專利名稱：相似性檢測(cè)方法和裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及可靠性測(cè)試，特別涉及一種相似性檢測(cè)方法和裝置。
背景技術(shù)：
目前，生產(chǎn)公司通常具備多個(gè)獨(dú)立的生產(chǎn)現(xiàn)場(chǎng)，為了靈活使用各個(gè)生產(chǎn)現(xiàn)場(chǎng)的容 量，多個(gè)生產(chǎn)現(xiàn)場(chǎng)可以同時(shí)制造相同種類的產(chǎn)品。此外，為了避免在制造過程中意外事故所 引起的任何中斷，要求大批量的產(chǎn)品應(yīng)當(dāng)分配到多個(gè)生產(chǎn)現(xiàn)場(chǎng)進(jìn)行制造，一旦其中一個(gè)生 產(chǎn)現(xiàn)場(chǎng)的制造過程中斷，則生產(chǎn)任務(wù)可以被立即轉(zhuǎn)移到其它的生產(chǎn)現(xiàn)場(chǎng)。雖然各個(gè)生產(chǎn)現(xiàn) 場(chǎng)建于不同的時(shí)期，并且所裝備的設(shè)備可能彼此不同，但是來(lái)自不同生產(chǎn)現(xiàn)場(chǎng)的產(chǎn)品應(yīng)該 具有相似的性質(zhì)。以產(chǎn)品的使用壽命為例，通常需要保證生產(chǎn)出的各個(gè)產(chǎn)品的壽命相差較 小，即產(chǎn)品的壽命相似。下面以兩批半導(dǎo)體器件為例來(lái)闡述目前業(yè)界采用的相似性檢測(cè)方案首先從兩批器件中分別選擇一定數(shù)量的器件，并檢測(cè)出選擇出的器件的使用壽命 作為檢測(cè)數(shù)據(jù)，出于檢測(cè)的時(shí)間及資金等成本考慮，各批器件中選擇出的器件數(shù)量一般低 于30個(gè)；然后根據(jù)檢測(cè)得到的器件壽命，采用F檢驗(yàn)(F-test)和t檢驗(yàn)(t-test)來(lái)實(shí)現(xiàn)相 似性檢測(cè)，其中，F(xiàn)檢驗(yàn)是比較兩組檢測(cè)數(shù)據(jù)的方差(ο 2)，t檢驗(yàn)是比較兩組檢測(cè)數(shù)據(jù)的均 值(μ )，在題為“τ檢驗(yàn)、F檢驗(yàn)和統(tǒng)計(jì)學(xué)意義(P值或Sig值)”(畢業(yè)論文酷網(wǎng)站http:// www, lwkoo. cn/,收錄時(shí)間為2009-3-19)的論文中介紹了 F檢驗(yàn)和t檢驗(yàn)。上述檢測(cè)方案的缺點(diǎn)在于由于F檢驗(yàn)和t檢驗(yàn)一般適用于大樣本，即需要的樣 本數(shù)量很多，通常大于30個(gè)，而上述選擇出的樣本即選擇出的器件數(shù)量低于甚至遠(yuǎn)遠(yuǎn)低于 30;并且，t檢驗(yàn)的標(biāo)準(zhǔn)較寬松，其僅僅是一個(gè)點(diǎn)(均值)的比較，沒有考慮檢測(cè)數(shù)據(jù)整體的 分布情況(distribution)，因此采用F檢驗(yàn)和t檢驗(yàn)進(jìn)行相似性檢測(cè)很難保證檢測(cè)的準(zhǔn)確 性。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明解決的問題是提供一種相似性檢測(cè)方法和裝置，以提高相似性檢測(cè)的準(zhǔn)確 性。為解決上述問題，本發(fā)明提供一種相似性檢測(cè)方法，包括獲取兩組檢測(cè)數(shù)據(jù)，所述檢測(cè)數(shù)據(jù)用于表征產(chǎn)品的性質(zhì)，所述檢測(cè)數(shù)據(jù)符合對(duì)數(shù) 正態(tài)分布；建立各組檢測(cè)數(shù)據(jù)的對(duì)數(shù)正態(tài)分布函數(shù)對(duì)應(yīng)的線性回歸模型；計(jì)算各組檢測(cè)數(shù)據(jù)的線性回歸模型對(duì)應(yīng)的誤差平方和以及誤差均方；設(shè)置各組檢測(cè)數(shù)據(jù)的線性回歸模型對(duì)應(yīng)的置信帶，所述置信帶與所述計(jì)算所得的 誤差均方關(guān)聯(lián)；若每組檢測(cè)數(shù)據(jù)的線性回歸模型在另一組檢測(cè)數(shù)據(jù)的線性回歸模型對(duì)應(yīng)的置信
