專利名稱：利用半導(dǎo)體測試儀讀取芯片信息的方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及半導(dǎo)體測試技術(shù)，特別涉及一種利用半導(dǎo)體測試儀讀取芯片信息的方法。
背景技術(shù)：
常見的半導(dǎo)體測試儀，例如ADVANTEST T6573，如

圖1所示，包括主機(Main Frame)、測試頭(Test Head)、數(shù)字采集器(DCAP)；所述主機包括測試控制單元(Tester Controller)、供電單元(DPS)(用于為被測 芯片提供電源)、直流參數(shù)測量單元(用于被測芯片直流參數(shù)測量或提供芯片外部施加電 壓電流)；所述測試頭包括通道電子回路(Pin Electronics)、框架處理器(FP，F(xiàn)rame ftOcessor)、頻率發(fā)生器(Rate Generator)、數(shù)據(jù)失效存儲器(DFM)、序列圖形發(fā)生器 (SQPG)、算法圖形發(fā)生器(ALPG)、掃描圖形發(fā)生器(SCPG)、數(shù)據(jù)選擇器(PDS)；所述通道電子回路包括兩個比較器(CP)及參考電平發(fā)生器(VO)，所述兩個比較 器(CP)用于邏輯高與邏輯低的比較，被測芯片輸出的數(shù)據(jù)信號接所述兩個比較器(CP)，分 別同參考電平發(fā)生器(VO)輸出的參考高電平(VOH)及參考低電平(VOL)進行比較，其比較 被測芯片輸出的數(shù)據(jù)信號波形的檢測(STROBE)點是由框架處理器(FP)的時序發(fā)生器產(chǎn)生 的時序信號(STBL)的時間沿，所述參考電平發(fā)生器(VO)用于產(chǎn)生一個邏輯1及一個邏輯 0的參考電平，如果被測芯片輸出的數(shù)據(jù)信號電平小于等于參考低電平(V0L)，低參考電平 比較器輸出0，否則輸出1，如果被測芯片輸出的數(shù)據(jù)信號電平大于等于參考高電平(VOH)， 高參考電平比較器輸出0，否則輸出1，從而輸出低參考電平比較被測芯片輸出的數(shù)據(jù)和高 參考電平比較被測芯片輸出的數(shù)據(jù)兩路信號到框架處理器(FP)中的數(shù)據(jù)比較器。所述框架處理器(FP，F(xiàn)ramr Processor)包括數(shù)據(jù)比較器(DigitalCompare)、時 序發(fā)生器(Timing Generator)、整形器(Formatter)、時序存儲器(Timing Memory)、波形存 儲器(Waveform Memory)，所述時序存儲器用于產(chǎn)生不同的時間沿，用來作被測芯片激勵波 形產(chǎn)生、1/0切換控制、被測芯片輸出的數(shù)據(jù)信號比較等；所述數(shù)據(jù)比較器根據(jù)圖形真值表 (TTB)中的圖形值(PATTERN值)進行動作，如表1所示，當PATTERN值為0時，所述數(shù)據(jù)比 較器不工作；當PATTERN值為1時，所述數(shù)據(jù)比較器不工作；當PATTERN值為L時，如果低參 考電平比較器輸出0(被測芯片輸出的數(shù)據(jù)信號電平小于等于參考低電平)，則芯片輸出的 數(shù)據(jù)測試通過，所述數(shù)據(jù)比較器輸出芯片輸出的數(shù)據(jù)測試通過信號，如果低參考電平比較 器輸出1 (被測芯片輸出的數(shù)據(jù)信號電平大于參考低電平)，則芯片輸出的數(shù)據(jù)測試失效， 所述數(shù)據(jù)比較器將低參考電平比較器輸出作取反處理后作為X結(jié)果輸出至數(shù)據(jù)失效存儲 