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太陽能電池晶硅硅片導(dǎo)電類型測量裝置的制作方法

文檔序號:5847957閱讀:701來源:國知局
專利名稱:太陽能電池晶硅硅片導(dǎo)電類型測量裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域
本實(shí)用新型涉及一種太陽能電池領(lǐng)域,尤其涉及一種太陽能電池晶硅硅片導(dǎo)電類型和刻蝕效果的測量裝置。
背景技術(shù)
隨著經(jīng)濟(jì)的快速發(fā)展,傳統(tǒng)能源的日益枯竭和石油價格的不斷上升,以及人們對自身生存環(huán)境要求的不斷提高,作為無污染的清潔能源,太陽能電池必將會得到更加迅猛的發(fā)展。美國、歐洲各國及日本、印度等已在大力發(fā)展太陽能建筑,加速了太陽能電池的發(fā)展。太陽能電池以
P型硅晶為基體,通過在表面摻雜五價元素磷,在硅片表面形成PN結(jié)。通過去除硅片邊緣的PN節(jié)(刻蝕工藝),在陽光的照射下,硅片兩面產(chǎn)生電勢差。通過電極引出電流。實(shí)現(xiàn)了太陽能向電能的轉(zhuǎn)換過程。
目前市場上測量導(dǎo)電類型的冷熱探針測試儀雖然設(shè)計(jì)原理和結(jié)構(gòu)都符合標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定,但是作為檢驗(yàn)太陽能電池硅片的專用檢測設(shè)備具有以
下缺點(diǎn)(1)傳統(tǒng)檢測設(shè)備設(shè)計(jì)未針對太陽能電池片的結(jié)構(gòu)特點(diǎn),兩個
探頭無伸縮,無硅片承載臺,并且價格較高;(2)測量操作不方便,測
試速度一般;(3)探針與硅片接觸的壓強(qiáng)不易控制,容易導(dǎo)致碎片、缺
角、脫晶;(4)金屬殼體等金屬件和氧化件會增加硅片污染的幾率。
實(shí)用新型內(nèi)容
本實(shí)用新型要解決的技術(shù)問題是提供一種測量操作簡單,測試速度快,并且不易損傷硅片的太陽能電池晶硅硅片導(dǎo)電類型測量裝置。
本實(shí)用新型解決其技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案是 一種太陽能電池晶硅硅片導(dǎo)電類型測量裝置,所述的太陽能電池晶硅硅片導(dǎo)電類型測量裝置包括檢測平臺,檢測平臺上設(shè)置有殼體,殼體內(nèi)設(shè)置有可伸縮的冷、熱探針,所述的冷、熱探針之間通過導(dǎo)線連接有電壓表,所述的電壓表置于殼體外部,熱探針還通過熱導(dǎo)線連接有加熱器。
本實(shí)用新型進(jìn)一步包括所述的殼體和檢測平臺由PP材料制成。本實(shí)用新型進(jìn)一步包括所述的加熱器熱源由可控溫手工焊接烙鐵提供。
為了易于直接直觀的觀察到電動勢的差值,本實(shí)用新型進(jìn)一步包括所述的電壓表為數(shù)顯萬用表。
為了易于控制硅片對探針的壓強(qiáng),在不損傷硅片的情況下而形成良好的接觸,本實(shí)用新型進(jìn)一步包括所述的冷、熱探針的探針尖端呈60°圓錐體形狀,冷、熱探針具有表面鍍金外筒,冷、熱探針通過伸縮彈
簧設(shè)置于殼體內(nèi)部,熱探針溫度維持為8(TC,檢測平臺距離冷、熱探
針中心高度100 u m。
本實(shí)用新型的有益效果是,解決了背景技術(shù)中存在的缺陷,利用
PP材料制成的殼體與檢測平臺,為硅片提供了承載平臺,易于硅片的
擺放并且不會損傷硅片;選用熱穩(wěn)定性好、防氧化性高的鍍金伸縮探頭,
易于控制接觸壓強(qiáng),不易損傷硅片,并且本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)簡單,操作方
便,不會帶入金屬污染,制作成本低,大大地提高了測試速度和測量的
準(zhǔn)確度。以下結(jié)合附圖和實(shí)施例對本實(shí)用新型進(jìn)一步說明。

圖1是本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖;圖2是本實(shí)用新型的探針結(jié)構(gòu)示意其中l(wèi)、檢測平臺;2、硅片;3、探針;4、殼體;5、電壓表;6、
加熱器;7、導(dǎo)線;8、熱導(dǎo)線;31、鍍金外筒;9、伸縮彈簧。
具體實(shí)施方式
現(xiàn)在結(jié)合附圖和優(yōu)選實(shí)施例對本實(shí)用新型作進(jìn)一步詳細(xì)的說明。這 些附圖均為簡化的示意圖,僅以示意方式說明本實(shí)用新型的基本結(jié)構(gòu), 因此其僅顯示與本實(shí)用新型有關(guān)的構(gòu)成。
