專利名稱：晶圓運輸箱及溫濕度指示組件的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及檢測技術(shù)，特別涉及一種晶圓運輸箱及溫濕度指示組件。
技術(shù)背景在半導體制作過程中，需要將晶圓從一個地方運送到另一個地方。在晶圓的運輸 過程中，盛放晶圓的運輸箱箱內(nèi)的溫度和濕度對晶圓的品質(zhì)至關(guān)重要。通常采用前開門運輸箱(Front Open Shipping Box，F(xiàn)0SB)對晶圓進行運輸，F(xiàn)OSB 能夠在晶圓的運輸過程中為晶圓提供其所需的正常的溫度和濕度。但是，當運輸過程中的 突發(fā)事件致使FOSB內(nèi)的溫度或濕度超出正常范圍，突變的溫度或濕度可能導致晶圓的一 些缺陷，比如襯墊結(jié)晶缺陷。現(xiàn)有的FOSB無法記錄箱內(nèi)的溫度和濕度數(shù)據(jù)，也就不能判斷運輸?shù)哪膫€環(huán)節(jié)出 現(xiàn)問題導致的FOSB內(nèi)的溫度或濕度突變。

實用新型內(nèi)容有鑒于此，本實用新型提供了 一種晶圓運輸箱，能夠記錄箱內(nèi)的溫度和濕度數(shù)據(jù)。本實用新型還提供了一種溫濕度指示組件，能夠記錄檢測獲得的溫度和濕度數(shù) 據(jù)。為達到上述目的，本實用新型的技術(shù)方案具體是這樣實現(xiàn)的一種晶圓運輸箱，該運輸箱包括側(cè)壁具有一箱門、且內(nèi)部具有可盛放晶圓空腔的 箱殼；該運輸箱還包括固定于箱殼內(nèi)壁、且內(nèi)部具有空腔的托座；以及，收容于托座內(nèi) 部空腔的溫濕度指示器；其中，所述托座內(nèi)部空腔背向所固定的箱殼內(nèi)壁的一側(cè)具有與箱殼內(nèi)空腔連通、 且可防止溫濕度指示器脫落至箱殼內(nèi)空腔的第一開口 ；所述溫濕度指示器背向箱殼內(nèi)壁的 一端面具有可通過所述第一開口感測箱殼內(nèi)空腔溫濕度的溫濕度傳感器。上述運輸箱中，所述箱殼內(nèi)壁在固定所述托座的位置具有若干定位孔；所述托座內(nèi)部空腔靠近箱殼內(nèi)壁的一側(cè)具有可供溫濕度指示器置入的第二開口， 所述托座靠近箱殼內(nèi)壁的一側(cè)還具有可插入至所述定位孔、并使所述第二開口與箱殼內(nèi)壁 接觸后封閉的固定端。上述運輸箱中，所述第一開口至少一個方向的尺寸小于所述溫濕度指示器在相同 方向上的尺寸，以防止溫濕度指示器脫落至箱殼內(nèi)空腔。上述運輸箱中，所述插入定位孔的固定端為通過螺母固定的螺栓。較佳地，該運輸箱還包括套設(shè)于所述螺栓、且位于托座與箱殼內(nèi)壁之間的墊片；套設(shè)于所述螺栓、且位于箱殼外壁與固定于螺栓的螺母之間的墊片。一種溫濕度指示組件，該組件包括[0019]可固定于運輸箱箱殼空腔內(nèi)壁的托座，所述托座內(nèi)部也具有空腔；收容于托座內(nèi)部空腔的溫濕度指示器；其中，所述托座內(nèi)部空腔背向所固定的運輸箱箱殼內(nèi)壁的一側(cè)，具有可與運輸箱 箱殼內(nèi)空腔連通、且可防止溫濕度指示器脫落至運輸箱箱殼內(nèi)空腔的第一開口 ；所述溫濕 度指示器背向運輸箱箱殼內(nèi)壁的一端面，具有可通過所述第一開口感測運輸箱箱殼內(nèi)空腔 溫濕度的溫濕度傳感器。上述組件中，所述托座內(nèi)部空腔靠近運輸箱箱殼內(nèi)壁的一側(cè)具有可供溫濕度指示 器置入的第二開口，所述托座靠近運輸箱箱殼內(nèi)壁的一側(cè)還具有可插入至運輸箱箱殼內(nèi)壁 的定位孔、并使所述第二開口與運輸箱箱殼內(nèi)壁接觸后封閉的固定端。