專利名稱：電容式加速度檢波器中間可動電極的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及電容式加速度檢波器，具體說是一種電容式加速度檢波器中間可動電極。
背景技術(shù)：
我們知道，現(xiàn)有的電容式加速度檢波器中間可動電極，如美國專
利局1997年7月29日公布的專利號為5652384，名稱為L形支撐梁結(jié)構(gòu)的傳感器，中間可動電極設(shè)有質(zhì)量塊，質(zhì)量塊四個側(cè)邊上下對應(yīng)設(shè)有L形支撐梁，上下兩層八條L形支撐梁連接邊框內(nèi)側(cè)中部，質(zhì)量塊上設(shè)有金屬極板。這種電容式加速度檢波器中間可動電極，由于質(zhì)量塊四個側(cè)邊上下對應(yīng)設(shè)有L形支撐梁，L形支撐梁有90。拐角，制造工藝復(fù)雜，成本高，制作過程中容易形成應(yīng)力集中，影響支撐梁的強(qiáng)度，容易造成變形斷裂，使電容量一致性差，噪聲大，性能不穩(wěn)定，波形失真大，甚至毀壞檢波器。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明解決的技術(shù)問題是，解決L形支撐梁制造工藝復(fù)雜，成本高，制作過程中容易形成應(yīng)力集中，影響支撐梁的強(qiáng)度，容易造成變形斷裂，使電容量一致性差，噪聲大，性能不穩(wěn)定，波形失真大，甚至毀壞檢波器的問題，提供一種制造工藝簡單，成本低，制作過程中 ，性能穩(wěn)定，波形失真小的電容式加速度檢波器中間可動電極。本發(fā)明的技術(shù)方案是，設(shè)有質(zhì)量塊，質(zhì)量塊上均布支撐梁，支撐梁連接邊框內(nèi)側(cè)，質(zhì)量塊上設(shè)有金屬極板，主要結(jié)構(gòu)特點(diǎn)是，支撐梁為直形支撐梁。
本發(fā)明支撐梁位于質(zhì)量塊邊角，垂直于質(zhì)量塊與邊框。本發(fā)明支撐梁位于質(zhì)量塊側(cè)邊中間，垂直于質(zhì)量塊與邊框。本發(fā)明支撐梁位于質(zhì)量塊尖角與邊框內(nèi)角上。本發(fā)明支撐梁位于質(zhì)量塊邊角，平行于質(zhì)量塊側(cè)邊和邊框。本發(fā)明支撐梁為單層支撐梁。
本發(fā)明與邊框、質(zhì)量塊、支撐梁相對應(yīng)平行設(shè)有下邊框、下質(zhì)量塊、下支撐梁，邊框與下邊框貼合成整體，為整體邊框，質(zhì)量塊與下質(zhì)量塊貼合成整體，為整體質(zhì)量塊，支撐梁和下支撐梁形成雙層支撐梁。
本發(fā)明支撐梁和下支撐梁并列對齊。本發(fā)明支撐梁和下支撐梁交錯分布。
本發(fā)明的有益效果是，由于支撐梁為直形支撐梁，制造工藝簡單，成本低，制作過程中不容易形成應(yīng)力集中，不容易造成變形斷裂，電容量一致性好，噪聲小，性能穩(wěn)定，波形失真小。本發(fā)明適用于電容式加速度檢波器。


圖l、圖2是本發(fā)明的一種結(jié)構(gòu)示意圖，也是一種實(shí)施例的示意圖，圖1是主視圖，圖2是圖1的A-A剖視圖3、圖4是本發(fā)明的又一種結(jié)構(gòu)示意圖，也是一種實(shí)施例的示意圖，圖3是主視圖，圖4是圖3的B-B剖視圖；
