專利名稱：節(jié)流閥測(cè)試方法及設(shè)備的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及半導(dǎo)體制造領(lǐng)域及流量控制領(lǐng)域，尤其涉及節(jié)流閥測(cè)試方法及設(shè)備。
背景技術(shù)：
半導(dǎo)體制造過(guò)程中常使用節(jié)流閥控制氣體流量，以適應(yīng)相關(guān)工藝要求。由于半導(dǎo) 體制造工藝的精確度要求極高，如果工藝中氣流量有偏差，則可能導(dǎo)致制造失敗，因此測(cè)試 節(jié)流閥能否在預(yù)定時(shí)間內(nèi)準(zhǔn)確控制氣體流量至關(guān)重要?，F(xiàn)有節(jié)流閥包括步進(jìn)電機(jī)、機(jī)械驅(qū)動(dòng)裝置及碟形閥，其中步進(jìn)電機(jī)用于控制機(jī)械 驅(qū)動(dòng)裝置帶動(dòng)碟形閥轉(zhuǎn)動(dòng)，以通過(guò)調(diào)節(jié)碟形閥轉(zhuǎn)動(dòng)的角度來(lái)調(diào)節(jié)流過(guò)該節(jié)流閥的氣流量。步進(jìn)電機(jī)的轉(zhuǎn)動(dòng)是由脈沖控制的，即步進(jìn)電機(jī)接收到一個(gè)脈沖后，步進(jìn)電機(jī)旋轉(zhuǎn) 一定幅度，控制機(jī)械驅(qū)動(dòng)裝置帶動(dòng)碟形閥轉(zhuǎn)動(dòng)一個(gè)角度，再在接收到下一個(gè)脈沖后，步進(jìn)電 機(jī)才又旋轉(zhuǎn)一定幅度，控制機(jī)械驅(qū)動(dòng)裝置帶動(dòng)碟形閥再轉(zhuǎn)動(dòng)一個(gè)角度，因此碟形閥轉(zhuǎn)動(dòng)的 角度與輸入步進(jìn)電機(jī)的脈沖數(shù)對(duì)應(yīng)。目前該節(jié)流閥的實(shí)際應(yīng)用中，有時(shí)會(huì)出現(xiàn)下述問(wèn)題在輸入步進(jìn)電機(jī)預(yù)定脈沖數(shù) 后，碟形閥旋轉(zhuǎn)的角度卻小于預(yù)定角度，這導(dǎo)致通過(guò)節(jié)流閥調(diào)節(jié)的氣流量誤差較大，將會(huì)影 響半導(dǎo)體制造的產(chǎn)品的質(zhì)量。但由于目前缺乏一種能夠在節(jié)流閥離線閑置即未實(shí)際工作控制氣體流量時(shí)來(lái)測(cè) 試節(jié)流閥的方案，因此可能采用上述有問(wèn)題的節(jié)流閥控制半導(dǎo)體制造工藝中的氣體流量， 也就很可能降低制造出的半導(dǎo)體產(chǎn)品的質(zhì)量，甚至使得產(chǎn)品制造失敗，浪費(fèi)制造產(chǎn)品所消 耗的人力、物力及時(shí)間等制造成本。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明提供節(jié)流閥測(cè)試方法及設(shè)備，以避免使用有故障的節(jié)流閥來(lái)控制流量而可 能帶來(lái)的產(chǎn)品質(zhì)量降低及產(chǎn)品制造失敗等各種損失。本發(fā)明提出了節(jié)流閥測(cè)試方法，該方法包括向節(jié)流閥輸入脈沖信號(hào)以控制節(jié)流 閥旋轉(zhuǎn)預(yù)定角度；獲得控制所述節(jié)流閥旋轉(zhuǎn)預(yù)定角度所輸入脈沖信號(hào)的數(shù)目；判斷獲得的 所述數(shù)目是否與預(yù)定數(shù)目相同，以及在不同時(shí)，確定該節(jié)流閥有故障。本發(fā)明還提出了節(jié)流閥測(cè)試設(shè)備，該設(shè)備包括脈沖輸出單元，用于向節(jié)流閥輸入 脈沖信號(hào)以控制節(jié)流閥旋轉(zhuǎn)預(yù)定角度；脈沖計(jì)數(shù)單元，用于獲得脈沖輸出單元控制所述節(jié) 流閥旋轉(zhuǎn)預(yù)定角度所輸入脈沖信號(hào)的數(shù)目；提示單元，用于基于脈沖計(jì)數(shù)單元獲得的數(shù)目 向用戶提示測(cè)試信息。