上述組件中，所述第一開口至少一個方向的尺寸小于所述溫濕度指示器在相同方 向上的尺寸，以防止溫濕度指示器脫落至運輸箱箱殼內(nèi)空腔。上述組件中，所述插入運輸箱箱殼內(nèi)壁的定位孔的固定端為通過螺母固定的螺 栓。較佳地，該組件還包括套設(shè)于所述螺栓、且位于托座與運輸箱箱殼內(nèi)壁之間的墊片；套設(shè)于所述螺栓、且位于運輸箱箱殼外壁與固定于螺栓的螺母之間的墊片。由上述的技術(shù)方案可見，本實用新型提供了一種晶圓運輸箱，該運輸箱包括側(cè)壁 具有一箱門、且內(nèi)部具有可盛放晶圓空腔的箱殼；該運輸箱還包括固定于箱殼內(nèi)壁、且內(nèi) 部具有空腔的托座；以及，收容于托座內(nèi)部空腔的溫濕度指示器；其中，托座內(nèi)部空腔背向 所固定的箱殼內(nèi)壁的一側(cè)具有與箱殼內(nèi)空腔連通、且可防止溫濕度指示器脫落至箱殼內(nèi)空 腔的第一開口 ；溫濕度指示器背向箱殼內(nèi)壁的一端面具有可通過第一開口感測箱殼內(nèi)空腔 溫濕度的溫濕度傳感器。采用本實用新型的運輸箱，裝配于運輸箱托座空腔中的溫濕度指 示器能夠在晶圓運輸過程中檢測箱中的溫度和濕度變化，并能夠記錄檢測獲得的箱中溫度 和濕度數(shù)據(jù)；如果晶圓在運輸過程中由于運輸中的外界因素造成了晶圓質(zhì)量上的缺陷，可 根據(jù)檢測獲得的箱中的溫度和濕度的數(shù)據(jù)確定影響晶圓質(zhì)量的運輸?shù)木唧w環(huán)節(jié)，避免后續(xù) 晶圓運輸過程中發(fā)生相同的問題，減小了運輸過程對晶圓質(zhì)量的影響。本實用新型還提供了一種溫濕度指示組件，該組件包括可固定于運輸箱箱殼空腔 內(nèi)壁的托座，所述托座內(nèi)部也具有空腔；收容于托座內(nèi)部空腔的溫濕度指示器；其中，所述 托座內(nèi)部空腔背向所固定的運輸箱箱殼內(nèi)壁的一側(cè)，具有可與運輸箱箱殼內(nèi)空腔連通、且 可防止溫濕度指示器脫落至運輸箱箱殼內(nèi)空腔的第一開口 ；所述溫濕度指示器背向運輸箱 箱殼內(nèi)壁的一端面，具有可通過所述第一開口感測運輸箱箱殼內(nèi)空腔溫濕度的溫濕度傳感 器。采用本實用新型的組件，能夠檢測運輸箱箱內(nèi)的溫濕度變化，并記錄相關(guān)溫濕度數(shù)據(jù)。

圖1為本實用新型晶圓運輸箱的結(jié)構(gòu)示意圖。圖2a為本實用新型晶圓運輸箱中托座的主視圖。圖2b為本實用新型晶圓運輸箱中托座的俯視圖。圖2c為本實用新型晶圓運輸箱中托座俯視圖中D向的剖視圖。
具體實施方式
為使本實用新型的目的、技術(shù)方案、及優(yōu)點更加清楚明白，以下參照附圖并舉實施 例，對本實用新型進一步詳細說明。本實用新型提出了一種晶圓運輸箱，該運輸箱包括側(cè)壁具有一箱門、且內(nèi)部具 有可盛放晶圓空腔的箱殼；該運輸箱還包括固定于箱殼內(nèi)壁、且內(nèi)部具有空腔的托座；以 及，收容于托座內(nèi)部空腔的溫濕度指示器；其中，托座內(nèi)部空腔背向所固定的箱殼內(nèi)壁的一 側(cè)具有與箱殼內(nèi)空腔連通、且可防止溫濕度指示器脫落至箱殼內(nèi)空腔的第一開口 ；溫濕度 指示器背向箱殼內(nèi)壁的一端面具有可通過第一開口感測箱殼內(nèi)空腔溫濕度的溫濕度傳感
器[0036]本實用新型還提供了一種溫濕度指示組件，該組件包括可固定于運輸箱箱殼空腔 內(nèi)壁的托座，所述托座內(nèi)部也具有空腔；收容于托座內(nèi)部空腔的溫濕度指示器；其中，所述 托座內(nèi)部空腔背向所固定的運輸箱箱殼內(nèi)壁的一側(cè)，具有可與運輸箱箱殼內(nèi)空腔連通、且 可防止溫濕度指示器脫落至運輸箱箱殼內(nèi)空腔的第一開口 ；所述溫濕度指示器背向運輸箱 箱殼內(nèi)壁的一端面，具有可通過所述第一開口感測運輸箱箱殼內(nèi)空腔溫濕度的溫濕度傳感
