專利名稱：拼接光柵位移偏差監(jiān)測(cè)系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及光柵，特別是一種對(duì)應(yīng)用于高功率激光系統(tǒng)中的拼接光柵位移 偏差監(jiān)測(cè)系統(tǒng)。 技術(shù)背景
在激光核聚變項(xiàng)目中，為獲得幾十fs (飛秒)或者幾個(gè)ps (皮秒)的短脈沖高
功率激光輸出，需要使用大面積的光柵來(lái)對(duì)激光脈沖進(jìn)行壓縮，由于技術(shù)原因，直 接制作大口徑衍射光柵既困難又不經(jīng)濟(jì)，目前， 一種替代的方法是采用光柵拼接手 段來(lái)獲得大口徑的衍射光柵，所謂光柵拼接，是將幾塊具有相同參數(shù)的子光柵，通 過(guò)精密的空間位置調(diào)整，使其相互間的位相差足夠小或者同位相，從而相當(dāng)于一塊 完整的光柵。
要實(shí)現(xiàn)大面積的光柵拼接，關(guān)鍵在于實(shí)現(xiàn)各子光柵間極高的共面精度與光柵拼
縫間隔的穩(wěn)定性，要求各子光柵間的共面精度應(yīng)保持在幾十個(gè)nm量級(jí)以內(nèi)，光柵 之間的拼縫間隔小于子光柵刻線寬度的1/10，即幾十個(gè)nm范圍內(nèi)。我們目前采用 的光柵拼接裝置包括精調(diào)裝置平臺(tái)9和粗調(diào)裝置平臺(tái)IO兩部分，先進(jìn)行粗調(diào)，鎖定 后的偏差在精調(diào)裝置平臺(tái)9的有效調(diào)節(jié)范圍之內(nèi)，再由精調(diào)裝置平臺(tái)9作進(jìn)一步調(diào) 整，精調(diào)裝置平臺(tái)9是以柔性鉸鏈作為運(yùn)動(dòng)副，壓電陶瓷作為驅(qū)動(dòng)器的微位移平臺(tái) 構(gòu)成。
以兩塊光柵拼接為例，其光柵拼接裝置結(jié)構(gòu)示意圖如圖l所示第一子光柵G1 安裝在粗調(diào)裝置平臺(tái)10上，作為基準(zhǔn)光柵，精調(diào)裝置平臺(tái)9由上下兩層平臺(tái)構(gòu)成， 下層平臺(tái)91具有兩維平動(dòng)及一維轉(zhuǎn)動(dòng)調(diào)節(jié)，上層平臺(tái)92安裝在下層平臺(tái)上，包含 兩維轉(zhuǎn)動(dòng)調(diào)節(jié)，第二子光柵G2安裝在上層平臺(tái)92上，第一子光柵G1、第二子光柵 G2之間的共面精度偏差為S，拼縫間隔為L(zhǎng)。
根據(jù)光柵拼接中的調(diào)整精度要求，拼接裝置除了要具有亞微米級(jí)的運(yùn)動(dòng)分辨率 之外，還必須具有很高的穩(wěn)定性，即在拼接過(guò)程中將光柵調(diào)節(jié)至理想位置(光柵共 面精度偏差為So，拼縫間隔為L(zhǎng)。)后，保持其位移變化在允許的范圍(小于20nm)
內(nèi)，因此拼接裝置應(yīng)該具有較大的剛性，以減弱外界干擾的影響。但是實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明，由于壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器本身具有的遲滯、蠕變等特性，精調(diào)裝置平臺(tái)2的在水平 和垂直方向上的位移輸出偏差會(huì)隨著時(shí)間的變化而緩慢變化，最終都只能達(dá)到微米 量級(jí)，無(wú)法滿足光柵拼接的定位的穩(wěn)定性要求，從而嚴(yán)重影響激光脈沖的空間特性。 發(fā)明內(nèi)容
本實(shí)用新型的目的在于克服上述現(xiàn)有子光柵相對(duì)位置隨時(shí)間變化的問(wèn)題，提供 一種拼接光柵位移偏差監(jiān)測(cè)系統(tǒng)，要求該系統(tǒng)能夠保障所述的拼接光柵的長(zhǎng)時(shí)間定 位穩(wěn)定性優(yōu)于15mn，并且具有測(cè)量性能穩(wěn)定、成本低、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、操作方便等特 點(diǎn)。
本實(shí)用新型的技術(shù)解決方案是
