專利名稱：雙曲面凸面反射鏡面形誤差的檢測方法及其裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種特別適用于檢測大口徑雙曲面凸面反射鏡面形誤差的檢測方法及其 實現(xiàn)該檢測方法的檢測裝置。
背景技術(shù)：
隨著地基望遠鏡的發(fā)展，對分辨率要求越高，主反射鏡通光口徑要求就越大，下一代 大型地基和空基望遠鏡的口徑都有很大增加。在大型天文和空間光學(xué)的領(lǐng)域中，兩鏡光學(xué)
系統(tǒng)尤其是以雙曲面凸面反射鏡為次鏡的光學(xué)系統(tǒng)應(yīng)用很廣泛。近年來，光學(xué)加工制造和 檢測技術(shù)的不斷發(fā)展克服了大口徑主反射鏡難于加工的問題，但是在這一類的大口徑光學(xué) 系統(tǒng)中作為次鏡的雙曲面凸面反射鏡口徑也越來越大。而大口徑雙曲面凸面反射鏡的檢測 技術(shù)是目前限制其加工制造的主要問題，對大口徑雙曲面凸面反射鏡進行面形誤差的高精 度檢測仍然存在很大的挑戰(zhàn)。
在當前大口徑雙曲面凸面反射鏡的加工過程中，常用的檢測系統(tǒng)中所涉及到的光學(xué)檢 測方法有無像差點法和補償器零檢驗法。由于雙曲面存在一對共軛的焦點，若表面具有理 想形狀，當點光源精確置于其中一個幾何焦點上，由表面反射的光線形成球面波前，其球 心與另一幾何焦點重合。雙曲面凸面反射鏡的共軛點為一個實幾何焦點和一個虛幾何焦 點，對其進行無像差點檢測需要一塊口徑為被測雙曲面反射鏡口徑兩倍以上甚至更大的高 精度Hindle球面反射鏡，以將放置在被測雙曲面凸面反射鏡實幾何焦點的點光源發(fā)出的光 通過雙曲面凸面反射鏡而形成的發(fā)散球面波前原路反射回來，該Hindle球檢測方法比較適 合小口徑雙曲面凸面的檢測。
Hindle球檢驗法如圖3所示。干涉儀發(fā)出的標準平行光經(jīng)過標準無像差球面透鏡后會 聚于被測雙曲面凸面反射鏡的實焦點，其從被測鏡反射的光束經(jīng)過Hindle球面反射鏡后原 路返回，其中Hindle球面反射鏡的球心與被測鏡的虛焦點重合。反射回干涉儀的測量光束與千涉儀自身參考光束相干涉，測量出被測鏡的表面面形誤差。這也是應(yīng)用的最為廣泛的一種雙曲面凸面反射鏡檢測方法。
然而對于大口徑雙曲面凸面反射鏡來說，用Hindle球檢測不僅制造加工困難，而且價格很昂貴，難于實現(xiàn)。后來Simpsom-Hindle球檢測方法將Hindle球反射鏡靠近被測雙曲面反射鏡凸面，使得Hindle球反射鏡變成一個口徑略大于被測雙曲面反射鏡的Hindle球殼，由于檢測光需要通過該球殼，因此對該球殼材料的均勻性提出了較高的要求。況且，大口徑的Hindle球殼在實際制造中存在較大的困難，難于實現(xiàn)。
補償器零檢驗法是廣泛使用的另 一種大口徑雙曲面次鏡檢測方法。近來國內(nèi)外采用的0ffner補償器方法主要包括背部工藝球面法、反射補償器法、非球面樣板法和計算全息板法。為了對被測雙曲面凸面反射鏡進行精確地測量，上面的這幾種補償器零檢驗法中的補償器必須具有所要求的質(zhì)量，并相對于被測雙曲面反射鏡正確地安裝，即加工和裝調(diào)精度要求都很高。
然而，隨著被測雙曲面凸面反射鏡口徑和相對孔徑逐漸增大，背部工藝球面法對材料均勻性要求苛刻，難于實現(xiàn)。反射補償器法則需要制造大口徑的高精度球面或非球面反射鏡，非球面樣板法需要制造與被測雙曲面反射鏡口徑相當?shù)母呔确乔蛎嫱哥R，計算全息法需要大型激光直寫設(shè)備刻蝕全息板，并且補償器零檢驗法對補償器裝調(diào)精度也將提出更高的要求，這使得這些檢測技術(shù)在檢測大口徑雙曲面凸面反射鏡時存在較大的困難。
