專利名稱：晶圓直徑測(cè)量裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種測(cè)量裝置，尤其涉及一種用于對(duì)圓形晶片的直徑進(jìn)行測(cè)量的晶圓直 徑測(cè)量裝置。
背景技術(shù)：
對(duì)于一些圓形的濾光片等晶圓產(chǎn)品，有時(shí)需要對(duì)其直徑進(jìn)行測(cè)量，以便對(duì)產(chǎn)品的質(zhì)量進(jìn) 行監(jiān)控，或?qū)ζ渖a(chǎn)設(shè)備上的相關(guān)工作部件進(jìn)行更換、調(diào)整，或?qū)ζ渖a(chǎn)設(shè)備的相關(guān)工作參 數(shù)進(jìn)行調(diào)整。晶圓產(chǎn)品直徑的測(cè)量一般是通過千分尺來進(jìn)行的，在進(jìn)行測(cè)量時(shí)，用夾具把晶 圓產(chǎn)品放置到千分尺的測(cè)量位置處，然后再旋動(dòng)千分尺上的旋鈕，最后從千分尺上讀出讀數(shù) 。由于一些晶圓產(chǎn)品的直徑只有幾個(gè)毫米，在利用夾具夾持時(shí)其不方便性顯而易見。而且在 一只手抓住夾具時(shí)，另一只手一方面要握持千分尺，另一方面還要對(duì)千分尺進(jìn)行操作。通常 情況下，在不借助于其他輔助裝置時(shí)， 一個(gè)人是無(wú)法完成對(duì)晶圓產(chǎn)品的直徑測(cè)定。雖然可以 用夾具把千分尺固定住，但在把千分尺放置到千分尺的測(cè)量位置處時(shí)，也不能很好地保證晶 圓產(chǎn)品的到位并保持正確的測(cè)量狀態(tài)，這會(huì)影響到對(duì)晶圓產(chǎn)品所測(cè)直徑的準(zhǔn)確性。
發(fā)明內(nèi)容
為克服上述缺陷，本實(shí)用新型需要解決的技術(shù)問題是提供一種晶圓直徑測(cè)量裝置，借 助于它的夾持固定作用，可以對(duì)晶圓產(chǎn)品的直徑進(jìn)行快速準(zhǔn)確的測(cè)量。
為解決所述問題，本實(shí)用新型的技術(shù)方案 一種晶圓直徑測(cè)量裝置，包括底座，底座上 設(shè)有晶圓放置工位和與晶圓放置工位相對(duì)應(yīng)的檢具夾持工位，其特征在于，所述的晶圓放置 工位為一根直立的頂桿，頂桿的端部為水平面并與所述檢具夾持工位的高度相應(yīng)。在利用本 晶圓直徑測(cè)量裝置對(duì)晶圓產(chǎn)品的直徑進(jìn)行測(cè)時(shí)，所述檢具夾持工位用于夾持檢具，該檢具一 般是千分尺，所述的頂桿端部用于放置晶圓產(chǎn)品，頂桿的直徑要略小于晶圓產(chǎn)品的直徑。所 述頂桿端部的高度與檢具夾持工位的高度相應(yīng)是指在利用本晶圓直徑測(cè)量裝置進(jìn)行晶圓產(chǎn) 品直徑的測(cè)量時(shí)，晶圓產(chǎn)品所處的位置與檢具上的測(cè)量位置相一致，檢具直接夾持在晶圓產(chǎn) 品的徑向兩側(cè)，從而測(cè)量出晶圓產(chǎn)品的實(shí)際直徑值。
作為優(yōu)選，所述的頂桿間隙地插接在頂桿座上，頂桿座設(shè)置在底座上。這樣，可以對(duì)頂 桿進(jìn)行快速的更換，以使頂桿的直徑適應(yīng)不同直徑晶圓產(chǎn)品的支撐要求。
作為優(yōu)選，所述頂桿座可在底座上水平 動(dòng)，頂桿座與設(shè)于底座上的橫向調(diào)節(jié)旋鈕相聯(lián)接。通過橫向調(diào)節(jié)旋鈕的調(diào)節(jié)，使頂桿座帶動(dòng)放置在頂桿端部的晶圓產(chǎn)品準(zhǔn)確到達(dá)檢具的測(cè) 量位置處。