一種拼接光柵位移偏差監(jiān)測(cè)系統(tǒng)，包括供安裝拼接光柵的光柵拼接裝置，該光 柵拼接裝置由粗調(diào)裝置平臺(tái)和精調(diào)裝置平臺(tái)組成，所述的粗調(diào)裝置平臺(tái)具有鎖定結(jié) 構(gòu)，所述的精調(diào)裝置平臺(tái)由底層平臺(tái)和上層平臺(tái)構(gòu)成，該精調(diào)裝置平臺(tái)安裝有壓電 陶瓷驅(qū)動(dòng)器，該壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器由水平壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器和豎直壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器組成， 水平壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器驅(qū)動(dòng)該精調(diào)裝置平臺(tái)相對(duì)于所述的粗調(diào)裝置平臺(tái)的水平位移， 所述的豎直壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器驅(qū)動(dòng)該精調(diào)裝置平臺(tái)的上層平臺(tái)垂直位移，其特征在于
第一電容式數(shù)字微位移傳感器的兩極板相對(duì)地分別安裝在所述粗調(diào)裝置平臺(tái)和 精調(diào)裝置的底層平臺(tái)水平方向的位置，第二電容式數(shù)字微位移傳感器的兩極板相對(duì) 地分別安裝在所述精調(diào)裝置的底層平臺(tái)和上層平臺(tái)的垂直方向的位置；
所述的第一電容式數(shù)字微位移傳感器和第二電容式數(shù)字微位移傳感器的輸出端 接信號(hào)采樣電路的輸入端，該信號(hào)采樣電路的輸出端接單片機(jī)控制器的輸入端，該 單片機(jī)控制器的輸出端經(jīng)串口通訊電路接PC機(jī)，該P(yáng)C機(jī)的輸出端經(jīng)D/A轉(zhuǎn)換器與 所述的壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器的控制端相連。
所述的拼接光柵由第一子光柵和第二子光柵構(gòu)成，所述的第一子光柵安裝在所 述的粗調(diào)裝置平臺(tái)的水平面上，當(dāng)粗調(diào)裝置平臺(tái)鎖定后作為基準(zhǔn)光柵，第二子光柵 子安裝在所述的精調(diào)裝置平臺(tái)的上層平臺(tái)的水平面上。
所述的信號(hào)采樣電路為電容數(shù)字轉(zhuǎn)換器。
由于壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器本身具有的遲滯、蠕變等特性，精調(diào)裝置平臺(tái)在水平與垂 直方向的位移輸出不能保持穩(wěn)定，而是隨著時(shí)間變化，位移偏差不斷增大，此時(shí)光 柵拼縫間隔L與第一電容式數(shù)字微位移傳感器的極板間距產(chǎn)生同樣變化量，而共面 精度偏差S則與第二電容式數(shù)字微位移傳感器的極板間距產(chǎn)生同樣變化量，因此需要分別測(cè)量第一電容式數(shù)字微位移傳感器和第二電容式數(shù)字微位移傳感器的極板間 距變化量，即可同時(shí)求得拼接光柵的拼縫間隔L與共面精度偏差S的變化量。
信號(hào)采樣電路在線檢測(cè)第一電容式數(shù)字微位移傳感器的兩極板間的電容值，該 電容值作為光柵位移偏差檢測(cè)系統(tǒng)的反饋值，由單片機(jī)控制器對(duì)電容值進(jìn)行算術(shù)平 均，最后的算術(shù)平均值M即為最后得到的反饋電容值，通過(guò)串口電路傳到PC機(jī)， 由PC機(jī)對(duì)反饋電容值進(jìn)行處理，將其轉(zhuǎn)化為實(shí)際的位移偏差，并求得壓電陶瓷驅(qū) 動(dòng)器所需要的驅(qū)動(dòng)電壓，經(jīng)由D/A轉(zhuǎn)換后將驅(qū)動(dòng)電壓施加在所述的壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器
上，驅(qū)動(dòng)精調(diào)裝置平臺(tái)改變位移，從而調(diào)節(jié)并穩(wěn)定兩個(gè)子光柵的拼縫間隔為理想的" 狀態(tài)，滿足子光柵的定位穩(wěn)定性要求。
第二電容式數(shù)字微位移傳感器的工作原理和第一電容式數(shù)字微位移傳感器類 似，不再詳述。
本實(shí)用新型具有如下優(yōu)點(diǎn)-