圖5、圖6是本發(fā)明的又一種結(jié)構(gòu)示意圖，也是一種實(shí)施例的示意圖，圖5是主視圖，圖6為圖5的C-C剖視圖7、圖8是本發(fā)明的又一種結(jié)構(gòu)示意圖，也是一種實(shí)施例的示意圖，圖7是主視圖，圖8為圖7的D-D剖視圖9、圖10是本發(fā)明的又一種結(jié)構(gòu)示意圖，也是一種實(shí)施例的示意圖，圖9是主視圖，圖10為圖9的E-E剖視圖ll、圖12是本發(fā)明的又一種結(jié)構(gòu)示意圖，也是一種實(shí)施例的示意圖，圖ll是主視圖，圖12為圖11的F-F剖視圖13、圖14是本發(fā)明的又一種結(jié)構(gòu)示意圖，也是一種實(shí)施例的示意圖，圖13是主視圖，圖14為圖13的G-G剖視圖15、圖16是本發(fā)明的又一種結(jié)構(gòu)示意圖，也是一種實(shí)施例的示意圖，圖15是主視圖，圖16為圖15的H-H剖視圖17、圖18、圖19、圖20是本發(fā)明的又一種結(jié)構(gòu)示意圖，也是一種實(shí)施例的示意圖，圖17是主視圖，圖18是圖17的J-J剖視圖，圖19是圖18的K-K剖視圖，圖20為圖17的I-I剖視圖；實(shí)施方式
如圖l、圖2所示的電容式加速度檢波器中間可動電極，設(shè)有質(zhì)量塊1，質(zhì)量塊1上均布支撐梁2，支撐梁2連接邊框3內(nèi)側(cè)，質(zhì)量塊1上設(shè)有金屬極板4，支撐梁2為直形支撐梁，支撐梁2位于質(zhì)量塊1邊角，垂直于質(zhì)量塊1與邊框3，制造工藝簡單，成本低，制作過程中不容易形成應(yīng)力集中，不容易造成變形斷裂，電容量一致性好，
噪聲小，性能穩(wěn)定，波形失真小。實(shí)施例2:
如圖3、圖4所示的電容式加速度檢波器中間可動電極，設(shè)有質(zhì)
量塊1，質(zhì)量塊1上均布支撐梁2，支撐梁2連接邊框3內(nèi)側(cè)，質(zhì)量塊1上設(shè)有金屬極板4，支撐梁2為直形支撐梁，支撐梁2位于質(zhì)量塊1側(cè)邊中間，垂直于質(zhì)量塊l與邊框3內(nèi)側(cè)，制造工藝簡單，成本低，制作過程中不容易形成應(yīng)力集中，不容易造成變形斷裂，電容量一致性好，噪聲小，性能穩(wěn)定，波形失真小。實(shí)施例3:
如圖5、圖6所示的電容式加速度檢波器中間可動電極，設(shè)有質(zhì)量塊1，質(zhì)量塊1上均布支撐梁2，支撐梁2連接邊框3內(nèi)側(cè)，質(zhì)量塊1上設(shè)有金屬極板4，支撐梁2為直形支撐梁，支撐梁2位于質(zhì)量塊1尖角與邊框3內(nèi)角上，制造工藝簡單，成本低，制作過程中不容易形成應(yīng)力集中，不容易造成變形斷裂，電容量一致性好，噪聲小，性能穩(wěn)定，波形失真小。
實(shí)施例4:
如圖7、圖8所示的電容式加速度檢波器中間可動電極，設(shè)有質(zhì)量塊l，質(zhì)量塊1上均布支撐梁2，支撐梁2連接邊框3內(nèi)側(cè)，質(zhì)量塊1上設(shè)有金屬極板4，支撐梁2為直形支撐梁，支撐梁2位于質(zhì)量塊1邊角，平行于質(zhì)量塊1側(cè)邊和邊框3，從圖中可看出，支撐梁2較長，靈敏度高，制造工藝簡單，成本低，制作過程中不容易形成應(yīng)力集中，不容易造成變形斷裂，電容量一致性好，噪聲小，性能穩(wěn)定，波形失真小。實(shí)施例5:
如圖9、圖10所示的電容式加速度檢波器中間可動電極，設(shè)有
