專利名稱：壓電薄膜傳感器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種具備壓電薄膜的壓電薄膜傳感器。
背景技術(shù)：
以往，具備由高分子材料構(gòu)成、尤其是由聚偏氟乙烯(PVDF)構(gòu)成的壓電薄膜的壓 電傳感器，例如被用作對(duì)床、墊子、片材等具有彈性力的支承體所被施加的負(fù)重進(jìn)行檢測(cè)， 來判定有無人、動(dòng)物、物體等的存在的壓力傳感器。在將壓電傳感器作為這樣的壓力傳感器 使用的情況下，為了將壓電傳感器準(zhǔn)確地配置到支承體上的負(fù)重檢測(cè)位置，將壓電體對(duì)應(yīng) 于壓力傳感器向支承體的配置形狀而形成，通過在其表面設(shè)置電極及布線，形成了壓力傳 感器。 作為這樣的壓電傳感器，公知有一種在壓電薄膜的兩面涂敷銀膏，將一側(cè)形成為
信號(hào)電極，將另一側(cè)形成為接地電極的壓電傳感器(例如參照專利文獻(xiàn)l)。該壓電傳感器
中，在壓電薄膜的信號(hào)電極一側(cè)進(jìn)而分別借助粘接劑層疊有絕緣層和保護(hù)層，在壓電體的
接地電極一側(cè)借助粘接劑層疊有絕緣層。 專利文獻(xiàn)1 :日本特開平10-332509號(hào)公報(bào)

發(fā)明內(nèi)容
但是，由于專利文獻(xiàn)1中記載的壓電傳感器通過層疊壓電薄膜、電極層、保護(hù)層、 粘接層、絕緣層等多個(gè)層來制造，所以，存在工程費(fèi)用增大、實(shí)際上無法產(chǎn)品化之類的問題。 而且，為了在進(jìn)行層疊時(shí)高精度地定位各層的端子部分，存在著需要大量的勞力及成本這 樣的問題。 并且，在專利文獻(xiàn)1所記載的壓電傳感器中，直接對(duì)由聚偏氟乙烯(PVDF)構(gòu)成的 壓電薄膜的表面涂敷銀膏并設(shè)置了電極。但是，PVDF的耐熱溫度低至12(TC以下，如果想要 以通常的干燥溫度、即15(TC左右使銀膏干燥，則有可能導(dǎo)致PVDF的壓電特性劣化，因此， 難以在PVDF自身上形成穩(wěn)定的電極。進(jìn)而，因熱膨脹率之差，還有可能發(fā)生剝離、斷線，其 包含著可靠性受損的主要原因。 本發(fā)明鑒于上述課題提出，其目的在于，提供一種能夠?qū)崿F(xiàn)組裝工序簡潔化、且可 靠性高的壓電傳感器。 用于實(shí)現(xiàn)該目的本發(fā)明涉及的壓電薄膜傳感器的特征構(gòu)成在于，具有基材，其被 彎折成形成于表面的信號(hào)電極及接地電極在俯視時(shí)重合；壓電薄膜，其被插入到形成于所 述基材的所述信號(hào)電極與所述接地電極之間；和粘接層，其用于粘接被彎折的所述基材，將 所述信號(hào)電極、所述接地電極及所述壓電薄膜固定。 如本構(gòu)成那樣，通過對(duì)應(yīng)被彎折成形成在表面的信號(hào)電極及接地電極在俯視時(shí)重 合的基材的、兩個(gè)電極重合的部分，配置壓電薄膜，由此能夠預(yù)先在一張基材上形成兩個(gè)電 極，僅通過在彎折部彎折基材來制造壓電薄膜傳感器。因此，可以使組裝工序簡化、降低制 造成本。
而且，本發(fā)明涉及的壓電薄膜傳感器的特征在于，將所述信號(hào)電極及所述接地電極的兩端子，集中設(shè)置在通過彎折而被劃分的所述基材的多個(gè)區(qū)域中的至少一個(gè)區(qū)域。
根據(jù)上述構(gòu)成，當(dāng)在組裝工序中彎折基材時(shí)，可容許信號(hào)電極及接地電極稍微發(fā)