1、 調(diào)節(jié)控制穩(wěn)定性好，本實(shí)用新型使拼接子光柵的共面精度偏差S小于15 nm， 光柵拼縫間隔工長(zhǎng)時(shí)間穩(wěn)定性優(yōu)于15nm;
2、 成本低廉，測(cè)量精度高，可靠性好；
3、 電路結(jié)ft簡(jiǎn)單、操作方便，需要的空間小。


圖1為光柵拼接裝置平臺(tái)的結(jié)構(gòu)示意圖。
圖2為本實(shí)用新型電容傳感式拼接光柵位移偏差監(jiān)測(cè)系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖。
圖3為本實(shí)用新型壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器8安裝結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施方式
以下結(jié)合附圖和實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步說(shuō)明，但不應(yīng)以此限制本實(shí)用新 型的保護(hù)范圍。
請(qǐng)參閱圖2，圖2為本實(shí)用新型拼接光柵位移偏差監(jiān)測(cè)系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖，由圖
可見(jiàn)，本實(shí)用新型拼接光柵位移偏差監(jiān)測(cè)系統(tǒng)，包括
由粗調(diào)裝置平臺(tái)10和精調(diào)裝置平臺(tái)9組成調(diào)整平臺(tái)，所述的粗調(diào)裝置平臺(tái)10 具有鎖定結(jié)構(gòu)，所述的精調(diào)裝置平臺(tái)9由底層平臺(tái)91和上層平臺(tái)92構(gòu)成，該精調(diào) 裝置平臺(tái)9安裝有水平壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器81和豎直壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器82、 83，由水平 壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器81和豎直壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器82、 83組成壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器8，水平壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器81驅(qū)動(dòng)該精調(diào)裝置平臺(tái)9相對(duì)于所述的粗調(diào)裝置平臺(tái)10的水平位移 運(yùn)動(dòng)，所述的豎直壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器82、 83驅(qū)動(dòng)該精調(diào)裝置平臺(tái)9的上層平臺(tái)92垂 直位移運(yùn)動(dòng)；
第一子光柵Gl安裝在所述的粗調(diào)裝置平臺(tái)10的水平面上，當(dāng)粗調(diào)裝置鎖定后 作為基準(zhǔn)光柵，第二子光柵子G2安裝在所述的精調(diào)裝置平臺(tái)9的上層平臺(tái)92的水 平面上，所述的第一子光柵G1和第二子光柵G2構(gòu)成拼接光柵；；
第一電容式數(shù)字微位移傳感器1的第一極板11和第二極板12相對(duì)地分別安裝 在所述粗調(diào)裝置平臺(tái)10和精調(diào)裝置9的底層平臺(tái)91水平方向的位置，則第一電容 式數(shù)字微位移傳感器1的第一極板11和第二極板12之間的間距變化量與所述第一 子光柵Gl和第二子光柵G2之間的拼縫間隔L變化量始終保持一致；第二電容式數(shù) 字微位移傳感器2的第一極板21和第二級(jí)板22相對(duì)地分別安裝在所述精調(diào)裝置9 的底層平臺(tái)91和上層平臺(tái)92的垂直方向的位置，則所述的第二電容式數(shù)字微位移 傳感器2的第一極板21和第二級(jí)板22之間的間距變化量與所述第一子光柵Gl和 第二子光柵G2的共面精度偏差S變化量始終保持一致；
