專利名稱：面形傳感器的制作方法
技術領域：
本實用新型屬于一種傳感器技術，具體涉及一種測量長度或位移的傳感器。
背景技術：
傳統(tǒng)的幾何量測量方法均采用各種類型傳感器對被測件的各點各尺寸進行逐點 測量，測量過程中被測件或傳感器需變換不同的位置，得到其測量數據，在在線測量中，這 種測量方式限制了這類傳感器在許多工業(yè)流水線上的應用?，F(xiàn)有的傳感器往往單個使用， 將多個傳感器集成為一個傳感器的產品目前市場上還沒出現(xiàn)，

發(fā)明內容本實用新型就是要解決傳統(tǒng)測量過程中被測件或傳感器需變換不同的位置，限制 傳感器在許多工業(yè)流水線上應用的問題。 本實用新型可通過以下技術方案實現(xiàn)一種面形傳感器，包括子傳感器1、傳感器 殼體2、填充物3、引線4，傳感器殼體2中設有2個以上的子傳感器1，子傳感器1通過填 充物3固定在傳感器殼體2中，傳感器殼體2外設有將子傳感器信號傳送到信號處理電路 中的引線4。子傳感器1選用光纖傳感器或激光三角位移傳感器或電感傳感器或光柵傳感 器或容柵傳感器中的一種或多種，子傳感器1的類型依據被測點的情況確定，子傳感器1數 量、排列形式和角度依據被測量的數量和位置確定，傳感器殼體2形狀依據子傳感器1的位
置和數量確定，依據子傳感器類型，采用接觸或非接觸的測量方法。 本實用新型與現(xiàn)有技術相比具有以下有益效果本實用新型將多個傳感器進行集 成，測量時可以同時得到多個點的數據，不需使用機械式探頭掃描即可實現(xiàn)大范圍的高速 測量，且能夠達到與單個傳感器相同的測量精度和分辨率，能有效提高傳感器系統(tǒng)的測試 速度、測量精度和可靠性，從而，可以提高被測件整體測量精度，提高測量效率。此外，傳感 器陣列的表面形狀、排列形式可以靈活多樣，可以非常方便地對復雜表面形狀的零件進行 檢測，實現(xiàn)工業(yè)制造中流水線上產品的測量控制。

圖1為本實用新型的結構示意圖； 圖2本實用新型的另一種結構示意圖。
具體實施方式
以下結合附圖通過實施例進一步詳述。 實施例1 —種面形傳感器，包括子傳感器1、傳感器殼體2、填充物3、引線4，傳感器殼體2 中設有5個子傳感器l，子傳感器1采用光纖傳感器，子傳感器1通過填充物3固定在傳感 器殼體2中，傳感器殼體2外設有將子傳感器信號傳送到信號處理電路中的引線4。從圖1中可見本面形傳感器測量面為平面。光纖傳感器，測量范圍為lOym以上，分辨率為lym， 其工作過程是由發(fā)射光纖照射工作表面，接收光纖經光電轉換分別得信號仏和仏，對^和 U2經電路處理，即可求出光纖與工件表面的距離。 實施例2 —種面形傳感器，包括子傳感器1、傳感器殼體2、填充物3、引線4，傳感器殼體2 中設有12個子傳感器1 ，子傳感器1采用激光三角位移傳感器，子傳感器1通過填充物3固 定在傳感器殼體2中，傳感器殼體2外設有將子傳感器信號傳送到信號處理電路中的引線 4。從圖2中可見本面形傳感器測量面為曲面。 實施例3 —種面形傳感器，包括子傳感器1、傳感器殼體2、填充物3、引線4，傳感器殼體2 中設有12個子傳感器l，其中4個子傳感器1采用電感傳感器，4個子傳感器1采用光柵傳 感器，4個子傳感器1采用容柵傳感器，子傳感器1通過填充物3固定在傳感器殼體2中，傳 感器殼體2外設有將子傳感器信號傳送到信號處理電路中的引線4。從圖2中可見本面形 傳感器測量面為曲面。
權利要求一種面形傳感器，包括子傳感器(1)、傳感器殼體(2)、填充物(3)、引線(4)，其特征在于傳感器殼體(2)中設有2個以上的子傳感器(1)，子傳感器(1)通過填充物(3)固定在傳感器殼體(2)中，傳感器殼體(2)外設有將子傳感器信號傳送到信號處理電路中的引線(4)，子傳感器(1)選用光纖傳感器或激光三角位移傳感器或電感傳感器或光柵傳感器或容柵傳感器中的一種或多種。
專利摘要本實用新型涉及一種面形傳感器，包括子傳感器(1)、傳感器殼體(2)、填充物(3)、引線(4)，傳感器殼體(2)中設有2個以上的子傳感器(1)，子傳感器(1)通過填充物(3)固定在傳感器殼體(2)中，傳感器殼體(2)外設有將子傳感器信號傳送到信號處理電路中的引線(4)。本實用新型適用于多點測量，可將多點測量值一次測得，提高測量效率，傳感器陣列的表面形狀、排列形式可以靈活多樣，可以非常方便地對復雜表面形狀的零件進行檢測，實現(xiàn)工業(yè)制造中流水線上產品的測量控制。
文檔編號G01B11/24GK201522267SQ20092025405
公開日2010年7月7日 申請日期2009年10月13日 優(yōu)先權日2009年10月13日
發(fā)明者劉振華, 晏浩, 李成貴, 盛佃清 申請人:山西省計量監(jiān)督檢定測試所