專利名稱：用于儲存測量數(shù)據(jù)于真空計結(jié)構(gòu)上的方法及裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明有關(guān)一種用于儲存真空計校準(zhǔn)參數(shù)及測量數(shù)據(jù)于真空計結(jié)構(gòu)上 的方法及裝置，且更特別地，有關(guān)一種用以測量環(huán)境中的氣體壓力的裝置 及方法。
背景技術(shù)：
組合式真空計由多個真空感測器所組成，其各個真空感測器使用不同 的物理裝置以供判斷該計或連接于該計的腔內(nèi)的真空用。組合式真空計允 許使用者測量比僅具有單一感測器的真空計更寬廣范圍的壓力，因為組合 式真空計利用具有重疊的不同真空測量范圍的不同感測器類型。組合式真
空計的輸出可混合于相關(guān)聯(lián)的控制電子裝置，該控制電子裝置可安裝于該 真空計總成或借由電纜來鏈接于該真空計。
因為組合式真空計具有超過一種的物理裝置來供測量真空用，所以需 要不同的校正因素以用于各個真空感測器來取得準(zhǔn)確的真空測量。然而， 該等校正因素將根據(jù)且隨著以下事物而變化，諸如壓力、真空計的操作參 數(shù)、溫度、氣體物種、以及正在運(yùn)作的那些感測器。
一般實務(wù)上借由共通的校正因素來校準(zhǔn)該組合式真空計上的感測器。 然而，此等校準(zhǔn)實務(wù)將產(chǎn)生不準(zhǔn)確的真空測量，因為即使相同類型的感測 器也會由于所有的感測器并非一致而需要有不同的校正因素。尤其，當(dāng)借 由兩個感測器的測量重疊于一特定的壓力范圍且其測量信號將組合為一混 合的輸出信號時，該等測量的不準(zhǔn)確性特別明顯。因而，該組合式真空計 的各個個別感測器獨(dú)特的校正因素已在工廠時決定且通過可插入于控制器 電子裝置內(nèi)的記憶體模組來予以提供。在此方式中，該組合式真空計是可 以在現(xiàn)場置換記憶體模組。

發(fā)明內(nèi)容
在組合式真空計之中，真空測量中的不準(zhǔn)確性也會產(chǎn)生于當(dāng)該等校正 因素并未考量到真空感測器間的互動時。例如許多組合式真空計可包含一 離子化真空計，用以測量較低范圍的真空測量，以及一熱損失感測器，用 以測量較高范圍的真空測量。在組合式真空計中的溫度變化的主要來源是 由離子化真空計的燈絲所產(chǎn)生的熱量。該離子化真空計與熱損失感測器非 常接近，且借此，因為不同的真空配件所造成的些微的制造公差、材料變化、以及熱變化，所以該熱損失感測器將以唯一于各個組合式真空計的方 法來與離子化真空計熱互動。因為該組合式真空計在離子化真空計燈絲附 近會最熱，故存在有會影響到熱損失感測器溫度補(bǔ)償方程式的溫度梯度， 而該溫度梯度并未存在于當(dāng)組合式真空計在工廠的爐中于不同溫度下執(zhí)行 校準(zhǔn)時。
為克服由離子化真空計所造成的溫度梯度在熱敏感測器(例如，熱損失 感測器)上的不利效應(yīng)，提供一種具有非依電性記憶體耦接于熱敏感測器的 方法及裝置，該非依電性記憶體含有依據(jù)借由離子化真空計開啟及關(guān)閉所 取得的校準(zhǔn)數(shù)據(jù)為主的熱敏感測器的溫度補(bǔ)償校準(zhǔn)參數(shù)。該等校準(zhǔn)參數(shù)施 加于由熱敏感測器所輸出的測量數(shù)據(jù)。該非依電性記憶體可成一體于離子 化真空計及熱敏感測器或是一耦接于組合式真空器的控制器。該控制器將 回應(yīng)于熱敏感測器的輸出來開啟離子化真空計。