作為優(yōu)選，所述檢具夾持工位包括設(shè)于底座上的調(diào)節(jié)螺桿和托座，調(diào)節(jié)螺桿和托座用于 夾持所述的檢具。調(diào)節(jié)螺桿的轉(zhuǎn)動(dòng)可以改變其端部與托座之間的距離，可以很方便地實(shí)現(xiàn)對(duì) 檢具的夾緊和位置調(diào)整。
作為優(yōu)選，所述調(diào)節(jié)螺桿靠近所述托座的一端部設(shè)有壓板，壓板與調(diào)節(jié)螺桿之間垂直。 壓板的設(shè)置增加了螺桿與檢具的接觸面積，便于檢具的牢固夾持。
作為優(yōu)選，所述調(diào)節(jié)螺桿和托座設(shè)置在支撐座上，支撐座可滑動(dòng)地設(shè)置在底座上，在底 座上設(shè)有與支撐座相聯(lián)接的縱向調(diào)節(jié)旋鈕。通過對(duì)縱向調(diào)節(jié)旋鈕的調(diào)節(jié)，可以使支撐座在底 座上滑行，從而便于檢具與晶圓產(chǎn)品的準(zhǔn)確對(duì)位，為檢測(cè)提供了方便。
作為優(yōu)選，所述支撐座包括上支撐座和下支撐座，所述縱向調(diào)節(jié)旋鈕與下支撐座相聯(lián)接 ，所述的調(diào)節(jié)螺桿和托座設(shè)置在上支撐座上。支撐座為分體式結(jié)構(gòu)，通過上、下支撐座的位 置微調(diào)對(duì)檢具的位置進(jìn)行調(diào)整。
作為優(yōu)選，所述上支撐座和下支撐座之間為相互配合的弧面結(jié)構(gòu)，在下支撐座上設(shè)有弧 形動(dòng)作調(diào)節(jié)旋鈕，弧形動(dòng)作調(diào)節(jié)旋鈕與上支撐座相聯(lián)接。通過調(diào)節(jié)弧形動(dòng)作調(diào)節(jié)旋鈕的轉(zhuǎn)動(dòng) ，可以使上支撐座相對(duì)于下支撐座發(fā)生相對(duì)弧形轉(zhuǎn)動(dòng)，以調(diào)整固定在上支撐座上的檢具的傾 角。
與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型具有的有益效果
1、 由于在底座上設(shè)有檢具夾持工位和晶圓放置工位，在進(jìn)行測(cè)量時(shí)把檢具夾持在檢具 夾持工位上，同時(shí)把晶圓產(chǎn)品放置在晶圓放置工位上，即可以由一個(gè)人簡(jiǎn)單、快速地實(shí)現(xiàn)對(duì) 晶圓產(chǎn)品的直徑進(jìn)行測(cè)量。
2、 可以通過對(duì)檢具夾持工位和晶圓放置工位之間的相對(duì)位置調(diào)整，即可以實(shí)現(xiàn)晶圓產(chǎn) 品與檢具之間的準(zhǔn)確對(duì)位，對(duì)晶圓產(chǎn)品所檢測(cè)出的直徑值準(zhǔn)確，便于對(duì)產(chǎn)品的質(zhì)量進(jìn)行監(jiān)控 ，便于及時(shí)調(diào)整晶圓產(chǎn)品加工裝置的工作參數(shù)和對(duì)該裝置上的部件進(jìn)行更換。


圖1是本實(shí)用新型晶圓直徑測(cè)量裝置的主視圖。 圖2是本實(shí)用新型晶圓直徑測(cè)量裝置的俯視圖。 圖3是本實(shí)用新型晶圓直徑測(cè)量裝置的左視圖。
具體實(shí)施方式
見圖中，本實(shí)用新型晶圓直徑測(cè)量裝置的結(jié)構(gòu)包括平板狀的底座l，在底座l上分別設(shè)有 檢具夾持工位和晶圓放置工位，該兩個(gè)工位在底座l上的高度相對(duì)應(yīng)。其中，檢具夾持工位 用于夾持固定檢具，晶圓放置工位用于放置晶圓產(chǎn)品。