生位移。即，為了在壓電薄膜傳感器上形成兩電極的端子部，在本構(gòu)成中將兩端子預(yù)先形成在基材通過彎折而被劃分的多個(gè)區(qū)域中的至少一個(gè)區(qū)域。由此，在彎折基材之際，端子間不會(huì)發(fā)生位移。因此，能夠大幅簡化壓電薄膜傳感器的組裝工序，可以降低制造成本。 并且，本發(fā)明涉及的壓電薄膜傳感器的特征在于，所述信號(hào)電極及所述接地電極形成在所述基材的同一面上。 根據(jù)上述的構(gòu)成，由于僅在基材的單面形成電極即可，所以可簡化電極形成的工序，能夠進(jìn)一步降低制造成本。 另外，本發(fā)明涉及的壓電薄膜傳感器的特征在于，在具有所述信號(hào)電極的面的背面，還形成有第二接地電極。 根據(jù)上述的構(gòu)成，可以構(gòu)成為由兩個(gè)接地電極夾持信號(hào)電極的兩面。結(jié)果，來自外部的噪聲被第二接地電極遮斷，不會(huì)混入到信號(hào)電極。由此，可以提供靈敏度高的壓電薄膜傳感器。并且，由于在具有信號(hào)電極的面的背面預(yù)先形成第二接地電極，僅彎折基材即可，所以，可同時(shí)實(shí)現(xiàn)壓電薄膜傳感器的高靈敏度化和組裝工序的簡化。 而且，本發(fā)明涉及的壓電薄膜傳感器的特征在于，通過在至少兩個(gè)部位彎折所述基材，將所述信號(hào)電極構(gòu)成為以被接地電極夾持的狀態(tài)在俯視時(shí)重合。這里，夾持信號(hào)電極的接地電極當(dāng)然包括由不同的接地電極構(gòu)成的情況，還包括將一個(gè)接地電極彎折來構(gòu)成的情況。 根據(jù)上述的構(gòu)成，由于通過由接地電極夾持信號(hào)電極，使得來自外部的噪聲被遮斷，所以，能夠通過以不那么高的位置精度僅兩次彎折基材這一極其簡單的組裝工序，制造靈敏度高的壓電薄膜傳感器。 并且，本發(fā)明涉及的壓電薄膜傳感器的特征在于，將所述信號(hào)電極及所述接地電極的端子集中設(shè)置于所述基材的彎折部。 根據(jù)本構(gòu)成，可以將從其他區(qū)域向設(shè)置于彎折部的端子部鋪設(shè)的電極的長度設(shè)定得短。由此，能夠高效地進(jìn)行電極的形成。 而且，根據(jù)上述的構(gòu)成，如果將連接器連接在例如信號(hào)電極及接地電極的端子存在的部分，則端子連接器固定基材的彎折部，作為對(duì)被彎折的基材發(fā)生剝離的方向的力進(jìn)行限制的夾具發(fā)揮功能。由此，能夠更進(jìn)一步簡化組裝工序且提高作為壓電薄膜傳感器的可靠性。 另外，在以上說明的壓電薄膜傳感器的構(gòu)成中，優(yōu)選構(gòu)成為所述基材具備通過對(duì)該基材進(jìn)行彎折而被劃分的基材第一部和基材第二部，所述信號(hào)電極設(shè)置于所述基材第一部，所述接地電極設(shè)置于所述基材第二部。 或者，優(yōu)選如下構(gòu)成通過在至少兩個(gè)部位彎折所述基材，將所述信號(hào)電極構(gòu)成為以被接地電極夾持的狀態(tài)在俯視時(shí)重合，所述基材具備通過彎折該基材而被劃分的基材第一部、基材第二部和基材第三部，所述基材第一部與所述基材第二部被第一彎折部劃分，所述基材第二部與所述基材第三部被第二彎折部劃分，所述信號(hào)電極設(shè)置于所述基材第一部，所述接地電極設(shè)置于所述基材第二部，所述第二接地電極設(shè)置于所述基材第三部。
