專利名稱：一種杜瓦內(nèi)安裝吸氣劑的結(jié)構(gòu)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本專利涉及紅外探測器制造技術(shù)，具體指一種杜瓦內(nèi)安裝吸氣劑的結(jié)構(gòu)，它用于 紅外探測器杜瓦部件內(nèi)的吸氣劑組件的安裝。
技術(shù)背景，隨著波長向長波擴展和探測靈敏度的提高，紅外焦平面探測器必須在深低溫下才 能工作。由于機械制冷具有結(jié)構(gòu)緊湊、體積小、重量輕、制冷量大、制冷時間短、制冷溫度可 控范圍大等優(yōu)點，目前該類探測器在應(yīng)用中大多采用機械制冷方式。這樣也使得其應(yīng)用時 大多采用杜瓦封裝形成紅外探測器杜瓦組件。真空壽命是紅外探測器杜瓦組件重要的技術(shù) 指標。影響紅外探測器杜瓦組件的真空壽命的因素主要如下幾點1)杜瓦的整體漏率；2) 杜瓦的零部件材料及除氣處理工藝；3)杜瓦組件排氣的極限真空、烘烤溫度 及排氣時間； 4)杜瓦組件內(nèi)安裝吸附劑。前三點主要取決于紅外探測器和杜瓦制備水平，同時也與所使 用的原材料的生產(chǎn)和加工水平有關(guān)。而安裝吸氣劑是提高真空壽命效果顯著的方法。傳統(tǒng)的紅外探測器杜瓦內(nèi)吸氣劑安裝的結(jié)構(gòu)及實現(xiàn)方法如下1)將吸氣劑的激 活引線引出真空杜瓦腔體外主要是通過可伐與玻璃的燒結(jié)工藝實現(xiàn)的；2)吸氣劑用于激 活的兩金屬針腳與玻璃燒結(jié)的可伐針腳的電連接是通過大電流碰焊連接。此傳統(tǒng)方法存在 如下問題1)可伐與玻璃的燒結(jié)是要求高氣密的?？煞テ矫嫔祥_孔結(jié)構(gòu)，然后實現(xiàn)玻璃珠 和可伐針燒結(jié)的成品率很高的。但如果要求在中空圓柱的側(cè)面實現(xiàn)此結(jié)構(gòu)，則成品率較低。 更重要的是可伐平面上開的孔與孔中心之間距離是有一定要求(目前比較成熟的中心距 離為1.41mm)，這限制了紅外探測器杜瓦組件的微型化發(fā)展；2)在杜瓦內(nèi)增加吸氣劑的數(shù) 量，可以增加吸氣劑對杜瓦內(nèi)殘余氣體總的吸附量，這對紅外探測器杜瓦組件的真空壽命 提高是很有效的。眾所周知，每個吸氣劑的激活引線有兩根，也就是說一個吸氣劑是需要兩 個可伐針腳。隨著吸氣劑的增加，可伐上燒結(jié)的玻璃珠針腳將大大增加，這會降低高氣密燒 結(jié)的成品率，增加真空壽命失效的概率；3)吸氣劑的金屬針腳與玻璃燒結(jié)的可伐針腳的碰 焊連接，即是電學(xué)連接點，同時也是吸氣劑力學(xué)支撐點。當紅外探測器杜瓦組件使用在一些 苛刻力學(xué)要求的場合時，碰焊點斷裂會導(dǎo)致吸氣劑用于激活的電學(xué)連接失效，同時其本身 成為多余物，影響紅外探測器杜瓦組件內(nèi)的其它部件安全。
發(fā)明內(nèi)容本專利的目的是提供一種紅外探測器杜瓦內(nèi)吸氣劑的安裝結(jié)構(gòu)及實現(xiàn)方法，來解 決傳統(tǒng)的紅外探測器杜瓦內(nèi)吸氣劑安裝的結(jié)構(gòu)及實現(xiàn)方法存在的問題，這有利于紅外探測 器杜瓦組件的真空壽命提高和微型化。本專利的一種紅外探測器杜瓦內(nèi)吸氣劑的安裝結(jié)構(gòu)如附圖1所示，它主要包括 杜瓦中空圓柱型外殼1、可伐圓柱針腳2、中空圓柱型陶瓷柱3、吸氣劑4、力學(xué)支撐Ω環(huán)5、 圓弧橫針6、串聯(lián)橫針7和回路L型針8。杜瓦中空圓柱型外殼1為選用可伐材料，其側(cè)面 預(yù)先加工一個孔101，孔101的兩邊要求不得倒角但要去毛刺。