專利名稱：一種測試鍍膜厚度的方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種測試鍍膜厚度的方法，屬于含有鍍膜工藝的集成電路、半導(dǎo)體生 產(chǎn)或者光伏產(chǎn)品生產(chǎn)領(lǐng)域。
背景技術(shù)：
現(xiàn)有的鍍膜厚度測試的設(shè)備主要有橢偏儀、臺(tái)階儀和其他利用光學(xué)原理做成的設(shè) 備。橢偏儀等利用光學(xué)原理做成的儀器在測試鍍膜厚度時(shí)，可以不損傷樣品表面，但是光路 在表面多起伏的樣品或者曲翹度較大的樣品上會(huì)出現(xiàn)光路收集困難，測試精度就會(huì)下降； 臺(tái)階儀作為針尖在樣品上掃描的方式，精確度很高。雖然對(duì)樣品表面有一定損傷，但是通過 調(diào)節(jié)針尖與薄膜間的作用力，可以控制這種損傷。這種方法在精準(zhǔn)測試鍍膜厚度方面利用 更多。臺(tái)階儀的精確度一定程度上取決于臺(tái)階制備的精度?，F(xiàn)在的臺(tái)階制作方法主要有 化學(xué)腐蝕法和掩模法?；瘜W(xué)腐蝕法往往在腐蝕界面會(huì)出現(xiàn)一個(gè)漸進(jìn)的腐蝕臺(tái)階，腐蝕的深 度和寬度也會(huì)受腐蝕時(shí)間影響；掩模法適用于大多數(shù)的臺(tái)階制備工藝，但是要制作合適的 細(xì)窄的或者帶有細(xì)窄凹槽的掩模材料，每次鍍膜都要用新的掩模材料。所以鍍膜厚度測試 的精確性和易操作性急需提高。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明要解決的技術(shù)問題是，針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)中存在的上述不足，提供了一種測試 鍍膜厚度的方法，不使用掩?；蛘呋瘜W(xué)腐蝕液，采用記號(hào)筆或者油性筆進(jìn)行標(biāo)記，然后用溶 解液溶解，可以得到清晰的臺(tái)階，從而提高鍍膜工藝中對(duì)厚度測試的精確性和易操作性。為實(shí)現(xiàn)以上目的，本發(fā)明提供了一種測試鍍膜厚度的方法，按照如下步驟操作首先在襯底上用記號(hào)筆或油墨筆畫一道或幾道；然后放在鍍膜室里鍍膜，由于記號(hào)筆或者油墨筆的成分是油性的，濺射時(shí)其他物 質(zhì)就很難在襯底上附著和生成；最后，在鍍膜后，將襯底和樣品浸泡在溶解液里，記號(hào)筆或者油墨筆劃過的墨痕會(huì) 反應(yīng)掉，露出一道或者多道清晰的臺(tái)階，這時(shí)候在臺(tái)階儀上就能測量了。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明可以提高鍍膜工藝中對(duì)厚度測試的精確性和易操作性。 本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)是1)由于不使用掩?；蛘呋瘜W(xué)腐蝕液，可以節(jié)省成本和時(shí)間；2)記號(hào)筆或者油性筆、乙醇和丙酮等是常備產(chǎn)品，取用和操作便捷；臺(tái)階清晰。
具體實(shí)施例方式以下結(jié)合實(shí)施例對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步說明，以下的描述僅用于理解本發(fā)明技術(shù)方案 之用，不用于限定本發(fā)明的范圍?，F(xiàn)有的臺(tái)階制作方法中，因?yàn)榛瘜W(xué)腐蝕法往往在腐蝕界面會(huì)出現(xiàn)一個(gè)漸進(jìn)的腐蝕臺(tái)階，腐蝕的深度和寬度也會(huì)受腐蝕時(shí)間影響；而掩模法制作合適的細(xì)窄的或者帶有細(xì)窄 凹槽的掩模材料，每次鍍膜都要用新的掩模材料。所以用臺(tái)階儀測量鍍膜厚度時(shí)操作很不 方便。本發(fā)明提供了一種測試鍍膜厚度的方法首先在襯底上用記號(hào)筆或油墨筆畫一道或幾道；然后放在鍍膜室里鍍膜，由于記號(hào)筆或者油墨筆的成分是油性的，濺射時(shí)其他物 質(zhì)就很難在襯底上附著和生成；最后，鍍膜之后，將襯底和樣品浸泡在溶解液里，記號(hào)筆或者油墨筆劃過的墨痕就 會(huì)反應(yīng)掉，露出一道或者多道清晰的臺(tái)階，再在臺(tái)階儀上測量鍍膜的厚度。所述襯底材料可以為玻璃、有機(jī)材料、不銹鋼等材質(zhì)；所述鍍膜的成分可以為無機(jī)化合物、金屬或者其他合成材料。