目前國內(nèi)大部分檢測均采用補償檢驗法來檢測雙曲面凸面反射鏡，但補償器的加工和裝調(diào)精度都影響著最終的檢測結(jié)果。無像差點檢測法卻一直受限于Hindle球檢測法，加工難度和昂貴成本成為阻礙其廣泛應(yīng)用的重要問題。
因此，如果能在避開加工難度、降低成本的前提下，利用雙曲面反射鏡虛實兩個共軛焦點的特性，借助高精度的波前測量設(shè)備和簡單的數(shù)據(jù)處理軟件，在現(xiàn)有的機械保證精度條件下，實現(xiàn)大口徑雙曲面凸面反射鏡的精確定量檢測，將在未來天文望遠鏡和大口徑系列望遠鏡領(lǐng)域中得到廣泛的應(yīng)用。
Shack-Hartmann波前探測器由于其能夠進行光束質(zhì)量動態(tài)診斷、光學(xué)鏡面和系統(tǒng)像差誤差測量等，同時具有對環(huán)境適應(yīng)能力強、采樣頻率高、測量參數(shù)全面、功能齊全等特點，在國內(nèi)外受到了廣泛的研究和應(yīng)用。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的是為克服目前對于大口徑雙曲面凸面反射鏡面型質(zhì)量檢測方法存在的所需檢測裝置難于制造加工、成本高、難于裝調(diào)、系統(tǒng)誤差大、檢測精度低的諸多缺陷，提出一種基于無像差法的雙曲面凸面反射鏡面形誤差的檢測方法及其裝置。
本發(fā)明雙曲面凸面反射鏡面形誤差的檢測方法，以一束無像差的激光會聚光束作為對被測鏡的凸面進行掃描的入射光束，以連接于計算機上的Shack-Hartmann波前探測器作為測量工具，按以下步驟測得雙曲面凸面反射鏡的面形誤差
a. 調(diào)整所述入射光束相對被測雙曲面凸面反射鏡的入射角度和距離，使該光束的焦點與被測雙曲面凸面反射鏡的虛焦點(凹面焦點)重合；在被測雙曲面凸面反射鏡光軸的實焦點(凸面焦點)之后設(shè)置一消像差準直透鏡，所述的Shack-Hartmann波前探測器設(shè)置在被測雙曲面凸面反射鏡通過消像差準直透鏡所成像的共軛位置上；入射光束經(jīng)過被測雙曲面凸面反射鏡反射后，其被照射的局部區(qū)域在被測雙曲面凸面反射鏡的實焦點處成像，成像光束經(jīng)過消像差準直透鏡準直后，進入Shack-Hartmann波前探測器；
b. 由Shack-Hartmann波前探測器測得上述雙曲面凸面反射鏡被照射的該點局部區(qū)域的面形誤差S ;
c. 將被測雙曲面凸面反射鏡以其光軸為軸心按設(shè)定角度依次旋轉(zhuǎn)一周，則按步驟b作法測得此周徑下逐點局部區(qū)域的面形誤差；
d. 將入射光束以被測雙曲面凸面反射鏡的虛焦點為軸心沿被測雙曲面凸面反射鏡的凸表面徑向旋轉(zhuǎn)一設(shè)定角度后，再按步驟c作法測得該周徑下逐點局部區(qū)域的面形誤差；按上述作法，入射光束從被測雙曲面凸面反射鏡的邊緣掃描至中心為止，則測得覆蓋雙曲面凸面反射鏡整鏡面的一系列局部區(qū)域的面形誤差；
e. 將所測得的一系列局部區(qū)域的面形誤差分離出相應(yīng)的相位常數(shù)、傾斜、離焦、球差、彗差和像散，并將各個局部面形誤差進行拼接，然后進行整鏡的Zemike多項式擬合，計算得出整鏡面形誤差的RMS值和PV值。
