專(zhuān)利名稱：用于測(cè)量機(jī)的具有碰撞保護(hù)的光學(xué)傳感器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種用于測(cè)量機(jī)，尤其是用于坐標(biāo)測(cè)量機(jī)的具有碰撞保護(hù)的光學(xué)傳感 器，該光學(xué)傳感器具有用于與所述測(cè)量機(jī)以機(jī)械方式及光學(xué)方式連接的傳感器側(cè)聯(lián)接部， 并且具有傳感器元件。
背景技術(shù)：
現(xiàn)有技術(shù)中已知用于坐標(biāo)測(cè)量機(jī)的待配備有碰撞保護(hù)的觸覺(jué)傳感器而不是光學(xué) 傳感器。舉例來(lái)說(shuō)，EP 0 426 492 A2公開(kāi)了一種觸覺(jué)傳感器，該傳感器旨在用于連續(xù)地測(cè) 量工件，并且具有通過(guò)回復(fù)力保持在平衡位置的傳感器元件。回復(fù)力由彈簧產(chǎn)生。傳感器 元件經(jīng)由精密支承件優(yōu)選地通過(guò)磁力保持在傳感器保持件上，在傳感器保持件上作用回復(fù) 力。與觸覺(jué)傳感器形成對(duì)比，光學(xué)傳感器移動(dòng)通過(guò)工件的待被測(cè)量的表面而不與其接 觸。因此不必借助回復(fù)力將傳感器保持在平衡位置。實(shí)際上，光學(xué)傳感器在無(wú)任何游隙的 情況下附連到傳感器保持件。US 5，404，649公開(kāi)了一種用于坐標(biāo)測(cè)量機(jī)的另一觸覺(jué)傳感器。該傳感器通過(guò)磁體 保持在傳感器座上。在傳感器與傳感器座之間設(shè)置均衡的三點(diǎn)式支撐。傳感器與傳感器座 之間的聯(lián)接被設(shè)計(jì)成使所述傳感器在與工件碰撞時(shí)離開(kāi)初始位置，并且當(dāng)傳感器再次自由 時(shí)，不管是由于被移回還是由于工件被移除，都會(huì)由于磁性吸引力而彈回初始位置。與具有形成接觸的傳感器的情況相比，光學(xué)傳感器具有光波導(dǎo)，這些光波導(dǎo)對(duì)機(jī) 械負(fù)載敏感，并且必須布置在傳感器中。US 5，404，649的聯(lián)接的缺點(diǎn)在于磁體被布置在中 心，使得更加難以以保護(hù)光波導(dǎo)的方式布置光波導(dǎo)。與形成接觸的已知傳感器相比，由于光波導(dǎo)和在正常操作期間傳感器元件不與待 被測(cè)量的工件接觸這一事實(shí)，光學(xué)傳感器產(chǎn)生新的問(wèn)題。

發(fā)明內(nèi)容
在現(xiàn)有技術(shù)的背景下，本發(fā)明的目的是基于詳細(xì)說(shuō)明這樣的光學(xué)傳感器，該光學(xué) 傳感器在與工件碰撞的情況下不會(huì)損壞，并且壽命長(zhǎng)。此外，可以容易地更換傳感器。該目的通過(guò)具有所要求的權(quán)利要求1的特征的光學(xué)傳感器來(lái)實(shí)現(xiàn)。該光學(xué)傳感器 的有利實(shí)施方式在從屬權(quán)利要求2至13中詳述。根據(jù)本發(fā)明，所述光學(xué)傳感器具有作為碰撞保護(hù)的傳感器保護(hù)聯(lián)接件，該傳感器 保護(hù)聯(lián)接件具有測(cè)量機(jī)側(cè)聯(lián)接部和傳感器元件側(cè)聯(lián)接部。在所述傳感器保護(hù)聯(lián)接件的這些 聯(lián)接部之間設(shè)置光波導(dǎo)。