杜瓦中空圓柱型外殼1機加工完成后整體鍍鎳，鍍鎳厚度為0. Olmm-O. 02mm，牢度滿足高溫(800°C -900°C )釬焊要求； 可伐圓柱針腳2也要求鍍鎳，鍍鎳厚度為0. Olmm-O. 02mm,牢度滿足高溫(800°C -900°C )釬 焊要求；中空圓柱型陶瓷柱3選用氧化鋁陶瓷，其內(nèi)圓柱側(cè)面301和外圓柱側(cè)面302采用 厚膜鉬錳漿料金屬化后鍍鎳，鍍鎳厚度0. Olmm-O. 02mm，牢度滿足高溫(80(TC -900°C )釬 焊要求。金屬化和鍍鎳后中空圓柱型陶瓷柱3內(nèi)圓柱側(cè)面301直徑比可伐圓柱針腳2的 直徑大0. 04mm-0. 08mm。類似地，金屬化和鍍鎳后中空圓柱型陶瓷柱3外圓柱側(cè)面302直 徑比外殼1上預(yù)先加工的孔101的直徑小0. 04mm-0. 08mm。中空圓柱型陶瓷柱3高度比杜 瓦中空圓柱型外殼1壁的厚度大0. 2mm-0. 4mm，大出的部分置于杜瓦腔體內(nèi)；力學(xué)支撐Ω 環(huán)5、圓弧橫針6、串聯(lián)橫針7和回路L型針8均采用拋光處理后矩形截面的不銹鋼條，再通 過專用夾具加工成所需要的形狀。力學(xué)支撐Ω環(huán)5的內(nèi)環(huán)501直徑比吸氣劑4的外徑小 0. 02mm-0. 05mm，這樣確保其能緊緊夾住吸氣劑4。支撐Ω環(huán)5的支撐腳502的外圓弧與杜 瓦中空圓柱型外殼1的內(nèi)圓弧一致。圓弧橫針6的圓弧與外殼1內(nèi)直徑的曲率同心?；芈?L型針8的支撐腳801的外圓弧與杜瓦中空圓柱型外殼1的內(nèi)徑一致。 本專利的多個吸氣劑安裝結(jié)構(gòu)的實現(xiàn)原則如下1)所有吸氣劑分A和B兩組，在A 組或B組內(nèi)所有吸氣劑之間的電連接由串聯(lián)橫針7串聯(lián)連接。串聯(lián)方法如圖1所顯示，組 內(nèi)第一個吸氣劑的一個電極針腳與圓弧橫針6碰焊，圓弧橫針6中部與可伐針腳2碰焊連 接，組內(nèi)最后一個吸氣劑的一個電極針腳與回路L型針8碰焊，最后回路L型針8的支撐腳 801再與外殼1碰焊；2) A組和B組兩吸氣劑組再實現(xiàn)并聯(lián)，互為備份；3)以杜瓦1外可伐 圓柱針腳2為一端，杜瓦1的殼體為另一端，對它們施加一定大小的直流電流就可以實現(xiàn)對 所有吸氣劑的除氣和激活。本專利的實現(xiàn)方法如下1)如附圖2所示，杜瓦中空圓柱型外殼1先裝在一個不銹鋼的V型槽夾具上后，將 中空圓柱型陶瓷柱3插入杜瓦中空圓柱型外殼1的孔101內(nèi)，再將可伐圓柱針腳2插入中 空圓柱型陶瓷柱3的內(nèi)圓柱側(cè)面301內(nèi)，然后在I和II位置上放置一定量的固體絲環(huán)狀或 圓環(huán)片狀銀銅合金(Ag72-Cu28)焊料，最后將它們一起送入真空爐內(nèi)釬焊接。釬焊的工藝 參數(shù)為真空度優(yōu)于2 X ICT3Pa ；焊接溫度為820°C ；保溫時間大于10分鐘；2)如附圖1所示，用力推動支撐Ω環(huán)的兩支撐腳502向相背離的方向移動，使支 撐Ω環(huán)產(chǎn)生一定量變形彈性，力學(xué)支撐Ω環(huán)5的內(nèi)環(huán)501直徑大于吸氣劑4的最大外直 徑后，讓力學(xué)支撐Ω環(huán)5套到吸氣劑4上。撤去外力后，支撐Ω環(huán)5的內(nèi)環(huán)501緊緊夾住 吸氣劑4。此過程中保證力學(xué)支撐Ω環(huán)5的內(nèi)環(huán)501與吸氣劑4最大外圓柱同心。