專利名稱：定向儀的夾緊裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種X射線檢測儀器部件，具體說涉及一種用于測量晶體晶向偏 差或晶棒加工晶面的晶向位置的X射線定向儀使用的夾緊裝置。
背景技術(shù)：
各種人工晶體需要在一定的晶向角加工成薄片，眾所周知，其硬度高，造成加工費(fèi) 時(shí)費(fèi)力，相對(duì)來說原材料價(jià)格也高。因此，需要在加工前測量晶體晶向偏差或待加工晶棒要 加工晶面的晶向位置，以求定向準(zhǔn)確，減少原材料的浪費(fèi)。目前，加工廠家基本都采用定向 儀來檢測，常規(guī)的檢測方法有兩種，一種檢測方法是晶棒切割前先在定向儀上檢測，然后在 定向儀上粘接到切割料板上，這種方法的缺點(diǎn)在于這只能糾正料板平面內(nèi)的偏差角，與料 板垂直平面內(nèi)的偏差角永遠(yuǎn)也無法調(diào)整。當(dāng)要求高精度切片時(shí)，僅這種偏差就能造成成品 超差的情況。另一種檢測方法是晶棒直接加工，將切割下來的切片拿到定向儀上檢測，由檢 測出來的偏差角再算出晶棒相對(duì)加工基準(zhǔn)的偏差角，再回到切割設(shè)備上，按照算出的偏差 角調(diào)整晶棒。由于調(diào)整時(shí)的基準(zhǔn)選擇直接影響調(diào)整的結(jié)果，所以一次檢測后調(diào)整加工的晶 片，要再次檢測，超差就要再次調(diào)整，再次檢測，直至送檢測的晶片為合格品。這種方法的缺 點(diǎn)在于需要多次調(diào)整，多次檢測，造成原材料的浪費(fèi)，送檢周期長。為解決現(xiàn)有檢測方法存 在的問題，發(fā)明人對(duì)現(xiàn)有定向儀做了改進(jìn)，使改進(jìn)后的定向儀能夠做到晶棒一次定向即可 加工。為此，改進(jìn)后的定向儀需要有一種針對(duì)不同直徑的晶棒進(jìn)行可靠夾緊而完成一次定 向的夾緊裝置做為輔助設(shè)備來配套使用。
發(fā)明內(nèi)容針對(duì)現(xiàn)有晶棒加工檢測方面存在的問題，本實(shí)用新型提供一種投入小，使用簡單， 方便可靠，與定向儀配套使用，能有效地實(shí)現(xiàn)夾緊晶棒，達(dá)到晶棒一次定向即可加工的目 的，并且適用于不同直徑晶棒的夾緊裝置。解決上述問題采取的具體技術(shù)措施是一種定向儀的夾緊裝置，其特征在于兩側(cè)各設(shè)有一個(gè)連接板(9)，兩連接板(9) 上設(shè)有成對(duì)的不同高度位置平行的孔(8)，兩穿軸(1)通過平行孔(8)與能夠?qū)蛇B接板 (9)連接成一體的螺母(5)的兩端連接，設(shè)置在螺母(5)中間垂直位置上的螺釘(4)與螺母連接，螺釘(4)的上端連接手鈕(3)，下端連接法蘭(2)，法蘭(2)下面粘接橡膠墊(6)， 兩連接板(9)的下部分別設(shè)有安裝孔(7)。本實(shí)用新型的有益效果由于采用本結(jié)構(gòu)能有效地實(shí)現(xiàn)夾緊晶棒的效果，使晶體 晶向偏差或待加工晶棒要加工晶面的晶向位置的測量準(zhǔn)確，減少原材料的浪費(fèi)，投入小，使 用簡單，方便可靠，并且適用于不同直徑晶棒的夾緊。

圖1為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖；[0008]圖2為圖1的右視圖。