光波導(dǎo)保護(hù)元件圍繞所述光波導(dǎo)。與形成接觸的接觸傳感器相比，光學(xué)傳感器移動(dòng)通過(guò)待被測(cè)量的工件而不與其接 觸，并且所述光學(xué)傳感器與所述工件之間的距離以光學(xué)方式測(cè)量，具體地以干涉測(cè)量法測(cè) 量。為此，所述測(cè)量機(jī)中的傳感器和傳感器座均不具有通過(guò)與工件形成接觸而檢測(cè)所述傳 感器元件的偏轉(zhuǎn)的力傳感器。因此，所述光學(xué)傳感器在一側(cè)與工件碰撞的情況下幾乎不存在保護(hù)，或者至少不能確定傳感器是否與工件碰撞。為了克服該問(wèn)題，設(shè)置根據(jù)本發(fā)明的碰撞保護(hù)，其中，在所述傳感器自身中設(shè)置傳 感器保護(hù)聯(lián)接件，而不是在所述傳感器與所述測(cè)量機(jī)上的傳感器保持件之間的接合點(diǎn)處設(shè) 置保護(hù)聯(lián)接件。所述傳感器保護(hù)聯(lián)接件在碰撞的情況下在傳感器元件受損之前允許所述傳 感器元件從所述聯(lián)接部釋放。由于必須在用于光學(xué)傳感器的所述傳感器元件和用于坐標(biāo)測(cè)量機(jī)的控制單元之 間設(shè)置敏感的光波導(dǎo)，因此所述光波導(dǎo)被設(shè)置在所述傳感器的內(nèi)部中，也就是說(shuō)設(shè)置在所 述傳感器保護(hù)聯(lián)接件的所述聯(lián)接部之間。此外，所述光波導(dǎo)被光波導(dǎo)保護(hù)元件圍繞。所述光波導(dǎo)保護(hù)元件在一端處附連到所述傳感器保護(hù)聯(lián)接件的所述聯(lián)接部。這確 保所述傳感器元件在被釋放時(shí)不能無(wú)限地離開(kāi)所述測(cè)量機(jī)側(cè)聯(lián)接部。由于空間原因，所述 光波導(dǎo)可被拉出所述測(cè)量機(jī)側(cè)聯(lián)接部外的距離受限。所述光波導(dǎo)由光波導(dǎo)保護(hù)元件防止受 到過(guò)分劇烈的拉伸負(fù)載，光波導(dǎo)保護(hù)元件在兩端處附連到相應(yīng)的聯(lián)接部。因此碰撞保護(hù)有利地延長(zhǎng)了所述光學(xué)傳感器的壽命。此外，更換聯(lián)接件和傳感器 保護(hù)聯(lián)接件的分離使得更容易更換光傳感器。為了防止所述光學(xué)傳感器在所述傳感器元件被釋放時(shí)通過(guò)所述坐標(biāo)測(cè)量機(jī)進(jìn)一 步移動(dòng)，可在所述傳感器保護(hù)聯(lián)接件的聯(lián)接部之間設(shè)置釋放傳感器，該釋放傳感器優(yōu)選聯(lián) 接到所述坐標(biāo)測(cè)量機(jī)的控制單元。所述釋放傳感器可被設(shè)置成為電感式、電容式、光學(xué)式或呈電銷(xiāo)觸頭 (Pin-Kontakt)的形式。這允許電動(dòng)地檢測(cè)釋放，使得在碰撞的情況下，所述傳感器通過(guò)所 述坐標(biāo)測(cè)量機(jī)的進(jìn)一步運(yùn)動(dòng)可被快速地止動(dòng)。所述傳感器保護(hù)聯(lián)接件的聯(lián)接部方便地具有至少一個(gè)磁體，優(yōu)選地為電磁體。當(dāng) 處于聯(lián)接狀態(tài)時(shí)，所述磁體將所述傳感器元件牢固地保持在所述測(cè)量機(jī)側(cè)聯(lián)接部上。如果 在所述光學(xué)傳感器與工件之間發(fā)生碰撞，則所述傳感器元件可被偏轉(zhuǎn)，并且可從所述測(cè)量 機(jī)側(cè)聯(lián)接部釋放。