專利名稱：一種激光液位傳感光路系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種傳感器光學(xué)部件，尤其是一種激光液位傳感光路系統(tǒng)。
背景技術(shù)：
傳感器光路系統(tǒng)屬于激光光纖液位計(jì)中的光學(xué)部件，它是激光液位計(jì)中的關(guān)鍵技 術(shù)，由于它的存在，才使得激光液位計(jì)成為光、機(jī)、電一體化的工業(yè)技術(shù)產(chǎn)品。光纖液位遙測(cè)系統(tǒng)作為光纖傳感器的一種典型產(chǎn)品，主要用于石化、焦化、部隊(duì)油 庫(kù)等各種儲(chǔ)存易燃易爆液體的大型罐體液位測(cè)量。由于使用場(chǎng)合的限制，對(duì)于液位傳感器 的要求是非常高的，測(cè)量的精度要很高，比如安全性要好，抗干擾能力強(qiáng)，結(jié)構(gòu)要精簡(jiǎn)等，而 傳統(tǒng)的液位傳感器不能滿足所有的要求，因此適用性不廣，而且傳統(tǒng)的傳感器只能就地測(cè) 試，而且顯示數(shù)據(jù)很慢，有的甚至要采樣測(cè)試，測(cè)量過(guò)程很麻煩。
發(fā)明內(nèi)容本實(shí)用新型的目的在于，提供一種安全性好、適用范圍廣、測(cè)量精度高、抗干擾能 力強(qiáng)、可以遠(yuǎn)距離傳輸、顯示速度快的激光液位傳感器的光路系統(tǒng)。本實(shí)用新型是通過(guò)如下的方案實(shí)現(xiàn)的一種激光液位傳感器的光路系統(tǒng)，其特征 在于包括光纖傳感器、光纖傳輸系統(tǒng)、信號(hào)處理系統(tǒng)，光纖傳輸系統(tǒng)的輸入端與光纖傳感器 的輸出端連接，光纖傳輸系統(tǒng)的輸出端與信號(hào)處理系統(tǒng)的輸入端連接，光纖傳感器將所探 測(cè)到的信息通過(guò)光纖傳輸系統(tǒng)傳輸?shù)叫盘?hào)處理系統(tǒng)中進(jìn)行顯示和處理。此項(xiàng)設(shè)置采用光纖傳感器對(duì)被測(cè)液體進(jìn)行測(cè)量，由于光纖傳感器是通過(guò)光學(xué)原理 對(duì)液體進(jìn)行測(cè)量的，不會(huì)摩擦產(chǎn)生火花或者溫度變化，也不會(huì)對(duì)液位有影響，不僅安全性比 較好，而且測(cè)量精度很高，可測(cè)易燃、易爆的液體或氣體，適用性很廣，而且受環(huán)境的影響很 小，抗干擾能力很強(qiáng)。本實(shí)用新型的進(jìn)一步設(shè)置為還包括中空測(cè)桿，測(cè)桿分由上測(cè)桿和下測(cè)桿組成，上 測(cè)桿與下測(cè)桿通過(guò)法蘭盤連接，光纖傳感器包括反射浮標(biāo)、磁性浮子、發(fā)射透鏡、接收透鏡， 磁性浮子設(shè)置在下測(cè)桿端部外側(cè)，反射浮子設(shè)置在下測(cè)桿端部?jī)?nèi)側(cè)，位置與磁性浮子對(duì)應(yīng)， 并共同磁耦合連接，構(gòu)成發(fā)射透鏡與接收透鏡均設(shè)置在法蘭盤內(nèi)。本實(shí)用新型的進(jìn)一步設(shè)置為發(fā)射透鏡與接收透鏡設(shè)置在同一端面上。本實(shí)用新型的進(jìn)一步設(shè)置為發(fā)射透鏡與接收透鏡設(shè)置在不同端面上上述三項(xiàng)設(shè)置將發(fā)射透鏡和接收透鏡設(shè)置法蘭盤內(nèi)，并設(shè)置在同一端面上或者不 同端面上，這是因?yàn)閷⒐饫w傳輸?shù)絺鞲衅髦械墓?