根據(jù)這些構(gòu)成，能夠容易地實(shí)現(xiàn)具有下述部件的壓電薄膜傳感器的構(gòu)成，即具有基材，其被彎折成形成于表面的信號(hào)電極及接地電極在俯視時(shí)重合；壓電薄膜，其被插入到形成于基材的信號(hào)電極與接地電極之間；和粘接層，其用于粘接被彎折的基材，將信號(hào)電極、接地電極及壓電薄膜固定。 另外，優(yōu)選在所述集中設(shè)置的所述信號(hào)電極及所述接地電極的兩端子的周圍形成切槽，通過彎折所述基材，所述兩端子露出。 根據(jù)該構(gòu)成，在將信號(hào)電極及接地電極的端子集中設(shè)置于基材的彎折部的情況下，能夠容易且恰當(dāng)?shù)貥?gòu)成端子部。


圖1是第一實(shí)施方式涉及的壓電薄膜傳感器的、形成了電極的基材的俯視展開圖。
圖2是表示第一實(shí)施方式涉及的壓電薄膜傳感器的制造過程的立體圖。 圖3是第一實(shí)施方式涉及的壓電薄膜傳感器的檢測(cè)部的剖視圖。 圖4是第一實(shí)施方式涉及的壓電薄膜傳感器的端子部的立體圖。 圖5是第二實(shí)施方式涉及的壓電薄膜傳感器的、形成了電極的基材的俯視展開圖。 圖6是第三實(shí)施方式涉及的壓電薄膜傳感器的、形成了電極的基材的俯視展開圖。
具體實(shí)施例方式(第一實(shí)施方式) 下面，參照?qǐng)D1 圖4，對(duì)本發(fā)明涉及的壓電薄膜傳感器的第一實(shí)施方式進(jìn)行說明。 本實(shí)施方式涉及的壓電薄膜傳感器具備具有彎折部11的基材1、形成在基材1的表面的信號(hào)電極2及接地電極3、由聚偏氟乙烯(PVDF)構(gòu)成的壓電薄膜5、和用于粘接彎折后的基材l的粘接層6。 壓電薄膜5用于通過壓電效應(yīng)產(chǎn)生電荷，在壓電薄膜傳感器被賦予外力使得壓電薄膜傳感器發(fā)生了變形的情況下，可以從借助粘接層6而設(shè)置的電極，將由壓電薄膜5產(chǎn)生的電荷作為電信號(hào)取出。 圖1是表示本實(shí)施方式涉及的壓電薄膜傳感器的、形成于基材1的電極圖案的俯視展開圖。圖1 (a)表示了基材1的一側(cè)的面(表面)，圖1 (b)表示了基材1的另一側(cè)的面(背面)。如圖1所示，基材1通過在其彎折部11處彎折而被分成兩個(gè)區(qū)域(在本說明書中，分別表現(xiàn)為基材第一部、基材第二部)。在基材第一部la的表面設(shè)置有信號(hào)電極2，在基材第二部lb的表面設(shè)置有接地電極3。這些部件被設(shè)置在基材1的同一面上。并且，在基材第一部la的形成有信號(hào)電極2的面的背面，形成有第二接地電極4。這些電極例如通過電極印刷或蝕刻等公知的方法形成。 此時(shí)，接地電極3遍布基材第二部lb的表面整個(gè)區(qū)域地形成，并且形成為越過彎折部11延伸到基材第一部la。
5
如圖2所示，基材1通過彎折部11被彎折成形成有信號(hào)電極2及接地電極3的面成為內(nèi)側(cè)。通過彎折，這些電極成為相對(duì)的構(gòu)成，在相對(duì)的2個(gè)電極間插入有由聚偏氟乙烯(PVDF)構(gòu)成的壓電薄膜5。信號(hào)電極2與壓電薄膜5、以及接地電極3與壓電薄膜5通過介于它們之間的粘接層6來固定。圖3示出如此得到的壓電薄膜傳感器的檢測(cè)部9的剖面。
