專利名稱：檢測(cè)用高純?nèi)趸橹辛虻恼麴s器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種高純?nèi)趸橹辛虻臋z測(cè)技術(shù)。
背景技術(shù)：
高純?nèi)趸槭侵谱鞲呒兩榈脑牧?，而高純砷作為光電材料，尤?是第三代半導(dǎo)體材料，以其優(yōu)越的理化性能，通過摻雜于硅材料中及化合成 砷化鎵等形式，突破了硅材料的信息容量有限。運(yùn)算速度有限、工作能耗較 大、大容量需大體積、亮度與色彩不理想等等極限，已廣泛應(yīng)用于信息、通 信、光電子、大規(guī)模集成電路、高清高亮大屏幕顯示器、遙感、探測(cè)、遠(yuǎn) 紅外、自動(dòng)控制、智能化，硫化光纖、合金材料、醫(yī)藥、醫(yī)療設(shè)備、航天設(shè) 備，航天航空、軍事裝備等等產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域，并被世界各國定位為支撐高科技產(chǎn) 業(yè)、現(xiàn)代化建設(shè)及智能化軍事工業(yè)發(fā)展的重大戰(zhàn)略基礎(chǔ)材料。高純砷的生產(chǎn) 與應(yīng)用是繼半導(dǎo)體電子管，第二代半導(dǎo)體材料"硅"取代第一代半導(dǎo)體材料 "鍺"這后的又一場(chǎng)半導(dǎo)體新材料革命，其市場(chǎng)前景相當(dāng)廣闊。
目前高純?nèi)趸橹辛虻臋z測(cè)方法通常采用GD-MS，ICP-MS及極譜 等法，但GD-MS， ICP-MS設(shè)備昂貴(100萬以上)，極譜法繁瑣且不準(zhǔn)確。
為了設(shè)計(jì)一種簡單而且準(zhǔn)確的高純?nèi)趸橹辛虻臋z測(cè)方法，必須由 高溫蒸餾器、二氧化硫吸收裝置和空氣現(xiàn)場(chǎng)二氧化硫測(cè)定儀組成。其檢測(cè)方 法為向定量高純?nèi)趸橹型ㄈ胙鯕猓邷卣麴s反應(yīng)器與高純?nèi)趸?中的硫元素生成二氧化硫，二氧化硫通過二氧化硫吸收裝置內(nèi)的四氯滎鈉溶 液吸收后，再與甲醛與鹽酸副玫瑰苯胺作用生成玫瑰色絡(luò)合物，在空氣現(xiàn)場(chǎng) 二氧化硫測(cè)定儀中進(jìn)行比色測(cè)定，最終計(jì)算出高純?nèi)趸橹械牧蚝俊?br/>實(shí)用新型內(nèi)容
本實(shí)用新型目的就是提供一種能實(shí)現(xiàn)以上檢測(cè)方法的高溫蒸餾器。 本實(shí)用新型包括石英管套、石英管帽、內(nèi)置石英管、石英坩堝、石英進(jìn) 氣管、石英出氣管和熱電偶；所述石英進(jìn)氣管連接在石英管套的一端，所述 石英管套的另一端連接設(shè)置石英管帽，所述石英管帽的另一端連接石英出氣 管，在石英管套內(nèi)分別設(shè)置石英坩堝和內(nèi)置石英管，所述熱電偶設(shè)置在內(nèi)置 石英管內(nèi)，所述熱電偶電連接在一溫控儀上。
本實(shí)用新型可形成高純?nèi)趸橹械牧蛟匮趸啥趸虻臏?度條件，通過石英出氣管可使二氧化硫進(jìn)入二氧化硫吸收裝置內(nèi)，被四氯汞 鈉溶液吸收。本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)簡單、合理，方便操作，耐用性好，試驗(yàn)用的
經(jīng)濟(jì)可行性好，利于節(jié)約投資金額，通過檢測(cè)數(shù)據(jù)多次比較與GD-MS檢測(cè) 數(shù)據(jù)誤差在10%內(nèi)。
另外，為實(shí)現(xiàn)石英管套內(nèi)高溫、均溫效果，防止熱量散失，在石英管套 外設(shè)置保溫層，在石英管套和保溫層之間設(shè)置加熱元件。
為了使石英管套與石英管帽配合更加密切，達(dá)到密封，也方便操作，所 述石英管套設(shè)置內(nèi)磨口，所述石英管帽設(shè)置配合的外磨口。
為了能更直接地給石英坩堝內(nèi)的高純?nèi)趸榧訜?，所述?nèi)置石英管 設(shè)置在石英坩堝的下方。
為了石英坩堝與石英套管接觸牢固，不晃動(dòng)，避免物料撒在石英套管上， 所述石英坩堝為方形。
