專利名稱：晶棒專用測量平板的制作方法
技術(shù)領域：
本實用新型涉及一種測量裝置，特別涉及一種晶棒專用測量平板。
背景技術(shù)：
"T"型石英晶棒的準確測量，是該石英晶棒切割成石英晶片前對晶棒粘膠 時基準面和調(diào)整面的測角，測量的標準程度，直接影響石英晶片的角度。
測量石英晶棒大多通過平板進行定位。目前X射線定向儀上使用的平板， 是寬度為30mm的平板，這種平板是為測量寬度為25mm左右的晶片設計，在 測量石英晶片時完全夠用。但在測量石英晶棒時，由于石英晶棒長度為210mm 左右，平板相對于石英晶棒的長度過于太短，容易造成石英晶棒磨損變形，石 英晶棒放置不穩(wěn)，測量的晶棒YY'方向角度不對稱，比如一頭為+3'，另外一 頭為-2'，在粘膠調(diào)整時不知調(diào)整哪個角度等缺點。另外，平板的寬度同對角 器上面的基準平板長度相差太大，造成測量區(qū)域與粘膠時的作為基準的區(qū)域不 一致也會形成誤差，從而導致影響石英晶片的切割精度。
發(fā)明內(nèi)容
針對上述技術(shù)問題，本實用新型的目的是提供一種晶棒專用測量夾板，它 可以增大與被測量晶棒的接觸面積，減小晶棒的磨損率，以及還能使晶棒緊貼 于平板上的優(yōu)點。
本實用新型的目的是這樣實現(xiàn)的平板的下部設有安裝孔，所述平板上部 的左側(cè)面設有向左方延伸的左支撐板，平板上部的右側(cè)面設有向右方延伸的右支撐板，平板的中間區(qū)域設有多個吸氣孔。
所述平板的長度和左、右支撐板的長度之和等于對角器基準平板長度。
所述多個吸氣孔布置成多列，其中位于左列和右列吸氣孔的數(shù)目相等，位 于左列和右列吸氣孔之間的各列吸氣孔數(shù)目相等，位于左列和右列吸氣孔之間 的各列吸氣孔數(shù)目多于左列或右列吸氣孔的數(shù)目。
采用了上述方案，平板上部的左側(cè)面設有向左方延伸的左支撐板，平板上 部的右側(cè)面設有向右方延伸的右支撐板，左、右支撐板的長度之和為晶棒長度 的三分之二，通過支、右撐板的支撐作用，可以增大晶棒與平板的接觸面積， 容易與平板緊貼，減少因磨損出現(xiàn)的誤差。平板的中間區(qū)域設有多個吸氣孔， 晶棒檢測時，在平板的吸氣孔區(qū)域連接抽氣泵，通過抽氣泵經(jīng)吸氣孔產(chǎn)生負壓， 進一步增強晶棒與平板的緊貼性。而且通過負壓還可便于將晶棒放置到平板上， 利于提高工作效率。
所述平板的長度和左、右支撐板的長度之和等于對角器基準平板長度。使 測量區(qū)域同調(diào)整區(qū)域一致，造成測量區(qū)域與粘膠時的作為基準的區(qū)域不一致也 會形成誤差，從而導致影響晶片的切割精度。
以下結(jié)合附圖和具體實施方式
對本實用新型作進一步說明。


圖1為本實用新型的一種優(yōu)選實施例的結(jié)構(gòu)示意附圖中，l為平板，2為安裝孔，3為左支撐板，4為右支撐板，5為吸氣孔。
具體實施方式

參照圖l，本實用新型的晶棒專用測量平板，平板l的下部設有安裝孔2。 平板l上部的左側(cè)面設有向左方延伸的左支撐板3，平板上部的右側(cè)面設有向右方延伸的右支撐板4，形成"T"型的平板，左、右支撐板與平板1 一體成型。 平板1和左、右支撐板的長度之和等于對角器基準平板長度，使得測量區(qū)域與 平板粘膠時的作為基準的區(qū)域一致，以減少測量誤差。左、右支撐板3、 4的長
度之和為150mm，為晶棒長度的三分之二左右，可增大晶棒與支撐板的接觸面 積。平板l的中間區(qū)域設有多個吸氣孔5，這些吸氣孔布置成多列，其中位于左 列和右列吸氣孔的數(shù)目相等，位于左列和右列吸氣孔之間的各列吸氣孔數(shù)目相 等，位于左列和右列吸氣孔之間的各列吸氣孔數(shù)目多于左列或右列吸氣孔的數(shù) 目。在平板的吸氣孔區(qū)域連接抽氣泵，通過抽氣泵經(jīng)吸氣孔產(chǎn)生負壓。晶棒檢 測時，可進一步增強晶棒與平板的緊貼性。
本實用新型結(jié)構(gòu)雖然較為簡單，但實用性強。
上述實施例是用于說明本實用新型，而不是對本實用新型的限制，在實用 新型的構(gòu)思前提下對實用新型的改進，都屬于本實用新型權(quán)利要求保護的范圍。
權(quán)利要求1. 一種晶棒專用測量平板，平板的下部設有安裝孔，其特征在于所述平板上部的左側(cè)面設有向左方延伸的左支撐板，平板上部的右側(cè)面設有向右方延伸的右支撐板，平板的中間區(qū)域設有多個吸氣孔。
2. 根據(jù)權(quán)利要求l所述的晶棒專用測量平板，其特征在于所述平板的長度和左、右支撐板的長度之和等于對角器基準平板長度。
3. 根據(jù)權(quán)利要求l所述的晶棒專用測量平板，其特征在于所述多個 吸氣孔布置成多列，其中位于左列和右列吸氣孔的數(shù)目相等，位于左列和 右列吸氣孔之間的各列吸氣孔數(shù)目相等，位于左列和右列吸氣孔之間的各 列吸氣孔數(shù)目多于左列或右列吸氣孔的數(shù)目。
專利摘要本實用新型涉及一種測量裝置，特別涉及一種晶棒專用測量平板。本實用新型平板的下部設有安裝孔，所述平板上部的左側(cè)面設有向左方延伸的左支撐板，平板上部的右側(cè)面設有向右方延伸的右支撐板，平板的中間區(qū)域設有多個吸氣孔。本實用新型可以增大與被測量晶棒的接觸面積，減小晶棒的磨損率，以及還能使晶棒緊貼于平板上的優(yōu)點。
文檔編號G01B21/22GK201237501SQ20082004114
公開日2009年5月13日 申請日期2008年7月30日 優(yōu)先權(quán)日2008年7月30日
發(fā)明者任先林, 宋秦川 申請人:常州松晶電子有限公司