專利名稱：鉻版膜針孔微觀缺陷高速自動檢查儀的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種鉻版膜針孔微觀缺陷高速自動檢查儀。
背景技術(shù)：
目前，國內(nèi)對鉻版膜針孔微觀缺陷的檢查， 一般是使用顯微鏡，用肉眼進(jìn) 行觀察，勞動強(qiáng)度大，可靠性差，效率低。國外己有鉻版膜針孔微觀缺陷自動
檢査的專用設(shè)備，效率和可靠性高，實(shí)現(xiàn)精度2um大小的針孔，650*550咖大 小鉻版面檢測時間60min，但結(jié)構(gòu)復(fù)雜，體積大(一般多為2500* 2000*1500 mm)， 價(jià)格昂貴(RMB1500余萬元/臺)。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于提供一種結(jié)構(gòu)簡單，操作方便，檢査速度快，效率高的 鉻版膜針孔微觀缺陷高速自動檢查儀。
本發(fā)明的技術(shù)方案是其包括機(jī)架、固定于機(jī)架上的臺板，臺板上固定有 透明玻璃基板，透明玻璃基板下方設(shè)有LED雙點(diǎn)光源；臺板上裝有XY軸機(jī)器人， XY軸機(jī)器人的Y軸上裝有懸臂和微調(diào)裝置，雙點(diǎn)光源裝在懸臂上，微調(diào)裝置頂 部設(shè)有兩套CCD成像系統(tǒng)，所述CCD成像系統(tǒng)由可調(diào)鏡頭和最高分辨率》 1920 X 1080 CCD相機(jī)構(gòu)成，所述XY軸機(jī)器人與ROBOT及PLC控制器連接；所述 ROBOT及PLC控制器通過I/O與工控PC機(jī)連接，并與臺板上的聲光報(bào)警裝置和 操控盒連接，CCD相機(jī)電纜通過拖鏈與工控PC機(jī)上的高速圖像采集卡連接，工 控PC機(jī)與LCD顯示器連接；明玻璃基板旁邊設(shè)有鉻板承載裝置。
所述XY軸機(jī)器人宜選用土O. Olrnm高精度潔凈室專用XY軸機(jī)器人。所述可 調(diào)鏡頭宜選用3. 5倍到22. 5倍可調(diào)3mm F. F鏡頭。所述最高分辨率》1920 X 1080 CCD相機(jī)可選用高速31fps200萬像素最高分辨率1920X1080的CCD相機(jī)。所述 高速圖像采集卡宜選用高速800Mbps/S、 IEE1394DACM圖像采集卡。
為便于調(diào)節(jié)臺板的水平度，減少地面震動對儀器工作時的負(fù)面影響，機(jī)架下 部宜安裝水平調(diào)節(jié)減震裝置。為方便儀器移動，機(jī)架下部宜安裝腳輪。本發(fā)明結(jié)構(gòu)緊湊，穩(wěn)定性好，維修方便，兼容性強(qiáng)，操作簡單；取像的精 度高，效果好，缺陷的檢査精度可以達(dá)到2"m，大幅提高了可靠性；檢査速度 快，效率高；設(shè)備價(jià)格僅為進(jìn)口同類產(chǎn)品的1/15左右。


圖1是本發(fā)明一實(shí)施例的主視圖； 圖2是圖1所示實(shí)施例的俯視圖； 圖3是圖1所示實(shí)施例的左視圖。
具體實(shí)施方式
以下結(jié)合附圖及實(shí)施例對本發(fā)明作進(jìn)一步說明。
參照附圖，本實(shí)施例包括機(jī)架l、固定于機(jī)架1上的臺板2，臺板2上固定 有透明的玻璃基板12，玻璃基板12下方設(shè)有LED點(diǎn)光源I 13-1和LED點(diǎn)光源 II13-2;臺板2上還裝有由Robot X軸5和Robot Y軸6組成的XY軸機(jī)器人， X軸5和Y軸6成90。角疊加，XY軸機(jī)器人的有效運(yùn)動行程能覆蓋整個最大鉻 板寬幅，Y軸6上裝有微調(diào)裝置I8-1、微調(diào)裝置I18-2、水平微調(diào)裝置III8-3 和懸臂11,微調(diào)裝置I 8-1上部設(shè)有3. 5倍到22. 