按此方 法完成所有力學(xué)支撐Ω環(huán)5與吸氣劑4的組裝。3)如附圖1所示，完成圓弧橫針6中間位置與可伐圓柱針腳2的碰焊。需要說明 本發(fā)明有A和B兩吸氣劑組。根據(jù)杜瓦的真空壽命設(shè)計如果僅需要一組吸氣劑組，就不需 要圓弧橫針6。而將A組第一個吸氣劑的電極針腳直接與可伐圓柱針腳2的碰焊見附圖3。4)如附圖1的俯視圖所示，利用專用碰焊鉗狀夾具依次完成A組所有力學(xué)支撐Ω 環(huán)5的兩支撐腳502與杜瓦中空圓柱型外殼1的碰焊。碰焊鉗狀夾具要確保從圓柱外殼1 的兩個方向都可以操作。根據(jù)外殼的厚度和力學(xué)支撐Ω環(huán)5的支撐腳502厚度選用相應(yīng) 的參數(shù)，已確保碰焊點的機械強度。碰焊的順序為從左往右；5)如附圖1的俯視圖所示，利用專用碰焊鉗狀夾具依次完成A組所有吸氣劑4的電極針腳與串聯(lián)橫針7的碰焊。再完成A組第一個吸氣劑4的電極腳與圓弧橫針6的碰焊， 最后完成A組最后一個吸氣劑4的電極腳與回路L型針8的碰輝，以及回路L型針8支撐 腳801與杜瓦中空圓柱型外殼1的碰焊。6)類似步驟4，如附圖1的俯視圖所示，利用專用碰焊鉗狀夾具依次完成B組所有力學(xué)支撐Ω環(huán)5的兩支撐腳502與杜瓦中空圓柱型外殼的碰焊。碰焊的順序為從右往左；7)類似步驟5，如附圖1的俯視圖所示，利用專用碰焊鉗狀夾具依次完成B組所有 吸氣劑4的電極腳與串聯(lián)橫針7的碰焊。再完成B組第一個吸氣劑4的電極腳與圓弧橫針 6的碰焊，最后完成B組最后一個吸氣劑4的電極腳與回路L型針8的碰輝，以及回路L型 針8支撐腳801與杜瓦中空圓柱型1的碰焊。本專利有如下優(yōu)點是(1)本專利的結(jié)構(gòu)簡單，操作方便，成本低廉；(2)本發(fā)明的引出真空的氣密燒結(jié)針腳僅有一根，增加了杜瓦的成品率。大大降低 了由于氣密性導(dǎo)致真空壽命失效的概率；(3)本發(fā)明彌補了傳統(tǒng)吸氣劑安裝結(jié)構(gòu)的金屬針腳與玻璃燒結(jié)的可伐針腳的碰 焊連接，即是電學(xué)連接點，也是吸氣劑力學(xué)支撐點的不足，實現(xiàn)料電學(xué)連接和力學(xué)支撐的分 離。吸氣劑力學(xué)支撐由力學(xué)支撐Ω環(huán)5確保。大大增加了杜瓦組件的可靠性；(4)本發(fā)明的安裝的吸氣劑數(shù)量可以很多，這可以大大提高杜瓦組件的真空壽 命；(5)本發(fā)明有A組和B組兩吸氣劑組，從結(jié)構(gòu)上是相互獨立，可以互為備份，增加了 吸氣劑安裝結(jié)構(gòu)的可靠性；(6)本發(fā)明適用于紅外探測器杜瓦內(nèi)如附圖1所示圓柱狀電極針腳兩邊出的吸氣 齊U外，同樣也適用于中空圓柱狀電極針腳一邊出的吸氣劑(見附圖4)；(7)本專利適用于紅外探測器杜瓦內(nèi)吸氣劑安裝面為圓周面，同樣也適用于吸氣 劑安裝面為平面。

圖1紅外探測器杜瓦內(nèi)吸氣劑的安裝結(jié)構(gòu)示意圖；圖中1-杜瓦中空圓柱型外殼；101-杜瓦中空圓柱型外殼上的圓柱孔；2-可伐圓柱針腳；3-中空圓柱型陶瓷柱；301-中空圓柱型陶瓷柱的內(nèi)圓柱側(cè)面；302-中空圓柱型陶瓷柱的外圓柱側(cè)面；4-吸氣劑；5-力學(xué)支撐Ω環(huán)；501-力學(xué)支撐Ω環(huán)的內(nèi)環(huán)；502-力學(xué)支撐Ω環(huán)的兩支撐腳；6-圓弧橫針；7-串聯(lián)橫針；[0036]8-回路L型針801-回路L型針8支撐腳801圖2C處結(jié)構(gòu)放大示意圖；圖3僅需要一組吸氣劑組，第一個吸氣劑的電極針腳與可伐圓柱針腳2的連接示 意圖；圖4本發(fā)明針對中空圓柱狀電極針腳一邊出的吸氣劑安裝示意具體實施方式