壓電薄膜5被插入到形成在基材第一部la的信號(hào)電極2、與形成在基材第二部lb的接地電極3重合的區(qū)域。在本實(shí)施方式中，插入了與信號(hào)電極2中構(gòu)成檢測(cè)部9的區(qū)域?qū)?yīng)的大小的壓電薄膜5。作為壓電薄膜5的材料，除了PVDF之外，例如還可以使用采用了作為面狀高分子材料的聚丙烯等的駐極體材料。 粘接層6形成在整個(gè)基材1上。即，粘接層6遍布整個(gè)面地粘接基材第一部la和基材第二部lb。作為構(gòu)成粘接層6的材料，可以使用反應(yīng)類、溶液類、熱熔類等粘結(jié)劑或粘接劑，并沒有特殊的限定。不過，由于粘接層6為存在于電極間的構(gòu)成，所以，從維持壓電薄膜傳感器的靈敏度的觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選選擇介電常數(shù)高的粘接劑。并且，從同樣的觀點(diǎn)出發(fā)，粘接層6薄的為優(yōu)選。 另外，為了降低制造成本而抑制PVDF的使用量，由此也可以采用將壓電薄膜5局部地插入到重合的信號(hào)電極2與接地電極3之間的構(gòu)成。該情況下，比起接地電極3和信號(hào)電極2相對(duì)的區(qū)域來，構(gòu)成為減小了壓電薄膜5存在的區(qū)域，粘接層6按照基材1的大小構(gòu)成。其結(jié)果，粘接層6起到防止在不存在壓電薄膜5的區(qū)域兩個(gè)電極間發(fā)生短路的作用。
粘接層6也可以由相當(dāng)于基材1的"帶基材的粘接劑"構(gòu)成。 第二接地電極4作為保護(hù)電極發(fā)揮功能。由此，可以防止來自外部的噪聲混入到信號(hào)電極2中，提高作為壓電薄膜傳感器的靈敏度。不過，當(dāng)在不要求那樣高的靈敏度的情況下使用時(shí)，第二接地電極4不一定必須。 另外，圖3中表示了借助固定劑7在被彎折的基材1的外側(cè)(在基材第一部la中為第二接地電極4的外側(cè))設(shè)置了保護(hù)薄膜8的例子。雖然本例子中示出了在彎折的基材1的上下各面分別設(shè)置保護(hù)薄膜8的例子，但也可以將一張保護(hù)薄膜8彎折構(gòu)成。對(duì)保護(hù)薄膜8而言，如果是絕緣薄膜則沒有特殊的限定，但如果是聚對(duì)苯二甲酸乙二酯(PET)或聚萘二甲酸乙二醇脂(PEN)等樹脂薄膜，則由于機(jī)械強(qiáng)度高故優(yōu)選采用。尤其是若保護(hù)薄膜8使用與基材l相同的材質(zhì)，則即使在固定二者時(shí)進(jìn)行了熱處理，因熱膨脹率相同所以能夠防止發(fā)生翹曲等。另外，固定劑7可以使用與構(gòu)成粘接層6的粘接劑相同的材料，但其與所述粘接劑既可以相同也可以不同。 保護(hù)薄膜8用于保護(hù)基材1不受外部的機(jī)械應(yīng)力的損傷，優(yōu)選設(shè)置，但也并非必須設(shè)置。 如圖1及圖2所示，基材第一部la上形成有端子部10。接地電極3經(jīng)過基材1的彎折部11的內(nèi)側(cè)面與基材第一部la導(dǎo)通，以到達(dá)端子部10。這樣，通過將信號(hào)電極2及接地電極3的端子集中于基材第一部la，可以容許在組裝工序中被彎折成基材1的形成有信號(hào)電極2及接地電極3的面成為內(nèi)側(cè)時(shí)的位移。S卩，由于不需要端子彼此的對(duì)位作業(yè)，所以，可以使組裝工序簡化。 在本實(shí)施方式中，如圖4所示，接地電極3進(jìn)而經(jīng)過基材1的側(cè)面還與第二接地電
