專利名稱：一種球冠弦高的測量方法及測量裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明屬于真空電子器件領(lǐng)域，特別涉及一種用于球冠弦高的測 量方法及測量裝置。
背景技術(shù)：
在大功率真空微波器件設(shè)計中，關(guān)于采用柵控電子槍的問題，所 用的柵網(wǎng)是球冠形零件。它和普通三極管中利用柵極控制原理一樣， 在軸對稱收斂型槍中利用或設(shè)置比陽極更靠近陰極的某個電極來控制 陰極發(fā)射電流，達到以小功率控制大的注電流的目的。特別在脈沖工 作情況下，由于柵極的工作電壓比陽極低得多，并且不截獲或者只截 獲很少一部分電流，這樣就大大降低了脈沖調(diào)制器的功率，因而，采 用柵控就比原來的陽控有更高的效率，也免除了制作高壓大電流脈沖 電源的困難。
目前使用最廣的柵控電子槍，是在陰極前面設(shè)置一個球冠的網(wǎng)狀 柵構(gòu)成的。電子槍是微波器件的心臟，因此對電子槍零件的尺寸精確 度要求格外嚴格，往往達到微米量級。球面柵極的實際尺寸與設(shè)計尺 寸的偏差往往會影響到電子注的聚束質(zhì)量，尤其是球面柵極的球冠弦 高尺寸，它直接影響到陰極與柵極的實際距離，并且決定了陰極與柵 極之間的絕緣性能，更決定了電子槍的工作性能。因此當柵極零件加 工完成后，必須通過一定的檢驗手段來選擇符合設(shè)計尺寸要求的零件。
由于柵極零件厚度一般很薄，只有幾十微米厚，而且呈網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)， 在對其進行測量時，稍微有外力就可能造成柵極結(jié)構(gòu)形變，導致零件報廢，以往的測量中缺少一種專用裝置，僅有普通尺度的測量工具。 因此，常規(guī)的高度檢測方法不適宜用在此處。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明需要解決的技術(shù)問題是，針對網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)的柵極零件，在以 往普通工具的測量方法中，很容易受傷而變形，影響整管參數(shù)，為了 克服這一不足，要解決如何精確測量柵極球面弦高，并且保證在測量 過程中柵極結(jié)構(gòu)不產(chǎn)生形變，就需要重新設(shè)計出專用的測量裝置及測 量方法。本發(fā)明的目的是提供一種球冠弦高的測量方法及測量裝置， 在測量中盡量避免球冠柵網(wǎng)零件表面直接接觸到測量裝置，以免零件 變形。為完成本發(fā)明目的，所采用的技術(shù)方案為， 一種球冠弦高的測 量方法，其特征在于，本方法按以下步驟進行操作a將待測球冠狀
零件裝入專用裝置的夾具壓塊上；b將夾具壓塊安置在專用裝置的底 座組件上；c將夾具壓塊與底座組件之間用電流表連接起來；d緩慢移 近夾具壓塊與底座組件，使其間隙減小，當電流表有指示的瞬間即停 止移動，e讀取壓塊上的間隙值，即為所求。 一種按上述球冠弦高測 量方法所用的測量裝置，其特征在于，該裝置由兩部分構(gòu)成，第一部 分為夾具壓塊，它包含固定夾具及支撐該固定夾具的壓塊、置于中部 支撐被測球冠的絕緣管；第二部分是位于下部的底座組件，它包括底 座、可調(diào)間距的轉(zhuǎn)動螺母及其上部的墊片；在夾具壓塊與底座組件之 間，連有一個電流指示表。
本發(fā)明的方法基于以下理解要避免柵極零件在弦高尺寸的測量 過程中因外力而產(chǎn)生形變，因此，應盡量避免測量儀器直接作用在零 件上面。利用上述測量夾具，當轉(zhuǎn)動螺母2使電路導通時(參照圖2)， 零件的球頂即與底座微接觸，此時的d即為零件球面弦高。取下零件，而尺寸d在夾具上不會變化。測量d即得零件球面弦高。
本發(fā)明的有益效果為，所述的測量方法避免了測量裝置直接接觸 到球冠形零件上面，不會導致零件變形，所測得球面弦高可以精確到 微米量級，滿足電子槍性能要求。


圖1為被測球冠形柵網(wǎng)截面圖； 圖2為球冠弦高測量裝置示意圖。
具體實施例方式
參照圖1，表示用于功率行波管柵控電子槍中柵網(wǎng)的截面圖。10 為球冠形柵網(wǎng)，參照圖2，表示球冠弦高測量裝置示意圖。圖中1為 底座，它與可轉(zhuǎn)動螺母2，以及絕緣墊片4構(gòu)成底座組件，在其上部 有固定夾具6，墊片7及壓塊3、壓塊中部的絕緣管5構(gòu)成夾具壓塊組 件，待測球冠形零件為8，底盤1與壓塊3之間連有電流指示表9。
在實際生產(chǎn)工作中證明，采用本發(fā)明中所述實施方式測量出的球 面弦高尺寸可以經(jīng)精確到微米量級，其準確度滿足電子槍裝槍尺寸要 求。測量弦高后，在顯微鏡下觀察和測量待測零件平面尺寸與測量弦 高之前的零件平面尺寸作比較，結(jié)果表明，采用此種手段測量球面弦 高不會引起球面形變。
權(quán)利要求
1. 一種球冠弦高的測量方法，其特征在于，本方法按以下步驟進行操作a將待測球冠狀零件裝入專用裝置的夾具壓塊上；b將夾具壓塊安置在專用裝置的底座組件上；c將夾具壓塊與底座組件之間用電流表連接起來；d緩慢移近夾具壓塊與底座組件，使其間隙減小，當電流表有指示的瞬間即停止移動，e讀取壓塊上的間隙值，即為所求。
2. —種按權(quán)利要求1所述球冠弦高測量方法用到的測量裝置， 其特征在于，該裝置由兩部分構(gòu)成，第一部分為夾具壓塊，它包含固 定夾具及支撐該固定夾具的壓塊、置于中部支撐被測球冠的絕緣管； 第二部分是位于下部的底座組件，它包括底座、可調(diào)間距的轉(zhuǎn)動螺母 及其上部的墊片；在夾具壓塊與底座組件之間，連有一個電流指示表。
全文摘要
一種球冠弦高的測量方法，屬于真空電子器件領(lǐng)域，本方法按以下步驟進行操作a.將待測球冠狀零件裝入專用裝置的夾具壓塊上；b.將夾具壓塊安置在專用裝置的底座組件上；c.將夾具壓塊與底座組件之間用電流表連接起來；d.緩慢移近夾具壓塊與底座組件，使其間隙減小，當電流表有指示的瞬間即停止移動，e.讀取壓塊上的間隙值。所用裝置由兩部分構(gòu)成，即夾具壓塊和底座組件，所述測量方法避免了測量裝置直接接觸到球冠形零件上面，不會導致零件變形，滿足電子槍要求。
文檔編號G01B7/02GK101458062SQ20091000074
公開日2009年6月17日 申請日期2009年1月9日 優(yōu)先權(quán)日2009年1月9日
發(fā)明者任振國, 侯信磊, 吳華夏, 孫德軍, 衛(wèi) 方, 榮 李, 趙艷珩, 鄧清東 申請人:安徽華東光電技術(shù)研究所