，發(fā)射到被測(cè)液位的反射鏡面上的光斑尺 寸要求《直徑10mm，反回的光斑尺寸要求70 %的光能，被接收透鏡所接受，才能保證測(cè)量 精度，這樣的設(shè)置保證了本實(shí)用新型的測(cè)量精度，設(shè)置在同一端面上或者不同的端面上都 是本實(shí)用新型的范圍，只是測(cè)桿的尺寸是有區(qū)別的，這樣的設(shè)置也精簡(jiǎn)了部分冗余結(jié)構(gòu)。本實(shí)用新型的進(jìn)一步設(shè)置為信號(hào)處理系統(tǒng)包括DSP數(shù)據(jù)處理器、顯示器、光纖數(shù) 據(jù)線，DSP數(shù)據(jù)處理器的輸入端與接收透鏡通過(guò)光纖數(shù)據(jù)線連接，DSP數(shù)據(jù)處理器的輸出端與顯示器通過(guò)光纖數(shù)據(jù)線連接。此項(xiàng)設(shè)置將DSP (數(shù)字信號(hào)處理Digital Signal Processing)數(shù)據(jù)處理器的輸入 端與接收透鏡通過(guò)光纖數(shù)據(jù)線連接，輸出端與顯示器通過(guò)光纖數(shù)據(jù)線連接，這樣的設(shè)置，傳 感器的信號(hào)可以經(jīng)過(guò)DSP數(shù)據(jù)處理器處理，直接顯示在顯示器上，顯示很方便，因?yàn)楣獾乃?度很快，因此可以將顯示器設(shè)置在任何一個(gè)觀察比較方便的位置上，從而達(dá)到了遠(yuǎn)距離傳 輸顯示的目的，而且顯示速度很快。本實(shí)用新型的進(jìn)一步設(shè)置為還包括顯示器支架，顯示器支架設(shè)置在上測(cè)桿的端 面上，顯示器設(shè)置在顯示器支架上。此項(xiàng)設(shè)置將顯示器設(shè)置在上測(cè)桿上，這樣的設(shè)置方便現(xiàn)場(chǎng)觀察測(cè)量數(shù)據(jù)，測(cè)量的 時(shí)候非常方便及時(shí)，使用非常方便。本實(shí)用新型的進(jìn)一步設(shè)置為還包括光纖連接盤，光纖數(shù)據(jù)線一部份設(shè)置在上測(cè) 桿內(nèi)，一部份設(shè)置在上測(cè)桿外部，上測(cè)桿內(nèi)部和外部的光纖數(shù)據(jù)線通過(guò)光纖連接盤連接。此項(xiàng)設(shè)置通過(guò)光纖連接盤對(duì)光纖進(jìn)行連接，這樣的結(jié)構(gòu)安裝使用非常方便。上述結(jié)構(gòu)利用光學(xué)原理進(jìn)行測(cè)量，所以防爆、防電磁干擾不會(huì)引起火災(zāi)，沒(méi)有任何 活動(dòng)另件，僅有一個(gè)測(cè)桿插入被測(cè)液體中、在各種易燃易爆液體的容器中即可測(cè)量液位，可 靠性高、抗震性好，不怕振動(dòng)和沖擊，使用安裝簡(jiǎn)單，安全性好、適用范圍廣、測(cè)量精度高、抗 干擾能力強(qiáng)、可以遠(yuǎn)距離傳輸而且顯示速度快。

圖1為本實(shí)施例的總體結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為實(shí)施例--的上法i蘭盤剖面圖；[0020]圖3為實(shí)施例--的上法i蘭盤的平面示意圖[0021]圖4為實(shí)施例--的下法i蘭盤剖面圖；[0022]圖5為實(shí)施例--的下法i蘭盤的平面示意圖[0023]圖6為實(shí)施例二二的上法i蘭盤剖面圖；[0024]圖7為實(shí)施例二二的上法i蘭盤的平面示意圖[0025]圖8為實(shí)施例二二的下法i蘭盤剖面圖；[0026]圖9為實(shí)施例二二的下法i蘭盤的平面示意圖圖10為激光液位計(jì)的測(cè)試系統(tǒng)框圖；圖11為自動(dòng)控制的穩(wěn)定激光器電/光接口電路圖；圖12為放大及加法電路原理圖；圖13為接受光路系統(tǒng)工作原理示意具體實(shí)施方式
