專利名稱：氣體濕度測量裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及測量領(lǐng)域，尤其涉及一種氣體濕度的測量裝置。
背景技術(shù)：
工業(yè)生產(chǎn)和科研工作中，經(jīng)常需要測量氣體的濕度。業(yè)界將濕度(rh: RelativeHumidity)定義為氣體中的水蒸氣壓(e: evaporation)與該氣體的飽和水蒸氣壓(es: evaporation Saturation)的比值，若用百分比^>式表示，貝'J rh=e/esxl00%。
參照圖l，

圖1為現(xiàn)有技術(shù)氣體濕度測量裝置的結(jié)構(gòu)示意圖，目前測量氣體濕度的方案通常為將濕度傳感器3安放在管路2內(nèi)部的測量位置；當(dāng)需要測量濕度的氣體1在管路2中流動經(jīng)過濕度傳感器3時(shí)，濕度傳感器3首先采集氣體1的濕度信息；再將采集的濕度信息通過信號傳送給與濕度傳感器連接的信號處理裝置，由信號處理裝置對該信號進(jìn)行處理，獲得該信號包含的濕度信息，從而實(shí)現(xiàn)流動在管路2中的氣體1的濕度檢測。
但有時(shí)由亍管路系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)非常復(fù)雜，長度大且彎曲多，使得整個(gè)管路系統(tǒng)中不同位置氣體的溫度和壓力變動很大，導(dǎo)致該氣體的飽和水蒸氣壓(es)的較大變動，從上述濕度定義可知，濕度(rh)也將隨之發(fā)生較大變動，因此采用上述現(xiàn)有氣體濕度測量方案將存在難以檢測到穩(wěn)定且精確的氣體濕度值的問題；此外由于濕度變動較大，也使上述方案中濕度傳感器的選型存在困難。
此外考慮到管路系統(tǒng)中管路的管壁厚度不同、管徑大小不同及管路通常為圓柱形等因素的影響，使得濕度傳感器難以安裝在管壁上，不便于濕度傳感器的安裝和拆卸。

實(shí)用新型內(nèi)容
本實(shí)用新型要解決的技術(shù)問題是提供一種氣體濕度測量裝置，能更加準(zhǔn)確穩(wěn)定地檢測出氣體的濕度狀態(tài)。
3為解決上述技術(shù)問題，本實(shí)用新型提供了氣體濕度測量裝置，所述氣體濕度測量裝置包括過濾器和濕度傳感器，所述濕度傳感器嵌入在所述過濾器中。進(jìn)一步的，所述濕度傳感器與所述過濾器通過設(shè)有連接件連接。進(jìn)一步的，所述濕度傳感器與連接件以可拆卸方式連接。進(jìn)一步的，所述濕度傳感器與連接件一體成型。進(jìn)一步的，所述濕度傳感器與連接件通過螺紋連接。進(jìn)一步的，所述過濾器與連接件以可拆卸方式連接。進(jìn)一步的，所述過濾器與連^^妻件一體成型。進(jìn)一步的，所述過濾器與連接件通過螺紋連接。進(jìn)一步的，所述濕度傳感器與所述過濾器以可拆卸方式連接。進(jìn)一步的，所述濕度傳感器與所述過濾器通過螺紋連接。
與現(xiàn)有氣體濕度測量裝置相比，本實(shí)用新型提供的氣體濕度測量裝置通過將待測氣體S1入至該氣體濕度測量裝置的過濾器中進(jìn)行過濾再進(jìn)行測量，氣體的溫度和壓強(qiáng)變化幅度小，可以直接在第一時(shí)間進(jìn)行測量，從而更能精確穩(wěn)定測量出氣體的濕度信息，而且結(jié)構(gòu)簡單，方便安裝和拆卸。
另外，還可以根據(jù)過濾器內(nèi)部空間與濕度傳感器探頭長度的實(shí)際比較情況，增加連接件，可廣泛應(yīng)用在各種管路內(nèi)氣體濕度測試的環(huán)境里。以下結(jié)合附圖和具體實(shí)施例對本實(shí)用新型的氣體濕度測量裝置作進(jìn)一步詳細(xì)的描述。
圖1是現(xiàn)有氣體濕度測量裝置的結(jié)構(gòu)示意圖2是本實(shí)用新型實(shí)施例一 中氣體濕度測量裝置的結(jié)構(gòu)示意圖3是本實(shí)用新型實(shí)施例二中氣體濕度測量裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施方式
實(shí)施例一
請參閱圖2,圖2為本實(shí)用新型實(shí)施例 一 中氣體濕度測量裝置的結(jié)構(gòu)示意圖，該氣體濕度測量裝置通過螺紋接頭或者焊接接頭(未標(biāo)示)連接至管路2，管路2中需要測量濕度的氣體1通過螺紋接頭或者焊接接頭進(jìn)入該氣體濕度測量裝置，由氣體濕度測量裝置測量濕度。
該氣體濕度測量裝置包括過濾器4和濕度傳感器3,所述濕度傳感器3通過過濾器壁40上設(shè)置的開口嵌入至所述過濾器4中，形成部分深入至過濾層41外壁與所述過濾器壁40內(nèi)壁形成的收容空間，另一部分用于與所述過濾器壁40連接。
所述濕度濕度傳感器3與所述過濾器4能以多種可拆卸方式連接，例如夾持插拔或者螺紋連接方式。在本實(shí)施例中，所述開口為螺紋口，采用螺紋連接的方式將所述濕度傳感器3旋進(jìn)去即可，便于安裝和拆卸。此外還可用密封墊圏、生料帶以及螺紋密封膠等密封材料對濕度傳感器3與過濾器4的連接處進(jìn)行密封，防止氣體泄漏。