4帶內(nèi)，確定兩組檢測(cè)數(shù)據(jù)相似。相應(yīng)地，本發(fā)明還提供一種相似性檢測(cè)裝置，包括獲取單元，獲取兩組檢測(cè)數(shù)據(jù)，所述檢測(cè)數(shù)據(jù)用于表征產(chǎn)品的性質(zhì)，所述檢測(cè)數(shù)據(jù) 符合對(duì)數(shù)正態(tài)分布；建立單元，建立各組檢測(cè)數(shù)據(jù)的對(duì)數(shù)正態(tài)分布函數(shù)對(duì)應(yīng)的線性回歸模型；計(jì)算單元，計(jì)算各組檢測(cè)數(shù)據(jù)的線性回歸模型對(duì)應(yīng)的誤差平方和以及誤差均方；設(shè)置單元，設(shè)置各組檢測(cè)數(shù)據(jù)的線性回歸模型對(duì)應(yīng)的置信帶，所述置信帶與所述 計(jì)算所得的誤差均方關(guān)聯(lián)；確定單元，若每組檢測(cè)數(shù)據(jù)的線性回歸模型在另一組檢測(cè)數(shù)據(jù)的線性回歸模型對(duì) 應(yīng)的置信帶內(nèi)，確定兩組檢測(cè)數(shù)據(jù)相似。與現(xiàn)有技術(shù)相比，上述相似性檢測(cè)方法和裝置具有以下優(yōu)點(diǎn)由于設(shè)定了嚴(yán)格的 相似性規(guī)則，即要求每組檢測(cè)數(shù)據(jù)的線性回歸模型分別都在另一組檢測(cè)數(shù)據(jù)的線性回歸模 型對(duì)應(yīng)的置信帶內(nèi)，因此即使每組檢測(cè)數(shù)據(jù)的數(shù)量小于30，也能保證相似性檢測(cè)的準(zhǔn)確性。 并且，在生產(chǎn)過程中，應(yīng)用上述相似性檢測(cè)方法和裝置，由于每組檢測(cè)數(shù)據(jù)的數(shù)量可以小于 30，因此，可以節(jié)省獲取檢測(cè)數(shù)據(jù)所需耗費(fèi)的成本和時(shí)間，進(jìn)而降低生產(chǎn)過程中的測(cè)試成本 以及縮短生產(chǎn)過程中的測(cè)試周期。


圖1是本發(fā)明實(shí)施方式的相似性檢測(cè)方法的流程圖；圖2是一組符合對(duì)數(shù)正態(tài)分布的檢測(cè)數(shù)據(jù)的實(shí)例示意圖；圖3是一組檢測(cè)數(shù)據(jù)的對(duì)數(shù)正態(tài)分布函數(shù)對(duì)應(yīng)的線性回歸模型的實(shí)例示意圖；圖4是表示兩組檢測(cè)數(shù)據(jù)相似的實(shí)例示意圖；圖5是本發(fā)明實(shí)施方式的相似性檢測(cè)裝置的示意圖。
具體實(shí)施例方式本發(fā)明實(shí)施方式通過對(duì)檢測(cè)數(shù)據(jù)的線性回歸模型設(shè)置置信帶(CB，Confidence Band)，并根據(jù)設(shè)定的相似性規(guī)則，即每組檢測(cè)數(shù)據(jù)的線性回歸模型在另一組檢測(cè)數(shù)據(jù)的線 性回歸模型對(duì)應(yīng)的置信帶內(nèi)，確定兩組檢測(cè)數(shù)據(jù)相似。圖1是本發(fā)明實(shí)施方式的相似性檢測(cè)方法的流程圖，所述相似性檢測(cè)方法用于檢 測(cè)產(chǎn)品的性質(zhì)的相似性，包括下述步驟步驟S11，獲取兩組檢測(cè)數(shù)據(jù)，所述檢測(cè)數(shù)據(jù)符合對(duì)數(shù)正態(tài)分布(Lognormal Distribution)。