器圖1為本實用新型晶圓運輸箱的結(jié)構(gòu)示意圖。圖2a為本實用新型晶圓運輸箱中 托座的主視圖。圖2b為本實用新型晶圓運輸箱中托座的俯視圖。圖2c為本實用新型晶圓 運輸箱中托座俯視圖中D向的剖視圖。現(xiàn)結(jié)合圖1、圖2a、圖2b和圖2c，對本實用新型晶圓 運輸箱的結(jié)構(gòu)進行說明，具體如下本實用新型晶圓運輸箱包括箱殼10、托座11、溫濕度指示器12、螺母13和墊片 14。箱殼10內(nèi)部具有可盛放晶圓的空腔，其側(cè)壁具有一箱門。本實用新型的運輸箱采 用F0SB，F(xiàn)0SB能夠在晶圓運輸過程中為晶圓提供其所需的溫度和濕度，在FOSB的箱殼101 內(nèi)壁具有若干個用來固定的定位孔101，且定位孔101的位置由安裝托座11及其內(nèi)部收容 的溫濕度指示器12的具體位置確定。固定于箱殼內(nèi)壁的托座11內(nèi)部具有一可容納溫濕度指示器12的空腔，托座11背 向所固定的箱殼10內(nèi)壁的一側(cè)具有與箱殼內(nèi)空腔連通的第一開口 112，托座11朝向所固定 的箱殼10內(nèi)壁的一側(cè)具有與托座內(nèi)空腔連通的第二開口 113，托座11朝向所固定的箱殼 10內(nèi)壁的一側(cè)還具有可插入箱殼10的定位孔101實現(xiàn)固定的固定端111。托座11內(nèi)部空腔的尺寸大于所采用的溫濕度指示器12的尺寸，以使溫濕度指示 器12能收容于托座11內(nèi)部的空腔。托座11的第一開口 112至少有一個方向的尺寸小于溫濕度指示器12在該方向上 的尺寸，以防止收容于托座11內(nèi)部空腔的溫濕度指示器12從托座11中脫落至箱殼10內(nèi) 部空腔。具體地，若托座11的第一開口 112的形狀與溫濕度指示器12的端面形狀相同，則 托座11的第一開口 112的面積小于溫濕度指示器12的端面面積，可防止收容于托座11內(nèi) 部空腔的溫濕度指示器12從托座11中脫落至箱殼10內(nèi)部空腔；若托座11的第一開口 112 的形狀與溫濕度指示器12的端面形狀不相同，則托座11的第一開口 112只要有一個方向 的尺寸小于溫濕度指示器12在相同方向上的尺寸，就可防止收容于托座11內(nèi)部空腔的溫 濕度指示器12從托座11中脫落至箱殼10內(nèi)部空腔。[0043]托座11的第二開口 113的至少有一個方向的尺寸大于等于溫濕度指示器12在該 方向上的尺寸，以使溫濕度指示器12穿過托座11的第二開口 113收容于托座11的內(nèi)部空 腔。具體地，若托座11的第二開口 113的形狀與溫濕度指示器12的端面形狀相同，則托座 11的第二開口 113的面積大于等于溫濕度指示器12的端面面積，可使溫濕度指示器12穿 過托座11的第二開口 113收容于托座11的內(nèi)部空腔；若托座11的第二開口 113的形狀 與溫濕度指示器12的端面形狀不相同，則托座11的第二開口 113只要有一個方向的尺寸 大于溫濕度指示器12在相同方向上的尺寸，就使溫濕度指示器12穿過托座11的第二開口 113收容于托座11的內(nèi)部空腔。托座11的固定端111四周具有螺紋，且其直徑與箱殼10上定位孔101的直徑匹 配，以使具有螺紋的托座11的固定端111插入箱殼10上的定位孔101伸出至箱殼10外壁。 