所述的晶圓放置工位為一根豎直設(shè)置的圓柱形的頂桿4，頂桿4的上端面為水平面，下端 部間隙地插接在頂桿座3上。頂桿座3設(shè)在底座1上，并可在底座l上橫向滑動(dòng)。在底座l上沿 橫向方向設(shè)有橫向調(diào)節(jié)旋鈕2，橫向調(diào)節(jié)旋鈕2與頂桿座3相聯(lián)接。在轉(zhuǎn)動(dòng)橫向調(diào)節(jié)旋鈕2時(shí)， 頂桿座3會(huì)在底座3上發(fā)生水平方向的移動(dòng)，頂桿座3在移動(dòng)時(shí)，帶動(dòng)放置在頂桿4上端面上的 晶圓產(chǎn)品一起移動(dòng)。為不影響檢具對(duì)晶圓產(chǎn)品直徑的測(cè)量，要求頂桿4的直徑要略小于晶圓 產(chǎn)品的直徑。頂桿4的上端部伸入到上述的檢具夾持工位位置處，以利檢具與晶圓產(chǎn)品的對(duì) 位。
所述的檢具夾持工位的結(jié)構(gòu)包括調(diào)節(jié)螺桿7和托座5，調(diào)節(jié)螺桿7的下端部與托座5之間形 成所述的夾持工位。在對(duì)晶圓產(chǎn)品進(jìn)行測(cè)量時(shí)，檢具被調(diào)節(jié)螺桿7的下端部和托座5夾持固定 住。調(diào)節(jié)螺桿7和托座5被設(shè)置在一支撐座上，調(diào)節(jié)螺桿7螺紋連接在支撐座上。在調(diào)節(jié)螺桿7 的上端部固定連接有一個(gè)手輪8，以方便用手轉(zhuǎn)動(dòng)調(diào)節(jié)螺桿7來實(shí)現(xiàn)調(diào)節(jié)螺桿7的軸向位移； 調(diào)節(jié)螺桿7的下端部固定連接有一塊壓板6，壓板6與調(diào)節(jié)螺桿7垂直，在檢具被固定在夾持工 位上時(shí)，壓板6和托座5用于壓緊夾持檢具。
所述的支撐座設(shè)置在底座l上，并可在底座l上縱向滑動(dòng)。在底座l沿縱向方向設(shè)有縱向 調(diào)節(jié)旋鈕12，縱向調(diào)節(jié)旋鈕12的端部與支撐座相聯(lián)接，在旋動(dòng)縱向調(diào)節(jié)旋鈕12時(shí)，縱向調(diào)節(jié) 旋鈕12可以使支撐座在底座1上發(fā)生縱向方向的滑動(dòng)。
所述的支撐座為分體式結(jié)構(gòu)，它包括相互配合聯(lián)接在一起的上支撐座9和下支撐座11， 上、下支撐座之間的配合面為弧面配合結(jié)構(gòu)，在下支撐座11上設(shè)有弧形動(dòng)作調(diào)節(jié)旋鈕10，弧 形動(dòng)作調(diào)節(jié)旋鈕10的端部與上支撐座9相聯(lián)接，在轉(zhuǎn)動(dòng)弧形動(dòng)作調(diào)節(jié)旋鈕10時(shí)，上支撐座9可 相對(duì)于下支撐座ll發(fā)生弧形轉(zhuǎn)動(dòng)。上述的調(diào)節(jié)螺桿7和托座5連接在上支撐座9上，縱向調(diào)節(jié) 旋鈕12與下支撐座11相聯(lián)接。在上支撐座9發(fā)生弧形轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，夾持在檢具夾持工位上的檢具 會(huì)跟隨一起擺動(dòng)，從而可以調(diào)整檢具的傾角。
在檢具被子夾持在檢具夾持工位上，以及晶圓產(chǎn)品被放置在頂桿4的上端面上后，通過 對(duì)橫向調(diào)節(jié)旋鈕2、縱向調(diào)節(jié)旋鈕12，以及弧形動(dòng)作調(diào)節(jié)旋鈕10的操作，可以準(zhǔn)確地實(shí)現(xiàn)檢 具與晶圓產(chǎn)品的準(zhǔn)確對(duì)位，這為準(zhǔn)確地測(cè)量晶圓產(chǎn)品的直徑提供了保證。對(duì)于不同直徑的晶 圓產(chǎn)品來說，可以更換不同直徑的頂桿4，以適應(yīng)晶圓產(chǎn)品的直徑測(cè)量要求。