所述獲取的檢測(cè)數(shù)據(jù)用于表征產(chǎn)品的性質(zhì)。步驟S12，建立各組檢測(cè)數(shù)據(jù)的對(duì)數(shù)正態(tài)分布函數(shù)對(duì)應(yīng)的線性回歸(regression line)模型。步驟S13，計(jì)算各組檢測(cè)數(shù)據(jù)的線性回歸模型對(duì)應(yīng)的誤差平方和(SSE，sum square error)以及誤差均方(MSE, mean square error)。步驟S14，設(shè)置各組檢測(cè)數(shù)據(jù)的線性回歸模型對(duì)應(yīng)的置信帶，所述置信帶與所述計(jì) 算所得的誤差均方關(guān)聯(lián)。步驟S15，若每組檢測(cè)數(shù)據(jù)的線性回歸模型在另一組檢測(cè)數(shù)據(jù)的線性回歸模型對(duì)應(yīng)的置信帶內(nèi)，確定兩組檢測(cè)數(shù)據(jù)相似。下面以檢測(cè)兩批半導(dǎo)體器件的使用壽命的相似性為例，結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明實(shí)施方 式進(jìn)行詳細(xì)說明。所述兩批半導(dǎo)體器件可以是在不同的生產(chǎn)現(xiàn)場(chǎng)或生產(chǎn)線上生產(chǎn)出來(lái)的， 也可以是在不同的工藝條件下生產(chǎn)出來(lái)的，但是要求它們具有相似的使用壽命，因此要對(duì) 它們進(jìn)行相似性檢測(cè)。請(qǐng)參考圖1，步驟S11，獲取兩組檢測(cè)數(shù)據(jù)，所述檢測(cè)數(shù)據(jù)符合對(duì)數(shù)正態(tài)分布。從兩 批半導(dǎo)體器件中分別選擇一定數(shù)量的器件，本實(shí)施例中，選擇出的器件數(shù)量小于30個(gè)，測(cè) 試選擇出的器件的使用壽命。為了在短時(shí)間內(nèi)測(cè)得半導(dǎo)體器件的使用壽命，通常會(huì)使用加 速測(cè)試實(shí)驗(yàn)，即對(duì)器件施加加速其性能退化(degrade)的應(yīng)力條件(stress，是指比正常工 作條件高的環(huán)境溫度、濕度、電壓、電流、壓力等)，測(cè)量其性能參數(shù)，進(jìn)而得到半導(dǎo)體器件在 比正常工作條件更嚴(yán)格的工作環(huán)境下的使用壽命，再利用生命期模型(LifetimeModel)計(jì) 算出產(chǎn)品在正常使用條件下的壽命。圖2是測(cè)試一組選擇出的半導(dǎo)體器件的使用壽命得到的數(shù)據(jù)分布的一個(gè)實(shí) 例示意圖，其中，橫坐標(biāo)為使用壽命(Lifetime)，縱坐標(biāo)為概率密度(probability density)。圖中所示的使用壽命符合對(duì)數(shù)正態(tài)分布，其對(duì)數(shù)正態(tài)分布函數(shù)可以表示為
其中，t為使用壽命(0<t< + c )，μ為均值，σ為標(biāo)準(zhǔn)差
η為選擇出的半導(dǎo)體器件的數(shù)量。步驟S12，建立各組檢測(cè)數(shù)據(jù)的對(duì)數(shù)正態(tài)分布函數(shù)對(duì)應(yīng)的線性回歸模型。使用 壽命的對(duì)數(shù)正態(tài)分布函數(shù)對(duì)應(yīng)的線性回歸模型表示為Y= η+βΑ其中，P1 = I/^,
T50為中位數(shù)，本實(shí)施例中可以稱為中位壽命，表示