當(dāng)旨在使所述光學(xué)傳感器再次移動(dòng)到自由位置時(shí)，所述光學(xué)傳感器可被再次聯(lián) 接，也就是說(shuō)，磁性吸引力將所述傳感器元件側(cè)聯(lián)接部再次拉回到聯(lián)接狀態(tài)。電磁體的另一 個(gè)優(yōu)點(diǎn)在于它們比永磁體輕。另一優(yōu)點(diǎn)在于所述測(cè)量機(jī)的光學(xué)測(cè)量不受(電)磁場(chǎng)的影響。在另一實(shí)施方式中，所述聯(lián)接部具有三個(gè)磁體，這三個(gè)磁體相對(duì)于所述傳感器的 縱向軸線偏移120°角布置。該布置可有利地與所述聯(lián)接部之間的均衡的三點(diǎn)式支承件一 起設(shè)置。所述傳感器元件這樣被牢固且極為精確地保持在所述測(cè)量機(jī)側(cè)聯(lián)接部上。對(duì)所述聯(lián)接部來(lái)說(shuō)更為有利的是具有環(huán)形磁體。所述環(huán)形磁體允許所述傳感器元 件沿任意方向從所述測(cè)量機(jī)側(cè)聯(lián)接部均勻地釋放。所述光波導(dǎo)保護(hù)元件可以是波紋管。具體地，所述波紋管可以由橡膠構(gòu)成。所述 波紋管保護(hù)所述光波導(dǎo)抵抗?jié)駳夂瓦^(guò)大的機(jī)械負(fù)載，尤其是彎曲負(fù)載。在另一實(shí)施方式中，所述光波導(dǎo)保護(hù)元件是以預(yù)應(yīng)力拉伸的彈簧。所述彈簧的優(yōu) 點(diǎn)在于其還可被用作所述傳感器元件向所述測(cè)量機(jī)側(cè)聯(lián)接部彈性附連的可選方案，并且在 彎曲負(fù)載的情況下，防止所述光波導(dǎo)上的扭折負(fù)載。然而，還可以提供一種與所述聯(lián)接部的磁性聯(lián)接相當(dāng)?shù)膲嚎s彈簧。一旦所述傳感 器元件在碰撞之后被釋放，并且所述傳感器元件因此離開(kāi)所述測(cè)量機(jī)側(cè)聯(lián)接部相當(dāng)遠(yuǎn)而使得所述磁體的吸引力減小，則壓縮彈簧強(qiáng)制所述傳感器元件離開(kāi)所述測(cè)量機(jī)側(cè)聯(lián)接部，以 進(jìn)一步降低對(duì)所述傳感器元件造成損害的風(fēng)險(xiǎn)。所述傳感器保護(hù)聯(lián)接件優(yōu)選地被設(shè)計(jì)成自身再次自動(dòng)地聯(lián)接。這導(dǎo)致在發(fā)生碰撞 之后所述傳感器元件返回到其初始位置，并例如通過(guò)使光學(xué)傳感器沿相反方向的運(yùn)動(dòng)而再 次變得自由。因此，可繼續(xù)進(jìn)行測(cè)量，而無(wú)需任何來(lái)自外部的其它動(dòng)作。然而，在該情況下， 必須注意確保所述光波導(dǎo)保護(hù)元件足夠剛硬，并且所述光波導(dǎo)被拉出所述測(cè)量機(jī)側(cè)聯(lián)接部 的距離不要太長(zhǎng)，以防止在聯(lián)接所述傳感器側(cè)聯(lián)接部期間損害所述光波導(dǎo)。在該實(shí)施方式 中優(yōu)選設(shè)置電磁體，從而能監(jiān)控聯(lián)接過(guò)程。此外，所述傳感器保護(hù)聯(lián)接件的所述聯(lián)接部可通過(guò)三點(diǎn)式支承件彼此安置。所述 三點(diǎn)式支承件確保所述傳感器元件被特別精確地保持在所述測(cè)量機(jī)側(cè)聯(lián)接部上?？