專利名稱：氦質(zhì)譜檢漏儀接收器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
氦質(zhì)譜檢漏儀接收器技術(shù)領(lǐng)域本發(fā)明涉及一種氦質(zhì)譜檢漏儀的接收器。
技術(shù)背景氦質(zhì)譜檢漏儀的主要指標(biāo)靈敏度，也稱最小可檢測漏率。其測量方法是用一氦氣標(biāo)準漏孔Qo，接在檢漏儀上產(chǎn)生的信號強度S，假設(shè)測量系統(tǒng)的噪聲N， 那么儀器的靈敏度Q-QoXN/S。 S/N稱為信噪比。同樣的漏孔產(chǎn)生的信號越強， 靈敏度就越髙，而測量系統(tǒng)的噪聲越大，靈敏度就越低。為此，提高儀器靈敏 度的方法就是增大信號強度和降低噪聲。檢漏儀中除了要檢測的氦離子以外，通常有真空中殘余氣體碰撞產(chǎn)生的雜 散離子或電子進入接收器，為了減少干擾，在入口處裝有一抑制電極，并加上 200-400V電壓。因為接收極連接的微電流放大器的反饋電阻是IOUQ，阻抗很 高，抑制極和引線上的交流紋波會通過分布電容進入接收電極，形成測量噪聲。發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明的目的在于提供一種可以減少測量噪聲的氦質(zhì)譜檢漏儀接收器。 為實現(xiàn)上述發(fā)明目的，本實用新型采用了如下技術(shù)方案 一種氦質(zhì)譜檢漏儀的接收器，檢漏儀接收器包括抑制電極(1)及引線(6)、 接收極(3)，其中抑制電極(1)及引線(6)與接收極(3)之間由屏蔽極2隔離。 接收極(3)采用金屬材料，所述金屬材料產(chǎn)生二次電子的效率很高。 接收極(3)為鋁或鈹青銅。在我們的設(shè)計中，抑制電極的引線6從離子源的插頭進入，與接收器的其它引線分開，經(jīng)過屏蔽極2側(cè)面的小孔，插到抑制極上。抑制電極及引線與接 收極之間由屏蔽極隔離，使測量噪聲由原來3-4mv減少為不足lmv。本發(fā)明的另一個發(fā)明點是，接收電極通常用不銹鋼材料制成，而我們選用 的是產(chǎn)生二次電子效率很高的金屬材料，如鋁或鈹青銅，落入一個正離子可以 打出l-2個電子，對正電流而可增加l-2倍的離子流強度。由于采用了上述改進措施，可以使儀器的靈敏度指標(biāo)提高4-5倍。


以下結(jié)合附圖對本發(fā)明進行說明，其中 圖1是氦質(zhì)譜檢漏儀的接收器的示意圖。
具體實施方式
以下結(jié)合附圖和實例對本發(fā)明進一步說明。圖1為氦質(zhì)譜檢漏儀接收器的示意圖。其中1為抑制電極，加200-400V 電壓；2為屏蔽極；3是接收極；4是放大器的反饋電阻1011 Q ; 5是微電流放大 器，6是抑制極的引入線。抑制電極1和引線6單獨對地屏蔽2。經(jīng)測量，噪聲由原來的3-4mv減少為小于lmv，從而降低了抑制電極引線對 接收極的干擾。
權(quán)利要求1.一種氦質(zhì)譜檢漏儀的接收器，檢漏儀接收器包括抑制電極(1)及引線(6)、接收極(3)，其中抑制電極(1)及引線(6)與接收極(3)之間由屏蔽極(2)隔離。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種氦質(zhì)譜檢漏儀的接收器，其特征在于，接收 極(3)采用金屬材料。
3. 根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種氦質(zhì)譜檢漏儀的接收器，其特征在于，接收 極(3)為鋁或鈹青銅。
專利摘要一種氦質(zhì)譜檢漏儀的接收器，檢漏儀接收器包括抑制電極(1)及引線(6)、接收極(3)，其中抑制電極(1)及引線(6)與接收極(3)之間由屏蔽極(2)隔離。其中接收極(3)采用金屬材料，如鋁或鈹青銅。
文檔編號G01M3/02GK201170749SQ200820128268
公開日2008年12月24日 申請日期2008年7月14日 優(yōu)先權(quán)日2008年7月14日
發(fā)明者黃慶文 申請人:北京中科科儀技術(shù)發(fā)展有限責(zé)任公司