為:Τ50 = Θχρ(μ )。圖3是一組半導(dǎo)體器件的使用壽命的對(duì)數(shù)正態(tài)分布函數(shù)對(duì)應(yīng)的線性回歸模型的 一個(gè)實(shí)例示意圖，其中，橫坐標(biāo)為使用壽命(Lifetime)，縱坐標(biāo)為累積失效率(Cumulative Failure)。圖示的直線1是使用壽命的對(duì)數(shù)正態(tài)分布函數(shù)對(duì)應(yīng)的線性回歸模型，直線1的 斜率是1/ σ，在橫坐標(biāo)上的截距是(50% -T50/ σ )。在累積失效率為50%時(shí)，對(duì)應(yīng)的橫坐標(biāo) 上的值為中位壽命Τ5(ι。直線1周圍離散的點(diǎn)(Xi，yi)(i = l，2，...，n-l，n)為檢測(cè)數(shù)據(jù)的 實(shí)際值，直線1上與檢測(cè)數(shù)據(jù)的實(shí)際值的橫坐標(biāo)(Xi)相同的點(diǎn)為檢測(cè)數(shù)據(jù)的估計(jì)值。步驟S13，計(jì)算各組檢測(cè)數(shù)據(jù)的線性回歸模型對(duì)應(yīng)的誤差平方和以及誤差均方。所述檢測(cè)數(shù)據(jù)的線性回歸模型對(duì)應(yīng)的誤差平方和表示為
，其中，參考圖2，yi為檢測(cè)數(shù)據(jù)的實(shí)際值，即實(shí)際的累積失效率
為檢測(cè)數(shù)據(jù)的估計(jì)
值，即估計(jì)的累積失效率。所述檢測(cè)數(shù)據(jù)的線性回歸模型對(duì)應(yīng)的誤差均方與誤差平方和關(guān) 聯(lián)，其表示為:MSE = SSE/ (n-2)。步驟S14，設(shè)置各組檢測(cè)數(shù)據(jù)的線性回歸模型對(duì)應(yīng)的置信帶。所述檢測(cè)數(shù)據(jù)的線性 回歸模型對(duì)應(yīng)的置信帶CB與步驟S13計(jì)算所得的誤差均方MSE關(guān)聯(lián)，其可以用下述公式表
其中，t(n_2a_a/2)可以通過查統(tǒng)計(jì)t表獲得，(n-2)為自由度，α為顯著水平，本實(shí) 施例中，a =0.05。置信帶CB的范圍由第一閾值CBu和第二閾值CB^確定，即，
_3] 步驟S15，若每組檢測(cè)數(shù)據(jù)的線性回歸模型在另一組檢測(cè)數(shù)據(jù)的線性回歸模型對(duì) 應(yīng)的置信帶內(nèi)，確定兩組檢測(cè)數(shù)據(jù)相似。根據(jù)步驟S14設(shè)置的置信帶，設(shè)定相似性規(guī)則，以 此來(lái)判斷兩組檢測(cè)數(shù)據(jù)是否相似。具體來(lái)說，請(qǐng)參考圖4，直線I1是第一組檢測(cè)數(shù)據(jù)的線性回歸模型，曲線CBu^nCBa 確定的范圍為對(duì)應(yīng)于第一組檢測(cè)數(shù)據(jù)的線性回歸模型(即直線I1)的置信帶CB(I1)；直線 I2是第二組檢測(cè)數(shù)據(jù)的線性回歸模型，曲線CB2u和CBa確定的范圍為對(duì)應(yīng)于第二組檢測(cè)數(shù) 據(jù)的線性回歸模型(即直線I2)的置信帶CB2。圖4中，直線I1全部在直線I2對(duì)應(yīng)的置信帶 CB (I2)內(nèi)，直線I2全部在直線I1對(duì)應(yīng)的置信帶CB1內(nèi)，即有山e CB (I2)，并且，I2 e CB (I1)， 由此可以確定兩組檢測(cè)數(shù)據(jù)相似，也就是說，從兩批半導(dǎo)體器件中選擇出的器件的使用壽 命相似，進(jìn)而可以推斷出兩批半導(dǎo)體器件具有相似的使用壽命相似。由于對(duì)兩組器件的使用壽命的線性回歸模型分別設(shè)置了對(duì)應(yīng)的置信帶，所述設(shè)置 的置信帶既考慮了使用壽命的均值，又考慮了使用壽命的整體分布情況，并且，根據(jù)建立的 線性回歸模型和設(shè)置的置信帶又設(shè)定了嚴(yán)格的相似性規(guī)則，即要求每組器件檢測(cè)出的使用 壽命的線性回歸模型分別都在另一組器件檢測(cè)出的使用壽命的線性回歸模型對(duì)應(yīng)的置信 帶內(nèi)，因此使得通過檢測(cè)選擇出的器件的使用壽命的相似性來(lái)推斷兩批器件的使用壽命的 相似性的結(jié)論具有更高的可信度，也就是提高了相似性檢測(cè)的準(zhǔn)確性。