所述的第一電容式數(shù)字微位移傳感器1和第二電容式數(shù)字微位移傳感器2的輸 出端接信號(hào)采樣電路3的輸入端，該信號(hào)采樣電路3的輸出端接單片機(jī)控制器4的 輸入端，該單片機(jī)控制器4的輸出端經(jīng)串口通訊電路5接PC機(jī)6，該P(yáng)C機(jī)6的輸 出端經(jīng)D/A轉(zhuǎn)換器7與所述的壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器8的控制端相連。
所述的第一電容式數(shù)字微位移傳感器1的第一極板11、第二極板12之間的實(shí)
時(shí)間距設(shè)為廣，初始間距定義為i/。，則該第一電容式數(shù)字微位移傳感器1的兩極
板之間的間距變化量A^和所述拼接光柵的拼縫間隔變化量AL相等。
所述的第二電容式數(shù)字微位移傳感器2的第一極板21固定在所述的精調(diào)裝置 平臺(tái)9的底層平臺(tái)91上，與所述基準(zhǔn)光柵Gl的垂直位置相對(duì)應(yīng)，第二電容式數(shù)字 微位移傳感器2的第二極板22安裝在所述的精調(diào)裝置平臺(tái)9的上層平臺(tái)92上，構(gòu) 成可動(dòng)極板，與所述第二子光柵G2的垂直位置相對(duì)應(yīng)，所述的第二電容式數(shù)字微
位移傳感器2的第一極板21和第二極板22之間的實(shí)時(shí)間距設(shè)為W ，初始間距定義
為^Q，則該第二電容式數(shù)字微位移傳感器2的兩極板的間距變化量A^和所述拼 接光柵的共面精度偏差變化量AS相等。由于壓電陶瓷固有的遲滯、蠕變等特性，將會(huì)使第二子光柵G2在一段時(shí)間后 偏離初始預(yù)設(shè)位置，我們需要測(cè)量第一電容式數(shù)字微位移傳感器1的兩極板之間的
間距變化量AL、即為拼接光柵拼縫丄的變化量厶丄；測(cè)量第二電容式數(shù)字微位移傳
感器2的兩極板之間的間距變化量，即為拼接光柵的共面精度偏差S的變化量 A5。
傳統(tǒng)的信號(hào)采樣電路采用分立元件，由于元器件特性的不確定性，分立元件所 構(gòu)成的采樣電路通常靈敏度和精度都難以保證，電路結(jié)構(gòu)復(fù)雜，穩(wěn)定性差，很難達(dá) 到較高的測(cè)量精度。
本實(shí)用新型的信號(hào)采樣電路3選用ADI公司發(fā)布的AD7746型電容數(shù)字轉(zhuǎn)換器 (CDC), AD7746以單芯片實(shí)現(xiàn)了以前需要大量分立元件支持的傳統(tǒng)模擬電壓數(shù)字轉(zhuǎn) 換器才能達(dá)到的精度水平，并且相比傳統(tǒng)的多芯片解決方案大大降低了成本，解決 了從電容到數(shù)字直接轉(zhuǎn)換的復(fù)雜而困難的信號(hào)處理難題，非常適合于微小電容量的 測(cè)量。
所述的AD7746型電容數(shù)字轉(zhuǎn)換器具有與內(nèi)部集成電路間總線(Inter IC Bus, 簡(jiǎn)稱為I20兼容的串行接口和兩個(gè)外接電容通道，即第一通道和第二通道，它們 分別在線檢測(cè)第一電容式數(shù)字微位移傳感器1和第二電容式數(shù)字微位移傳感器2的 兩極板間的電容值，該電容值作為光柵位移偏差檢測(cè)系統(tǒng)的反饋值，通過(guò)與fc兼 容的串行接口傳到單片機(jī)控制器4 (要求單片機(jī)控制器具有fC接口，本實(shí)用新型 選用PIC18F252單片機(jī))中，單片機(jī)控制器4在對(duì)采集到的電容值的處理過(guò)程中， 采用去粗大誤差和算術(shù)平均值算法，最后的算術(shù)平均值M即為最后得到的反饋電 容值，通過(guò)串口通訊電路5 (串口電路有很多通用的芯片，本實(shí)施例選用MAXIM 公司的MAX3232芯片)傳到PC機(jī)6，由PC機(jī)6對(duì)反饋電容值進(jìn)行處理，將其轉(zhuǎn) 化為實(shí)際的位移偏差，并求得壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器8的水平壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器81和豎直 壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器82、 83所需要的驅(qū)動(dòng)電壓，經(jīng)由16位D/A轉(zhuǎn)換器7轉(zhuǎn)換后將驅(qū)動(dòng) 