質(zhì)量塊1，質(zhì)量塊1上均布支撐梁2，支撐梁2連接邊框3內(nèi)側(cè)，質(zhì)量塊1上設(shè)有金屬極板4，支撐梁2為直形支撐梁，支撐梁2位于質(zhì)量塊1邊角，垂直于質(zhì)量塊1與邊框3，與邊框3、質(zhì)量塊1、支撐梁2相對應(yīng)平行設(shè)有下邊框7、下質(zhì)量塊6、下支撐梁5，邊框3與下邊框7貼合成整體，為整體邊框，質(zhì)量塊1與下質(zhì)量塊6貼合成整體，為整體質(zhì)量塊，支撐梁2和下支撐梁5形成雙層支撐梁，支撐梁2和下支撐梁5并列對齊，質(zhì)量塊振動穩(wěn)定，波形失真小，整體質(zhì)量塊質(zhì)量大，靈敏度高。實(shí)施例6:
如圖ll、圖12所示的電容式加速度檢波器中間可動電極，設(shè)有質(zhì)量塊1，質(zhì)量塊1上均布支撐梁2，支撐梁2連接邊框3內(nèi)側(cè)，質(zhì)量塊1上設(shè)有金屬極板4，支撐梁2為直形支撐梁，支撐梁2位于質(zhì)量塊1側(cè)邊中間位置，垂直于質(zhì)量塊1與邊框3內(nèi)側(cè)，與邊框3、質(zhì)量塊1、支撐梁2相對應(yīng)平行設(shè)有下邊框7、下質(zhì)量塊6、下支撐梁5，邊框3與下邊框7貼合成整體，為整體邊框，質(zhì)量塊1與下質(zhì)量塊6貼合成整體，為整體質(zhì)量塊，支撐梁2和下支撐梁5形成雙層支撐梁，支撐梁2和下支撐梁5并列對齊，質(zhì)量塊振動穩(wěn)定，波形失真小，整200910016675.4
如圖13、圖14所示的電容式加速度檢波器中間可動電極，設(shè)有
質(zhì)量塊1，質(zhì)量塊1上均布支撐梁2，支撐梁2連接邊框3內(nèi)側(cè)，質(zhì)量塊1上設(shè)有金屬極板4，支撐梁2為直形支撐梁，支撐梁2位于質(zhì)量塊1尖角與邊框3內(nèi)角上，與邊框3、質(zhì)量塊1、支撐梁2相對應(yīng)平行設(shè)有下邊框7、下質(zhì)量塊6、下支撐梁5，邊框3與下邊框7貼合成整體，為整體邊框，質(zhì)量塊1與下質(zhì)量塊6貼合成整體，為整體質(zhì)量塊，支撐梁2和下支撐梁5形成雙層支撐梁，支撐梁2和下支撐梁5并列對齊，質(zhì)量塊振動穩(wěn)定，波形失真小，整體質(zhì)量塊質(zhì)量大，靈敏度高。 -實(shí)施例8:
如圖15、圖16所示的電容式加速度檢波器中間可動電極，設(shè)有質(zhì)量塊1，質(zhì)量塊1上均布支撐梁2，支撐梁2連接邊框3內(nèi)側(cè)，質(zhì)量塊1上設(shè)有金屬極板4，支撐梁2為直形支撐梁，支撐梁2位于質(zhì)量塊1邊角，平行于質(zhì)量塊1側(cè)邊和邊框3，與邊框3、質(zhì)量塊1、支撐梁2相對應(yīng)平行設(shè)有下邊框7、下質(zhì)量塊6、下支撐梁5，邊框3與下邊框7貼合成整體，為整體邊框，質(zhì)量塊1與下質(zhì)量塊6貼合成整體，為整體質(zhì)量塊，支撐梁2和下支撐梁5形成雙層支撐梁，支撐梁2和下支撐梁5并列對齊，質(zhì)量塊振動穩(wěn)定，波形失真小，整體質(zhì)量塊質(zhì)量大，靈敏度高。
實(shí)施例9:
如圖17、圖18、圖19、圖20所示的電容式加速度檢波器中間可動電極，設(shè)有質(zhì)量塊l，質(zhì)量塊1上均布支撐梁2，支撐梁2連接