實際上，諸如組合式真空計的許多真空計常在可造成該真空計故障或 失效的嚴(yán)苛環(huán)境中操作許多小時。當(dāng)真空計故障(例如不穩(wěn)定校準(zhǔn))或失 效時，典型地，使用者僅以陳述該真空計為"損壞"或"不動作，，的通知 來將真空計送回制造商。因而制造商會有難以確定故障或失效原因的困難 性，例如實際的組合式真空計的本身并不指示當(dāng)真空計失效時，該真空計 是否過熱或是其電極是否在操作中。因此，在不知道故障或失效前與當(dāng)時 的真空計操作條件之下，制造商實難以修護(hù)或校正真空計的故障或失效。
耦接于真空計的非依電性記憶體可使用以儲存來自真空感測器的測量
數(shù)據(jù)而判斷該故障或失效的原因。真空計可包含離子化真空計、熱損失感 測器及膜片感測器。所儲存的測量數(shù)據(jù)唯一于所使用的真空感測器。該離 子化真空計的測量數(shù)據(jù)可包含燈絲發(fā)射電流及離子電流。該熱損失感測器 的測量數(shù)據(jù)可包含該熱損失感測器所感測的電性參數(shù)。最后，該膜片感測 器的測量數(shù)據(jù)可包含一來自該膜片感測器的電子電路的輸出。該非依電性 記憶體可在預(yù)定的時間間隔及回應(yīng)于一諸如錯誤事件的事件，以測量數(shù)據(jù) (諸如視窗的測量數(shù)據(jù))來予以更新。


本發(fā)明的上述以及其它目的、特性及優(yōu)點(diǎn)將呈明顯于如其中相同符號 指示相同部件于所有不同視圖的附圖中所描繪的發(fā)明較佳實施例的更特定 的說明。該等圖式無需一定要按照比例，而是強(qiáng)調(diào)-說明本發(fā)明的原理時。
圖1是本發(fā)明組合式真空計的立體圖，該組合式真空計與控制電子裝
置及覆蓋分開，且該覆蓋有部分剖開； 圖2A是組合式真空計的立體圖； 圖2B是組合式真空計的剖視圖；圖3是組合式真空計系統(tǒng)的方塊圖4是流程圖，其顯示組合式真空計系統(tǒng)的操作；
圖5是耦合于真空計的非依電性記憶體中所儲存的資訊的方塊圖；以
及
圖6A及圖6B是流程圖，其顯示寫入數(shù)據(jù)于非依電性記憶體的方法。
100:組合式真空計系統(tǒng)110:離子化真空計
120:熱損失感測器130:膜片感測器
140:非依電性記憶體150:外殼
160:控制器電子裝置165:組合式真空計
170a、 170b:連接器175:銷
180a:銷180b:插孔
185:組合式真空計電路板210:離子化真空計埠
220:熱損失感測器埠230:膜片感測器埠
240:共用的真空計埠250:離子化真空計燈絲
302:真空系統(tǒng)304:真空埠連接
305:真空密封件322:線路
325:發(fā)射控制區(qū)塊330:靜電計;改大器
335:感測器熱量控制340a、 340b:i支大器
345:經(jīng)調(diào)整的橋式電源供應(yīng)器350:輸入/輸出電路
355:差動》i大器365:多工器
370: CPU可電性4式除的禾呈序化唯讀記憶體380:微控制器(CPU)
385:類比至數(shù)位轉(zhuǎn)換器數(shù)據(jù)信號390:類比至數(shù)位轉(zhuǎn)換器
395:壓力顯示器399:使用者界面連接器
400、 600:方法512、 514、 516:位置
522:目前i見窗524: n個^L窗
具體實施例方式
下文中將描述本發(fā)明的較佳實施例。
參閱圖1,根據(jù)本發(fā)明的組合式真空計系統(tǒng)100包含組合式真空計165 及控制電子裝置160。該組合式真空計165包含離子化真空計110、熱損失 感測器120、膜片感測器130、及非依電性記憶體140。該離子化真空計110 通過銷180a及插孔180b來電性連接于控制器電子裝置160。該熱損失感測 器120及非依電性記憶體140連接于一組合式真空計電路板185,該組合式 真空計電路板185通過連接器170a及170b來連接于控制器電子裝置160。 該膜片感測器130通過銷175來電性連接于控制器電子裝置160,及通過撓