以下結(jié)合附圖對本發(fā)明的具體實施方式
作進一步的詳細說明實施例是某航天項目用320 X 240紅外探測器杜瓦組件結(jié)構(gòu)，如附圖1所示，它的 主要實施方法如下1.各零部件制備a)杜瓦中空圓柱型外殼1材料選用可伐4J29，外圓直徑為Φ 44，壁厚度為1mm，其 側(cè)面預(yù)先加工一個孔Φ 3. 8mm,上公差為+0. 04mm,下公差為+0. 01mm?？?01的兩邊要求 不得倒角但要去毛刺。外殼1機加工完成后整體鍍鎳，鍍鎳厚度為0. 01mm，牢度滿足高溫 (8000C -9000C )釬焊要求；b)可伐圓柱針腳2材料選用可伐4J29，直徑為Φ 1，上公差為0mm，下公差 為-0. 03mm。要求鍍鎳，鍍鎳厚度為0. 01mm，牢度滿足高溫(800°C -900°C )釬焊要求；c)中空圓柱型陶瓷柱3選用氧化鋁陶瓷(95瓷)，其內(nèi)圓柱孔側(cè)面301和外圓柱側(cè) 面302采用厚膜鉬錳漿料金屬化后鍍鎳，鍍鎳厚度0. 01mm，牢度滿足高溫(800°C -900°C ) 釬焊要求。金屬化和鍍鎳后中空圓柱型陶瓷柱3內(nèi)圓柱側(cè)面301的直徑Φ 1，上公差為 +0. 05mm,下公差為+0. 01mm。類似地，金屬化和鍍鎳后中空圓柱型陶瓷柱3外圓柱側(cè)面302 直徑為Φ 3. 8mm,上公差為0mm，下公差為-0. 04mm。中空圓柱型陶瓷柱3高度Hl為1. 2mm, 比杜瓦中空圓柱型外殼1的壁厚Imm大0. 2mm，大出的部分置于杜瓦腔體內(nèi)；d)力學(xué)支撐Ω環(huán)5、圓弧橫針6、串聯(lián)橫針7和回路L型針8均采用拋光處理后矩 形截面(lmmX0.5mm)的不銹鋼條，再專用夾具加工成所需要的形狀。力學(xué)支撐Ω環(huán)5的 內(nèi)環(huán)501直徑為Φ 4mm,與吸氣劑4的外徑Φ 4mm間隙為-0. 02mm,這樣確保其能緊緊夾住 吸氣劑4。支撐Ω環(huán)5的支撐腳502的外直徑與杜瓦中空圓柱型外殼1的內(nèi)徑Φ 42mm — 樣大小。圓弧橫針6的圓弧度與外殼1內(nèi)徑Φ42πιπι—致。回路L型針8的支撐腳801的 外直徑與杜瓦中空圓柱型外殼1的內(nèi)徑Φ42πιπι—樣大小。2.組裝及連接步驟1)如附圖2所示，杜瓦中空圓柱型外殼1先裝在一個不銹鋼的V型槽夾具上后，將 中空圓柱型陶瓷柱3插入杜瓦中空圓柱型外殼1的孔101內(nèi)，再將可伐圓柱針腳2插入中空 圓柱型陶瓷柱3的內(nèi)圓柱側(cè)面301內(nèi)，然后在I和II位置上分別放置截面直徑為Φ0. 5mm 的銀銅合金(Ag72-Cu28)焊料固體絲圈Φ1. Imm和Φ 3. 9mm各一個，最后將它們一起送入 真空爐內(nèi)釬焊接。釬焊的工藝參數(shù)為真空度優(yōu)于2X10_3Pa ；焊接溫度為820°C;保溫時間 大于10分鐘；2)如附圖1所示，用力推動支撐Ω環(huán)的兩支撐腳502向相背離的方向移動，已確 保支撐Ω環(huán)產(chǎn)生一定量變形彈性后，力學(xué)支撐Ω環(huán)5的內(nèi)環(huán)501直徑大于吸氣劑4的最大外直徑，好讓力學(xué)支撐Ω環(huán)5套到吸氣劑4上。撤去外力后，支撐Ω環(huán)5的內(nèi)環(huán)501緊緊夾住吸氣劑4。此過程中保證力學(xué)支撐Ω環(huán)5的內(nèi)環(huán)501與吸氣劑4最大外圓柱同心。 