器DFM，將高參考電平比較器輸出直接作為Y結(jié)果輸出至數(shù)據(jù)失效存儲器DFM ；當PATTERN 值為H時，如果高參考電平比較器輸出0 (被測芯片輸出的數(shù)據(jù)信號電平大于等于參考高電 平)，則芯片輸出的數(shù)據(jù)測試通過，所述數(shù)據(jù)比較器輸出芯片輸出的數(shù)據(jù)測試通過信號，如 果高參考電平比較器輸出1 (被測芯片輸出的數(shù)據(jù)信號電平小于參考高電平)，則芯片輸出的數(shù)據(jù)測試失效，所述數(shù)據(jù)比較器將高參考電平比較器輸出作取反處理后作為Y結(jié)果輸出 至數(shù)據(jù)失效存儲器DFM，將低參考電平比較器輸出直接作為X結(jié)果輸出至數(shù)據(jù)失效存儲器 DFM ；當PATTERN值為Z時，數(shù)據(jù)比較器會做如下處理將高參考電平比較器輸出作取反處 理作為Y結(jié)果輸出至數(shù)據(jù)失效存儲器DFM，將低參考電平比較器輸出作取反處理作為X結(jié)果 輸出至數(shù)據(jù)失效存儲器DFM ；當PATTERN值為X時，所述數(shù)據(jù)比較器不工作；表 權(quán)利要求
1.一種利用半導(dǎo)體測試儀讀取芯片信息的方法，半導(dǎo)體測試儀包括主機、測試頭、數(shù)字 采集器；所述測試頭包括通道電子回路、框架處理器、數(shù)據(jù)失效存儲器、序列圖形發(fā)生器、數(shù) 據(jù)選擇器；所述通道電子回路包括兩個比較器及參考電平發(fā)生器，被測芯片輸出的數(shù)據(jù)信號接所 述兩個比較器，分別同參考電平發(fā)生器輸出的參考高電平及參考低電平進行比較，如果被 測芯片輸出的數(shù)據(jù)信號電平小于等于參考低電平，低參考電平比較器輸出0，否則輸出1， 如果被測芯片輸出的數(shù)據(jù)信號電平大于等于參考高電平，高參考電平比較器輸出0，否則輸 出1，從而輸出低參考電平比較被測芯片輸出的數(shù)據(jù)和高參考電平比較被測芯片輸出的數(shù) 據(jù)兩路信號到框架處理器中的數(shù)據(jù)比較器；所述框架處理器包括數(shù)據(jù)比較器，所述數(shù)據(jù)比較器根據(jù)序列圖形發(fā)生器中的圖形真值 表中的圖形值進行動作，當圖形值為0、1或X時，所述數(shù)據(jù)比較器不工作；當圖形值為L時， 如果低參考電平比較器輸出0，則芯片輸出的數(shù)據(jù)測試通過，所述數(shù)據(jù)比較器輸出芯片輸出 的數(shù)據(jù)測試通過信號，如果低參考電平比較器輸出1，則芯片輸出的數(shù)據(jù)測試失效，所述數(shù) 據(jù)比較器將低參考電平比較器輸出作取反處理后作為X結(jié)果輸出至數(shù)據(jù)失效存儲器，將高 參考電平比較器輸出直接作為Y結(jié)果輸出至數(shù)據(jù)失效存儲器；當圖形值為H時，如果高參考 電平比較器輸出0，則芯片輸出的數(shù)據(jù)測試通過，所述數(shù)據(jù)比較器輸出芯片輸出的數(shù)據(jù)測試 通過信號，如果高參考電平比較器輸出1，則芯片輸出的數(shù)據(jù)測試失效，所述數(shù)據(jù)比較器將 高參考電平比較器輸出作取反處理后作為Y結(jié)果輸出至數(shù)據(jù)失效存儲器，將低參考電平比 較器輸出直接作為X結(jié)果輸出至數(shù)據(jù)失效存儲器；當圖形值為Z時，數(shù)據(jù)比較器會做如下處 