極4導(dǎo)通，成為第二接地電極4的端子也集中于基材第一部la的構(gòu)成。 其中，在檢測(cè)部9以外的部分未插入壓電薄膜5。因此，在該部分不具有靈敏度，成為可以防止噪聲產(chǎn)生的構(gòu)成。 這樣的壓電傳感器能夠用于通過安裝到例如車輛用座席、電影院、劇場(chǎng)等的座椅或床等與人接觸的面上，而取得人的各種信息的系統(tǒng)中。
(第二實(shí)施方式) 接著，根據(jù)圖5，對(duì)本發(fā)明涉及的壓電薄膜傳感器的第二實(shí)施方式進(jìn)行說明。
本實(shí)施方式涉及的壓電薄膜傳感器是與第一實(shí)施方式涉及的壓電薄膜傳感器大致相同的構(gòu)成，但其特征在于將端子部10設(shè)置于基材1的彎折部11這一方面。
圖5是表示本實(shí)施方式涉及的壓電薄膜傳感器的、形成于基材1的電極圖案的俯視展開圖。在本實(shí)施方式中，從彎折部ll的中央部到基材第二部lb—側(cè)形成有-字型的切槽13。信號(hào)電極2超過彎折部11延伸到被切槽13分離的區(qū)域內(nèi)。另一方面，接地電極3形成在基材第二部lb中被切槽13分離的區(qū)域以外的整個(gè)區(qū)域及被切槽13分離的區(qū)域內(nèi)的端部，并且，為了將它們連接而形成一體的電極，還從彎折部11向基材第一部la—側(cè)稍微形成。這樣一來，在被切槽13分離的區(qū)域，集中設(shè)置有信號(hào)電極2及接地電極3的兩端子。該情況下，通過彎折基材1，信號(hào)電極2及接地電極3的兩端子露出，而與未圖示的連接器連接。 通過采用這樣的構(gòu)成，壓電薄膜傳感器的端子部IO被集中于彎折部11。由此，可以將從其他區(qū)域開始鋪設(shè)到彎折部11的電極的長度設(shè)定得短。從而，能夠高效地形成電極。另外，通過采用將端子部10設(shè)置于彎折部11的構(gòu)成，例如在將連接器與端子部10連接時(shí)，端子連接器作為固定基材1的彎折部11、對(duì)彎折后的基材1發(fā)生剝離的方向的力進(jìn)行限制的夾具發(fā)揮功能。由此，能夠提高作為壓電薄膜傳感器的可靠性。
為了防止進(jìn)一步的復(fù)原，有效的方法例如有在彎折部11處設(shè)置切槽來降低剝離應(yīng)力、或?qū)澱鄄?1自身熔融等。
(第三實(shí)施方式) 接著，根據(jù)圖6，對(duì)本發(fā)明涉及的壓電薄膜傳感器的第三實(shí)施方式進(jìn)行說明。
本實(shí)施方式涉及的壓電薄膜傳感器是與第一實(shí)施方式涉及的壓電薄膜傳感器大致相同的構(gòu)成，但其特征在于在基材1具有2處彎折部11、12這一方面。
圖6是表示本實(shí)施方式涉及的壓電薄膜傳感器的、形成于基材1的電極圖案的俯視展開圖。在本實(shí)施方式中，基材1通過在2個(gè)部位的彎折部11、12處被彎折而被分成3個(gè)區(qū)域(在本說明書中分別表現(xiàn)為基材第一部、基材第二部、基材第三部)。這里，基材第一部la與基材第二部lb被第一彎折部11劃分，基材第二部lb與基材第三部lc被第二彎折部12劃分。在基材第一部la的表面設(shè)置有信號(hào)電極2，在基材第二部lb的表面設(shè)置有接地電極3，在基材第三部lc的表面設(shè)置有第二接地電極4。它們被設(shè)置在基材1的同一面上。 基材1與其他的實(shí)施方式同樣地，通過彎折部11被彎折成形成有信號(hào)電極2及接地電極3的面成為內(nèi)側(cè)。通過彎折，這些電極成為重合的構(gòu)成，并在信號(hào)電極2與接地電極3之間插入由聚偏氟乙烯(PVDF)構(gòu)成的壓電薄膜5。并且，基材1通過第二彎折部12被彎折成由接地電極3和第二接地電極4夾持信號(hào)電極2。其結(jié)果，通過基材1在兩個(gè)部位被彎折，信號(hào)電極2以被接地電極3和第二接地電極4夾持的狀態(tài)在俯視時(shí)變得重合。第二接地電極4作為保護(hù)電極發(fā)揮功能。彎折后的基材1被粘接層6固定。