激光液位計(jì)測(cè)量系統(tǒng)的組成，主要由三部分組成，如圖10所示，本實(shí)用新型一種 激光液位傳感器的光路系統(tǒng)，包括光纖傳感器、光纖傳輸系統(tǒng)、信號(hào)處理系統(tǒng)，光纖傳感器 將所探測(cè)到的信息通過(guò)光纖傳輸系統(tǒng)傳輸?shù)叫盘?hào)處理系統(tǒng)中進(jìn)行顯示和處理。光纖傳輸 (在距離小于500米之內(nèi)，可以不加光端機(jī)，若要求將光信號(hào)遠(yuǎn)傳到3——5公里，在傳輸過(guò) 程中可加光端機(jī)保證無(wú)失真的遠(yuǎn)傳信號(hào))，信號(hào)處理站，在控制室做信號(hào)處理，可根據(jù)用戶要求完成各種功能。參考圖1、圖2、圖3、圖4、圖5、圖6、圖7、圖8、圖9、圖10、圖11、圖12、圖13可 知(1)、位于危險(xiǎn)現(xiàn)場(chǎng)的系列油罐群和激光光纖液位傳感器(本實(shí)用新型中的光纖 傳感器主要為激光光纖液位傳感器)磁性浮子3設(shè)置在下測(cè)桿112端部外側(cè)，反射浮子2設(shè)置在下測(cè)桿112端部?jī)?nèi)側(cè)， 位置與磁性浮子對(duì)應(yīng)，并共同磁耦合連接。光纖傳感器是由激光探頭(即光纖的端部)、安 裝在中空測(cè)桿1中的反射浮標(biāo)2、反射浮標(biāo)2通過(guò)磁耦合受測(cè)桿1 (測(cè)桿分為上測(cè)桿111與 下測(cè)桿112)外面的磁性浮子3上下移動(dòng)而相應(yīng)的上下移動(dòng)。液位的上升或下降推動(dòng)浮子 3上升或下降，而浮子3的上升或下降通過(guò)磁耦合，直接帶動(dòng)測(cè)桿1中反射浮標(biāo)2的上升或 下降，這樣就把液位的變化測(cè)量出來(lái)。(2)、光纖傳輸系統(tǒng)光纖液位傳感器由三根光纖(本實(shí)用新型中的光纖數(shù)據(jù)線即 為光纖)組成，一根光源光纖4、一根信號(hào)返回光纖5、一根傳輸光纖6組成，其中光源光纖 4的輸出端與發(fā)射透鏡8連接。(3)、數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)信號(hào)處理系統(tǒng)包括DSP數(shù)據(jù)處理器、顯示器、光纖數(shù)據(jù)線(光 纖數(shù)據(jù)線的一部分也可視為數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)的組成部分)，DSP數(shù)據(jù)處理器的輸入端與接收 透鏡7通過(guò)信號(hào)返回光纖5連接，DSP數(shù)據(jù)處理器的輸出端與顯示器9通過(guò)傳輸光纖6連 接。DSP數(shù)據(jù)處理器及一些硬件電路組成。利用時(shí)間擴(kuò)展法，進(jìn)行數(shù)據(jù)處理，主要由計(jì)算機(jī) 軟件完成。根據(jù)液位測(cè)量的不同高度，光的反回時(shí)間也不同，再根據(jù)光反回來(lái)的時(shí)間來(lái)計(jì)算 所需的擴(kuò)展時(shí)間，這些工作都由軟件來(lái)完成。顯示器支架91設(shè)置在上測(cè)桿111的端面上， 顯示器9設(shè)置在顯示器支架91上，光纖數(shù)據(jù)線一部份設(shè)置在上測(cè)桿111內(nèi)，一部份設(shè)置在 上測(cè)桿111外部，上測(cè)桿111內(nèi)部和外部的光纖數(shù)據(jù)線通過(guò)光纖連接盤12連接。根據(jù)這種原理沒(méi)計(jì)的光纖液位計(jì)有以下幾個(gè)特點(diǎn)*、由于是光學(xué)量，所以防爆、防電磁干擾不會(huì)弓I起火災(zāi)。