邊框3內(nèi)側(cè)，質(zhì)量塊1上設(shè)有金屬極板4，支撐梁2為直形支撐梁，支撐梁2位于質(zhì)量塊1邊角，平行于質(zhì)量塊1側(cè)邊和邊框3，與邊框3、質(zhì)量塊l、支撐梁2相對應(yīng)平行設(shè)有下邊框7、下質(zhì)量塊6、下支撐梁5，邊框3與下邊框7貼合成整體，為整體邊框，質(zhì)量塊l與下質(zhì)量塊6貼合成整體，為整體質(zhì)量塊，支撐梁2和下支撐梁5形成雙層支撐梁，從圖中可以看出，支撐梁2和下支撐梁5平行于質(zhì)量塊1、下質(zhì)量塊6、邊框3、下邊框7，支撐梁2和下支撐梁5可以設(shè)計(jì)的較長，支撐梁2和下支撐梁5交錯分布，從圖中可以看出，支撐梁2和下支撐梁5交錯90°分布，可以穩(wěn)定支撐質(zhì)量塊，整體質(zhì)量塊質(zhì)量大，同時支撐梁數(shù)量相對較少，有利于提高靈敏度和動態(tài)范圍，波形失真小。
權(quán)利要求
1、一種電容式加速度檢波器中間可動電極，設(shè)有質(zhì)量塊，質(zhì)量塊上均布支撐梁，支撐梁連接邊框內(nèi)側(cè)，質(zhì)量塊上設(shè)有金屬極板，其特征是支撐梁為直形支撐梁。
2、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的電容式加速度檢波器中間可動電極，其特征是所說的支撐梁位于質(zhì)量塊邊角，垂直于質(zhì)量塊與邊框。
3、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的電容式加速度檢波器中間可動電極，其特征是所說的支撐梁位于質(zhì)量塊側(cè)邊中間，垂直于質(zhì)量塊與邊框。
4、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的電容式加速度檢波器中間可動電極，其特征是所說的支撐梁位于質(zhì)量塊尖角與邊框內(nèi)角上。
5、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的電容式加速度檢波器中間可動電極，其特征是所說的支撐梁位于質(zhì)量塊邊角，平行于質(zhì)量塊側(cè)邊和邊框。
6、 根據(jù)權(quán)利要求1或2或3或4或5所述的電容式加速度檢波器中間可動電極，其特征是所說的支撐梁為單層支撐梁。
7、 根據(jù)權(quán)利要求1或2或3或4或5所述的電容式加速度檢波器中間可動電極，其特征是所說的邊框、質(zhì)量塊、支撐梁相對應(yīng)平行設(shè)有下邊框、下質(zhì)量塊、下支撐梁，邊框與卜-邊框貼合成整體，為整體邊框，質(zhì)量塊與下質(zhì)量塊貼合成整體，為整體質(zhì)量塊，支撐梁和下支撐梁形成雙層支撐梁。
8、 根據(jù)權(quán)利要求7所述的電容式加速度檢波器中間可動電極，其特征是所說的支撐梁和下支撐梁并列對齊。
9、 根據(jù)權(quán)利要求7所述的電容式加速度檢波器中間可動電極，其特征是所說的支撐梁和下支撐梁交錯分布。
全文摘要
一種電容式加速度檢波器中間可動電極，涉及電容式加速度檢波器，設(shè)有質(zhì)量塊，質(zhì)量塊上均布支撐梁，支撐梁連接邊框內(nèi)側(cè)，質(zhì)量塊上設(shè)有金屬極板，支撐梁為直形支撐梁，制造工藝簡單，成本低，制作過程中不容易形成應(yīng)力集中，不容易造成變形斷裂，電容量一致性好，噪聲小，性能穩(wěn)定，波形失真小，適用于電容式加速度檢波器。
文檔編號G01V1/16GK101598801SQ20091001667
公開日2009年12月9日 申請日期2009年6月26日 優(yōu)先權(quán)日2009年6月26日
發(fā)明者唐曉剛, 張麗霞, 楊仲華, 牛德芳 申請人:威海雙豐電子集團(tuán)有限公司