需要說明的是，上述實(shí)施例是以半導(dǎo)體器件的使用壽命作為檢測(cè)數(shù)據(jù)來(lái)進(jìn)行說明 的，實(shí)際上，檢測(cè)數(shù)據(jù)也可以是其它檢測(cè)出的產(chǎn)品的性質(zhì)，例如在半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝中，檢測(cè) 數(shù)據(jù)可以例如是薄膜的生長(zhǎng)厚度、刻蝕的深度、光刻套刻的精度等等，通過分析這些檢測(cè)數(shù) 據(jù)的相似性，可以判斷各步工藝及制作出的各種器件的性能是否正常，以盡早發(fā)現(xiàn)工藝中 所出現(xiàn)的問題。
7
另外，上述實(shí)施例中，每組檢測(cè)數(shù)據(jù)的數(shù)量小于30，當(dāng)然，其同樣也適用于每組檢 測(cè)數(shù)據(jù)的數(shù)量大于30的相似性檢測(cè)。對(duì)應(yīng)地，本發(fā)明實(shí)施方式的相似性檢測(cè)裝置用于檢測(cè)產(chǎn)品的性質(zhì)的相似性，如圖5 所示，包括獲取單元51、建立單元52、計(jì)算單元53、設(shè)置單元54和確定單元55。獲取單元51，獲取兩組檢測(cè)數(shù)據(jù)，所述檢測(cè)數(shù)據(jù)符合對(duì)數(shù)正態(tài)分布，所述檢測(cè)數(shù)據(jù) 用于表征產(chǎn)品的性質(zhì)，例如，半導(dǎo)體器件的使用壽命等。建立單元52，根據(jù)獲取單元51獲取的各組檢測(cè)數(shù)據(jù)，建立各組檢測(cè)數(shù)據(jù)的對(duì)數(shù)正 態(tài)分布函數(shù)對(duì)應(yīng)的線性回歸模型。所述檢測(cè)數(shù)據(jù)的線性回歸模型表示為γ= βο+ ^χ，其 中，= i/o，β0 = 50% -t50/ σ。計(jì)算單元53，根據(jù)建立單元52建立的各組檢測(cè)數(shù)據(jù)對(duì)應(yīng)的線性回歸模型，計(jì)算各 組檢測(cè)數(shù)據(jù)的線性回歸模型對(duì)應(yīng)的誤差平方和以及誤差均方。所述檢測(cè)數(shù)據(jù)的線性回歸模
型對(duì)應(yīng)的誤差平方和表示為
,誤差均方表示為mse = ssE/(n-2)。 設(shè)置單元54，根據(jù)建立單元52建立的各組檢測(cè)數(shù)據(jù)對(duì)應(yīng)的線性回歸模型和計(jì)算 單元53計(jì)算得到的誤差均方，設(shè)置各組檢測(cè)數(shù)據(jù)的線性回歸模型對(duì)應(yīng)的置信帶，所述置信 帶與所述計(jì)算得到的誤差均方關(guān)聯(lián)，根據(jù)下述公式設(shè)置 確定單元55，根據(jù)建立單元52建立的各組檢測(cè)數(shù)據(jù)對(duì)應(yīng)的線性回歸模型和設(shè)置 單元54設(shè)置的對(duì)應(yīng)于所述線性回歸模型的置信帶，設(shè)定相似性規(guī)則以確定兩組檢測(cè)數(shù)據(jù) 的相似性，即，若每組檢測(cè)數(shù)據(jù)的線性回歸模型在另一組檢測(cè)數(shù)據(jù)的線性回歸模型對(duì)應(yīng)的 置信帶內(nèi)，確定兩組檢測(cè)數(shù)據(jù)相似，進(jìn)而確定兩組產(chǎn)品的性質(zhì)相似。