6性電纜(未顯示)來電性連接于連接器170a及170b。當(dāng)連接于該組合式真 空計165時，控制器電子裝置160密閉于外殼150內(nèi)。
圖2A顯示組合式真空計165的立體圖，該組合式真空計165包含具有 6支銷180a的離子化真空計110、具有4支銷175的膜片感測器130、熱損 失感器120、非依電性記憶體140、以及具有連接器170a的組合式真空計 電路板185。在另一實施例中，非依電性記憶體140可永久地附加于各個真 空感測器110至130。該非依電性記憶體140可為任何非依電性隨機(jī)存取記 憶體(NVMM),諸如可電性抹除的可程序化唯讀記憶體(EEPROM)。
該非依電性記憶體140可含有唯一于各個真空感測器110至130的校 準(zhǔn)參數(shù)。該等校準(zhǔn)參數(shù)可依據(jù)各個個別真空感測器110至130的工廠校準(zhǔn) 來予以決定。如圖5中所示，用于離子化真空計、熱損失感測器及壓敏電 阻式膜片感測器的校準(zhǔn)參數(shù)分別儲存于該非依電性記憶體140中的位置 512、 514及516。包含部件號碼、序號、修訂碼、制造日期、校準(zhǔn)裝備及 軟體的序號及修訂碼、以及真空計建構(gòu)的架構(gòu)(例如材料選用、型式、及 燈絲數(shù)量)的真空計制造資訊亦可于制造時栽入于該非依電性記憶體140 中。例如將進(jìn)一步說明于下文地，該非依電性記憶體140可儲存應(yīng)用歷史 數(shù)據(jù)。
借由儲存校準(zhǔn)及歷史數(shù)據(jù)于該組合式真空計165之上而非該控制器電 子裝置160中，則可在現(xiàn)場置換該組合式真空計165,而無需控制器電子裝 置160的置換。該歷史數(shù)據(jù)可在修護(hù)過程中讀取于工廠，并且新置換的組 合式真空計165將載有其個別的工廠校準(zhǔn)數(shù)據(jù)。 一替代性的方式插入該非 依電性記憶體140于控制器電子裝置160內(nèi)，但是當(dāng)置換組合式真空計時， 需置換該記憶體。
圖2B顯示該組合式真空計165的剖視圖。各個真空感測器110至130 經(jīng)由一共用的真空計埠240來測量真空系統(tǒng)的真空。該離子化真空計110、 熱損失感測器120、及膜片感測器130的各個都具有分別通過離子化真空計 埠210、熱損失感測器埠220、及膜片感測器埠230到真空系統(tǒng)的通路。
如美國專利第6,658,941號中所述，熱損失感測器120借由數(shù)學(xué)地結(jié) 合感測元件電壓(VS)與感測元件電流US)來予以溫度補(bǔ)償，使得所得 到的壓力測量將與溫度上的變化無關(guān)。換言之，該壓力測量通過方程式 Px-f(VS， IS)來加以計算(三維表面計算)。該方程式利用三維曲線擬合 (curve fitting)軟體而自借由供應(yīng)if夸越所關(guān)注的壓力與溫度的范圍的壓力 Pc及周遭溫度的多個已知的值用的校準(zhǔn)方法所獲得的VSc及ISc的配對值 加以導(dǎo)出。
在該組合式真空計165中的溫度變化的主要來源由該離子化真空計燈 絲250所產(chǎn)生的熱量。該離子化真空計110與熱損失感測器120非常接近，且因此由于不同的真空配件所造成的些微的制造公差、材料變化、以及熱
變化，所以該熱損失感測器120將以唯一于各個組合式真空計總成165的 方式來與離子化真空計110熱互動。此外，因為該總成在離子化真空計燈 絲250附近會最熱，故存在有會影響到熱損失感測器溫度補(bǔ)償方程式的溫 度梯度。