所述記號(hào)筆或者油墨筆，成分染料，η-丙醇，η- 丁醇，雙丙酮醇等。所述溶解液為醇類或者酮類，比如常用的乙醇和丙酮等。本發(fā)明采用的上述材料均為現(xiàn)有常用的材料。實(shí)施例1在本實(shí)施例中首先在玻璃襯底上用記號(hào)筆畫一道或幾道；然后放在鍍膜室里鍍膜，鍍膜的成分可以為無機(jī)化合物，記號(hào)筆的成分是油性的， 濺射時(shí)其他物質(zhì)就很難在玻璃襯底上附著和生成；最后，鍍膜之后，將玻璃襯底和樣品浸泡在乙醇里，記號(hào)筆劃過的墨痕就會(huì)反應(yīng) 掉，露出一道或者多道清晰的臺(tái)階，再在臺(tái)階儀上測量鍍膜的厚度。實(shí)施例2在本實(shí)施例中首先在不銹鋼襯底上用油墨筆畫一道或幾道；然后放在鍍膜室里鍍膜，鍍膜的成分可以為金屬，由于油墨筆的成分是油性的，濺 射時(shí)其他物質(zhì)就很難在襯底上附著和生成；最后，鍍膜之后，將不銹鋼襯底和樣品浸泡在丙酮里，油墨筆劃過的墨痕就會(huì)反應(yīng) 掉，露出一道或者多道清晰的臺(tái)階，再在臺(tái)階儀上測量鍍膜的厚度。實(shí)施例3在本實(shí)施例中首先在有機(jī)材料襯底上用油墨筆畫一道或幾道；然后放在鍍膜室里鍍膜，鍍膜的成分可以為金屬，由于油墨筆的成分是油性的，濺 射時(shí)其他物質(zhì)就很難在襯底上附著和生成；最后，鍍膜之后，將有機(jī)材料襯底和樣品浸泡在乙醇里，油墨筆劃過的墨痕就會(huì)反 應(yīng)掉，露出一道或者多道清晰的臺(tái)階，再在臺(tái)階儀上測量鍍膜的厚度。通過以上實(shí)施例可以看出，本發(fā)明可以解決現(xiàn)有技術(shù)中化學(xué)腐蝕法和掩模法操作 不便的不足，由于不使用掩?；蛘呋瘜W(xué)腐蝕液，可以節(jié)省成本和時(shí)間；記號(hào)筆或者油性筆、 乙醇和丙酮等是常備產(chǎn)品，取用和操作便捷，經(jīng)溶解后可以得到清晰的臺(tái)階，從而提高鍍膜 工藝中對(duì)厚度測試的精確性和易操作性。
權(quán)利要求
1.一種測試鍍膜厚度的方法，其特征在于按照如下步驟操作首先在襯底上用記號(hào)筆或油墨筆畫一道或幾道；然后放在鍍膜室里鍍膜，記號(hào)筆或者油墨筆的成分是油性的，濺射時(shí)其他物質(zhì)很難在 襯底上附著和生成；最后，在鍍膜后，將襯底和樣品浸泡在溶解液里，記號(hào)筆或者油墨筆劃過的墨痕會(huì)反應(yīng) 掉，露出一道或者多道清晰的臺(tái)階，這時(shí)候在臺(tái)階儀上就能測量了。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種測試鍍膜厚度的方法，其特征在于所述襯底材料為玻 璃、有機(jī)材料或不銹鋼材質(zhì)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種測試鍍膜厚度的方法，其特征在于所述鍍膜的成分為 無機(jī)化合物或金屬材料。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種測試鍍膜厚度的方法，其特征在于所述溶解液為醇類 或者酮類。
5.根據(jù)權(quán)利要求1或4所述的一種測試鍍膜厚度的方法，其特征在于所述溶解液為 乙醇或丙酮。
全文摘要
本發(fā)明公開一種測試鍍膜厚度的方法，首先在襯底上用記號(hào)筆或油墨筆畫一道或幾道；然后放在鍍膜室里鍍膜，由于記號(hào)筆或者油墨筆的成分是油性的，濺射時(shí)其他物質(zhì)就很難在襯底上附著和生成；最后，在鍍膜后，將襯底和樣品浸泡在溶解液里，記號(hào)筆或者油墨筆劃過的墨痕會(huì)反應(yīng)掉，露出一道或者多道清晰的臺(tái)階，這時(shí)候在臺(tái)階儀上就能測量了。本發(fā)明可以提高鍍膜工藝中對(duì)厚度測試的精確性和易操作性。本發(fā)明由于不使用掩?；蛘呋瘜W(xué)腐蝕液，可以節(jié)省成本和時(shí)間；記號(hào)筆或者油性筆、乙醇和丙酮等是常備產(chǎn)品，取用和操作便捷；臺(tái)階清晰。
文檔編號(hào)G01B21/08GK102087105SQ200910199818
公開日2011年6月8日 申請(qǐng)日期2009年12月2日 優(yōu)先權(quán)日2009年12月2日
發(fā)明者孔慧, 李啟龍 申請(qǐng)人:上海交大泰陽綠色能源有限公司