按此方法完成四個力學(xué)支撐Ω環(huán)5與四個吸氣劑4的組裝。3)如附圖1所示，完成圓弧橫針6中間位置與可伐圓柱針腳2的碰焊。需要說明 本實施例A和B兩吸氣劑組中各有兩個。4)如附圖1的俯視圖所示，利用專用碰焊鉗狀夾具依次完成A組2個力學(xué)支撐Ω 環(huán)5的兩支撐腳502與外殼的碰焊。碰焊鉗狀夾具要確保從圓柱外殼1的兩個方向都可 以操作。根據(jù)外殼的厚度和力學(xué)支撐Ω環(huán)5的支撐腳502厚度0. 5mm，選用相應(yīng)的參數(shù)為 20W,已確保碰焊點的機械強度。碰焊的順序為從左往右；5)如附圖1的俯視圖所示，利用專用碰焊鉗狀夾具依次完成A組2個吸氣劑4的 電極腳與串聯(lián)橫針7的碰焊。再完成A組第一個吸氣劑4的電極腳與圓弧橫針6的碰焊， 最后完成A組第二個吸氣劑4的電極腳與回路L型針8的碰輝，以及回路L型針8支撐腳 801與杜瓦1的碰焊。6)類似步驟4，如附圖1的俯視圖所示，利用專用碰焊鉗狀夾具依次完成B組2個 力學(xué)支撐Ω環(huán)5的兩支撐腳502與外殼的碰焊。碰焊的順序為從右往左；7)類似步驟5，如附圖1的俯視圖所示，利用專用碰焊鉗狀夾具依次完成B組2個 吸氣劑4的電極腳與串聯(lián)橫針7的碰焊。再完成B組第一個吸氣劑4的電極腳與圓弧橫針 6的碰焊，最后完成B組第二個吸氣劑4的電極腳與回路L型針8的碰輝，以及回路L型針 8支撐腳801與杜瓦1的碰焊。以上就完成了紅外探測器杜瓦內(nèi)吸氣劑的安裝結(jié)構(gòu)及實現(xiàn)方法，來解決傳統(tǒng)的紅 外探測器杜瓦內(nèi)吸氣劑安裝的結(jié)構(gòu)及實現(xiàn)方法存在的問題，這有利于紅外探測器杜瓦組件 的真空壽命提高和微型化。
權(quán)利要求一種杜瓦內(nèi)安裝吸氣劑的結(jié)構(gòu)，它主要包括杜瓦中空圓柱型外殼(1)、可伐圓柱針腳(2)、中空圓柱型陶瓷柱(3)、吸氣劑(4)、力學(xué)支撐Ω環(huán)(5)、圓弧橫針(6)、串聯(lián)橫針(7)和回路L型針(8)，其特征在于A、B兩組吸氣劑(4)以杜瓦中空圓柱型外殼(1)上的小孔(101)為界沿杜瓦中空圓柱型外殼(1)內(nèi)壁左右排列，所述的吸氣劑(4)夾緊在力學(xué)支撐Ω環(huán)(5)的內(nèi)環(huán)(501)中，力學(xué)支撐Ω環(huán)(5)通過兩支撐腳(502)與杜瓦中空圓柱型外殼(1)的碰焊而固定在杜瓦外殼上；在所述的A組或B組吸氣劑(4)內(nèi)所有吸氣劑之間的電連接由串聯(lián)橫針(7)串聯(lián)連接，組內(nèi)第一個吸氣劑的一個電極針腳與圓弧橫針(6)碰焊，組內(nèi)最后一個吸氣劑的一個電極針腳與回路L型針(8)碰焊，回路L型針(8)的支撐腳(801)再與杜瓦中空圓柱型外殼(1)碰焊，圓弧橫針(6)中部與可伐圓柱針腳(2)碰焊；可伐圓柱針腳(2)插入并釬焊固定在中空圓柱型陶瓷柱(3)的內(nèi)圓柱側(cè)面(301)內(nèi)，而中空圓柱型陶瓷柱(3)插入并釬焊固定在杜瓦中空圓柱型外殼(1)上的小孔(101)中。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種杜瓦內(nèi)安裝吸氣劑的結(jié)構(gòu)，其特征在于所述的杜瓦 中空圓柱型外殼(1)機加工完成后整體鍍鎳，鍍鎳厚度為0. Olmm-O. 02mm，牢度滿足高溫 8000C -900°C釬焊要求。