蓮乃鰝鞲衅髟S向地輸出光學(xué)測(cè)量光束或者通過(guò)增設(shè)的光學(xué)元件(例如 棱鏡)向一側(cè)(90° )或者呈環(huán)形輸出光學(xué)測(cè)量光束。對(duì)于干涉測(cè)量方法，所述光波導(dǎo)優(yōu)選呈具有保護(hù)外殼(所謂的緩沖器)的單模纖 維的形式。彩色共焦測(cè)量之類(lèi)的其它測(cè)量方法實(shí)際上需要多模纖維。根據(jù)所述傳感器元件中的光學(xué)器件的設(shè)計(jì)，所述測(cè)量光束可被校準(zhǔn)或聚焦，用于 精確地橫向掃描目標(biāo)。具體地，在彩色共焦測(cè)量方法的情況下，所述傳感器元件中的光學(xué)器 件具有取決于波長(zhǎng)的焦點(diǎn)位置，以使得可以隨后由從目標(biāo)散射回的信號(hào)的耦合效率推導(dǎo)出 目標(biāo)距離?？稍谟糜诟缮鏈y(cè)量方法的所述光學(xué)傳感器中引入定義基準(zhǔn)面，優(yōu)選地呈與其中一 個(gè)光學(xué)器件表面呈映像的形式，以實(shí)現(xiàn)基準(zhǔn)面與目標(biāo)平面之間的較短距離，該較短距離因 此與測(cè)量距離相對(duì)應(yīng)。這使得可以使周?chē)h(huán)境的影響最小。這樣一種測(cè)量方法也被稱為公 共路徑干涉測(cè)量法。


在下文將參照附圖中所示的示例性實(shí)施方式更加詳細(xì)地解釋本發(fā)明，附圖中圖1以沿圖7中的線A-A的剖視圖的形式示出了處于聯(lián)接狀態(tài)下的光學(xué)傳感器；圖2以沿圖7中的線A-A的剖視圖的形式示出了處于非聯(lián)接狀態(tài)下的光學(xué)傳感 器；圖3和4示出了處于非聯(lián)接狀態(tài)下的光學(xué)傳感器的立體圖；圖5和6示出了處于聯(lián)接狀態(tài)下的光學(xué)傳感器的立體圖；圖7示出了光學(xué)傳感器的平面圖；圖8和9示出了具有呈彈簧形式的光波導(dǎo)保護(hù)元件的光學(xué)傳感器的一個(gè)實(shí)施方 式；以及圖10至12示出了具有環(huán)形磁體的光學(xué)傳感器的一個(gè)實(shí)施方式。
具體實(shí)施例方式圖1至圖7示出了根據(jù)第一實(shí)施方式的用于測(cè)量機(jī)，具體是用于坐標(biāo)測(cè)量機(jī)的光 學(xué)傳感器1的細(xì)節(jié)。傳感器1具有傳感器元件2和傳感器保護(hù)聯(lián)接件3。傳感器保護(hù)元件 聯(lián)接件3包括測(cè)量機(jī)側(cè)聯(lián)接部4和傳感器元件側(cè)聯(lián)接部5。
5
傳感器元件2呈桿的形式，并且為中空的。在傳感器元件2的內(nèi)部6中布置有光 波導(dǎo)7。光波導(dǎo)7從傳感器元件2的自由端8開(kāi)始，并且穿過(guò)傳感器保護(hù)聯(lián)接件3延伸至坐 標(biāo)測(cè)量機(jī)的控制單元，該控制單元未更詳細(xì)地示出。透鏡10，具體為自聚焦透鏡裝配到光波 導(dǎo)7在傳感器元件2中的端部9，從而與光波導(dǎo)7相比加寬光束截面。該透鏡10整體位于 傳感器元件2的內(nèi)部6中，并且終止于傳感器元件2的自由端8。傳感器元件2通過(guò)軸向孔11伸出到傳感器元件側(cè)聯(lián)接部5中，并且被保持在傳感 器元件側(cè)聯(lián)接部5中的襯套12中。襯套12被布置在傳感器元件側(cè)聯(lián)接部5中的凹部13 中。襯套12具有周向三角形槽口 14，平頭螺釘15接合在該槽口 14中。