為實施上述本發(fā)明測試方法的一種雙曲面凸面反射鏡面形誤差檢測裝置，包括設(shè)置在滑臺上的裝卡被測雙曲面凸面反射鏡的分度轉(zhuǎn)臺、發(fā)射無像差的激光會聚光束的光源、分別設(shè)置在一滑動平臺上的Shack-Hartmann波前探測器和消像差準直透鏡、與Shack-Hartmann波前探測器相連接的計算機；所述的分度轉(zhuǎn)臺的旋轉(zhuǎn)軸即為裝卡在分度轉(zhuǎn)臺上的被測雙曲面凸面反射鏡的光軸；所述的光源設(shè)置在圓弧形導(dǎo)軌上，光源出射的會聚光束的焦點與圓弧形導(dǎo)軌的中心重合，可繞該中心在圓弧形導(dǎo)軌上旋轉(zhuǎn)；所述的光源的光軸和滑動平臺的中心線及分度轉(zhuǎn)臺的旋轉(zhuǎn)軸處在同一垂面上，且消像差準直透鏡和
Shack-Hartmann波前探測器的光軸與分度轉(zhuǎn)臺旋轉(zhuǎn)軸同軸；所述的計算機裝有根據(jù)Shack-Hartmann波前探測器測得的入射局部區(qū)域的面形誤差引起的波像差而獲得其面形誤差值、根據(jù)Shack-Hartmann波前探測器測得的入射局部區(qū)域的面形誤差導(dǎo)致的實焦點軸向離焦量A而獲得其面形誤差值和進行整鏡局部區(qū)域拼接及Zernike多項式擬合而獲得整鏡面形誤差的RMS值和PV值的數(shù)據(jù)處理軟件。
本發(fā)明雙曲面凸面反射鏡面形誤差的檢測方法，基于Shack-Hartmann波前探測器和制作小口徑的準直透鏡和消像差透鏡建立的檢測系統(tǒng)，即可對雙曲面凸面反射鏡的面形誤差實現(xiàn)不受測試環(huán)境影響的精確測量，檢測裝置結(jié)構(gòu)簡單、易于制作、成本低，尤其有效的解決了目前對于大口徑雙曲面凸面反射鏡面型質(zhì)量檢測方法存在的所需檢測裝置難于制造加工、成本高、難于裝調(diào)、系統(tǒng)誤差大、檢測精度低的諸多缺陷；由于采用本發(fā)明方法還可通過Shack-Hartmann波前探測器測得雙曲面凸面反射鏡局部區(qū)域的面形誤差導(dǎo)致的實焦點軸向離焦量，即可用于加工過程中的在線檢測；實時方便的測出大口徑雙曲面凸面局部的高低點，這樣能夠有效迅速地指導(dǎo)加工。


圖1是本發(fā)明雙曲面凸面反射鏡面形誤差檢測裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為圖1的俯視圖3是利用Hindle球方法檢測雙曲面凸面反射鏡面形誤差的系統(tǒng)結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實施例方式
以下結(jié)合附圖給出的實施例對本發(fā)明雙曲面凸面反射鏡面形誤差檢測裝置及檢測方法作進一步詳細描述。
參照圖1、 2， 一種雙曲面凸面反射鏡面形誤差檢測裝置，包括設(shè)置在滑臺9上的裝卡被測雙曲面凸面反射鏡7的分度轉(zhuǎn)臺8、發(fā)射無像差的激光會聚光束的光源5、分別設(shè)置在一滑動平臺12上的Shack-Hartmann波前探測器11和消像差準直透鏡10、與Shack-Hartmann波前探測器11相連接的計算機13;所述的分度轉(zhuǎn)臺8的旋轉(zhuǎn)軸即為裝卡在分度轉(zhuǎn)臺8上的被測雙曲面凸面反射鏡7的光軸;所述的光源5設(shè)置在圓弧形導(dǎo)軌6上，光源5出射的會聚光束的焦點與圓弧形導(dǎo)軌6的中心重合，可繞該中心在圓弧形導(dǎo)軌6上旋轉(zhuǎn)；所述的光源5的光軸和滑動平臺12的中心線及分度轉(zhuǎn)臺8的旋轉(zhuǎn)軸處在同一垂面上，且消像差準直透鏡10和Shack-Hartmann波前探測器11的光軸與分度轉(zhuǎn)臺8旋轉(zhuǎn)軸同軸；所述的計算機裝有根據(jù)Shack-Hartmann波前探測器11測得的入射局部區(qū)域的面形誤差引起的波像差而獲得其面形誤差值、根據(jù)Shack-Hartmann波前探測器11測得的入射局部區(qū)域的面形誤差導(dǎo)致的實焦點軸向離焦量△而獲得其面形誤差值和進行整鏡局部區(qū)域拼接及Zernike多項式擬合而獲得整鏡面形誤差的RMS值和PV值的數(shù)據(jù)處理軟件。