本發(fā)明提供的測(cè)試方案通過(guò)向節(jié)流閥輸入脈沖信號(hào)以控制節(jié)流閥旋轉(zhuǎn)預(yù)定角度， 并獲得控制所述節(jié)流閥旋轉(zhuǎn)預(yù)定角度所輸入脈沖信號(hào)的數(shù)目，再判斷獲得的所述數(shù)目是否 與預(yù)定數(shù)目相同，以及在不同時(shí)，確定該節(jié)流閥有故障，從而實(shí)現(xiàn)了在節(jié)流閥離線閑置時(shí)對(duì) 節(jié)流閥的測(cè)試，避免了現(xiàn)有技術(shù)中可能采用有故障的節(jié)流閥控制半導(dǎo)體制造工藝中的氣體 流量，也就很可能降低制造出的半導(dǎo)體產(chǎn)品的質(zhì)量，甚至使得產(chǎn)品制造失敗，浪費(fèi)制造產(chǎn)品所消耗的人力、物力及時(shí)間等制造成本的問(wèn)題。


圖1為本發(fā)明實(shí)施例中節(jié)流閥測(cè)試方法流程圖；圖2為本發(fā)明實(shí)施例提供的節(jié)流閥測(cè)試設(shè)備的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施例方式針對(duì)背景技術(shù)的問(wèn)題，本發(fā)明實(shí)施例提出如果能夠在使用節(jié)流閥前就能夠測(cè)試出 節(jié)流閥是否能夠正常工作，則能夠防止使用有故障的節(jié)流閥控制流量而可能帶來(lái)各類損失 的問(wèn)題。圖1為本發(fā)明實(shí)施例中節(jié)流閥測(cè)試方法流程圖，結(jié)合該圖，該測(cè)試方法包括步驟1，向節(jié)流閥輸入脈沖信號(hào)以控制節(jié)流閥旋轉(zhuǎn)預(yù)定角度；步驟2，獲得控制所述節(jié)流閥旋轉(zhuǎn)預(yù)定角度所輸入脈沖信號(hào)的數(shù)目；步驟3，判斷獲得的所述數(shù)目是否與預(yù)定數(shù)目相同，以及在不同時(shí)，確定該節(jié)流閥
有故障。其中步驟2中獲得該數(shù)目的方式有多種，例如可以在輸入一定數(shù)目的脈沖信號(hào) 后，觀測(cè)節(jié)流閥旋轉(zhuǎn)的角度是否達(dá)到預(yù)定角度，如果沒有，則繼續(xù)輸入脈沖，直到達(dá)到預(yù)定 角度為止，如果達(dá)到預(yù)定角度，則將輸入的脈沖信號(hào)的數(shù)目作為所需獲得的數(shù)目；此外由于 節(jié)流閥在達(dá)到預(yù)定角度后，可以向輸入脈沖信號(hào)的輸入方反饋停止信號(hào)，因此如果利用節(jié) 流閥的這一特性，則步驟2可以具體包括步驟2a，對(duì)輸入節(jié)流閥的脈沖信號(hào)計(jì)數(shù)；步驟2b，接收節(jié)流閥在旋轉(zhuǎn)預(yù)定角度時(shí)反饋回來(lái)的停止信號(hào)；步驟2c，停止向節(jié)流閥輸入脈沖信號(hào)；步驟2d，將計(jì)數(shù)得到的脈沖信號(hào)數(shù)目，確定為所述控制所述節(jié)流閥旋轉(zhuǎn)預(yù)定角度 所輸入脈沖信號(hào)的數(shù)目。由于節(jié)流閥旋轉(zhuǎn)的角度與輸入脈沖信號(hào)的數(shù)目是對(duì)應(yīng)的，因此通過(guò)采用脈沖信號(hào) 控制節(jié)流閥旋轉(zhuǎn)預(yù)定角度，并獲得所輸入的脈沖信號(hào)的數(shù)目，再將該數(shù)目與節(jié)流閥工作正 常情況下所述預(yù)定角度對(duì)應(yīng)的脈沖信號(hào)數(shù)目比較，如果數(shù)目相同，則說(shuō)明節(jié)流閥工作正常， 否則說(shuō)明節(jié)流閥有故障。