*、沒(méi)有任何活動(dòng)另件，僅有一個(gè)測(cè)桿插入被測(cè)液體中、在各種易燃易爆液體的容 器中即可測(cè)量液位，可靠性高、抗震性好，不怕振動(dòng)和沖擊。*、使用安裝簡(jiǎn)單。激光光纖液位傳感器的關(guān)鍵部分為液位傳感器光學(xué)系統(tǒng)，主要安裝在測(cè)桿1上法 蘭盤10和下法蘭盤11內(nèi)(上測(cè)桿111與下測(cè)桿112通過(guò)法蘭盤連接)。傳感器光路統(tǒng)設(shè) 計(jì)主要要求，為如何將光纖傳輸?shù)絺鞲衅髦械墓猓l(fā)射到被測(cè)液位的反射鏡面上的光斑尺 寸要求《直徑10mm，反回的光斑尺寸要求70 %的光能，被接收透鏡所接受，才能保證測(cè)量 精度。發(fā)射激光束和接受激光束均在液位測(cè)桿1內(nèi)工作，根據(jù)儲(chǔ)油罐液位的變化其測(cè)量距 離發(fā)生變化，根據(jù)光學(xué)測(cè)量距離的原理L = l/2ct (L為距離，c為光波速度t為時(shí)間)利用 測(cè)量時(shí)間的原理，來(lái)達(dá)到了測(cè)量距離的目的。由于光波速度非常快在發(fā)明專利中已經(jīng)描述 過(guò)，時(shí)間擴(kuò)展理論和時(shí)間延遲以及控制等關(guān)鍵技術(shù)。本實(shí)施例是根據(jù)用戶要求，能夠在儲(chǔ)油罐區(qū)進(jìn)行液位觀察，因此就地顯示部分采 用光功利推動(dòng)光纖傳輸，微功耗電路。將光信號(hào)傳輸?shù)奈ｋU(xiǎn)現(xiàn)場(chǎng)，在進(jìn)行光/電轉(zhuǎn)換，轉(zhuǎn)換 成電能提供給顯示器9。(此項(xiàng)專利技術(shù)為劉教授1994就獲得專利ZL 95 2 23991.4)。參考圖11可知，具有光能自動(dòng)控制的穩(wěn)定激光器，當(dāng)激光器的光功率提高時(shí)，被探測(cè)器PIN接受，它接受的光強(qiáng)越強(qiáng)，則在三極管2SA1015上的電壓降低，因而控制三極管 2SC1545，使得三極管2SC1545的電流下降，因此激光器的光電流也下降，激光器的發(fā)光功 率也下降，反之同樣。參考圖12可知0/E接口電路示意圖中分析，由于光電轉(zhuǎn)換電路采用具有ST插座 的光電探測(cè)器(型號(hào)為HFBR—2416)，其輸出為電壓信號(hào)以A和B兩端表示，因此放大器的 輸入端就直接，接入光電探測(cè)器(型號(hào)為HFBR—2416)的其輸出信號(hào)A和B兩端。放大器 采用高速放大器其型號(hào)為AD8009，利用兩片AD8009作為兩級(jí)電壓放大器，兩路相同放大器 的輸出信號(hào)Va和Vb輸入到加法器的反向輸入端相加，就是總的輸出信號(hào)。然后輸入到A/D 轉(zhuǎn)換將模擬信號(hào)轉(zhuǎn)換成數(shù)字信號(hào)，輸入到DSP數(shù)據(jù)處理器進(jìn)行數(shù)據(jù)處理器。放大及加法電 路原理圖，如圖12所示。由于返回光斑比較大，直徑約為(25 30)mm，當(dāng)距離改變時(shí)，其返回光斑的尺寸 變化比較大，如何能夠接受最大的光能量是傳感器的難題。為此選擇型號(hào)為352280—— X——MT透鏡和高功率光纖準(zhǔn)直器，如圖13所示，接收光路系統(tǒng)由接收透鏡7、自聚焦透鏡 13、不銹鋼管14、帶尾纖的ST頭部分15組成，自聚焦透鏡設(shè)置在不銹鋼管內(nèi)，射出端與接收 透鏡相對(duì)。實(shí)施例一發(fā)射透鏡8和接收透鏡7安裝在同一端面上，與測(cè)桿1上法蘭盤一體加 工柱體的外直徑，具有外螺紋是為光纖跳線保護(hù)殼的安裝而設(shè)計(jì)的。而和下法蘭盤11 一體 加工柱體的外直徑，具有外螺紋是為和測(cè)桿1的連接而設(shè)計(jì)的。