專利名稱:一種端面斜度測(cè)試儀的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域:
本實(shí)用新型涉及一種測(cè)量圓柱體外圓與兩端面斜度的儀器,具體應(yīng)用在測(cè)量太陽
能單晶設(shè)備中,測(cè)量單晶的外圓與單晶兩端面傾斜度的儀器。
背景技術(shù):
目前,太陽能但單晶設(shè)備的生產(chǎn)精度要求越來越高,對(duì)單晶表面測(cè)量太陽能單晶 兩端面傾斜度的裝置,一般采用手動(dòng)控制,在測(cè)量過程中誤差大。
發(fā)明內(nèi)容本實(shí)用新型為了解決現(xiàn)有技術(shù)中測(cè)量單晶外圓與單晶兩端面不垂直度測(cè)量裝置 的測(cè)量誤差大的問題,提出了一種端面斜度測(cè)試儀,采用的技術(shù)方案是結(jié)構(gòu)中包括有實(shí) 驗(yàn)臺(tái)、定位在實(shí)驗(yàn)臺(tái)面上的檢測(cè)物定位裝置和斜度測(cè)定裝置,檢測(cè)物定位裝置是水平設(shè)置 在實(shí)驗(yàn)臺(tái)面上的液壓驅(qū)動(dòng)式自動(dòng)定心三爪夾緊機(jī)構(gòu),斜度測(cè)定裝置是由垂直實(shí)驗(yàn)臺(tái)面方向 的液壓驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)定位的水平測(cè)量基準(zhǔn)板和定位其上的數(shù)顯千分表組成,結(jié)構(gòu)中包括液壓驅(qū) 動(dòng)配套的液壓站。 本實(shí)用新型的有益效果是本實(shí)用采用液壓控制其測(cè)量裝置的升降及定位,并且 在測(cè)量過程中采用自動(dòng)定心三爪進(jìn)行定位,定位效果好。測(cè)量過程采用數(shù)顯千分尺,測(cè)量精 度高。
圖1為本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)示意圖。 圖2為本實(shí)用新型自動(dòng)定心三爪定位示意圖。 其中,1為液壓油缸,2為油缸活塞桿,3為圓形載物臺(tái),4為水平測(cè)量基準(zhǔn)板,5為數(shù) 顯千分表,6為棘爪,8為三通液壓油缸,9為下基板,10為上基板,11為液壓導(dǎo)向油管,12為 導(dǎo)向滑盤,13為連桿,14為定位補(bǔ)償滾珠,15為被測(cè)單晶。
具體實(shí)施方式參看附圖1本實(shí)用新型采用的技術(shù)方案是一種端面斜度測(cè)試儀,結(jié)構(gòu)中包括有 實(shí)驗(yàn)臺(tái)、定位在實(shí)驗(yàn)臺(tái)面上的檢測(cè)物定位裝置和斜度測(cè)定裝置,檢測(cè)物定位裝置是水平設(shè) 置在實(shí)驗(yàn)臺(tái)面上的液壓驅(qū)動(dòng)式自動(dòng)定心三爪夾緊機(jī)構(gòu),斜度測(cè)定裝置是由垂直實(shí)驗(yàn)臺(tái)面方 向的液壓驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)定位的水平測(cè)量基準(zhǔn)板4和定位其上的數(shù)顯千分表5組成,結(jié)構(gòu)中包括 液壓驅(qū)動(dòng)配套的液壓站。 本實(shí)用新型的技術(shù)方案中,液壓驅(qū)動(dòng)式自動(dòng)定心三爪夾緊機(jī)構(gòu)的三個(gè)棘爪6分別 定位在圓形載物臺(tái)3上按照120度徑向均勻分布的導(dǎo)向滑道7中,每個(gè)棘爪6與三通液壓 油缸8中的對(duì)應(yīng)活塞桿固定、形成聯(lián)動(dòng)。 本實(shí)用新型的技術(shù)方案中,三通液壓油缸8借助液壓導(dǎo)向油管ll連接液壓站。[0011] 本實(shí)用新型的技術(shù)方案中,借助液壓導(dǎo)向油管11上設(shè)置導(dǎo)向滑盤12,用三個(gè)連桿 13分別鉸鏈在三個(gè)棘爪和滑盤12對(duì)應(yīng)部位上,形成自動(dòng)定心的輔助穩(wěn)定機(jī)構(gòu)。 本實(shí)用新型的技術(shù)方案中,所述的圓形載物臺(tái)3的上中心部位的圓形凹槽中設(shè)置 由上基板10、下基板9組成的被測(cè)物下端面自動(dòng)補(bǔ)償裝置,上、下基板之間以及上基板10和 被測(cè)晶體15下端面之間設(shè)置有定位補(bǔ)償滾珠14。 本實(shí)用新型的技術(shù)方案中,斜度測(cè)定裝置借助于液壓驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的液壓油缸2定位 在圓形載物臺(tái)3上,借助油缸活塞桿2實(shí)現(xiàn)斜度測(cè)定裝置中水平測(cè)量基準(zhǔn)板4的設(shè)定。