所述的光源5由設(shè)置在一鏡筒中的激光器1、針孔2、準直透鏡3和消像差透鏡4組成，由激光器1發(fā)出的光束經(jīng)過針孔2和準直透鏡3后成一平行光束，該平行光束通過消像差透鏡4后行成無像差的會聚光束發(fā)出。通過選取不同口徑的消像差透鏡4可獲得所需設(shè)定孔徑的出射會聚光束。
釆用本檢測裝置檢測雙曲面凸面反射鏡面形誤差，按以下步驟實現(xiàn)
a.將被測雙曲面凸面反射鏡7裝卡在分度轉(zhuǎn)臺8上，使被測雙曲面凸面反射鏡的光軸與分度轉(zhuǎn)臺8的轉(zhuǎn)軸同軸，調(diào)整分度轉(zhuǎn)臺8與光源5的距離，使光源5出射光束的焦點與被測雙曲面凸面反射鏡的虛焦點(凹面焦點)重合；旋轉(zhuǎn)光源5使出射光束照射在被測雙曲面凸面反射鏡7邊緣處；移動消像差準直透鏡10使其處在被測雙曲面凸面反射鏡7實焦點(凸面焦點)后并使得從被測雙曲面凸面反射鏡7最邊緣反射出的光線能夠到達消像差準直透鏡IO表面后固定；此時測量出在被測雙曲面凸面反射鏡7與消像差準直透鏡10的間距，根據(jù)測得的間距值與消像差準直透鏡10的焦距，可用高斯公式計算出被測雙曲面凸面反射鏡7通過消像差準直透鏡10所成像的共軛位置，移動Shack-Hartmann波前探測器11使其微透鏡陣列處在該共軛位置后固定。
b. 由Shack-Hartmann波前探測器測得上述雙曲面凸面反射鏡被照射的該點局部區(qū)域的面形誤差5 ;
c. 將被測雙曲面凸面反射鏡以其光軸為軸心按設(shè)定角度依次旋轉(zhuǎn)一周，則按步驟b作法測得此周徑下逐點局部區(qū)域的面形誤差；
d. 將入射光束以被測雙曲面凸面反射鏡的虛焦點為軸心沿被測雙曲面凸面反射鏡的凸表面徑向旋轉(zhuǎn)一設(shè)定角度后，再按步驟c作法測得該周徑下逐點局部區(qū)域的面形誤差；按上述作法，入射光束從被測雙曲面凸面反射鏡的邊緣掃描至中心為止，則測得覆蓋雙曲面凸面反射鏡整鏡面的一系列局部區(qū)域的面形誤差；
e. 將所測得的一系列局部區(qū)域的面形誤差分離出相應(yīng)的相位常數(shù)、傾斜、離焦、球差、彗差和像散，并將各個局部面形誤差進行拼接，然后進行整鏡的Zemike多項式擬合，計算得出整鏡面形誤差的RMS值和PV值。
上述步驟b所述局部區(qū)域的面形誤差的測量，可以下面所述兩種方式獲得
一. 是由Shack-Hartmann波前探測器測得入射局部區(qū)域的面形誤差引起的波像差w，而通過計算機的按S = w/2關(guān)系式計算程序軟件得到的該局部面形誤差值。
二. 是由Shack-Hartmann波前探測器測得入射局部區(qū)域的面形誤差導(dǎo)致的實焦點軸向離焦量A ，而通過計算機按以下函數(shù)式建立的計算程序軟件得到的該局部面形誤差值
<formula>formula see original document page 10</formula>
其中R為實際的頂點曲率半徑，Ro為標稱的頂點曲率半徑，k為被測鏡的二次曲面系數(shù)，R通過以下公式來得到
其中&為被測鏡7虛焦點的焦距，V通過以下公式得到/。 =A + /2
其中f2為被測鏡7實焦點的焦距。
通過第二種方式測得局部區(qū)域面形誤差的好處在于，可同時消除了測試裝置本身帶來的系統(tǒng)誤差，并能實現(xiàn)在線檢測，實時的測出大口徑雙曲面凸面局部的高低點，這樣能夠有效迅速地指導(dǎo)加工。