圖1為本實(shí)用新型的一種結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施方式
如圖1所示，本實(shí)用新型包括石英管套l、石英管帽2、內(nèi)置石英管3、 石英坩堝6、石英進(jìn)氣管5、石英出氣管4和熱電偶9、溫控儀IO。石英進(jìn)氣管5連接在石英管套1的一端，石英管套1的另一端設(shè)置內(nèi)磨
口，通過設(shè)置內(nèi)磨口連接石英管帽2，石英管帽2設(shè)置配合的外磨口。石英 管帽2的另一端連接石英出氣管4。
在石英管套l內(nèi)設(shè)置內(nèi)置石英管3，熱電偶9一端設(shè)置在內(nèi)置石英管3 內(nèi)，內(nèi)置石英管3在石英管套1的內(nèi)端為盲端，熱電偶9的外端電連接在溫 控儀10上。
在石英管套1外設(shè)置保溫層8，在石英管套1和保溫層8之間設(shè)置加熱 元件7。
于石英管套l內(nèi)還布置有可從石英管套l的磨口端進(jìn)出的方形石英坩堝 6，并使內(nèi)置石英管3設(shè)置在石英坩堝6的下方。 試驗(yàn)步驟是
(1) 將一定質(zhì)量的高純?nèi)趸檠b入石英坩堝內(nèi)，并抹平后置于石 英管套內(nèi)，將石英管帽密封連接在石英管套的一端。
(2) 將進(jìn)氣管與氧氣連接，出氣管與二氧化硫吸收裝置連接。
(3) 通氧升溫，并啟動(dòng)二氧化硫吸收裝置通過四氯滎鈉溶液吸收二氧化硫。
(4) 待高純?nèi)趸橛墒③釄迦哭D(zhuǎn)入石英管帽，停止通氧，并 記下通氧體積(v氧)。
(5) 將吸收好的二氧化硫溶液，與甲醛及鹽酸副玫瑰苯胺作用生成玫 瑰色絡(luò)合物，通過空氣現(xiàn)場(chǎng)二氧化硫測(cè)定儀進(jìn)行比色。
(6) 計(jì)算高純?nèi)趸橹辛蚝俊?br>
權(quán)利要求1、一種檢測(cè)用高純?nèi)趸橹辛虻恼麴s器，其特征在于包括石英管套、石英管帽、內(nèi)置石英管、石英坩堝、石英進(jìn)氣管、石英出氣管和熱電偶；所述石英進(jìn)氣管連接在石英管套的一端，所述石英管套的另一端連接設(shè)置石英管帽，所述石英管帽的另一端連接石英出氣管，在石英管套內(nèi)分別設(shè)置石英坩堝和內(nèi)置石英管，所述熱電偶設(shè)置在內(nèi)置石英管內(nèi)，所述熱電偶電連接在一溫控儀上。
2、 根據(jù)權(quán)利要求1所述檢測(cè)用高純?nèi)趸橹辛虻恼麴s器，其特征在于在石英管套外設(shè)置保溫層，在石英管套和保溫層之間設(shè)置加熱元件。
3、 根據(jù)權(quán)利要求1所述檢測(cè)用高純?nèi)趸橹辛虻恼麴s器，其特征在于所述石英管套設(shè)置內(nèi)磨口，所述石英管帽設(shè)置配合的外磨口。
4、 根據(jù)權(quán)利要求1所述檢測(cè)用高純?nèi)趸橹辛虻恼麴s器，其特征在于所述內(nèi)置石英管設(shè)置在石英坩堝的下方。
5、 根據(jù)權(quán)利要求4所述檢測(cè)用高純?nèi)趸橹辛虻恼麴s器，其特征在于所述石英坩堝為方形。
專利摘要檢測(cè)用高純?nèi)趸橹辛虻恼麴s器，涉及一種高純?nèi)趸橹辛虻臋z測(cè)技術(shù)。石英進(jìn)氣管連接在石英管套的一端，所述石英管套的另一端連接設(shè)置石英管帽，所述石英管帽的另一端連接石英出氣管，在石英管套內(nèi)分別設(shè)置石英坩堝和內(nèi)置石英管，所述熱電偶設(shè)置在內(nèi)置石英管內(nèi)，所述熱電偶電連接在一溫控儀上。本實(shí)用新型可形成高純?nèi)趸橹械牧蛟匮趸啥趸虻臏囟葪l件，通過石英出氣管可使二氧化硫進(jìn)入二氧化硫吸收裝置內(nèi)，被四氯汞鈉溶液吸收。本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)簡單、合理，方便操作，耐用性好。
文檔編號(hào)G01N21/25GK201434793SQ20092004426
公開日2010年3月31日 申請(qǐng)日期2009年6月9日 優(yōu)先權(quán)日2009年6月9日
發(fā)明者李顯平, 王繼榮 申請(qǐng)人:揚(yáng)州高能新材料有限公司