非依電性記憶體140可含有考量到離子化真空計110所造成的溫度梯 度的改善的溫度補(bǔ)償校準(zhǔn)參數(shù)，且該等校準(zhǔn)參數(shù)唯一于各個組合式真空計 165。該等校準(zhǔn)參數(shù)可采演算法的形式。該等校準(zhǔn)參數(shù)借由當(dāng)開啟離子化真 空計110時取第一組的校準(zhǔn)數(shù)據(jù)以供熱損失感測器120或是另一熱敏感測 器使用，以及借由當(dāng)關(guān)閉離子化真空計時取第二組的校準(zhǔn)數(shù)據(jù)以供熱損失 感測器120使用，而針對各個組合式真空計165來加以導(dǎo)出。雖然可儲存 對應(yīng)于開啟及關(guān)閉狀態(tài)的個別組的校準(zhǔn)參數(shù)，但在較佳系統(tǒng)中，校準(zhǔn)數(shù)據(jù) 利用三維曲線擬合軟體來予以數(shù)學(xué)地結(jié)合。因此，不論該離子化真空計是 否開啟或關(guān)閉，單一的校準(zhǔn)曲線將校準(zhǔn)該熱損失感測器。
在一簡單形式中，校準(zhǔn)數(shù)據(jù)借由離子化真空計在開啟及關(guān)閉的各個狀
態(tài)中而取得于對應(yīng)該熱損失感測器的壓力測量范圍的極值的兩壓力處。
請參閱圖3，控制器電子裝置160經(jīng)由銷與插孔的連接來連接于組合式 真空計165。該組合式真空計165接著通過含真空密封件305的真空埠連接 304來連接于真空系統(tǒng)302。因此，在組合式真空計165故障或失效時，該 組合式真空計可予以現(xiàn)場置換。
在組合式真空計系統(tǒng)100的操作中，電源供應(yīng)器M射控制區(qū)塊325 將提供電壓至柵極及提供電力至離子化真空計110的燈絲，以及通過回授 才幾構(gòu)來控制燈絲發(fā)射電流量。該離子化真空計110的集極電流則提供至靜 電計放大器330當(dāng)作輸入。
感測器熱量控制裝置330控制所輸入至熱損失感測器120的電力。該 熱損失感測器120提供電壓及電流測量值為放大器340a及340b的輸入。
最后，經(jīng)調(diào)整的橋式電源345將提供電力至膜片感測器130。從膜片感 測器130所輸出的電壓測量值將輸入至差動動;^丈大器355。
該等放大器330、 340a、 340b及355的各個將提供來自組合式真空計 165的測量信號至多工器365。來自多工器365的輸出則經(jīng)由類比至凄t位轉(zhuǎn) 換器390來轉(zhuǎn)換為數(shù)位形式。然后，該等數(shù)位信號輸入至凝:控制器(CPU) 380以供處理用。
CPU EEPROM 370連接于CPU 380以特別地卡者存唯一于該控制器電子裝 置160的校準(zhǔn)參數(shù)。借由具有用于組合式真空計165及控制器電子裝置160 的個別的校準(zhǔn)參數(shù)，該組合式真空計165及控制器電子裝置160可交換的 (亦即，任一組合式真空計165可連接于任一控制器電子裝置160)。此外，控制器電子裝置160可無關(guān)于組合式真空計165而予以校準(zhǔn)。
微控制器380依據(jù)來自組合式真空計165的測量資料來計算真空系統(tǒng) 302中的真空。特定地，離子化真空計110的集極電流借由CPU 380而使用 真空計的EEPROM 140中所儲存的校準(zhǔn)參數(shù)來轉(zhuǎn)換成為高度真空測量值。熱 損失感測器120的電壓與電流數(shù)據(jù)借由CPU 380而使用真空計的EEPROM 140 中所儲存的溫度補(bǔ)償校準(zhǔn)參數(shù)來轉(zhuǎn)換成為中度真空測量值。最后，該膜片 感測器130的電壓輸出將使用真空計的EEPROM 140中所儲存的校準(zhǔn)參數(shù)而 轉(zhuǎn)換為^氐度真空測量值。根據(jù)來自真空系統(tǒng)302的真空測量值，CPU 380將 借由選擇來自混合信號區(qū)中的適當(dāng)?shù)母袦y器或感測器對的真空測量值來產(chǎn) 生真空測量值。而且，當(dāng)在真空系統(tǒng)302的真空來到離子化真空計110的 真空范圍之內(nèi)或之外時，CPU 380將傳送信號360至電源供應(yīng)器及發(fā)射控制 區(qū)塊325來開啟或關(guān)閉該離子化真空計110。