如在上述的步驟b開始測量前用一個標準球面透鏡(無像差)對Shack-Hartmann波前探測器11進行標定，即測量出由消像差準直透鏡10和Shack-Hartmann波前探測器11自身(元件加工誤差、裝調(diào)誤差)產(chǎn)生的波像差wo。將wo作為標定值，在每次實際測量過程中都將其減掉，這樣就能有效消除由消像差準直透鏡10和Shack-Hartma皿波前探測器11自身帶來的系統(tǒng)誤差。
權(quán)利要求
1.一種雙曲面凸面反射鏡面形誤差的檢測方法，其特征在于，以一束無像差的激光會聚光束作為對被測鏡的凸面進行掃描的入射光束，以連接于計算機上的Shack-Hartmann波前探測器作為測量工具，按以下步驟測得雙曲面凸面反射鏡的面形誤差a.調(diào)整所述入射光束相對被測雙曲面凸面反射鏡的入射角度和距離，使該光束的焦點與被測雙曲面凸面反射鏡的虛焦點重合；在被測雙曲面凸面反射鏡光軸的實焦點之后設(shè)置一消像差準直透鏡，所述的Shack-Hartmann波前探測器設(shè)置在被測雙曲面凸面反射鏡通過消像差準直透鏡所成像的共軛位置上；入射光束經(jīng)過被測雙曲面凸面反射鏡反射后，其被照射的局部區(qū)域在被測雙曲面凸面反射鏡的實焦點處成像，成像光束經(jīng)過消像差準直透鏡準直后，進入Shack-Hartmann波前探測器；b.由Shack-Hartmann波前探測器測得上述雙曲面凸面反射鏡被照射的該點局部區(qū)域的面形誤差δ；c.將被測雙曲面凸面反射鏡以其光軸為軸心按設(shè)定角度依次旋轉(zhuǎn)一周，則按步驟b作法測得此周徑下逐點局部區(qū)域的面形誤差；d.將入射光束以被測雙曲面凸面反射鏡的虛焦點為軸心沿被測雙曲面凸面反射鏡的凸表面徑向旋轉(zhuǎn)一設(shè)定角度后，再按步驟c作法測得該周徑下逐點局部區(qū)域的面形誤差；按上述作法，入射光束從被測雙曲面凸面反射鏡的邊緣掃描至中心為止，則測得覆蓋雙曲面凸面反射鏡整鏡面的一系列局部區(qū)域的面形誤差；e.將所測得的一系列局部區(qū)域的面形誤差分離出相應(yīng)的相位常數(shù)、傾斜、離焦、球差、彗差和像散，并將各個局部面形誤差進行拼接，然后進行整鏡的Zernike多項式擬合以去除拼接誤差，計算得出整鏡面形誤差的RMS值和PV值。
2. 根據(jù)權(quán)利要求l所述的一種雙曲面凸面反射鏡面形誤差的檢測方法，其特征在于， 步驟b所述局部區(qū)域的面形誤差是由Shack-Hartmann波前探測器測得入射局部區(qū)域的波 像差w，而通過計算機按S = w/2關(guān)系式計算程序軟件得到該局部面形誤差值。
3.根據(jù)權(quán)利要求l所述的一種雙曲面凸面反射鏡面形誤差的檢測方法，其特征在于， 步驟b所述局部區(qū)域的面形誤差是由Shack-Hartmann波前探測器測得由入射局部區(qū)域的 面形誤差導(dǎo)致的實焦點軸向離焦量A ，而通過計算機按以下函數(shù)式建立的計算程序軟件得 到的該局部面形誤差值S:其中R為實際的頂點曲率半徑，Ro為標稱的頂點曲率半徑，k為被測鏡的二次曲面系 數(shù)，R通過以下公式來得到其中f\為被測鏡7虛焦點的焦距，V通過以下公式得到 其中f2為被測鏡7實焦點的焦距。
4. 根據(jù)權(quán)利要求l所述的一種雙曲面凸面反射鏡面形誤差的檢測方法，其特征在于， 在開始測量前用一個標準球面透鏡對Shack-Hartmann波前探測器(11)進行標定，即測 量出由消像差準直透鏡(10)和Shack-Hartmann波前探測器(11)自身產(chǎn)生的波像差wo。 將wo作為標定值，在每次實際測量過程中都將其減掉，這樣就能有效消除由消像差準直 透鏡(10)和Shack-Hartmann波前探測器(11)自身帶來的系統(tǒng)誤差。
