專利名稱：超高真空直線推動(dòng)導(dǎo)入器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及超高真空設(shè)備，特別是導(dǎo)入器。
背景技術(shù)：
超高真空技術(shù)是新材料合成，材料的物理化學(xué)性質(zhì)分析和宇宙開 發(fā)的基本環(huán)境。為了實(shí)現(xiàn)在超高真空環(huán)境中的各種分析研究，離不開 對樣品的傳輸和操縱。樣品在傳輸和操縱過程中，由于真空設(shè)備要求 的密封性高，操縱都需要在大氣側(cè)進(jìn)行，很多情況樣品需要按直線運(yùn) 動(dòng)導(dǎo)入，而且在驅(qū)動(dòng)時(shí)要保證真空設(shè)備與驅(qū)動(dòng)導(dǎo)入器的密封性能，以 保證真空環(huán)境，目前的直線導(dǎo)入裝置精度有待提高，而且均是剛性部 件，密封性能差。 發(fā)明內(nèi)容
本實(shí)用新型的目的是克服上述不足問題，提供一種超真空直線推 動(dòng)導(dǎo)入器，結(jié)構(gòu)簡單，驅(qū)動(dòng)速度快且便捷，精度高，密封性能佳。
本實(shí)用新型為實(shí)現(xiàn)上述目的所采用的技術(shù)方案是超真空直線推 動(dòng)導(dǎo)入器，外筒一端裝有后部板，另一端固定安裝真空設(shè)備連接法蘭， 真空設(shè)備連接法蘭置于外筒內(nèi)的一端焊接波紋管，波紋管置于外筒 內(nèi)，且另一端焊接可動(dòng)法蘭，波紋管內(nèi)裝有導(dǎo)入棒，導(dǎo)入棒一端活動(dòng) 插接在真空設(shè)備連接法蘭中心孔內(nèi)，導(dǎo)入棒另一端焊接在可動(dòng)法蘭端面，可動(dòng)法蘭導(dǎo)入棒的背面固定裝有推動(dòng)桿，推動(dòng)桿與后部板活動(dòng)插 接。
所述真空設(shè)備連接法蘭由法蘭盤、軸套和外筒連接套一體構(gòu)成， 軸套一端連接法蘭盤，另一端連接外筒連接套，外筒連接套端面帶有 波紋管連接槽。
所述真空設(shè)備連接法蘭內(nèi)驅(qū)動(dòng)軸前端裝有導(dǎo)向塊，并裝有導(dǎo)向塊
齒輪；導(dǎo)向塊為無氧銅導(dǎo)向塊。
所述可動(dòng)法蘭上裝有指針，外筒上開有刻度槽，指針桿滑動(dòng)置于 刻度槽內(nèi)。
所述外筒上裝有定位螺釘，定位螺釘端頭與推動(dòng)桿活動(dòng)接觸。 所述推動(dòng)桿上裝有把手。
本實(shí)用新型超高真空直線驅(qū)動(dòng)器采用固定波紋管來實(shí)現(xiàn)密封，使 得直線驅(qū)動(dòng)順暢，密封性能佳，達(dá)到放出氣體少的要求，而且手動(dòng)驅(qū) 動(dòng)自由，超高真空環(huán)境中的直線驅(qū)動(dòng)采用大氣側(cè)通過外部推動(dòng)桿直推 方式，驅(qū)動(dòng)速度快，而且便捷，直線驅(qū)動(dòng)位置控制精確，可耐高溫烘 烤，便于系統(tǒng)到達(dá)超高真空。驅(qū)動(dòng)軸前端安裝無氧銅導(dǎo)向塊， 一方面 實(shí)現(xiàn)氣體放出少，另一方面維持驅(qū)動(dòng)桿的驅(qū)動(dòng)直線性。使用固定螺釘， 驅(qū)動(dòng)位置可以任意確定。和真空接觸的部件，全部采用不銹鋼和無氧 銅，有利于維持超高真空。本實(shí)用新型安裝角度自由，是實(shí)現(xiàn)超高真 空環(huán)境中樣品精確直線驅(qū)動(dòng)的重要手段。


圖1是本實(shí)用新型立體結(jié)構(gòu)示意圖。圖2是本實(shí)用新型剖視圖。
圖3是本實(shí)用新型真空設(shè)備連接法蘭結(jié)構(gòu)示意圖。 圖4是本實(shí)用新型可動(dòng)法蘭結(jié)構(gòu)示意圖。
圖中l(wèi)導(dǎo)入棒；2真空設(shè)備連接法蘭；3刻度槽；4指針；5把 手；6推動(dòng)桿；7后部板；8定位螺釘；9外筒；10可動(dòng)法蘭；11波 紋管；12導(dǎo)向塊；13止輪；14法蘭盤；15軸套；16外筒連接套。
具體實(shí)施方式
如圖l、 2所示的超真空直線推動(dòng)導(dǎo)入器，外筒9一端裝有后部 板7，后部板中間開有插孔，外筒另一端固定安裝真空設(shè)備連接法蘭 2，真空設(shè)備連接法蘭由法蘭盤14、軸套15和外筒連接套16—體構(gòu) 成，軸套一端連接法蘭盤，另一端連接外筒連接套，外筒連接套端面 帶有波紋管連接槽，真空設(shè)備連接法蘭的外筒連接套置于外 筒內(nèi)，波紋管連接槽處焊接波紋管11，波紋管置于外筒9內(nèi)，且另 一端焊接可動(dòng)法蘭IO，波紋管內(nèi)裝有導(dǎo)入棒l，導(dǎo)入棒一端活動(dòng)插接 在真空設(shè)備連接法蘭2中心孔內(nèi)，真空設(shè)備連接法蘭中心孔內(nèi)導(dǎo)入棒 前端裝有無氧銅導(dǎo)向塊12，并裝有導(dǎo)向塊止輪13防止導(dǎo)向塊脫落， 導(dǎo)入棒另一端焊接在可動(dòng)法蘭10端面，可動(dòng)法蘭導(dǎo)入棒的背面固定 裝有推動(dòng)桿6，推動(dòng)桿與后部板活動(dòng)插接，可動(dòng)法蘭10上固定裝有 螺釘桿式指針4，外筒上開有刻度槽3，螺釘桿滑動(dòng)置于刻度槽內(nèi)， 以便于控制行程，外筒上裝有定位螺釘8，定位螺釘端頭與推動(dòng)桿活 動(dòng)接觸，當(dāng)達(dá)到設(shè)備行程時(shí)，調(diào)緊定位螺釘，推動(dòng)時(shí)旋開定位螺釘。 