綜上所述，上述相似性檢測(cè)方法和裝置由于對(duì)兩組檢測(cè)數(shù)據(jù)的線性回歸模型分別 設(shè)置了對(duì)應(yīng)的置信帶，所述設(shè)置的置信帶既考慮了數(shù)據(jù)的均值，又考慮了數(shù)據(jù)的整體分布 情況，并且，根據(jù)建立的線性回歸模型和設(shè)置的置信帶又設(shè)定了嚴(yán)格的相似性規(guī)則，即要求 每組檢測(cè)數(shù)據(jù)的線性回歸模型分別都在另一組檢測(cè)數(shù)據(jù)的線性回歸模型對(duì)應(yīng)的置信帶內(nèi)， 因此根據(jù)所述相似性規(guī)則推斷檢測(cè)數(shù)據(jù)的相似性具有更高的可信度，也就是提高了相似性 檢測(cè)的準(zhǔn)確性。在生產(chǎn)過程中，應(yīng)用上述相似性檢測(cè)方法和裝置，由于每組檢測(cè)數(shù)據(jù)的數(shù)量可以 小于30，因此，可以節(jié)省獲取檢測(cè)數(shù)據(jù)所需耗費(fèi)的成本和時(shí)間，進(jìn)而降低生產(chǎn)過程中的測(cè)試 成本以及縮短生產(chǎn)過程中的測(cè)試周期。雖然本發(fā)明已以較佳實(shí)施例披露如上，但本發(fā)明并非限定于此。任何本領(lǐng)域技術(shù) 人員，在不脫離本發(fā)明的精神和范圍內(nèi)，均可作各種更動(dòng)與修改，因此本發(fā)明的保護(hù)范圍應(yīng) 當(dāng)以權(quán)利要求所限定的范圍為準(zhǔn)。
權(quán)利要求
一種相似性檢測(cè)方法，其特征在于，包括獲取兩組檢測(cè)數(shù)據(jù)，所述檢測(cè)數(shù)據(jù)用于表征產(chǎn)品的性質(zhì)，所述檢測(cè)數(shù)據(jù)符合對(duì)數(shù)正態(tài)分布；建立各組檢測(cè)數(shù)據(jù)的對(duì)數(shù)正態(tài)分布函數(shù)對(duì)應(yīng)的線性回歸模型；計(jì)算各組檢測(cè)數(shù)據(jù)的線性回歸模型對(duì)應(yīng)的誤差平方和以及誤差均方；設(shè)置各組檢測(cè)數(shù)據(jù)的線性回歸模型對(duì)應(yīng)的置信帶，所述置信帶與所述計(jì)算所得的誤差均方關(guān)聯(lián)；若每組檢測(cè)數(shù)據(jù)的線性回歸模型在另一組檢測(cè)數(shù)據(jù)的線性回歸模型對(duì)應(yīng)的置信帶內(nèi)，確定兩組檢測(cè)數(shù)據(jù)相似。
2.如權(quán)利要求1所述的相似性檢測(cè)方法，其特征在于，所述各組檢測(cè)數(shù)據(jù)的線性回歸 模型對(duì)應(yīng)的置信帶根據(jù)下述公式設(shè)置 其中，允為根據(jù)線性回歸模型計(jì)算的第i個(gè)數(shù)據(jù)的估計(jì)值，η為每組檢測(cè)數(shù)據(jù)的數(shù)量，α為顯 著水平，T50為根據(jù)線性回歸模型計(jì)算的中位數(shù)，t表示統(tǒng)計(jì)t表，MSE為誤差均方。
3.如權(quán)利要求1所述的相似性檢測(cè)方法，其特征在于，所述檢測(cè)數(shù)據(jù)為產(chǎn)品的使用壽命。30。
4.如權(quán)利要求1所述的相似性檢測(cè)方法，其特征在于，所述每組檢測(cè)數(shù)據(jù)的數(shù)量小于
5.如權(quán)利要求1所述的相似性檢測(cè)方法，其特征在于，所述檢測(cè)數(shù)據(jù)的線性回歸模型 表示為γ = βο+β ，其中，^1 = Vo, β0 = 50% -T50/ σ。
6.如權(quán)利要求1所述的相似性檢測(cè)方法，其特征在于，所述檢測(cè)數(shù)據(jù)的線性回歸模型η對(duì)應(yīng)的誤差平方和表示為 ,誤差均方表示為MSE = SSE/(n-2)。/=1