電壓加在壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器8的水平壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器81和豎直壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器82、 83上，水平壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器81用于調(diào)整光柵拼縫間隔丄，豎直壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器82、 83用于調(diào)整光柵共面精度偏差S，從而調(diào)節(jié)并穩(wěn)定兩個(gè)子光柵的拼縫間隔i:與共面 精度偏差S在理想狀態(tài)，滿足子光柵的定位穩(wěn)定性要求。
所述的PC機(jī)6采用LABVIEW軟件編程。本實(shí)用新型的工作過(guò)程如下-
在所述的第一子光柵Gl和第二子光柵G2構(gòu)成拼接光柵調(diào)整到所需的光柵共 面精度偏差為So，拼縫間隔為丄。后，驅(qū)動(dòng)本實(shí)用新型系統(tǒng)開始工作，
所述的信號(hào)采樣電路3的AD7746型電容數(shù)字轉(zhuǎn)換器采集第一電容式數(shù)字微位 移傳感器1和第二電容式數(shù)字微位移傳感器2的極板間距變化的電容值，輸入所述 的單片機(jī)控制器4;
該單片機(jī)控制器4采用去粗大誤差和算術(shù)平均值算法，最后的算術(shù)平均值M 即為最后得到的反饋電容值，通過(guò)所述的串口通訊電路5輸入所述的PC機(jī)6;
所述的PC機(jī)6首先對(duì)從串口通訊電路5輸入的反映第一電容式數(shù)字微位移傳 感器1和第二電容式數(shù)字微位移傳感器2的極板間距變化的電容值進(jìn)行運(yùn)算處理， 分別求得第一電容式數(shù)字微位移傳感器1和第二電容式數(shù)字微位移傳感器2的極板
間的實(shí)時(shí)間距i/與^ ，并分別與第一電容式數(shù)字微位移傳感器1和第二電容式數(shù) 字微位移傳感器2的極板初始間距Z/。和^。進(jìn)行比較，分別求得兩者之間的偏差 ALln ，該偏差即為拼接光柵的拼縫間隔變化量AZ和共面精度偏差變化量M ;
接著對(duì)偏差A(yù)Z/和A^進(jìn)行運(yùn)算，求得所述的壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器8的水平壓電陶瓷驅(qū)
動(dòng)器81和豎直壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器82、 83的所需要的驅(qū)動(dòng)電壓，并對(duì)所述的壓電陶瓷 驅(qū)動(dòng)器8的水平壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器81和豎直壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器82、 83施加相應(yīng)的驅(qū)動(dòng) 電壓，實(shí)現(xiàn)對(duì)精調(diào)裝置平臺(tái)9的位移進(jìn)行調(diào)整控制，使拼接光柵的拼縫間隔丄與共 面精度偏差S恢復(fù)到初始狀態(tài)丄。和S。，以此循環(huán)自動(dòng)監(jiān)控，保障所述的拼接光柵位
移偏差量的長(zhǎng)時(shí)間定位穩(wěn)定性。
實(shí)驗(yàn)結(jié)果證明，本實(shí)用新型拼接光柵位移偏差監(jiān)測(cè)系統(tǒng)能夠保證拼接子光柵的
共面精度偏差S小于15 nni，光柵拼縫間隔丄長(zhǎng)時(shí)間穩(wěn)定性優(yōu)于15nm，完全滿足光
柵拼接的調(diào)整精度要求，并且具有監(jiān)控性能穩(wěn)定、成本低、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、操作方便等 特點(diǎn)。