可選的，還可以將獲得的控制所述節(jié)流閥旋轉(zhuǎn)預(yù)定角度所輸入脈沖信號(hào)的數(shù)目提 示給用戶，以便于用戶比較出獲得的數(shù)目與預(yù)定數(shù)目的差額，有利于提高節(jié)流閥的測(cè)試效 果；可選的，還可以先計(jì)算出所述差額，再將該差額提示給用戶，由用戶對(duì)節(jié)流閥進(jìn)行檢修 及校準(zhǔn)等進(jìn)一步處理。假設(shè)節(jié)流閥包括步進(jìn)電機(jī)、機(jī)械驅(qū)動(dòng)裝置及碟形閥，則上述方法的實(shí)施過(guò)程可以 但不限于是首先向步進(jìn)電機(jī)輸入脈沖信號(hào)并計(jì)數(shù)，再由步進(jìn)電機(jī)根據(jù)脈沖信號(hào)驅(qū)動(dòng)機(jī)械 驅(qū)動(dòng)裝置運(yùn)動(dòng)，然后機(jī)械驅(qū)動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)碟形閥開始轉(zhuǎn)動(dòng)；在碟形閥轉(zhuǎn)動(dòng)預(yù)定角度后，機(jī)械驅(qū) 動(dòng)裝置反饋回來(lái)停止信號(hào)，然后停止輸入脈沖信號(hào)，將此時(shí)的計(jì)數(shù)結(jié)果作為控制所述節(jié)流 閥旋轉(zhuǎn)預(yù)定角度所輸入脈沖信號(hào)的數(shù)目；最后再判斷獲得的所述數(shù)目是否與預(yù)定數(shù)目相 同，以及在不同時(shí)，確定該節(jié)流閥有故障，所述預(yù)定數(shù)目為節(jié)流閥正常時(shí)，旋轉(zhuǎn)該預(yù)定角度所對(duì)應(yīng)的脈沖數(shù)目。如果要提示給用戶所述輸入脈沖的數(shù)目，則可將計(jì)數(shù)結(jié)果通過(guò)液晶、聲音等信號(hào)提示給用戶；如果要提示所述差值，則還可以先計(jì)算該差值，然后將差值提示給用戶。通過(guò)上述測(cè)試方法，本發(fā)明實(shí)施例能夠在節(jié)流閥工作前測(cè)試該節(jié)流閥是否能夠正 常工作，從而能夠防止在使用該節(jié)流閥后才能夠發(fā)現(xiàn)該節(jié)流閥的故障而帶來(lái)各類損失的問(wèn) 題。本發(fā)明實(shí)施例還提供了節(jié)流閥測(cè)試設(shè)備，以避免使用有故障的節(jié)流閥來(lái)控制流量 而可能帶來(lái)的產(chǎn)品質(zhì)量降低及產(chǎn)品制造失敗等各種損失。圖2為本發(fā)明實(shí)施例提供的節(jié)流閥測(cè)試設(shè)備的結(jié)構(gòu)示意圖，結(jié)合該圖，本發(fā)明實(shí) 施例提供的節(jié)流閥測(cè)試設(shè)備20包括脈沖輸出單元21，用于向節(jié)流閥30輸入脈沖信號(hào)以控制節(jié)流閥30旋轉(zhuǎn)預(yù)定角 度；脈沖計(jì)數(shù)單元22，用于獲得脈沖輸出單元21控制所述節(jié)流閥30旋轉(zhuǎn)預(yù)定角度所 輸入脈沖信號(hào)的數(shù)目；提示單元23，用于基于脈沖計(jì)數(shù)單元22獲得的數(shù)目向用戶提示測(cè)試信息。其中脈沖計(jì)數(shù)單元22，可以具體包括用于對(duì)輸入節(jié)流閥30的脈沖信號(hào)計(jì)數(shù)的子 單元；用于接收節(jié)流閥30在旋轉(zhuǎn)預(yù)定角度時(shí)反饋回來(lái)的停止信號(hào)的子單元；用于在接收到 該停止信號(hào)時(shí)停止向節(jié)流閥30輸入脈沖信號(hào)的子單元；用于將計(jì)數(shù)得到的脈沖信號(hào)數(shù)目 確定為所述控制節(jié)流閥30旋轉(zhuǎn)預(yù)定角度所輸入脈沖信號(hào)的數(shù)目的子單元。