由于兩個(gè)透鏡安裝在同一 個(gè)平面上，其幾何尺寸要大，因此選擇測(cè)桿1的幾何尺寸要大，本設(shè)計(jì)選擇了外直徑為38mm 的不銹鋼管。實(shí)施例二 發(fā)射透鏡8和接收透鏡7也可以安裝在不同的端面上，由于兩個(gè)透鏡不 安裝在同一個(gè)平面上，其幾何尺寸要小，因此選擇測(cè)桿的幾何尺寸要小，本設(shè)計(jì)選擇了外直 徑為25mm的不銹鋼管。實(shí)施例一與實(shí)施例二其他部分的電路機(jī)械結(jié)構(gòu)完全相同。本實(shí)用新型重點(diǎn)首先需要解決的為液位傳感器光學(xué)系統(tǒng)的選擇和設(shè)計(jì)根據(jù) LightPath光學(xué)產(chǎn)品樣本介紹，進(jìn)行了計(jì)算和分析，利用多個(gè)透鏡組成的聚光系統(tǒng)做為激光 發(fā)射光路系統(tǒng)。利用高功率激光準(zhǔn)直器等光學(xué)部件組成接受光學(xué)系統(tǒng)。對(duì)于激光發(fā)射光路 系統(tǒng)和激光接受光學(xué)系統(tǒng)經(jīng)過(guò)試驗(yàn)證明設(shè)計(jì)是成功的。如何將液位傳感器光學(xué)系統(tǒng)安裝在測(cè)桿內(nèi)，如何與貯油罐進(jìn)行連接，設(shè)計(jì)了上法 蘭盤和下法蘭盤的機(jī)械結(jié)構(gòu)。傳感器光路統(tǒng)設(shè)計(jì)主要要求，為如何將光纖傳輸?shù)絺鞲衅?中的光，發(fā)射到被測(cè)液位的反射鏡面上的光斑尺寸要求 < 直徑10_，反回的光斑尺寸要求 70%的光能，被接收透鏡所接受，才能保證測(cè)量精度。發(fā)射激光束和接受激光束均在液位測(cè) 桿內(nèi)工作，為了保證光束直線進(jìn)行特別注意要求機(jī)械加工的精度和垂直度的要求等。由于光波速度非?？煸诎l(fā)明專利中已經(jīng)描述過(guò)，時(shí)間擴(kuò)展理論和時(shí)間延遲以及控 制等關(guān)鍵技術(shù)。為了證明理論的正確，在儀器研究過(guò)程中經(jīng)過(guò)了多次和反復(fù)試驗(yàn)，(根據(jù)儲(chǔ) 油罐液位的變化其測(cè)量距離發(fā)生變化，又根據(jù)光學(xué)測(cè)量距離的原理L = l/2ct, L為距離， c為光波速度t為時(shí)間)利用測(cè)量時(shí)間的原理，來(lái)達(dá)到了測(cè)量距離的目的。對(duì)于特殊部件的選擇，利用快速度的CPLD電子部件編制程序，利用CPLD組成時(shí)間 延遲、時(shí)間擴(kuò)展等電路。而且選擇大功率激光器，其功率大于200mW。
權(quán)利要求一種激光液位傳感器的光路系統(tǒng)，其特征在于包括光纖傳感器、光纖傳輸系統(tǒng)、信號(hào)處理系統(tǒng)，光纖傳輸系統(tǒng)的輸入端與光纖傳感器的輸出端連接，光纖傳輸系統(tǒng)的輸出端與信號(hào)處理系統(tǒng)的輸入端連接，光纖傳感器將所探測(cè)到的信息通過(guò)光纖傳輸系統(tǒng)傳輸?shù)叫盘?hào)處理系統(tǒng)中進(jìn)行顯示和處理。
2.按照權(quán)利要求1所述的激光液位傳感器的光路系統(tǒng)，其特征在于還包括中空測(cè)桿， 測(cè)桿分由上測(cè)桿和下測(cè)桿組成，上測(cè)桿與下測(cè)桿通過(guò)法蘭盤連接，光纖傳感器包括反射浮 標(biāo)、磁性浮子、發(fā)射透鏡、接收透鏡，磁性浮子設(shè)置在下測(cè)桿端部外側(cè)，反射浮子設(shè)置在下測(cè) 桿端部?jī)?nèi)側(cè)，位置與磁性浮子對(duì)應(yīng)，并共同磁耦合連接，構(gòu)成發(fā)射透鏡與接收透鏡均設(shè)置在 法蘭盤內(nèi)。