推動(dòng)桿上裝有把手5，操作更方便。其中和真空接觸的部件，全部采用不銹鋼和無氧銅，有利于維持超高真空。
使用時(shí)超真空直線推動(dòng)導(dǎo)入器通過真空設(shè)備連接法蘭完成和超 高真空設(shè)備的連接，內(nèi)部波紋管及可動(dòng)法蘭實(shí)現(xiàn)超高真空和大氣環(huán)境 的分離，旋松定位螺釘后驅(qū)動(dòng)把手和推動(dòng)桿，使得波紋管被壓縮或伸 長，驅(qū)動(dòng)導(dǎo)入棒直線運(yùn)動(dòng)，直線驅(qū)動(dòng)位置通過指針得知，定位螺釘定 位。
權(quán)利要求1、超高真空直線推動(dòng)導(dǎo)入器，其特征是外筒一端裝有后部板，另一端固定安裝真空設(shè)備連接法蘭，真空設(shè)備連接法蘭置于外筒內(nèi)的一端焊接波紋管，波紋管置于外筒內(nèi)，且另一端焊接可動(dòng)法蘭，波紋管內(nèi)裝有導(dǎo)入棒，導(dǎo)入棒一端活動(dòng)插接在真空設(shè)備連接法蘭中心孔內(nèi)，導(dǎo)入棒另一端焊接在可動(dòng)法蘭端面，可動(dòng)法蘭導(dǎo)入棒的背面固定裝有推動(dòng)桿，推動(dòng)桿與后部板活動(dòng)插接。
2、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的超高真空直線推動(dòng)導(dǎo)入器，其特征是 :真空設(shè)備連接法蘭由法蘭盤、軸套和外筒連接套一體構(gòu)成，軸套一 端連接法蘭盤，另一端連接外筒連接套，外筒連接套端面帶有波紋管 連接槽。
3、 根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的超高真空直線推動(dòng)導(dǎo)入器，其特 征是:真空設(shè)備連接法蘭內(nèi)驅(qū)動(dòng)軸前端裝有導(dǎo)向塊，并裝有導(dǎo)向塊止輪。
4、 根據(jù)權(quán)利要求3所述的超高真空直線推動(dòng)導(dǎo)入器，其特征是 :導(dǎo)向塊為無氧銅導(dǎo)向塊。
5、 根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的超高真空直線推動(dòng)導(dǎo)入器，其特征是可動(dòng)法蘭上裝有指針，外筒上開有刻度槽，指針桿滑動(dòng)置于刻 度槽內(nèi)。
6、 根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的超高真空直線推動(dòng)導(dǎo)入器，其特征是外筒上裝有定位螺釘，定位螺釘端頭與推動(dòng)桿活動(dòng)連接。
7、根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的超高真空直線推動(dòng)導(dǎo)入器，其特 征是推動(dòng)桿上裝有把手。
專利摘要本實(shí)用新型涉及真空設(shè)備。超高真空直線推動(dòng)導(dǎo)入器，外筒一端裝有后部板，另一端固定安裝真空設(shè)備連接法蘭，真空設(shè)備連接法蘭置于外筒內(nèi)的一端焊接波紋管，波紋管置于外筒內(nèi)，且另一端焊接可動(dòng)法蘭，波紋管內(nèi)裝有導(dǎo)入棒，導(dǎo)入棒一端活動(dòng)插接在真空設(shè)備連接法蘭中心孔內(nèi)，導(dǎo)入棒另一端焊接在可動(dòng)法蘭端面，可動(dòng)法蘭導(dǎo)入棒的背面固定裝有推動(dòng)桿，推動(dòng)桿與后部板活動(dòng)插接。本實(shí)用新型采用固定波紋管密封，使得直線驅(qū)動(dòng)順暢，密封性能佳，達(dá)到放出氣體少的要求，手動(dòng)驅(qū)動(dòng)自由，超高真空環(huán)境中的直線驅(qū)動(dòng)在大氣側(cè)通過外部推動(dòng)桿直推驅(qū)動(dòng)，速度快且便捷，直線驅(qū)動(dòng)位置控制精確。
文檔編號(hào)G01N1/36GK201355323SQ20092001103
公開日2009年12月2日 申請日期2009年2月27日 優(yōu)先權(quán)日2009年2月27日
發(fā)明者郭方準(zhǔn) 申請人:大連齊維科技發(fā)展有限公司