平頭螺釘15被旋 入聯(lián)接部5中的三個(gè)螺紋孔16中，螺紋孔16繞傳感器1的縱向軸線LAT相對(duì)于彼此偏移 120°角布置。磁體17和均衡的三點(diǎn)式支承件18設(shè)置為用于將傳感器元件側(cè)聯(lián)接部5聯(lián)接到測(cè) 量機(jī)側(cè)聯(lián)接部4，并且被布置在傳感器元件側(cè)聯(lián)接部5中的三個(gè)腹板19上，腹板19同樣繞 傳感器1的縱向軸線LAT相對(duì)于彼此以120°角布置。首先將柱狀磁體17在徑向外側(cè)設(shè)置 在兩個(gè)聯(lián)接部4、5中。三點(diǎn)式支承件18與這些磁體17相鄰。三點(diǎn)式支承件18具有位于 傳感器元件側(cè)聯(lián)接部5中的滾珠20。滾珠20安置在測(cè)量機(jī)側(cè)聯(lián)接部4中的柱狀銷(xiāo)22上， 每個(gè)滾珠20均與兩個(gè)彼此距一定距離布置的相互平行的柱狀銷(xiāo)22相關(guān)聯(lián)。柱狀銷(xiāo)22被 推入測(cè)量機(jī)側(cè)聯(lián)接部4中的銷(xiāo)孔23中，或者粘結(jié)到所述銷(xiāo)孔23中。在聯(lián)接部5中磨削出 筒狀座24，以將滾珠20保持在傳感器元件側(cè)聯(lián)接部5中。為了確保滾珠20正確地安置在 柱狀銷(xiāo)22中，在測(cè)量機(jī)側(cè)聯(lián)接部4中設(shè)置周向槽25。為了保護(hù)光波導(dǎo)7，在傳感器保護(hù)聯(lián)接件3中結(jié)合呈波紋管形式的光波導(dǎo)保護(hù)元 件沈，該光波導(dǎo)保護(hù)元件沈圍繞光波導(dǎo)7。在波紋管沈的端部27、28，波紋管通過(guò)唇部29、 30被推到襯套12上和測(cè)量機(jī)側(cè)聯(lián)接部4上。當(dāng)傳感器保護(hù)聯(lián)接件3處于聯(lián)接狀態(tài)EZ時(shí)， 如圖1所示，波紋管26幾乎整體位于傳感器元件側(cè)聯(lián)接部5中的凹部13中。該凹部13在 圖面上在下端31處以彎曲形狀變細(xì)。測(cè)量機(jī)側(cè)聯(lián)接部4具有中心孔32，該中心孔32沿豎直方向向上以漏頭形狀變寬， 并且通向?qū)挼耐矤钭?3中。光波導(dǎo)7穿過(guò)孔32，但不附連到測(cè)量機(jī)側(cè)聯(lián)接部4。因此，當(dāng) 被釋放時(shí)(變換到非聯(lián)接狀態(tài)AZ)，在傳感器元件側(cè)聯(lián)接部5已離開(kāi)測(cè)量機(jī)側(cè)聯(lián)接部4運(yùn)動(dòng) 距離D時(shí)，光波導(dǎo)7可被牽拉通過(guò)測(cè)量機(jī)側(cè)聯(lián)接部4。光波導(dǎo)7在測(cè)量機(jī)側(cè)聯(lián)接部4上方呈 螺旋形狀引導(dǎo)。另外，測(cè)量機(jī)側(cè)聯(lián)接部4在筒狀座33的區(qū)域中具有偏心軸向孔34。釋放傳感器35 被插入該軸向孔34中。釋放傳感器35通過(guò)旋入徑向螺紋孔37中的平頭螺釘36固定在測(cè) 量機(jī)側(cè)聯(lián)接部4中，但可選地也可被粘結(jié)在其中。釋放傳感器35的縱向軸線沿徑向延伸。兩個(gè)聯(lián)接部4、5通過(guò)對(duì)準(zhǔn)筒38預(yù)先對(duì)中并防止旋轉(zhuǎn)。對(duì)準(zhǔn)筒38被保持在半筒狀 座39中，具體的是粘結(jié)在其中。