請參閱圖4，借由圖3的CPU 380上所執(zhí)行的電腦指令所實施的方法 400將轉(zhuǎn)換原始感測器數(shù)據(jù)(例如伏特、安培、串列的數(shù)據(jù))成為即將經(jīng)由 圖3的輸入/輸出電路350及使用者界面連接器399來顯示于壓力顯示器 395且輸出至外部裝置的真空數(shù)據(jù)。
用以測量真空系統(tǒng)中的真空的方法400開始于步驟405。在步驟410中， CPU 380從真空計的EEPROM 140讀取用于真空感測器的校準(zhǔn)參數(shù)，包含用 于熱損失感測器的溫度補(bǔ)償校準(zhǔn)參數(shù)。在步驟420中，CPU 380讀取類比至 數(shù)位轉(zhuǎn)換器數(shù)據(jù)信號385 (圖3 )。在步驟"0中，CPU 380計算離子化真空 計的真空、熱損失感測器的真空、以及膜片感測器的真空。在步驟440中， 若真空測量落在一重疊范圍之內(nèi)時，則在步驟450中混合來自正在重疊中 的兩個感測器的測量值。該混合法借由計算來自該兩個感測器的測量值的 加權(quán)平均值而達(dá)成。在步驟460中，傳送所混合的信號測量值至顯示器以 及至輸入/輸出裝置。若該真空測量數(shù)據(jù)并未在重疊范圍之中時，則在步 驟460中傳送來自適當(dāng)感測器的真空測量至顯示器及輸入/輸出裝置。同 時，在步驟460中，正常的真空計操作數(shù)據(jù)將經(jīng)由線路322來更新于真空 計EEPROM 140中，該等數(shù)據(jù)包含如下
1. 電子裝置模組序號及韌體修訂碼；
2. 各個離子化真空計燈絲的操作小時以及組合式真空計的總操作小
時；
3. 各個離子化真空計燈絲的除氣周期的總數(shù)；
4. 各個離子化真空計燈絲的電力周期的總數(shù)；
5. 組合式真空計的電力周期的總數(shù)；以及
6. 經(jīng)記錄的最大的內(nèi)部溫度。
如上述，有時候當(dāng)真空計故障或失效且使用者送回該真空計至制造商時，并無有關(guān)故障或失效的原因的任何解說。此問題將借由設(shè)置耦接于真
空計的非依電性記憶體140來予以解決，該非依電性記憶體140將儲存當(dāng) 諸如真空計失效或故障事件發(fā)生時的真空感測器的測量數(shù)據(jù)。
該測量數(shù)據(jù)可儲存于非依電性記憶體140中，如圖5中所示。測量數(shù) 據(jù)的視窗可儲存于非依電性記憶體中，在借由參考符號520所示的位置處。 尤其，在預(yù)定的時間間隔下，CPU 380將寫入測量數(shù)據(jù)于非依電性記憶體 140，在目前^L窗522位置處。此簡單的方法描繪于第6A圖中當(dāng)作方法600。 在步驟610中，CPU 380判斷一特定的時間周期是否已過去。當(dāng)CPU380判 斷該特定的時間周期已過去時，CPU 380寫入測量數(shù)據(jù)于目前的視窗522， 因此覆寫了可能已寫入此位置處的測量數(shù)據(jù)。然后，該方法返回步驟610 且判斷一特定的時間周期是否已再次過去。