托座11上具有多于2個固定端111，相應(yīng)地箱殼10上具有與固定端111數(shù)量相同的定位 孔；若托座11上具有2個固定端111，則2個固定端所在直線與托座11的中心線重合。托座11的固定端111可以為螺栓，螺栓插入箱殼10的定位孔101且伸出箱殼10 外壁的部分通過螺母13進行固定，以使穿過托座11第二開口 113且收容于托座11的內(nèi)部 空腔的溫濕度指示器12通過托座11固定于箱殼10的內(nèi)壁。套設(shè)于螺栓且在托座與箱殼 10內(nèi)壁之間、箱殼10外壁與螺母之間分別具有一墊片14。溫濕度指示器12的一端面具有可感測溫濕度的溫濕度傳感器。溫濕度指示器12 穿過托座11的第二開口 113收容于托座11內(nèi)部空腔時，溫濕度指示器12具有溫濕度傳感 器的端面朝向托座11的第一開口 112，溫濕度傳感器可通過與箱殼10內(nèi)部空腔連通的托 座10的第一開口 112感測箱殼10內(nèi)空腔的溫度和濕度。溫濕度指示器12對溫濕度傳感 器感測的溫度和濕度數(shù)據(jù)進行記錄。本實用新型溫濕度指示器12采用現(xiàn)有的溫濕度指示 器，不僅能夠記錄檢測獲得的溫度和濕度數(shù)據(jù)，而且能夠記錄相應(yīng)的檢測時間。本實用新型的運輸箱中，收容于托座11內(nèi)空腔的溫濕度指示器12可通過托座11 固定于運輸箱的箱殼10內(nèi)側(cè)上壁或側(cè)壁，該溫濕度指示器12能夠?qū)\輸箱中的溫度和濕 度進行檢測并記錄檢測獲得的數(shù)據(jù)。在采用本實用新型的運輸箱完成晶圓的運輸后，可從 托座11中取出溫濕度指示器12，對溫濕度指示器12中記錄的箱內(nèi)溫度和濕度的數(shù)據(jù)進行 讀取，進而分析在晶圓運輸過程中運輸箱內(nèi)的溫度或濕度是否發(fā)生突變，可根據(jù)分析獲得 的發(fā)生突變的溫度和濕度數(shù)據(jù)及記錄的相應(yīng)的檢測時間確定影響晶圓質(zhì)量的運輸?shù)木唧w 環(huán)節(jié)，避免后續(xù)晶圓運輸過程中發(fā)生相同的問題，減小了運輸過程對晶圓質(zhì)量的影響綜上所述，以上為本實用新型的較佳實施例，并非用來限定本實用新型的保護范 圍。凡在本實用新型的精神和原則之內(nèi)，所作的任何修改、等同替換、改進等，均應(yīng)包含在本 實用新型的保護范圍之內(nèi)。
權(quán)利要求一種晶圓運輸箱，該運輸箱包括側(cè)壁具有一箱門、且內(nèi)部具有可盛放晶圓空腔的箱殼；其特征在于，該運輸箱還包括固定于箱殼內(nèi)壁、且內(nèi)部具有空腔的托座；以及，收容于托座內(nèi)部空腔的溫濕度指示器；其中，所述托座內(nèi)部空腔背向所固定的箱殼內(nèi)壁的一側(cè)具有與箱殼內(nèi)空腔連通、且可防止溫濕度指示器脫落至箱殼內(nèi)空腔的第一開口；所述溫濕度指示器背向箱殼內(nèi)壁的一端面具有可通過所述第一開口感測箱殼內(nèi)空腔溫濕度的溫濕度傳感器。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的運輸箱，其特征在于，所述箱殼內(nèi)壁在固定所述托座的位置具有若干定位孔；所述托座內(nèi)部空腔靠近箱殼內(nèi)壁的一側(cè)具有可供溫濕度指示器置入的第二開口，所述 托座靠近箱殼內(nèi)壁的一側(cè)還具有可插入至所述定位孔、并使所述第二開口與箱殼內(nèi)壁接觸 后封閉的固定端。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的運輸箱，其特征在于，所述第一開口至少一個方向的尺寸小 于所述溫濕度指示器在相同方向上的尺寸，以防止溫濕度指示器脫落至箱殼內(nèi)空腔。