對(duì)準(zhǔn)筒38的縱向軸線徑向延伸。當(dāng)傳感器保護(hù)聯(lián)接件3 處于聯(lián)接狀態(tài)EZ時(shí)，對(duì)準(zhǔn)筒38突出到傳感器元件側(cè)聯(lián)接部5中的另一半筒狀凹部40中， 該凹部40被布置在第四腹板41中。此外，光學(xué)傳感器1具有插座部，該未示出該插座部的任何細(xì)節(jié)，但是可通過(guò)標(biāo)準(zhǔn) 插座附連(從而可被更換)到測(cè)量機(jī)的可動(dòng)測(cè)量臂。測(cè)量機(jī)側(cè)聯(lián)接部4可通過(guò)附連凸緣42 被附連到插座部。為此，測(cè)量機(jī)側(cè)聯(lián)接部4具有雙臺(tái)階43和周向三角形槽口 44。
圖8和圖9示出了光學(xué)傳感器50的一個(gè)實(shí)施方式，該實(shí)施方式與前述實(shí)施方式的 區(qū)別在于光波導(dǎo)保護(hù)元件51是以預(yù)應(yīng)力拉伸的彈簧51。在彈簧51的端部52、53處，該彈 簧被附連到聯(lián)接部4、5上的唇部四、30。彈簧51限定距離D，當(dāng)該彈簧被釋放時(shí)，傳感器元 件側(cè)聯(lián)接部5可遠(yuǎn)離測(cè)量機(jī)側(cè)聯(lián)接部4移動(dòng)距離D。此外，被預(yù)加應(yīng)力的彈簧51將傳感器 元件側(cè)聯(lián)接部5保持在聯(lián)接狀態(tài)EZ，結(jié)果是該實(shí)施方式不需要任何磁體。 另外，對(duì)圖8和圖9中相同的特征設(shè)置相同的附圖標(biāo)記。 根據(jù)光學(xué)傳感器的未被示出另一實(shí)施方式，彈簧51被波紋管沈圍繞。 圖10至圖12示出了光學(xué)傳感器60的一個(gè)實(shí)施方式，該實(shí)施方式與圖1至圖7中 所示的實(shí)施方式的區(qū)別在于磁體61、62呈環(huán)形磁體的形式。這意味著腹板和釋放傳感器不 需要具有相關(guān)的孔和附連螺釘。
另外，對(duì)圖10至圖12中相同的特征設(shè)置相同的附圖標(biāo)記。 附圖標(biāo)記列表
29-唇部30-唇部31-凹部的端部32-孔33-座34-軸向孔35-釋放傳感器36-平頭螺釘37-螺紋孔38-對(duì)準(zhǔn)筒39-半筒狀座40-半筒狀座41-腹板42-附連凸緣43_ 臺(tái)階44-槽 口50-傳感器51-光波導(dǎo)保護(hù)元件，特別是彈簧52-光波導(dǎo)保護(hù)元件的端部53-光波導(dǎo)保護(hù)元件的端部60-傳感器61-環(huán)形磁體62-環(huán)形磁體AZ-非聯(lián)接狀態(tài)D-足巨離EZ-聯(lián)接狀態(tài)LAA-對(duì)準(zhǔn)筒的縱向軸線LAT-傳感器的縱向軸線
權(quán)利要求
1.一種用于測(cè)量機(jī)，特別是用于坐標(biāo)測(cè)量機(jī)的具有碰撞保護(hù)的光學(xué)傳感器，該光學(xué)傳 感器具有用于以機(jī)械方式和光學(xué)方式連接到所述測(cè)量機(jī)的傳感器側(cè)聯(lián)接部，并且具有傳感 器元件O)，所述傳感器的特征在于，所述傳感器具有作為碰撞保護(hù)的傳感器保護(hù)聯(lián)接件 (3)，該傳感器保護(hù)聯(lián)接件具有測(cè)量機(jī)側(cè)聯(lián)接部(4)和傳感器元件側(cè)聯(lián)接部(5)，其中，在所 