5倍可調(diào)鏡頭I 9-1和高速 31fps200萬像素最高分辨率1920 X1080的CCD相機(jī)I 10-1，微調(diào)裝置I18-2上 部設(shè)有3.5倍到22.5倍可調(diào)鏡頭I19-2和高速31fps200萬像素最高分辨 1920X1080的CCD相機(jī)II10-2，水平微調(diào)裝置III8-3設(shè)于微調(diào)裝置底板上，微 調(diào)裝置I 8-1可對CCD相機(jī)I 10-1的位置進(jìn)行上下微調(diào)，微調(diào)裝置I18-2可對 CCD相機(jī)II10-2的位置進(jìn)行上下微調(diào)，微調(diào)裝置III8-3可對CCD相機(jī)10-2的位 置進(jìn)行左右微調(diào)，以滿足對不同規(guī)格和厚度鉻版的兼容；LED點(diǎn)光源I 13-1和 LED點(diǎn)光源I113-2安裝在懸臂11上，LED點(diǎn)光源I 13-1、點(diǎn)光源I113-2位置可 以微調(diào)，使得LED點(diǎn)光源I 13-1、 LED點(diǎn)光源II 13-2分別與CCD相機(jī)I 10-1、 CCD相機(jī)II10-2上下對應(yīng)，并可同步移動；XY軸機(jī)器人與ROBOT及PLC控制器 16連接；ROBOT及PLC控制器16通過1/0 (信號轉(zhuǎn)化器)與工控PC機(jī)17連接， 并與臺板2上的聲光報(bào)警裝置15和操控盒14連接，CCD相機(jī)I 10-1和CCD相 機(jī)II10-2的電纜通過拖鏈7分別與工控PC機(jī)17上的兩個高速圖像采集卡(800Mbps/S、 IEE1394DACM圖像采集卡)連接，工控PC機(jī)17帶有鍵盤19;工 控PC機(jī)17與LCD顯示器18連接；機(jī)架1下部裝有水平調(diào)節(jié)減震裝置3及方便 移動的腳輪4;透明玻璃基板12旁設(shè)有鉻板承載裝置20。
工作時，將待檢查鉻板置于CCD相機(jī)I 10-1、 CCD相機(jī)II 10-2和LED點(diǎn)光 源I 13-1、 ni3-2之間的透明玻璃基板12旁的鉻板承載裝置20上，并靠在緊 鉻板承載裝置20的左上角兩側(cè)，以保證位置準(zhǔn)確，版面右下角墊上尼龍墊塊， 以保證版面平穩(wěn)并于臺板2平行。XY軸機(jī)器人可帶著鏡頭I9-1、鏡頭II9-2， CCD相機(jī)I 10-1、 CCD相機(jī)II10-2與LED點(diǎn)光源I 13-1、 LED點(diǎn)光源II 13-2配對 同步移動。
兩套CCD成像系統(tǒng)根據(jù)鉻板有效區(qū)域掃描行數(shù)為奇數(shù)或偶數(shù)，參考版面物 理中心線確定2ftCCD相機(jī)II10-2成像系統(tǒng)位置，調(diào)整中心距，將整個鉻板有效 區(qū)域劃分為兩個掃描區(qū)域，兩套CCD成像系統(tǒng)同時掃描成像，最終形成整個完 整的版面圖像，使得整個版面掃描時間節(jié)省一半，使得鉻版檢測時間可以《 25min。
通過操控盒14輸入程序代碼，選定版面型號，ROBOT及PLC控制器16根據(jù) 不同規(guī)格的版面計(jì)算出有效檢查區(qū)域，并建立運(yùn)行數(shù)據(jù)庫，PLC控制器16接受 操控盒14發(fā)出開始運(yùn)行信號，鉻版膜針孔微觀缺陷高速自動檢查儀自動開始運(yùn) 行，XY軸機(jī)器人系統(tǒng)搭載鏡頭I 9-1、鏡頭119-2和CCD相機(jī)I 10-1、 CCD相機(jī) II10-2構(gòu)成的CCD成像系統(tǒng)運(yùn)行到第一行起始點(diǎn)張照片中心位置時，XY軸機(jī)器 人給出拍照的點(diǎn)位位置信號給PLC控制器16，并通過I/O (信號轉(zhuǎn)化器)傳達(dá) 給PC控制器17向CCD成像系統(tǒng)發(fā)出拍照信號，CCD成像系統(tǒng)根據(jù)自己的時鐘以 3.7mm*2.08mm的視野范圍定時對固定在臺板上的鉻板進(jìn)行逐行拍照取像；當(dāng)X 軸5到達(dá)一行最后一張中心位置后，給出CCD成像系統(tǒng)停止拍照信號，同時Y 軸移動到達(dá)下一行起始張中心位置，再次給出CCD成像系統(tǒng)拍照信號，X軸則反 方向線性運(yùn)動，直至整個鉻板版面掃描拍照完畢。