5. —種用于權(quán)利要求1所述雙曲面凸面反射鏡面形誤差的檢測方法的檢測裝置，包 括裝卡被測雙曲面凸面反射鏡(7)的分度轉(zhuǎn)臺(8)、發(fā)射無像差的激光會聚光束的光源(5)、分別設(shè)置在一滑動平臺(12)上的Shack-Hartmann波前探測器(11)和消像差準 直透鏡(10)、與Shack-Hartmann波前探測器(11)相連接的計算機(13),其特征在于 所述的分度轉(zhuǎn)臺(8)的旋轉(zhuǎn)軸即為裝卡在分度轉(zhuǎn)臺(8)上的被測雙曲面凸面反射鏡(7) 的光軸；所述的光源(5)設(shè)置在圓弧形導(dǎo)軌(6)上，光源(5)出射的會聚光束的焦點 與圓弧形導(dǎo)軌(6)的中心重合，可繞該中心在圓弧形導(dǎo)軌(6)上旋轉(zhuǎn)；所述的光源(5)的光軸和滑動平臺(12)的中心線及分度轉(zhuǎn)臺(8)的旋轉(zhuǎn)軸處在同一垂面上，且消像差 準直透鏡(10)和Shack-Hartmann波前探測器(11)的光軸與分度轉(zhuǎn)臺(8)旋轉(zhuǎn)軸同軸； 所述的計算機裝有根據(jù)Shack-Hartmann波前探測器(11)測得的入射局部區(qū)域的面形 誤差引起的波像差而獲得其面形誤差值、根據(jù)Shack-Hartmann波前探測器(11)測得的 入射局部區(qū)域面形誤差導(dǎo)致的實焦點軸向離焦量A而獲得其面形誤差值和進行整鏡局部 區(qū)域拼接及Zernike多項式擬合而獲得整鏡面形誤差RMS值和PV值的數(shù)據(jù)處理軟件。
6. 根據(jù)權(quán)利要求5所述的雙曲面凸面反射鏡面形誤差檢測裝置，其特征在于所述 的光源(5)由設(shè)置在一鏡筒中的激光器(1)、針孔(2)、準直透鏡(3)和消像差透鏡(4) 組成，由激光器(1)發(fā)出的光束經(jīng)過針孔(2)和準直透鏡(3)后成一平行光束，該平 行光束通過消像差透鏡(4)后行成無像差的會聚光束發(fā)出。
7. 根據(jù)權(quán)利要求6所述的雙曲面凸面反射鏡面形誤差檢測裝置，其特征在于通過 選取不同口徑的所述消像差透鏡(4)以獲得所需設(shè)定孔徑的出射會聚光束。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種雙曲面凸面反射鏡面形誤差的檢測方法及其裝置，該方法以一束無像差的激光會聚光束作為對被測鏡的凸面進行掃描的入射光束，以波前探測器作為測量工具，將入射光束焦點與被測雙曲面反射鏡虛焦點重合，入射光被測鏡反射后，在被測雙曲面反射鏡的實焦點成像，成像光束經(jīng)消像差準直透鏡準直后進入波前探測器，由波前探測器測得該局部區(qū)域的面形誤差，入射光束繞被測鏡虛焦點進行徑向掃描，掃描一步，被測鏡繞光軸旋轉(zhuǎn)一圈，如此循環(huán)，以檢測出整個鏡面內(nèi)的各個局部面形誤差，對測得的各個局部面形誤差進行拼接和Zernike多項式擬合，得到整鏡的面形誤差。本發(fā)明為大口徑雙曲面凸面反射鏡提供了一種低成本、高精度的檢測手段。
文檔編號G01B11/00GK101650157SQ20091006754
公開日2010年2月17日 申請日期2009年9月18日 優(yōu)先權(quán)日2009年9月18日
發(fā)明者張景旭, 名 明, 飛 楊, 王建立, 胡寧生, 陳寶剛 申請人:中國科學(xué)院長春光學(xué)精密機械與物理研究所