采用本實(shí)施例中的氣體氣體濕度測量裝置測量氣體濕度的過程如下當(dāng)管路2中有氣體1流過，將有部分氣體1通過與該氣體氣體濕度測量裝置連接的管道2的開口，流入至過濾器4內(nèi)的過濾層41,過濾層41由硼酸鹽和超精細(xì)玻璃纖維組成，能夠4艮好的過濾流入的氣體1;過濾后的氣體1再從所述過濾層41壁流出，然后流入到所述過濾層41外壁與過濾器壁40內(nèi)壁形成的收容空間，與所述濕度傳感器3直接接觸；接著所述濕度傳感器3采集過濾后的氣體1的濕度信息，并將采集的濕度信息通過信號傳送給信號處理裝置(未標(biāo)示)進(jìn)行處理，由信號處理裝置獲得該濕度信息，實(shí)現(xiàn)氣體1濕度的檢測。由于經(jīng)過過濾層41過濾后，能夠直接地在第一時(shí)間進(jìn)行測量，從而可以精確且穩(wěn)定的測量出氣體l的濕度。
實(shí)施例二:
請參閱圖3，圖3為本實(shí)用新型實(shí)施例二中氣體濕度測量裝置的結(jié)構(gòu)示意圖，當(dāng)所述濕度傳感器3探頭的長度大于所述收容空間所支持的探頭最大長度時(shí)，所述濕度傳感器3無法直接依照實(shí)施例一的方式與過濾器3連接，此時(shí)需要通過連接件5將所述濕度傳感器3和過濾器4連接。
其中所述濕度傳感器3與連接件5可以采用可拆卸方式連接，也可以將兩者一體成型，本實(shí)施例中，所述濕度傳感器3與所述連接件5之間為螺紋連接；
所述過濾器4與所述連接件5也可以采用可拆卸方式連接或者根據(jù)需要將所述連接件5固定在過濾器4上一體成型，本實(shí)施例中，所述過濾器4與所述連接件5之間為螺紋連接，可達(dá)到方便安裝和拆卸的目的。
此外上述連接的各個(gè)連接處還可以采用密封墊圏、生料帶以及螺紋密封膠中等密封材料密封，防止氣體l泄漏。
采用實(shí)施例二中的氣體氣體濕度測量裝置測量氣體濕度的過程與實(shí)施例一中提到的過程類似，在此不再詳述。
以上顯示和描述了本實(shí)用新型的基本原理、主要特征和本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)。本行業(yè)的技術(shù)人員應(yīng)該了解，本實(shí)用新型不受上述實(shí)施例的限制，上述實(shí)施例和說明書中描述的只是"^兌明本實(shí)用新型的原理，在不脫離本實(shí)用新型精神和范圍的前提下本實(shí)用新型還會有各種變化和改進(jìn)，這些變化和改進(jìn)都落入要求保護(hù)的本實(shí)用新型范圍內(nèi)。本實(shí)用新型要求保護(hù)范圍由所附的權(quán)利要求書及其等同物界定。
權(quán)利要求1.一種氣體濕度測量裝置，其特征在于所述氣體濕度測量裝置包括過濾器和濕度傳感器，所述濕度傳感器嵌入在所述過濾器中。
2. 如權(quán)利要求1所述的氣體濕度測量裝置，其特征在于所述濕度傳感器與所述過濾器通過設(shè)有連接件連接。
3. 如權(quán)利要求2所述的氣體濕度測量裝置，其特征在于所述濕度傳感器與連接件以可拆卸方式連接。
4. 如權(quán)利要求2所述的氣體濕度測量裝置，其特征在于所述濕度傳感器與連接件一體成型。
5. 如權(quán)利要求3所述的氣體濕度測量裝置，其特征在于所述濕度傳感器與連接件通過螺紋連接。
6. 如權(quán)利要求2或3所述的氣體濕度測量裝置，其特征在于所述過濾器與連接件以可拆卸方式連接。
7. 如權(quán)利要求2或3所述的氣體濕度測量裝置，其特征在于所述過濾器與連接件一體成型。
8. 如權(quán)利要求6所述的氣體濕度測量裝置，其特征在于所述過濾器與連接件通過螺紋連接。
9. 如權(quán)利要求l所述的氣體濕度測量裝置，其特征在于所述濕度傳感器與所述過濾器以可拆卸方式連接。
10. 如權(quán)利要求7所述的氣體濕度測量裝置，其特征在于所述濕度傳感器與所述過濾器通過螺紋連接。
專利摘要本實(shí)用新型提供了一種氣體濕度測量裝置，所述氣體濕度測量裝置包括過濾器和濕度傳感器，所述濕度傳感器嵌入在所述過濾器中，所述濕度傳感器與所述過濾器通過連接件連接，所述濕度傳感器與連接件以可拆卸方式連接或者一體成型，所述過濾器與連接件以可拆卸方式連接或者一體成型，所述過濾器與連接件通過螺紋連接，所述濕度傳感器與所述過濾器以可拆卸方式連接。與現(xiàn)有氣體濕度測量裝置相比，本實(shí)用新型提供的氣體濕度測量裝置通過將待測氣體引入至該氣體濕度測量裝置的過濾器中進(jìn)行過濾再進(jìn)行測量，氣體的溫度和壓強(qiáng)變化幅度小，可以直接在第一時(shí)間進(jìn)行測量，從而更能精確穩(wěn)定測量出氣體的濕度信息，而且結(jié)構(gòu)簡單，方便安裝和拆卸。
文檔編號G01N33/00GK201344924SQ20082015834
公開日2009年11月11日 申請日期2008年12月30日 優(yōu)先權(quán)日2008年12月30日
發(fā)明者于文忠, 張孝松, 飛 王, 敏 金, 陳勇輝 申請人:上海微電子裝備有限公司