7.一種相似性檢測(cè)裝置，其特征在于，包括獲取單元，獲取兩組檢測(cè)數(shù)據(jù)，所述檢測(cè)數(shù)據(jù)用于表征產(chǎn)品的性質(zhì)，所述檢測(cè)數(shù)據(jù)符合 對(duì)數(shù)正態(tài)分布；建立單元，建立各組檢測(cè)數(shù)據(jù)的對(duì)數(shù)正態(tài)分布函數(shù)對(duì)應(yīng)的線性回歸模型； 計(jì)算單元，計(jì)算各組檢測(cè)數(shù)據(jù)的線性回歸模型對(duì)應(yīng)的誤差平方和以及誤差均方； 設(shè)置單元，設(shè)置各組檢測(cè)數(shù)據(jù)的線性回歸模型對(duì)應(yīng)的置信帶，所述置信帶與所述計(jì)算 所得的誤差均方關(guān)聯(lián)；確定單元，若每組檢測(cè)數(shù)據(jù)的線性回歸模型在另一組檢測(cè)數(shù)據(jù)的線性回歸模型對(duì)應(yīng)的 置信帶內(nèi)，確定兩組檢測(cè)數(shù)據(jù)相似。
8.如權(quán)利要求7所述的相似性檢測(cè)裝置，其特征在于，所述設(shè)置單元根據(jù)下述公式設(shè) 置各組檢測(cè)數(shù)據(jù)的線性回歸模型對(duì)應(yīng)的置信帶 其中，久為根據(jù)線性回歸模型計(jì)算的第i個(gè)數(shù)據(jù)的估計(jì)值，η為每組檢測(cè)數(shù)據(jù)的數(shù)量，α為顯 著水平，T50為根據(jù)線性回歸模型計(jì)算的中位數(shù)，t表示統(tǒng)計(jì)t表，MSE為誤差均方。
9.如權(quán)利要求7所述的相似性檢測(cè)裝置，其特征在于，所述檢測(cè)數(shù)據(jù)為產(chǎn)品的使用壽命。
10.如權(quán)利要求7所述的相似性檢測(cè)裝置，其特征在于，所述每組檢測(cè)數(shù)據(jù)的數(shù)量小于30。
11.如權(quán)利要求7所述的相似性檢測(cè)裝置，其特征在于，所述檢測(cè)數(shù)據(jù)的線性回歸模型 表示為Υ = βο+β ，其中，^1 = Vo, β0 = 50% -T50/ σ。
12.如權(quán)利要求7所述的相似性檢測(cè)裝置，其特征在于，所述檢測(cè)數(shù)據(jù)的線性回歸模型 對(duì)應(yīng)的誤差平方和表示為:SSE = Y^iyi ^yi)2 ,誤差均方表示為MSE = ss/(n-2)。
全文摘要
一種相似性檢測(cè)方法和裝置。所述方法包括獲取兩組檢測(cè)數(shù)據(jù)，所述檢測(cè)數(shù)據(jù)用于表征產(chǎn)品的性質(zhì)，所述檢測(cè)數(shù)據(jù)符合對(duì)數(shù)正態(tài)分布；建立各組檢測(cè)數(shù)據(jù)的對(duì)數(shù)正態(tài)分布函數(shù)對(duì)應(yīng)的線性回歸模型；計(jì)算各組檢測(cè)數(shù)據(jù)的線性回歸模型對(duì)應(yīng)的誤差平方和以及誤差均方；設(shè)置各組檢測(cè)數(shù)據(jù)的線性回歸模型對(duì)應(yīng)的置信帶，所述置信帶與所述計(jì)算所得的誤差均方關(guān)聯(lián)；若每組檢測(cè)數(shù)據(jù)的線性回歸模型在另一組檢測(cè)數(shù)據(jù)的線性回歸模型對(duì)應(yīng)的置信帶內(nèi)，確定兩組檢測(cè)數(shù)據(jù)相似。所述相似性檢測(cè)方法和裝置可以提高相似性檢測(cè)的準(zhǔn)確性。
文檔編號(hào)G01R31/00GK101923123SQ20091005314
公開日2010年12月22日 申請(qǐng)日期2009年6月16日 優(yōu)先權(quán)日2009年6月16日
發(fā)明者王邕保 申請(qǐng)人:中芯國(guó)際集成電路制造(上海)有限公司