當(dāng)XY軸機(jī)器人發(fā)生故障時和整個版面掃描完畢時，聲光報(bào)警裝置15會發(fā) 出聲光報(bào)警信號。
權(quán)利要求
1、一種鉻版膜針孔微觀缺陷高速自動檢查儀，包括機(jī)架、固定于機(jī)架上的臺板，其特征在于，臺板上固定有透明玻璃基板，透明玻璃基板下方設(shè)有LED雙點(diǎn)光源；臺板上裝有XY軸機(jī)器人，XY軸機(jī)器人的Y軸上裝有懸臂和微調(diào)裝置，雙點(diǎn)光源裝在懸臂上，微調(diào)裝置頂部設(shè)有兩套CCD成像系統(tǒng)，所述CCD成像系統(tǒng)由3.5倍到22.5倍可調(diào)鏡頭和最高分辨率≥1920×1080CCD相機(jī)構(gòu)成，所述XY軸機(jī)器人與ROBOT及PLC控制器連接；所述ROBOT及PLC控制器通過I/O與工控PC機(jī)連接，并與臺板上的聲光報(bào)警裝置和操控盒連接，CCD相機(jī)電纜通過拖鏈與工控PC機(jī)上的高速圖像采集卡連接，工控PC機(jī)與LCD顯示器連接；明玻璃基板旁邊設(shè)有鉻板承載裝置。
2、 根據(jù)權(quán)利要求l所述的鉻版膜針孔微觀缺陷高速自動檢査儀，其特征在 于，所述XY軸機(jī)器人為士0.01mm高精度潔凈室專用XY軸機(jī)器人；所述最高 分辨率》1920xl080 CCD相機(jī)為高速31*s200萬像素最高分辨1920x1080的 CCD相機(jī)；所述圖像采集卡為高速800Mbps/S IEE1394DACM圖像采集卡。
3、 根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的鉻版膜針孔微觀缺陷高速自動檢査儀，其特 征在于，機(jī)架下部裝有水平調(diào)節(jié)減震裝置。
4、 根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的鉻版膜針孔微觀缺陷高速自動檢查儀，其特 征在于，機(jī)架下部還裝有方便移動的腳輪。
5、 根據(jù)權(quán)利要求3所述的絡(luò)版膜針孔微觀缺陷高速自動檢查儀，其特征在 于，機(jī)架下部還裝有方便移動的腳輪。
全文摘要
鉻版膜針孔微觀缺陷高速自動檢查儀，其包括機(jī)架、固定于機(jī)架上的臺板，其特征在于，臺板上固定有透明玻璃基板，透明玻璃基板下方設(shè)有LED雙點(diǎn)光源；臺板上裝有XY軸機(jī)器人，XY軸機(jī)器人的Y軸上裝有懸臂和微調(diào)裝置，雙點(diǎn)光源裝在懸臂上，微調(diào)裝置頂部設(shè)有兩套CCD成像系統(tǒng)，所述CCD成像系統(tǒng)由3.5倍到22.5倍可調(diào)鏡頭和最高分辨率≥1920×1080 CCD相機(jī)構(gòu)成，所述XY軸機(jī)器人與ROBOT及PLC控制器連接；所述ROBOT及PLC控制器通過I/O與工控PC機(jī)連接，并與臺板上的聲光報(bào)警裝置和操控盒連接，CCD相機(jī)電纜通過拖鏈與工控PC機(jī)上的高速圖像采集卡連接，工控PC機(jī)與LCD顯示器連接；透明玻璃基板旁邊設(shè)有鉻板承載裝置。本發(fā)明結(jié)構(gòu)簡單，操作方便，檢查鉻版膜針孔微觀缺陷速度快，效率高。
文檔編號G01N21/88GK101545870SQ20091004325
公開日2009年9月30日 申請日期2009年4月30日 優(yōu)先權(quán)日2009年4月30日
發(fā)明者朱有為, 健 王, 武 陳 申請人:湖南通源機(jī)電科技有限公司;王 健