專利名稱：一種壓力傳感型真空度測(cè)量裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種壓力傳感型真空度測(cè)量裝置，屬于精密測(cè)量技術(shù)領(lǐng)域。
背景技術(shù)：
在工業(yè)測(cè)量中，經(jīng)常遇到進(jìn)行真空度測(cè)量的場(chǎng)合，但是目前真空度測(cè)量裝置體積 較大，且價(jià)值昂貴，使用步驟繁瑣，限制了普通工業(yè)場(chǎng)合的應(yīng)用。

實(shí)用新型內(nèi)容針對(duì)上述不足，本實(shí)用新型提供了一種壓力傳感型真空度測(cè)量裝置，這種裝置內(nèi) 部有固定氣壓，隨空間真空度變化帶動(dòng)柔性橡膠變形將形變力傳給與之相連的壓力傳感 器，讀出壓力變化，通過計(jì)算即可得被測(cè)空間真空度值。本實(shí)用新型通過以下技術(shù)實(shí)現(xiàn)一種壓力傳感型真空度測(cè)量裝置，它包括一塊圓形柔性橡膠板及一塊圓形剛性密 封板，兩者固定在剛性密封圈上構(gòu)成一個(gè)密閉空間，壓力傳感器的受力端與柔性橡膠板外 側(cè)連接且由剛性固定板將其外端固定在剛性密封圈上。本實(shí)用新型的壓力傳感型真空度測(cè)量裝置，主要由剛性密封圈，剛性密封板，柔性 橡膠板，壓力傳感器及壓力傳感器固定裝置剛性固定板組成，其特征為該裝置由一塊圓形 柔性橡膠板及一塊圓形剛性密封板固定在剛性密封圈上構(gòu)成一個(gè)密閉空間，壓力傳感器的 受力端與柔性橡膠板外側(cè)連接且由剛性固定板將其外端固定在剛性密封圈上，當(dāng)測(cè)量某一 密閉空間內(nèi)的真空度時(shí)，將裝置放置其中，在氣壓差的作用下，該裝置的柔性橡膠板變形將 形變力傳給與之相連的壓力傳感器，從而測(cè)出形變壓力，即可計(jì)算被測(cè)密閉空間的真空度。本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)是，裝置體積小，價(jià)格便宜，使用方便，操作安全，特別適合在普 通工業(yè)場(chǎng)合使用。

圖1是該裝置的縱剖面構(gòu)造圖；圖2是該裝置的縱剖面平面圖；圖中，1、壓力傳感器，2、剛性固定板，3、柔性橡膠板，4、剛性密封板，5、剛性密封圈。
具體實(shí)施方式
圖1、圖2為該裝置的剖切圖。該裝置由圓形剛性密封板4和圓形柔性橡膠板3固 定在剛性密封圈5上構(gòu)成一個(gè)密閉空間，壓力傳感器1的受力端與柔性橡膠板3外側(cè)連接 且由錐臺(tái)型剛性固定板2將其外端固定在剛性密封圈5上，當(dāng)測(cè)量某一密閉空間的真空度 時(shí)，該將裝置放置其中，在氣壓的差作用下，該裝置的柔性橡膠板3變形將形變力傳給與之 相連的壓力傳感器1，從而測(cè)出形變壓力，即可計(jì)算被測(cè)密閉空間的真空度。
權(quán)利要求一種壓力傳感型真空度測(cè)量裝置，其特征是，它包括一塊圓形柔性橡膠板及一塊圓形剛性密封板，兩者固定在剛性密封圈上構(gòu)成一個(gè)密閉空間，壓力傳感器的受力端與柔性橡膠板外側(cè)連接且由剛性固定板將其外端固定在剛性密封圈上。
專利摘要本實(shí)用新型涉及一種壓力傳感型真空度測(cè)量裝置，它包括一塊圓形柔性橡膠板及一塊圓形剛性密封板，兩者固定在剛性密封圈上構(gòu)成一個(gè)密閉空間，壓力傳感器的受力端與柔性橡膠板外側(cè)連接且由剛性固定板將其外端固定在剛性密封圈上。當(dāng)測(cè)量某一密閉空間內(nèi)的真空度時(shí)，將裝置放置其中，在氣壓差的作用下，該裝置的柔性橡膠板變形將形變力傳給與之相連的壓力傳感器，從而測(cè)出形變壓力，即可計(jì)算被測(cè)密閉空間的真空度。
文檔編號(hào)G01L21/00GK201555687SQ20092025892
公開日2010年8月18日 申請(qǐng)日期2009年11月17日 優(yōu)先權(quán)日2009年11月17日
發(fā)明者劉保龍, 吳冬雨, 孫杰, 張朝, 張正旬, 莫才勇, 門洪斌 申請(qǐng)人:劉保龍