這樣，通過在基材1上設(shè)置2處彎折部11、12，能夠僅在單面形成電極。由此，能夠
制造進(jìn)一步抑制制造成本，同時(shí)組裝簡易、且靈敏度高的壓電薄膜傳感器。(其他的實(shí)施方式) (1)在上述的各實(shí)施方式中，示出了將信號(hào)電極2和接地電極3形成在基材1的同一面上，并將基材1彎折成形成有這些電極的面成為內(nèi)側(cè)的例子。但是，如果在基材1被彎折時(shí)，成為在形成于基材第一部la的信號(hào)電極2與形成于基材第二部lb的接地電極3之間插入壓電薄膜5的構(gòu)成，則可以將基材1彎折成形成于同一面的這些電極成為外側(cè)，而且也可以彎折成將兩個(gè)電極分別形成在不同的面上。 (2)在上述的第三實(shí)施方式中，示出了將信號(hào)電極2、接地電極3及第二接地電極4形成在基材1的同一面，并彎折基材1的例子。但如果當(dāng)基材1在兩處被彎折時(shí)，成為在形成于基材第一部la的信號(hào)電極2與形成于基材第二部lb的接地電極3之間插入壓電薄膜5的構(gòu)成，則這些電極不一定必須形成于同一面。 (3)在上述的第一及第三實(shí)施方式中，示出了遍及基材第二部lb的表面整個(gè)區(qū)域地形成接地電極3，并且將其形成為越過彎折部11延伸到基材第一部la，由此將端子集中到基材第一部la的例子。但是，將端子集中到基材第一部la的方案不限定于此，例如可以利用經(jīng)過基材1的側(cè)面使其導(dǎo)通；使用其他的部件使其導(dǎo)通；預(yù)先形成與基材第一部la及基材第二部lb對(duì)置的電極且不借助粘接層6使它們直接接觸而使之導(dǎo)通等方案。
(4)在上述的第一及第三實(shí)施方式中，示出了將接地電極3形成為延伸到基材第一部la，以使端子集中到基材第一部la的例子，但不一定必須集中到基材第一部la，例如也可以采用將信號(hào)電極2形成為延伸到基材第二部lb等，以使端子集中到基材第二部lb的構(gòu)成。 (5)在上述的各實(shí)施方式中，示出了將信號(hào)電極2及接地電極3的端子集中在接近的位置來形成端子部10的例子，但如果是設(shè)置于基材1的第一部或第二部中任意一方的結(jié)構(gòu)，則各電極的端子的位置可以分離。
(6)在上述的各實(shí)施方式中，示出了將基材1在一處或兩處彎折的例子。但是，如果當(dāng)基材1被彎折時(shí)，成為在形成于基材1的信號(hào)電極2與接地電極3之間插入壓電薄膜5的構(gòu)成，則也可以是將基材1在3處以上彎折的構(gòu)成。
產(chǎn)業(yè)上的可利用性 本發(fā)明可以優(yōu)選利用在例如用于對(duì)人、動(dòng)物、物體等的存在與否進(jìn)行判定的壓力傳感器中。
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權(quán)利要求