權(quán)利要求1.一種晶圓直徑測(cè)量裝置，包括底座，底座上設(shè)有晶圓放置工位和與晶圓放置工位相對(duì)應(yīng)的檢具夾持工位，其特征在于，所述的晶圓放置工位為一根直立的頂桿(4)，頂桿(4)的端部為水平面并與所述檢具夾持工位的高度相應(yīng)。
2 根據(jù)權(quán)利要求l所述的晶圓直徑測(cè)量裝置，其特征在于，所述的頂 桿(4)間隙地插接在頂桿座(3)上，頂桿座(3)設(shè)置在底座(1)上。
3 根據(jù)權(quán)利要求2所述的晶圓直徑測(cè)量裝置，其特征在于，所述頂桿 座(3)可在底座(1)上水平滑動(dòng)，頂桿座(3)與設(shè)于底座(1)上的橫向調(diào)節(jié)旋鈕(2) 相聯(lián)接。
4 根據(jù)權(quán)利要求1或2或3所述的晶圓直徑測(cè)量裝置，其特征在于，所 述檢具夾持工位包括設(shè)于底座(1)上的調(diào)節(jié)螺桿(7)和托座(5)，調(diào)節(jié)螺桿(7)和托座 (5)用于夾持所述的檢具。
5 根據(jù)權(quán)利要求4所述的晶圓直徑測(cè)量裝置，其特征在于，所述調(diào)節(jié) 螺桿(7)靠近所述托座(5)的一端部設(shè)有壓板(6)，壓板(6)與調(diào)節(jié)螺桿(7)之間垂 直。
6 根據(jù)權(quán)利要求5所述的晶圓直徑測(cè)量裝置，其特征在于，所述調(diào)節(jié) 螺桿(7)和托座(5)設(shè)置在支撐座上，支撐座可滑動(dòng)地設(shè)置在底座(1)上，在底座(1) 上設(shè)有與支撐座相聯(lián)接的縱向調(diào)節(jié)旋鈕(12)。
7 根據(jù)權(quán)利要求6所述的晶圓直徑測(cè)量裝置，其特征在于，所述支撐 座包括上支撐座(9)和下支撐座(11)，所述縱向調(diào)節(jié)旋鈕(12)與下支撐座(11)相聯(lián) 接，所述的調(diào)節(jié)螺桿(7)和托座(5)設(shè)置在上支撐座(9)上。
8 根據(jù)權(quán)利要求7所述的晶圓直徑測(cè)量裝置，其特征在于，所述上支 撐座(9)和下支撐座(11)之間為相互配合的弧面結(jié)構(gòu)，在下支撐座(11)上設(shè)有弧形動(dòng) 作調(diào)節(jié)旋鈕(10)，弧形動(dòng)作調(diào)節(jié)旋鈕(10)與上支撐座(9)相聯(lián)接。
專利摘要本實(shí)用新型公開了一種晶圓直徑測(cè)量裝置。其解決了現(xiàn)有對(duì)晶圓產(chǎn)品進(jìn)行測(cè)量時(shí)，操作麻煩、不便，所得測(cè)量數(shù)據(jù)準(zhǔn)確性差的問題。結(jié)構(gòu)為一種晶圓直徑測(cè)量裝置，包括底座，底座上設(shè)有晶圓放置工位和與晶圓放置工位相對(duì)應(yīng)的檢具夾持工位，其特征在于，所述的晶圓放置工位為一根直立的頂桿，頂桿的端部為水平面并與所述檢具夾持工位的高度相應(yīng)。
文檔編號(hào)G01B5/08GK201352105SQ200920300318
公開日2009年11月25日 申請(qǐng)日期2009年1月20日 優(yōu)先權(quán)日2009年1月20日
發(fā)明者瑞 劉, 江 王 申請(qǐng)人:浙江水晶光電科技股份有限公司