提示單元23提示的測(cè)試信息可以是表明該節(jié)流閥30是否有故障的信息，此時(shí)該 測(cè)試設(shè)備還需包括用于判斷脈沖計(jì)數(shù)單元22獲得的所述數(shù)目是否與預(yù)定數(shù)目相同，以及 在不同時(shí)確定該節(jié)流閥30有故障的單元；該測(cè)試信息也可以是獲得的脈沖信號(hào)數(shù)目與預(yù)定數(shù)目差值的差值信息，此時(shí)該測(cè) 試設(shè)備還需包括用于計(jì)算獲得的脈沖信號(hào)數(shù)目與預(yù)定數(shù)目差值的單元；該測(cè)試信息也可以是脈沖計(jì)數(shù)單元22獲得的所述脈沖信號(hào)的數(shù)目信息，此時(shí)在 輸出該數(shù)目信息后，可以由用戶比較該數(shù)目信息與預(yù)定數(shù)目是否相等，如果不相等則說(shuō)明 該節(jié)流閥30有故障，需進(jìn)行檢修或校準(zhǔn)等進(jìn)一步處理。假設(shè)測(cè)試信息為脈沖計(jì)數(shù)單元22獲得的所述脈沖信號(hào)的數(shù)目信息，則上述測(cè)試 設(shè)備的具體結(jié)構(gòu)可以為脈沖輸出單元21由脈沖生成電路、脈沖放大電路及脈沖輸出電路構(gòu)成，該脈沖生 成電路產(chǎn)生出一定周期的脈沖信號(hào)，然后由脈沖放大電路放大，再由輸出電路輸出至節(jié)流 閥30中的步進(jìn)電機(jī)，由步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)機(jī)械驅(qū)動(dòng)裝置帶動(dòng)碟形閥旋轉(zhuǎn)；其中所述脈沖放大電 路及脈沖輸出電路在功能上屬于脈沖輸出單元21。脈沖計(jì)數(shù)單元22具體包括計(jì)數(shù)電路，連接脈沖生成電路，當(dāng)脈沖輸出電路將放大的脈沖信號(hào)輸出至步進(jìn)電 機(jī)時(shí)，相應(yīng)未放大的脈沖信號(hào)輸入至計(jì)數(shù)電路，由計(jì)數(shù)電路計(jì)數(shù)；信號(hào)接收電路，連接至機(jī)械驅(qū)動(dòng)裝置，接收其在碟形閥旋轉(zhuǎn)預(yù)定角度時(shí)反饋回來(lái) 的停止信號(hào)；停止電路，連接至脈沖輸出單元21，在接收到該停止信號(hào)時(shí)，停止向節(jié)流閥30輸入脈沖信號(hào)；此外提示單元23可以是顯示電路，連接至計(jì)數(shù)電路，用于將計(jì)數(shù)電路的計(jì)數(shù)結(jié)果 顯示出來(lái)。對(duì)于測(cè)試信息是其他類型的測(cè)試設(shè)備的具體結(jié)構(gòu)可以參照上述實(shí)施例得到，此處 不再贅述。顯然，本領(lǐng)域的技術(shù)人員可以對(duì)本發(fā)明進(jìn)行各種改動(dòng)和變型而 不脫離本發(fā)明的精 神和范圍。這樣，倘若本發(fā)明的這些修改和變型屬于本發(fā)明權(quán)利要求及其等同技術(shù)的范圍 之內(nèi)，則本發(fā)明也意圖包含這些改動(dòng)和變型在內(nèi)。
權(quán)利要求
一種節(jié)流閥測(cè)試方法，其特征在于，包括向節(jié)流閥輸入脈沖信號(hào)以控制節(jié)流閥旋轉(zhuǎn)預(yù)定角度；獲得控制所述節(jié)流閥旋轉(zhuǎn)預(yù)定角度所輸入脈沖信號(hào)的數(shù)目；判斷獲得的所述數(shù)目是否與預(yù)定數(shù)目相同，以及在不同時(shí)，確定該節(jié)流閥有故障。
2.如權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述獲得控制所述節(jié)流閥旋轉(zhuǎn)預(yù)定角度所 輸入脈沖信號(hào)的數(shù)目，具體包括對(duì)輸入節(jié)流閥的脈沖信號(hào)計(jì)數(shù)； 接收節(jié)流閥在旋轉(zhuǎn)預(yù)定角度時(shí)反饋回來(lái)的停止信號(hào)； 停止向節(jié)流閥輸入脈沖信號(hào)；將計(jì)數(shù)得到的脈沖信號(hào)數(shù)目，確定為所述控制所述節(jié)流閥旋轉(zhuǎn)預(yù)定角度所輸入脈沖信 號(hào)的數(shù)目。
