特征 在于所述螺桿通過支撐柱固定在底托上。
4、 如權(quán)利要求1所述的一種用于低溫探針臺中的磁場產(chǎn)生裝置，其特征 在于所述滑桿兩端設(shè)有套筒，可在螺桿上滑動(dòng)。
5、 如權(quán)利要求1或4所述的一種用于低溫探針臺中的磁場產(chǎn)生裝置，其 特征在于所述兩根螺桿上分別設(shè)有兩顆與螺桿螺紋相匹配的螺母，兩顆螺母 設(shè)置于滑桿套筒的兩端。
6、 如權(quán)利要求1所述的一種用于低溫探針臺中的磁場產(chǎn)生裝置，其特征 在于所述樣品托通過螺釘與底托連接，且可自由轉(zhuǎn)動(dòng)180度。
7、 如權(quán)利要求1所述的一種用于低溫探針臺中的磁場產(chǎn)生裝置，其特征 在于所述底托、連接臂、螺桿、支撐柱、樣品托和滑桿的材質(zhì)均為紫銅。
8、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于低溫探針臺中的磁場產(chǎn)生裝置，氣特 征在于所述永磁鐵應(yīng)該無縫置于鐵圈內(nèi)。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種用于低溫探針臺中的磁場產(chǎn)生裝置。為了克服現(xiàn)有測試設(shè)備中體積大、不易攜帶的缺點(diǎn)，本發(fā)明提供一種用于低溫探針臺中的磁場產(chǎn)生裝置，包括底托、樣品托和永磁鐵，所述底托上方設(shè)有兩根平行螺桿，兩根螺桿上設(shè)有可沿螺桿滑動(dòng)的滑桿；所述永磁鐵對立設(shè)置在底托上方，通過鐵圈分別固定在螺桿一端下方的底托上和滑桿中部；所述樣品托設(shè)置在永磁鐵中間的底托上。本發(fā)明可調(diào)節(jié)樣品所處的磁場強(qiáng)度和磁場方向，且體積很小，結(jié)構(gòu)簡單，便于攜帶，易于操作，能與低溫探針臺無縫兼容，可以適用于各種需要磁場的小容積的環(huán)境中，特別是低溫探針臺的高真空低溫腔體中。
文檔編號G01R33/00GK101446626SQ20081023988
公開日2009年6月3日 申請日期2008年12月19日 優(yōu)先權(quán)日2008年12月19日
發(fā)明者朱晨昕, 李昊峰, 李維龍, 銳 賈, 晨 陳 申請人:中國科學(xué)院微電子研究所