一種壓電薄膜傳感器，其特征在于，具有基材，其被彎折成形成于表面的信號(hào)電極及接地電極在俯視時(shí)重合；壓電薄膜，其被插入到形成于所述基材的所述信號(hào)電極與所述接地電極之間；和粘接層，其用于粘接被彎折的所述基材，將所述信號(hào)電極、所述接地電極及所述壓電薄膜固定。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的壓電薄膜傳感器，其特征在于，將所述信號(hào)電極及所述接地電極的兩端子，集中設(shè)置在通過彎折而被劃分的所述基材 的多個(gè)區(qū)域中的至少一個(gè)區(qū)域。
3. 根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的壓電薄膜傳感器，其特征在于， 所述信號(hào)電極及所述接地電極形成在所述基材的同 一面上。
4. 根據(jù)權(quán)利要求1 3中任意一項(xiàng)所述的壓電薄膜傳感器，其特征在于， 在具有所述信號(hào)電極的面的背面，還形成有第二接地電極。
5. 根據(jù)權(quán)利要求1 3中任意一項(xiàng)所述的壓電薄膜傳感器，其特征在于， 通過在至少兩個(gè)部位彎折所述基材，所述信號(hào)電極構(gòu)成為以被接地電極夾持的狀態(tài)在俯視時(shí)重合。
6. 根據(jù)權(quán)利要求1 5中任意一項(xiàng)所述的壓電薄膜傳感器，其特征在于， 將所述信號(hào)電極及所述接地電極的端子集中設(shè)置于所述基材的彎折部。
7. 根據(jù)權(quán)利要求1 6中任意一項(xiàng)所述的壓電薄膜傳感器，其特征在于， 所述基材具備通過對(duì)該基材進(jìn)行彎折而被劃分的基材第一部和基材第二部， 所述信號(hào)電極設(shè)置于所述基材第一部，所述接地電極設(shè)置于所述基材第二部。
8. 根據(jù)權(quán)利要求1 3中任意一項(xiàng)所述的壓電薄膜傳感器，其特征在于， 通過在至少兩個(gè)部位彎折所述基材，所述信號(hào)電極被構(gòu)成為以被接地電極夾持的狀態(tài)在俯視時(shí)重合，所述基材具備通過彎折該基材而被劃分的基材第一部、基材第二部和基材第三部， 所述基材第一部與所述基材第二部被第一彎折部劃分，并且，所述基材第二部與所述基材第三部被第二彎折部劃分，所述信號(hào)電極設(shè)置于所述基材第一部，所述接地電極設(shè)置于所述基材第二部，所述第二接地電極設(shè)置于所述基材第三部。
9. 根據(jù)權(quán)利要求6所述的壓電薄膜傳感器，其特征在于， 在所述集中設(shè)置的所述信號(hào)電極及所述接地電極的兩端子的周圍形成切槽， 通過彎折所述基材，所述兩端子露出。
全文摘要
一種壓電薄膜傳感器，具有基材(1)，其被彎折成形成于表面的信號(hào)電極(2)及接地電極(3)在俯視時(shí)重合；壓電薄膜(5)，其被插入形成于基材(1)的信號(hào)電極(2)與接地電極(3)之間；和粘接層(6)，其用于粘接被彎折的基材(1)，將信號(hào)電極(2)、接地電極(3)及壓電薄膜固定。
文檔編號(hào)G01L1/16GK101784874SQ20088010233
公開日2010年7月21日 申請(qǐng)日期2008年8月8日 優(yōu)先權(quán)日2007年8月28日
發(fā)明者安藤充宏, 小暮俊介, 森山信宏, 藤岡英二, 須藤隆一, 高柳均 申請(qǐng)人:愛信精機(jī)株式會(huì)社;株式會(huì)社吳羽