3.如權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，還包括將獲得的所述脈沖信號(hào)數(shù)目提示給 用戶的步驟。
4.如權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，還包括 計(jì)算獲得的脈沖信號(hào)數(shù)目與預(yù)定數(shù)目差值；將該差值提示給用戶。
5.如權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述節(jié)流閥內(nèi)包含碟形閥，所述角度為碟形 閥旋轉(zhuǎn)的角度。
6.一種節(jié)流閥測(cè)試設(shè)備，其特征在于，包括脈沖輸出單元，用于向節(jié)流閥輸入脈沖信號(hào)以控制節(jié)流閥旋轉(zhuǎn)預(yù)定角度； 脈沖計(jì)數(shù)單元，用于獲得脈沖輸出單元控制所述節(jié)流閥旋轉(zhuǎn)預(yù)定角度所輸入脈沖信號(hào) 的數(shù)目；提示單元，用于基于脈沖計(jì)數(shù)單元獲得的數(shù)目向用戶提示測(cè)試信息。
7.如權(quán)利要求6所述的設(shè)備，其特征在于，所述脈沖計(jì)數(shù)單元，具體包括 用于對(duì)輸入節(jié)流閥的脈沖信號(hào)計(jì)數(shù)的子單元；用于接收節(jié)流閥在旋轉(zhuǎn)預(yù)定角度時(shí)反饋回來(lái)的停止信號(hào)的子單元； 用于在接收到該停止信號(hào)時(shí)停止向節(jié)流閥輸入脈沖信號(hào)的子單元； 用于將計(jì)數(shù)得到的脈沖信號(hào)數(shù)目確定為所述控制所述節(jié)流閥旋轉(zhuǎn)預(yù)定角度所輸入脈 沖信號(hào)的數(shù)目的子單元。
8.如權(quán)利要求6所述的設(shè)備，其特征在于，還包括判斷單元，用于判斷脈沖計(jì)數(shù)單元獲得的所述數(shù)目是否與預(yù)定數(shù)目相同； 故障確定單元，用于在判斷單元判斷出所述獲得的數(shù)目與預(yù)定數(shù)目不同時(shí)，確定該節(jié) 流閥有故障；以及所述測(cè)試信息為該節(jié)流閥故障信息。
9.如權(quán)利要求6所述的設(shè)備，其特征在于，還包括用于計(jì)算獲得的脈沖信號(hào)數(shù)目與預(yù) 定數(shù)目差值的單元；以及所述測(cè)試信息為該差值信息。
10.如權(quán)利要求6所述的設(shè)備，其特征在于，所述測(cè)試信息為脈沖計(jì)數(shù)單元獲得的所述脈沖信號(hào)的數(shù)目信息。
11.如權(quán)利要求6所述的系統(tǒng)，其特征在于，所述節(jié)流閥內(nèi)包含碟形閥，所述角度為碟 形閥旋轉(zhuǎn)的角度。
全文摘要
本發(fā)明提供節(jié)流閥測(cè)試方法及設(shè)備，以避免使用有故障的節(jié)流閥來(lái)控制流量而可能帶來(lái)的產(chǎn)品質(zhì)量降低及產(chǎn)品制造失敗等各種損失，該方法包括向節(jié)流閥輸入脈沖信號(hào)以控制節(jié)流閥旋轉(zhuǎn)預(yù)定角度；獲得控制所述節(jié)流閥旋轉(zhuǎn)預(yù)定角度所輸入脈沖信號(hào)的數(shù)目；判斷獲得的所述數(shù)目是否與預(yù)定數(shù)目相同，以及在不同時(shí)，確定該節(jié)流閥有故障。
文檔編號(hào)G01M99/00GK101825521SQ200910047029
公開日2010年9月8日 申請(qǐng)日期2009年3月4日 優(yōu)先權(quán)日2009年3月4日
發(fā)明者黃國(guó)偉 申請(qǐng)人:中芯國(guó)際集成電路制造(上海)有限公司