以下結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型的具體使用過程作進(jìn)一步的說明。 參看附圖l,本實(shí)用在使用時(shí),將被測(cè)晶體15放在圓形載物臺(tái)3的上基板10上, 自動(dòng)定心的輔助穩(wěn)定機(jī)構(gòu)的三個(gè)棘爪6在三通液壓油缸8的控制下對(duì)被測(cè)晶體15進(jìn)行同 步夾緊,使被測(cè)晶體15的圓柱面垂直于地面,三通液壓油缸8在控制的過程中,帶動(dòng)鉸接的 連桿13同時(shí)運(yùn)動(dòng),連桿13帶動(dòng)導(dǎo)向滑盤12在液壓導(dǎo)向油管11上滑動(dòng)。夾緊后,在定位補(bǔ) 償滾珠14的作用下,上基板10、下基板9自調(diào)節(jié)平衡,并且上基板10上的定位補(bǔ)償滾珠14 對(duì)被測(cè)晶體15的位置進(jìn)行調(diào)節(jié)。被測(cè)晶體115夾緊后,液壓油缸1控制油缸活塞桿2上下 移動(dòng),使水平測(cè)量基準(zhǔn)板4與被測(cè)晶體15的最高點(diǎn)接觸,此時(shí)數(shù)顯千分表5的探針接觸被 測(cè)晶體15的中心,讀取數(shù)據(jù)。 本實(shí)用新型的測(cè)量誤差保證在±0. lmm,測(cè)量范圍在6_10英寸單晶。
權(quán)利要求一種端面斜度測(cè)試儀,結(jié)構(gòu)中包括有實(shí)驗(yàn)臺(tái)、定位在實(shí)驗(yàn)臺(tái)面上的檢測(cè)物定位裝置和斜度測(cè)定裝置,其特征在于檢測(cè)物定位裝置是水平設(shè)置在實(shí)驗(yàn)臺(tái)面上的液壓驅(qū)動(dòng)式自動(dòng)定心三爪夾緊機(jī)構(gòu),斜度測(cè)定裝置是由垂直實(shí)驗(yàn)臺(tái)面方向的液壓驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)定位的水平測(cè)量基準(zhǔn)板(4)和定位其上的數(shù)顯千分表(5)組成,結(jié)構(gòu)中包括液壓驅(qū)動(dòng)配套的液壓站。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種端面斜度測(cè)試儀,其特征在于液壓驅(qū)動(dòng)式自動(dòng)定心三爪夾緊機(jī)構(gòu)的三個(gè)棘爪(6)分別定位在圓形載物臺(tái)(3)上按照120度徑向均勻分布的導(dǎo)向 滑道(7)中,每個(gè)棘爪(6)與三通液壓油缸(8)中的對(duì)應(yīng)活塞桿固定、形成聯(lián)動(dòng)。
3. 根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種端面斜度測(cè)試儀,其特征在于三通液壓油缸(8)借助 液壓導(dǎo)向油管(11)連接液壓站。
4. 根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種端面斜度測(cè)試儀,其特征在于借助液壓導(dǎo)向油管(11)上設(shè)置導(dǎo)向滑盤(12),用三個(gè)連桿(13)分別鉸鏈在三個(gè)棘爪和滑盤(12)對(duì)應(yīng)部位上,形成 自動(dòng)定心的輔助穩(wěn)定機(jī)構(gòu)。
5. 根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種端面斜度測(cè)試儀,其特征在于所述的圓形載物臺(tái)(3) 的上中心部位的圓形凹槽中設(shè)置由上基板(10)、下基板(9)組成的被測(cè)物下端面自動(dòng)補(bǔ)償 裝置,上、下基板之間以及上基板(10)和被測(cè)晶體(15)下端面之間設(shè)置有定位補(bǔ)償滾珠 (14)。
6. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種端面斜度測(cè)試儀,其特征在于斜度測(cè)定裝置借助于液 壓驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的液壓油缸(2)定位在圓形載物臺(tái)(3)上,借助油缸活塞桿(2)實(shí)現(xiàn)斜度測(cè)定 裝置中水平測(cè)量基準(zhǔn)板(4)的設(shè)定。
專利摘要一種端面斜度測(cè)試儀,解決了現(xiàn)有技術(shù)中測(cè)量單晶外圓與單晶兩端面不垂直度測(cè)量裝置的測(cè)量誤差大的問題,采用的技術(shù)方案是結(jié)構(gòu)中包括有實(shí)驗(yàn)臺(tái)、定位在實(shí)驗(yàn)臺(tái)面上的檢測(cè)物定位裝置和斜度測(cè)定裝置,檢測(cè)物定位裝置是水平設(shè)置在實(shí)驗(yàn)臺(tái)面上的液壓驅(qū)動(dòng)式自動(dòng)定心三爪夾緊機(jī)構(gòu),斜度測(cè)定裝置是由垂直實(shí)驗(yàn)臺(tái)面方向的液壓驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)定位的水平測(cè)量基準(zhǔn)板和定位其上的數(shù)顯千分表組成,結(jié)構(gòu)中包括液壓驅(qū)動(dòng)配套的液壓站。本實(shí)用新型測(cè)量過程中采用液壓驅(qū)動(dòng)式自動(dòng)定心三爪夾緊機(jī)構(gòu)進(jìn)行定位,定位效果好,測(cè)量過程采用數(shù)顯千分尺,測(cè)量精度高。
文檔編號(hào)G01B5/24GK201548182SQ200920254519
公開日2010年8月11日 申請(qǐng)日期2009年11月19日 優(yōu)先權(quán)日2009年11月19日
發(fā)明者劉英江, 張勇, 曹中謙, 柳志強(qiáng), 蔡中鎖 申請(qǐng)人:晶龍實(shí)業(yè)集團(tuán)有限公司