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種杜瓦內(nèi)安裝吸氣劑的結(jié)構(gòu)，其特征在于所述的可 伐圓柱針腳(2)由不銹鋼制成，整體鍍鎳，鍍鎳厚度為0. Olmm-O. 02mm，牢度滿足高溫 8000C -900°C釬焊要求。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種杜瓦內(nèi)安裝吸氣劑的結(jié)構(gòu)，其特征在于所述的中空圓 柱型陶瓷柱(3)選用氧化鋁陶瓷，其內(nèi)圓柱側(cè)面(301)和外圓柱側(cè)面(302)采用厚膜鉬錳 漿料金屬化后鍍鎳，鍍鎳厚度0. Olmm-O. 02mm,牢度滿足高溫800°C -900°C釬焊要求；金屬 化和鍍鎳后中空圓柱型陶瓷柱(3)內(nèi)圓柱側(cè)面(301)直徑比可伐圓柱針腳(2)的直徑大 0. 04mm-0. 08mm，金屬化和鍍鎳后中空圓柱型陶瓷柱(3)外圓柱側(cè)面(302)直徑比杜瓦中空 圓柱型外殼(1)上的小孔(101)的直徑小0.04mm-0.08mm;中空圓柱型陶瓷柱(3)高度比 杜瓦中空圓柱型外殼(1)壁的厚度大0. 2mm-0. 4mm，超出的部分置于杜瓦腔體內(nèi)。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種杜瓦內(nèi)安裝吸氣劑的結(jié)構(gòu)，其特征在于所述的力學(xué)支 撐Ω環(huán)(5)由不銹鋼制成，其內(nèi)環(huán)(501)直徑比吸氣劑(4)的外徑小0. 02mm-0. 05mm,以夾 緊吸氣劑(4)，支撐Ω環(huán)(5)的支撐腳(502)的外圓弧與杜瓦中空圓柱型外殼⑴的內(nèi)圓 弧一致。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種杜瓦內(nèi)安裝吸氣劑的結(jié)構(gòu)，其特征在于所述的圓弧橫 針(6)由不銹鋼制成，其圓弧與杜瓦中空圓柱型外殼⑴內(nèi)壁的曲率同心。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種杜瓦內(nèi)安裝吸氣劑的結(jié)構(gòu)，其特征在于所述的回路L 型針(8)由不銹鋼制成，其支撐腳(801)的外圓弧直徑與杜瓦中空圓柱型外殼(1)的內(nèi)徑一致。
專利摘要本專利公開了一種杜瓦內(nèi)安裝吸氣劑的結(jié)構(gòu)，它適用于紅外探測器封裝用工程杜瓦制備的部件技術(shù)。紅外探測器杜瓦內(nèi)吸氣劑的安裝結(jié)構(gòu)包括杜瓦中空圓柱型外殼、可伐圓柱針腳、中空圓柱型陶瓷柱、吸氣劑、力學(xué)支撐Ω環(huán)、圓弧橫針、串聯(lián)橫針和回路L型針。本實用新型在吸氣劑的力學(xué)支撐、電學(xué)連接和氣密真空引出等方面引入特定的結(jié)構(gòu)和實現(xiàn)方法，來實現(xiàn)了吸氣劑在紅外探測器杜瓦內(nèi)高可靠氣密安裝，從而有利于紅外探測器杜瓦組件的真空壽命提高和微型化。本專利同樣適用于中空圓柱狀電極針腳一邊出的吸氣劑在紅外探測器杜瓦內(nèi)安裝；本專利同樣也適用于紅外探測器杜瓦內(nèi)吸氣劑安裝面為平面的安裝結(jié)構(gòu)。
文檔編號G01J5/02GK201555661SQ200920279830
公開日2010年8月18日 申請日期2009年11月18日 優(yōu)先權(quán)日2009年11月18日
發(fā)明者曾智江, 朱三根, 洪斯敏, 王小坤, 郝振貽, 陳亮 申請人:中國科學(xué)院上海技術(shù)物理研究所