再參閱圖4,在步驟470中，方法400判斷一錯誤碼是否已產(chǎn)生而指示 錯誤事件。若錯誤碼并未產(chǎn)生時，則方法返回步驟420;若錯誤碼已產(chǎn)生時， 則在步驟480中，內(nèi)含于目前視窗522中的測量數(shù)據(jù)將拷貝至圖5中所示 的n個^見窗524的循環(huán)i爰沖器的^見窗l(fā)j見窗2、…、或^L窗n( 524a、524b、…、 524x)之內(nèi)。該測量數(shù)據(jù)包含如下
1. 錯誤碼；
2. 熱損失感測器原始數(shù)據(jù)(Vs及Is)及真空指示；
3. 離子化真空計集極電流、發(fā)射電流、除氣狀態(tài)、操作的燈絲數(shù)目、 及真空讀數(shù)；
4. 從上一次開始時的離子化真空計的運(yùn)作時間；
5. 內(nèi)部電子裝置模組溫度；
6. 膜片感測器電壓及真空讀數(shù)；以及
7. 氣壓測量的壓力讀數(shù)。
n個視窗524的循環(huán)緩沖器允許儲存多個視窗的測量數(shù)據(jù)以回應(yīng)于連續(xù) 的事件。第6B圖陳明一用以儲存多個視窗的測量數(shù)據(jù)于非依電性記憶體140 的方法605。若方法605在步驟630中判斷一特定的事件已發(fā)生時，則在步 驟640中將拷貝目前視窗522中所含的測量數(shù)據(jù)至視窗1 (524a)。然后， 方法605返回步驟630以判斷另一特定事件是否已發(fā)生。若已發(fā)生時，則 拷貝目前視窗522中所含的測量數(shù)據(jù)至視窗2 (524b)。該方法605再返回 步驟630以判斷另一特定事件是否已發(fā)生。在此方式中，在目前^L窗522 的特定時間間隔處所更新的測量數(shù)據(jù)將拷貝至n個視窗524的循環(huán)緩沖器 的連續(xù)視窗(524a、 524b、…、524x)以回應(yīng)于連續(xù)的特定事件。
因此，在使用者送回組合式真空計165至制造商之后，制造商可利用 真空計的EEPROM 140上所儲存的數(shù)據(jù)來協(xié)助判斷真空計故障或失效的原 因。
10該方法400結(jié)束于步-傲490中。
雖然本發(fā)明已參照其較佳實施例來予以特定地顯示及描述，但將由熟 習(xí)于本項技藝的該等人士所理解的是，在形式及細(xì)節(jié)中的種種改變可完成 于其中，而不會背離權(quán)利要求所包含的本發(fā)明的范疇。
該膜片感膜器可為壓敏電阻式，且其可測量絕對壓力(亦即，偏差自 大氣壓力的壓力)或差動壓力。
錯誤碼可產(chǎn)生于當(dāng)熱損失感測器中的電壓及電流測量值超出其實際范 圍的外時。錯誤碼亦可產(chǎn)生于當(dāng)存在有顯著的異常于離子化真空計的離子 電流中時。
耦接于組合式真空計的真空感測器的非依電性記憶體可成一體于該組 合式真空計或控制器電子裝置。
權(quán)利要求
1.一種用以測量環(huán)境中的氣體壓力的裝置，其特征在于其包含一真空計；以及非依電性記憶體，其耦接于該真空計以供稍后的真空計的分析使用，該非依電性記憶體儲存該真空計的測量數(shù)據(jù)。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1的裝置，其特征在于其中所述的非依電性記憶體成 一體于真空計。
3. 根據(jù)權(quán)利要求1的裝置，其特征在于其中所述的非依電性記憶體更 新于預(yù)定的時間間隔。
4. 根據(jù)權(quán)利要求3的裝置，其特征在于其中測量數(shù)據(jù)的一視窗儲存于 非依電性記憶體中。
5. 根據(jù)權(quán)利要求1的裝置，其特征在于其中所述的非依電性記憶回應(yīng) 于一事件而加以更新。
6. 根據(jù)權(quán)利要求5的裝置，其特征在于其中測量數(shù)據(jù)的一視窗儲存于 非依電性記憶體中。
7. 根據(jù)權(quán)利要求5的裝置，其特征在于其中所述的事件是一項錯誤。