權(quán)利要求1、一種拼接光柵位移偏差監(jiān)測(cè)系統(tǒng)，包括供安裝拼接光柵的光柵拼接裝置，該光柵拼接裝置由粗調(diào)裝置平臺(tái)和精調(diào)裝置平臺(tái)組成，所述的粗調(diào)裝置平臺(tái)具有鎖定結(jié)構(gòu)，所述的精調(diào)裝置平臺(tái)由底層平臺(tái)和上層平臺(tái)構(gòu)成，該精調(diào)裝置平臺(tái)安裝有壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器，該壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器由水平壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器和豎直壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器組成，水平壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器驅(qū)動(dòng)該精調(diào)裝置平臺(tái)相對(duì)于所述的粗調(diào)裝置平臺(tái)的水平位移，所述的豎直壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器驅(qū)動(dòng)該精調(diào)裝置平臺(tái)的上層平臺(tái)垂直位移，其特征在于第一電容式數(shù)字微位移傳感器的兩極板相對(duì)地分別安裝在所述粗調(diào)裝置平臺(tái)和精調(diào)裝置的底層平臺(tái)水平方向的位置，第二電容式數(shù)字微位移傳感器的兩極板相對(duì)地分別安裝在所述精調(diào)裝置的底層平臺(tái)和上層平臺(tái)的垂直方向的位置；所述的第一電容式數(shù)字微位移傳感器和第二電容式數(shù)字微位移傳感器的輸出端接信號(hào)采樣電路的輸入端，該信號(hào)采樣電路的輸出端接單片機(jī)控制器的輸入端，該單片機(jī)控制器的輸出端經(jīng)串口通訊電路接PC機(jī)，該P(yáng)C機(jī)的輸出端經(jīng)D/A轉(zhuǎn)換器與所述的壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器的控制端相連。
2、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的拼接光柵位移偏差監(jiān)測(cè)系統(tǒng)，其特征在于所述的拼接 光柵由第一子光柵和第二子光柵構(gòu)成，所述的第一子光柵安裝在所述的粗調(diào)裝置平 臺(tái)的水平面上，當(dāng)粗調(diào)裝置平臺(tái)鎖定后作為基準(zhǔn)光柵，第二子光柵子安裝在所述的 精調(diào)裝置平臺(tái)的上層平臺(tái)的水平面上。
3、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的拼接光柵位移偏差監(jiān)測(cè)系統(tǒng)，其特征在于所述的信號(hào) 采樣電路為電容數(shù)字轉(zhuǎn)換器。
專利摘要一種拼接光柵位移偏差監(jiān)測(cè)系統(tǒng)，包括安裝所述拼接光柵的光柵拼接裝置，該光柵拼接裝置的精調(diào)裝置平臺(tái)安裝有壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器，第一電容式數(shù)字微位移傳感器的兩極板相對(duì)地分別安裝在所述粗調(diào)裝置平臺(tái)和精調(diào)裝置的底層平臺(tái)水平方向的位置，第二電容式數(shù)字微位移傳感器的兩級(jí)板相對(duì)地分別安裝在所述精調(diào)裝置的底層平臺(tái)和上層平臺(tái)的垂直方向的位置；所述的第一電容式數(shù)字微位移傳感器和第二電容式數(shù)字微位移傳感器的輸出端接信號(hào)采樣電路的輸入端，該信號(hào)采樣電路的輸出端接單片機(jī)控制器的輸入端，該單片機(jī)控制器的輸出端經(jīng)串口通訊電路接PC機(jī)，該P(yáng)C機(jī)的輸出端經(jīng)D/A轉(zhuǎn)換器與所述的壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器的控制端相連。
文檔編號(hào)G01B7/02GK201322813SQ20082015594
公開日2009年10月7日 申請(qǐng)日期2008年11月26日 優(yōu)先權(quán)日2008年11月26日
發(fā)明者師樹恒, 朱健強(qiáng), 勇 王, 斌 王 申請(qǐng)人:中國(guó)科學(xué)院上海光學(xué)精密機(jī)械研究所