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的運輸箱，其特征在于，所述插入定位孔的固定端為通過螺母 固定的螺栓。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的運輸箱，其特征在于，該運輸箱還包括套設(shè)于所述螺栓、且位于托座與箱殼內(nèi)壁之間的墊片；套設(shè)于所述螺栓、且位于箱殼外壁與固定于螺栓的螺母之間的墊片。
6.一種溫濕度指示組件，該組件包括可固定于運輸箱箱殼空腔內(nèi)壁的托座，所述托座內(nèi)部也具有空腔；收容于托座內(nèi)部空腔的溫濕度指示器；其中，所述托座內(nèi)部空腔背向所固定的運輸箱箱殼內(nèi)壁的一側(cè)，具有可與運輸箱箱殼 內(nèi)空腔連通、且可防止溫濕度指示器脫落至運輸箱箱殼內(nèi)空腔的第一開口 ；所述溫濕度指 示器背向運輸箱箱殼內(nèi)壁的一端面，具有可通過所述第一開口感測運輸箱箱殼內(nèi)空腔溫濕 度的溫濕度傳感器。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的組件，其特征在于，所述托座內(nèi)部空腔靠近運輸箱箱殼內(nèi)壁的一側(cè)具有可供溫濕度指示器置入的第二開 口，所述托座靠近運輸箱箱殼內(nèi)壁的一側(cè)還具有可插入至運輸箱箱殼內(nèi)壁的定位孔、并使 所述第二開口與運輸箱箱殼內(nèi)壁接觸后封閉的固定端。
8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的組件，其特征在于，所述第一開口至少一個方向的尺寸小于 所述溫濕度指示器在相同方向上的尺寸，以防止溫濕度指示器脫落至運輸箱箱殼內(nèi)空腔。
9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的組件，其特征在于，所述插入運輸箱箱殼內(nèi)壁的定位孔的固 定端為通過螺母固定的螺栓。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的組件，其特征在于，該組件還包括套設(shè)于所述螺栓、且位于托座與運輸箱箱殼內(nèi)壁之間的墊片；套設(shè)于所述螺栓、且位于運輸箱箱殼外壁與固定于螺栓的螺母之間的墊片。
專利摘要本實用新型提出了一種晶圓運輸箱，該運輸箱包括側(cè)壁具有一箱門、且內(nèi)部具有可盛放晶圓空腔的箱殼；該運輸箱還包括固定于箱殼內(nèi)壁、且內(nèi)部具有空腔的托座；以及，收容于托座內(nèi)部空腔的溫濕度指示器；其中，托座內(nèi)部空腔背向所固定的箱殼內(nèi)壁的一側(cè)具有與箱殼內(nèi)空腔連通、且可防止溫濕度指示器脫落至箱殼內(nèi)空腔的第一開口；溫濕度指示器背向箱殼內(nèi)壁的一端面具有可通過第一開口感測箱殼內(nèi)空腔溫濕度的溫濕度傳感器。本實用新型還提出了一種溫濕度指示組件。采用本實用新型的運輸箱，裝配于運輸箱托座空腔中的溫濕度指示器能夠在晶圓運輸過程中檢測并記錄箱中的溫度和濕度數(shù)據(jù)。采用本實用新型的組件，能夠記錄檢測運輸箱中溫度和濕度數(shù)據(jù)。
文檔編號G01K1/02GK201570494SQ20092021017
公開日2010年9月1日 申請日期2009年9月25日 優(yōu)先權(quán)日2009年9月25日
發(fā)明者吳瑞國, 周欣潔, 蘇國英, 郝斐 申請人:中芯國際集成電路制造(上海)有限公司