具體實(shí)施方式

以下結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型做進(jìn)一步說明。一種定向儀的夾緊裝置，如圖1、圖2所示，其特征在于兩側(cè)各設(shè)有一個(gè)連接板9，兩個(gè)連接板9上設(shè)有成對(duì)的不同高度位置平行的孔8，穿軸1穿過連接板9的某一高度位置 的平行孔8與能夠?qū)蛇B接板9連接成一體的螺母5的兩端連接，螺母5的兩端制成孔狀， 當(dāng)穿軸1插入連接板9的某一高度位置的平行孔8后，再插入螺母5的兩側(cè)的孔中時(shí)，可使 螺母5處于不同的高度位置，以適合夾緊不同直徑的晶棒，圖1中間的點(diǎn)劃線表示被夾緊的 不同直徑的晶棒形態(tài)。兩連接板9的下部分別設(shè)有安裝孔7，可以將本裝置通過螺釘安裝 到調(diào)整晶棒角度的定向儀的樣品臺(tái)上。設(shè)置在螺母5中間垂直位置上的螺釘4旋入螺母5 上，螺釘4的上端連接手鈕3，下端連接法蘭2，法蘭2下面粘接橡膠墊6，旋轉(zhuǎn)手鈕3，螺釘4 下面的橡膠墊6會(huì)夾緊晶棒。這樣，就保證了晶棒與樣品臺(tái)上層的T型鑲條保持檢測后糾 正的角度，無論是水平還是垂直放置，晶棒與承接晶棒的樣品臺(tái)的上層都不發(fā)生平移或旋 轉(zhuǎn)。此時(shí)，可將夾緊后的晶棒連同樣品臺(tái)上層的T型鑲條從定向儀的樣品臺(tái)上取下來，拿到 與定向儀配套使用的另一附屬設(shè)備——粘接裝置上，進(jìn)行晶棒檢測的下一道工序的操作。
權(quán)利要求一種定向儀的夾緊裝置，其特征在于兩側(cè)各設(shè)有一個(gè)連接板(9)，兩連接板(9)上設(shè)有成對(duì)的不同高度位置平行的孔(8)，兩穿軸(1)通過平行孔(8)與能夠?qū)蛇B接板(9)連接成一體的螺母(5)的兩端連接，設(shè)置在螺母(5)中間垂直位置上的螺釘(4)與螺母(5)連接，螺釘(4)的上端連接手鈕(3)，下端連接法蘭(2)，法蘭(2)下面粘接橡膠墊(6)，兩連接板(9)的下部分別設(shè)有安裝孔(7)。
專利摘要本實(shí)用新型涉及一種定向儀的夾緊裝置，用于固定晶棒以便于用定向儀來測量晶體晶向偏差或晶棒加工晶面的晶向位置。其結(jié)構(gòu)是兩側(cè)各設(shè)有一個(gè)連接板，兩連接板上設(shè)有成對(duì)的不同高度位置平行的孔，兩穿軸通過平行孔與能夠?qū)蛇B接板連接成一體的螺母的兩端連接，設(shè)置在螺母中間垂直位置上的螺釘與螺母連接，螺釘?shù)纳隙诉B接手鈕，下端連接法蘭，法蘭下面粘接橡膠墊，兩連接板的下部分別設(shè)有安裝孔，可以通過螺釘將本裝置安裝到調(diào)整晶棒角度的定向儀的樣品臺(tái)上。本實(shí)用新型能有效地實(shí)現(xiàn)夾緊晶棒的效果，測量準(zhǔn)確，減少原材料的浪費(fèi)，投入小，使用簡單，方便可靠，并且適用于不同直徑晶棒的夾緊。
文檔編號(hào)G01N23/207GK201561944SQ20092028785
公開日2010年8月25日 申請(qǐng)日期2009年12月15日 優(yōu)先權(quán)日2009年12月15日
發(fā)明者宋偉, 李國興, 許秋華, 隋鳳麗 申請(qǐng)人:丹東奧龍射線儀器有限公司