專利名稱：用于太陽電池片氮化硅膜致密性測量的載片的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種工裝，尤其涉及一種用于太陽電池片氮化硅膜致密性 測量的載片。
背景技術(shù)：
太陽電池作為新興的清潔可再生能源因具有直接將太陽能轉(zhuǎn)換為電能，且 壽命長、維護(hù)簡單、可實(shí)現(xiàn)無人值守等優(yōu)勢而備受矚目。太陽能電源系統(tǒng)取得 了越來越廣泛的應(yīng)用。
現(xiàn)有的晶體硅太陽電池片在制作過程中有一道工序是通過PECVD工藝在 硅片表面沉積一層氮化硅膜，以達(dá)到減反射的效果。PECVD工藝要求所形成 的氮化硅膜致密、均勻。為了檢驗(yàn)其致密性，現(xiàn)在一般是使用一定濃度的HF 溶液對氮化硅膜進(jìn)行腐蝕，膜的致密性越好，相對的腐蝕時間也越長?，F(xiàn)有技 術(shù)在進(jìn)行這種檢驗(yàn)時， 一般是使用普通的防酸堿容器，將硅片直接放入容器內(nèi) 進(jìn)行腐蝕。由于沒有固定裝置，硅片容易移動，從而造成肉眼觀察的不便。

實(shí)用新型內(nèi)容
本實(shí)用新型的目的，就是為了提供一種用于太陽電池片氮化硅膜致密性測 量的載片。
為了達(dá)到上述目的，本實(shí)用新型采用了以下技術(shù)方案 一種用于太陽電池 片氮化硅膜致密性測量的載片，為方形薄片，中間設(shè)有一個用于放置電池片的 方形凹槽。
所述的方形凹槽的大小為127mmX127mm，深度為lmm。
所述的方形凹槽的兩側(cè)邊緣上各設(shè)有一個掛鉤孔。
本實(shí)用新型的載片用于太陽電池片氮化硅膜致密性測量時，是將太陽電池 片固定放置在載片的凹槽內(nèi)，然后用可伸縮的鉤子插入載片的兩個掛鉤孔內(nèi)勾住載片，再一起放入一個盛有HF溶液的方形容器內(nèi)進(jìn)行腐蝕，可以清晰地觀 察到膜色的變化，能夠很直觀的判斷太陽電池片氮化硅膜致密性的好壞。


圖1是本實(shí)用新型用于太陽電池片氮化硅膜致密性測量的載片的立體結(jié)構(gòu) 示意圖。
具體實(shí)施方式
參見圖1，本實(shí)用新型的用于太陽電池片氮化硅膜致密性測量的載片1為 方形薄片，中間設(shè)有一個用于放置電池片的方形凹槽11，兩側(cè)邊緣上各設(shè)有一 個掛鉤孔12。其中，方形凹槽的大小為127mmX127mm (相應(yīng)于太陽電池片 的最大尺寸)，深度為lmm。
權(quán)利要求1、一種用于太陽電池片氮化硅膜致密性測量的載片，其特征在于所述的載片為方形薄片，中間設(shè)有一個用于放置電池片的方形凹槽。
2、 如權(quán)利要求l所述的用于太陽電池片氮化硅膜致密性測量的載片，其 特征在于所述的方形凹槽的大小為127mmX127imn，深度為lmm。
3、 如權(quán)利要求l所述的用于太陽電池片氮化硅膜致密性測量的載片，其 特征在于所述的方形凹槽的兩側(cè)邊緣上各設(shè)有一個掛鉤孔。
專利摘要本實(shí)用新型提供了一種用于太陽電池片氮化硅膜致密性測量的載片，該載片為方形薄片，中間設(shè)有一個用于放置電池片的方形凹槽。本實(shí)用新型的載片用于太陽電池片氮化硅膜致密性測量時，是將太陽電池片固定放置在載片的凹槽內(nèi)，然后用可伸縮的鉤子插入載片的兩個掛鉤孔內(nèi)勾住載片，再一起放入一個盛有HF溶液的方形容器內(nèi)進(jìn)行腐蝕，可以清晰地觀察到膜色的變化，能夠很直觀的判斷太陽電池片氮化硅膜致密性的好壞。
文檔編號G01N31/00GK201222056SQ20082005921
公開日2009年4月15日 申請日期2008年5月30日 優(yōu)先權(quán)日2008年5月30日
發(fā)明者許瑞峰 申請人:上海太陽能科技有限公司