理將高參考電平比較器輸出作取反處理作為Y結(jié)果輸出至數(shù)據(jù)失效存儲器，將低參考電 平比較器輸出作取反處理作為X結(jié)果輸出至數(shù)據(jù)失效存儲器；所述序列圖形發(fā)生器，其中設(shè)置圖形真值表，序列圖形發(fā)生器能產(chǎn)生圖形并將圖形值 寫到所述圖形真值表，序列圖形發(fā)生器產(chǎn)生的圖形的圖形值包括0、1、L、H、Z、X; 所述數(shù)字采集器包括存儲器及異或邏輯門； 其特征在于在讀取被測芯片信息時，通過測試程序設(shè)置通道電子回路的參考電平發(fā)生器的參考高 電平、參考低電平，通過通道電子回路的高參考電平比較器、低參考電平比較器兩個比較器 分別對被測芯片輸出的數(shù)據(jù)信號電平比較，輸出低參考電平比較被測芯片輸出的數(shù)據(jù)和高 參考電平比較被測芯片輸出的數(shù)據(jù)兩路信號到框架處理器中的數(shù)據(jù)比較器；控制序列圖形發(fā)生器產(chǎn)生圖形值并寫入圖形真值表中，從而所述數(shù)據(jù)比較器根據(jù)圖形 真值表中的圖形值將低參考電平比較被測芯片輸出的數(shù)據(jù)比較后輸出X結(jié)果到數(shù)據(jù)失效 存儲器，將高參考電平比較被測芯片輸出的數(shù)據(jù)比較后輸出Y結(jié)果到數(shù)據(jù)失效存儲器； 通過測試程序設(shè)置數(shù)據(jù)選擇器，設(shè)定數(shù)字采集器各比特位與芯片測試通道的鏈接； 再把數(shù)據(jù)失效存儲器中的X結(jié)果、Y結(jié)果值通過數(shù)字采集器中的異或邏輯門生成數(shù)字 采集器的采集使能信號，用來控制將H結(jié)果或L結(jié)果值傳入數(shù)字采集器的存儲器中同該芯 片測試通道對應(yīng)的存儲區(qū)間；最后通過后臺處理將數(shù)字采集器存儲器中的數(shù)據(jù)傳入指定的數(shù)組變量中。
2.根據(jù)去那里要求1所述的利用半導(dǎo)體測試儀讀取芯片信息的方法，其特征在于，設(shè) 置通道電子回路的參考電平發(fā)生器的參考高電平等于參考低電平。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種利用半導(dǎo)體測試儀讀取芯片信息的方法，序列圖形發(fā)生器產(chǎn)生圖形值并寫入圖形真值表中，數(shù)據(jù)比較器根據(jù)圖形值輸出X結(jié)果到數(shù)據(jù)失效存儲器，輸出Y結(jié)果到數(shù)據(jù)失效存儲器；通過測試程序設(shè)置數(shù)據(jù)選擇器，設(shè)定數(shù)字采集器各比特位與芯片測試通道的鏈接；再把數(shù)據(jù)失效存儲器中的X結(jié)果、Y結(jié)果值通過數(shù)字采集器中的異或邏輯門生成數(shù)字采集器的采集使能信號，用來控制將H結(jié)果或L結(jié)果值傳入數(shù)字采集器的存儲器中同該芯片測試通道對應(yīng)的存儲區(qū)間；最后通過后臺處理將數(shù)字采集器存儲器中的數(shù)據(jù)傳入指定的數(shù)組變量中。通過本發(fā)明的方法可以利用半導(dǎo)體測試儀同時對多顆芯片的信息進行讀出操作，并節(jié)省測試時間。
文檔編號G01R31/3183GK102053222SQ20091020176
公開日2011年5月11日 申請日期2009年11月5日 優(yōu)先權(quán)日2009年11月5日
發(fā)明者朱淵源, ?？Ｖ? 辛吉升 申請人:上海華虹Nec電子有限公司