3.按照權(quán)利要求2所述的激光液位傳感器的光路系統(tǒng)，其特征在于發(fā)射透鏡與接收 透鏡設(shè)置在同一端面上。
4.按照權(quán)利要求2所述的激光液位傳感器的光路系統(tǒng)，其特征在于發(fā)射透鏡與接收 透鏡設(shè)置在不同端面上。
5.按照權(quán)利要求1或2或3所述的激光液位傳感器的光路系統(tǒng)，其特征在于信號(hào)處 理系統(tǒng)包括DSP數(shù)據(jù)處理器、顯示器、光纖數(shù)據(jù)線，DSP數(shù)據(jù)處理器的輸入端與接收透鏡通 過(guò)光纖數(shù)據(jù)線連接，DSP數(shù)據(jù)處理器的輸出端與顯示器通過(guò)光纖數(shù)據(jù)線連接。
6.按照權(quán)利要求1或2或4所述的激光液位傳感器的光路系統(tǒng)，其特征在于信號(hào)處 理系統(tǒng)包括DSP數(shù)據(jù)處理器、顯示器、光纖數(shù)據(jù)線，DSP數(shù)據(jù)處理器的輸入端與接收透鏡通 過(guò)光纖數(shù)據(jù)線連接，DSP數(shù)據(jù)處理器的輸出端與顯示器通過(guò)光纖數(shù)據(jù)線連接。
7.按照權(quán)利要求5所述的激光液位傳感器的光路系統(tǒng)，其特征在于還包括顯示器支 架，顯示器支架設(shè)置在上測(cè)桿的端面上，顯示器設(shè)置在顯示器支架上。
8.按照權(quán)利要求6所述的激光液位傳感器的光路系統(tǒng)，其特征在于還包括顯示器支 架，顯示器支架設(shè)置在上測(cè)桿的端面上，顯示器設(shè)置在顯示器支架上。
9.按照權(quán)利要求7所述的激光液位傳感器的光路系統(tǒng)，其特征在于還包括光纖連接 盤，光纖數(shù)據(jù)線一部份設(shè)置在上測(cè)桿內(nèi)，一部份設(shè)置在上測(cè)桿外部，上測(cè)桿內(nèi)部和外部的光 纖數(shù)據(jù)線通過(guò)光纖連接盤連接。
10.按照權(quán)利要求8所述的激光液位傳感器的光路系統(tǒng)，其特征在于還包括光纖連接 盤，光纖數(shù)據(jù)線一部份設(shè)置在上測(cè)桿內(nèi)，一部份設(shè)置在上測(cè)桿外部，上測(cè)桿內(nèi)部和外部的光 纖數(shù)據(jù)線通過(guò)光纖連接盤連接。
專利摘要本實(shí)用新型涉及一種傳感器光學(xué)部件，尤其是一種激光液位傳感光路系統(tǒng)。一種激光液位傳感器的光路系統(tǒng)，其特征在于包括光纖傳感器、光纖傳輸系統(tǒng)、信號(hào)處理系統(tǒng)，光纖傳輸系統(tǒng)的輸入端與光纖傳感器的輸出端連接，光纖傳輸系統(tǒng)的輸出端與信號(hào)處理系統(tǒng)的輸入端連接，光纖傳感器將所探測(cè)到的信息通過(guò)光纖傳輸系統(tǒng)傳輸?shù)叫盘?hào)處理系統(tǒng)中進(jìn)行顯示和處理。上述結(jié)構(gòu)采用光纖傳感器對(duì)被測(cè)液體進(jìn)行測(cè)量，由于光纖傳感器是通過(guò)光學(xué)原理對(duì)液體進(jìn)行測(cè)量的，不會(huì)摩擦產(chǎn)生火花或者溫度變化，也不會(huì)對(duì)液位有影響，不僅安全性比較好，而且測(cè)量精度很高，可測(cè)易燃、易爆的液體或氣體，適用性很廣，而且受環(huán)境的影響很小，抗干擾能力很強(qiáng)。
文檔編號(hào)G01F23/30GK201731911SQ20092019105
公開日2011年2月2日 申請(qǐng)日期2009年8月5日 優(yōu)先權(quán)日2009年8月5日
發(fā)明者陳云欽 申請(qǐng)人:陳云欽