8. 根據(jù)權(quán)利要求1的裝置，其特征在于其中所述的真空計包含一離子 化真空計、 一熱損失感測器、及一膜片感測器。
9. 根據(jù)權(quán)利要求8的裝置，其特征在于其中所述的離子化真空計的測 量數(shù)據(jù)包含燈絲發(fā)射電流及離子電流。
10. 根據(jù)權(quán)利要求8的裝置，其特征在于其中所述的熱損失感測器的測 量數(shù)據(jù)包含一熱損失感測器所感測的電性參數(shù)。
11. 根據(jù)權(quán)利要求8的裝置，其特征在于其中所述的膜片感測器的測量 數(shù)據(jù)包含一來自該膜片感測器的電子電路的輸出。
12. —種用以測量環(huán)境中的氣體壓力的方法，其特征在于其包含以下步驟提供一真空計；提供非依電性記憶體，其耦接于該真空計；以及 儲存該真空計的測量數(shù)據(jù)于該非依電性記憶體中。
13. 根據(jù)權(quán)利要求12的方法，其特征在于其中所述的非依電性記憶體 成一體于真空計。
14. 根據(jù)權(quán)利要求12的方法，其特征在于其中所述的非依電性記憶體 更新于預(yù)定的時間間隔。
15. 根據(jù)權(quán)利要求14的方法，其特征在于其中測量數(shù)據(jù)的一視窗儲存 于非依電性記憶體中。
16. 根據(jù)權(quán)利要求12的方法，其特征在于其中所述的非依電性記憶體 回應(yīng)于一事件而加以更新。
17. 根據(jù)權(quán)利要求16的方法，其特征在于其中測量數(shù)據(jù)的一-見窗儲存 于非依電性記憶體中。
18. 根據(jù)權(quán)利要求16的方法，其特征在于其中所述的事件是一錯誤。
19. 根據(jù)權(quán)利要求12的方法，其特征在于其中所述的真空計包含一離 子化真空計、 一熱損失感測器、及一膜片感測器。
20. 根據(jù)權(quán)利要求19的方法，其特征在于其中所述的離子化真空計的 測量數(shù)據(jù)包含燈絲發(fā)射電流及離子電流。
21.根據(jù)權(quán)利要求19的方法，其特征在于其中所述的熱損失感測器的 測量數(shù)據(jù)包含熱損失感測器所感測的電性參數(shù)。
22.根據(jù)權(quán)利^^求19的方法，其特征在于其中所述的膜片感測器的測 量數(shù)據(jù)包含一來自該膜片感測器的電子電路的輸出。
23. —種用以測量環(huán)境中的氣體壓力的裝置，其特征在于其包含一真空計；以及一耦接于該真空計，用以儲存該真空計的測量數(shù)據(jù)的裝置.
全文摘要
一種用以借由組合離子化真空計與至少一其它的真空感測器來測量氣體壓力的方法及裝置。耦接于真空計的非依電性記憶體含有依據(jù)工廠校準(zhǔn)而定的各個個別感測器唯一的校準(zhǔn)參數(shù)。該非依電性記憶體可含有用于一熱敏真空感測器的校準(zhǔn)參數(shù)，以補(bǔ)償由該離子化真空計所產(chǎn)生的溫度梯度。該等校準(zhǔn)參數(shù)是當(dāng)離子化真空計開啟及關(guān)閉時所判斷的校準(zhǔn)數(shù)據(jù)的函數(shù)。該非依電性記憶體可儲存該真空計的一視窗的測試數(shù)據(jù)，該非依電性記憶體更新于預(yù)定的時間間隔及回應(yīng)于一諸如錯誤事件的事件，以協(xié)助調(diào)查真空計故障或失效的原因。
文檔編號G01L21/00GK101666697SQ200910150238
公開日2010年3月10日 申請日期2005年11月29日 優(yōu)先權(quán)日2004年12月14日
發(fā)明者保羅·C·阿諾德, 保羅·M·路特, 賴?yán)·卡麥可 申請人:布魯克機(jī)械公司