如圖1所示, 一種太陽能電池晶硅硅片導(dǎo)電類型測量裝置,所述的 太陽能電池晶硅硅片導(dǎo)電類型測量裝置包括檢測平臺1,檢測平臺l上
設(shè)置有殼體4,殼體4內(nèi)設(shè)置有可伸縮的冷、熱探針3,所述的冷、熱 探針3之間通過導(dǎo)線7連接有電壓表5,所述的電壓表5置于殼體4外 部,熱探針3還通過熱導(dǎo)線8連接有加熱器6。所述的殼體4和檢測平 臺1由PP材料制成,為硅片2提供了承載平臺,易于硅片2的擺放并 且不會損傷硅片2;加熱器6熱源由可控溫手工焊接烙鐵提供,使得熱 探針3的溫度始終維持在8(TC左右;并且利用萬用表5方便簡潔直觀 的就可以觀察到電動勢的差值,能夠快速的檢測出硅片2的類型以及硅 片的刻蝕效果是否合格。
本實(shí)用新型冷、熱探針3的結(jié)構(gòu)如圖2所示,冷、熱探針3的探針 尖端呈60°圓錐體形狀,冷、熱探針3具有表面鍍金外筒31,冷、熱 探針3通過伸縮彈簧9設(shè)置于殼體4內(nèi)部,檢測平臺1距離冷、熱探針 3中心高度100um。由于硅片2比較容易破碎、缺角及脫晶,所以在檢 測的過程中需要十分的小心,而本實(shí)用新型的冷、熱探針3通過伸縮彈 簧9而具有伸縮結(jié)構(gòu),所以能夠較好的控制探針3與硅片2的接觸壓強(qiáng),不易損傷硅片。
本實(shí)用新型的實(shí)際操作過程也相當(dāng)?shù)暮唵?,對于N型半導(dǎo)體材料, 熱探針相對于冷探針為正電,反之,對于P性半導(dǎo)體材料熱探針對于冷
探針則為負(fù)電。所以,對于N性半導(dǎo)體材料,電壓表5上的指針會指向 "_"方,而對于P性半導(dǎo)體材料,電壓表5上的指針會指向"+ "方。 通過這樣的測試,就可以方便快捷的測量出硅片2的導(dǎo)電類型。
而在刻蝕工藝的檢驗(yàn)時,用冷、熱探針3接觸硅片2—個邊沿不相 連的兩個點(diǎn),電壓表5顯示這兩點(diǎn)的電壓值為正值,且大于30mv,則 刻蝕合格;如果電壓表5顯示的數(shù)值為正值但數(shù)值小于30rnv,則刻蝕 不合格。
以上述依據(jù)本實(shí)用新型的理想實(shí)施例為啟示,通過上述的說明內(nèi) 容,相關(guān)工作人員完全可以在不偏離本項(xiàng)實(shí)用新型技術(shù)思想的范圍內(nèi), 進(jìn)行多樣的變更以及修改。
權(quán)利要求1、一種太陽能電池晶硅硅片導(dǎo)電類型測量裝置,其特征在于所述的太陽能電池晶硅硅片導(dǎo)電類型測量裝置包括檢測平臺(1),檢測平臺(1)上設(shè)置有殼體(4),殼體(4)內(nèi)設(shè)置有可伸縮的冷、熱探針(3),所述的冷、熱探針(3)之間通過導(dǎo)線(7)連接有電壓表(5),所述的電壓表(5)置于殼體(4)外部,熱探針(3)還通過熱導(dǎo)線(8)連接有加熱器(6)。
2、 如權(quán)利要求1所述的太陽能電池晶硅硅片導(dǎo)電類型測量裝置,其 特征在于所述的殼體(4)和檢測平臺(1)由PP材料制成。
3、 如權(quán)利要求1所述的太陽能電池晶硅硅片導(dǎo)電類型測量裝置,其 特證在于所述的加熱器(6)熱源由可控溫手工焊接烙鐵提供。
4、 如權(quán)利要求1所述的太陽能電池晶硅硅片導(dǎo)電類型測量裝置,其 特征在于所述的電壓表(5)為數(shù)顯萬用表。
5、 如權(quán)利要求1所述的太陽能電池晶硅硅片導(dǎo)電類型測量裝置,其 特征在于所述的冷、熱探針(3)的探針尖端呈60。圓錐體形狀,冷、 熱探針(3)具表面有鍍金外筒(31),冷、熱探針(3)通過伸縮彈簧(9) 設(shè)置于殼體(4)內(nèi)部,熱探針(3)溫度維持為8CTC,檢測平臺(1)距 離冷、熱探針(3)中心高度100um。
專利摘要本實(shí)用新型涉及一種太陽能電池晶硅硅片導(dǎo)電類型測量裝置,所述的太陽能電池晶硅硅片導(dǎo)電類型測量裝置包括檢測平臺,檢測平臺上設(shè)置有殼體,殼體內(nèi)設(shè)置有可伸縮的冷、熱探針,所述的冷、熱探針之間通過導(dǎo)線連接有電壓表,所述的電壓表置于殼體外部,熱探針還通過熱導(dǎo)線連接有加熱器。本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)簡單,操作方便,不會帶入金屬污染,制作成本低,大大地提高了測試速度和測量的準(zhǔn)確度。
文檔編號G01R31/26GK201413381SQ20092004639
公開日2010年2月24日 申請日期2009年6月9日 優(yōu)先權(quán)日2009年6月9日
發(fā)明者萬光耀, 文 吳, 信 李, 李寶書, 猛 潘, 輝 瞿, 童彩霞, 陳劍鋒 申請人:江蘇順風(fēng)光電科技有限公司
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