述傳感器保護(hù)聯(lián)接件(3)的這些聯(lián)接部(4，幻之間布置光波導(dǎo)(7)，并且光波導(dǎo)保護(hù)元件 (26 ；51)圍繞所述光波導(dǎo)(7)，其中，所述光波導(dǎo)保護(hù)元件(26 ；51)的端部(27，28 ；52，53) 被附連到所述傳感器保護(hù)聯(lián)接件(3)的相關(guān)的所述聯(lián)接部0，5)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的傳感器，其特征在于，所述傳感器保護(hù)聯(lián)接件C3)具有釋放傳 感器(35)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的傳感器，其特征在于，所述釋放傳感器(3 被設(shè)計(jì)成是 電感式、電容式、光學(xué)式或呈電銷(xiāo)觸頭的形式。
4.根據(jù)前述權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的傳感器，其特征在于，所述傳感器保護(hù)聯(lián)接件 (3)的聯(lián)接部(4，5)具有至少一個(gè)磁體(17)，優(yōu)選為電磁體。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的傳感器，其特征在于，所述聯(lián)接部(4，幻具有三個(gè)磁體(17)， 這三個(gè)磁體相對(duì)于所述傳感器的縱向軸線(LAT)偏移120°角布置。
6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的傳感器，其特征在于，所述聯(lián)接部(4，幻具有環(huán)形磁體(61，62)。
7.根據(jù)權(quán)利要求1至6中任一項(xiàng)所述的傳感器，其特征在于，所述光波導(dǎo)保護(hù)元件為波 紋管(26)。
8.根據(jù)權(quán)利要求1至6中任一項(xiàng)所述的傳感器，其特征在于，所述光波導(dǎo)保護(hù)元件為以 預(yù)應(yīng)力拉伸的彈簧(51)。
9.根據(jù)權(quán)利要求6至8中任一項(xiàng)所述的傳感器，其特征在于，所述傳感器保護(hù)聯(lián)接件 (3)被設(shè)計(jì)成自身自動(dòng)地再次聯(lián)接。
10.根據(jù)前述權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的傳感器，其特征在于，所述傳感器保護(hù)聯(lián)接件 (3)的所述聯(lián)接部(4，幻通過(guò)三點(diǎn)式支承件(18)彼此安置。
11.根據(jù)權(quán)利要求1至10中任一項(xiàng)所述的傳感器，其特征在于，所述光波導(dǎo)(7)為單模 纖維。
12.根據(jù)權(quán)利要求1至10中任一項(xiàng)所述的傳感器，其特征在于，所述光波導(dǎo)(7)為多模纖維。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種用于測(cè)量機(jī)，特別是用于坐標(biāo)測(cè)量機(jī)的具有碰撞保護(hù)的光學(xué)傳感器(1)。該光學(xué)傳感器(1)包括用于以機(jī)械方式和光學(xué)方式連接到所述測(cè)量機(jī)的傳感器側(cè)聯(lián)接部、以及傳感器元件(2)。根據(jù)本發(fā)明，傳感器(1)包括作為碰撞保護(hù)的傳感器保護(hù)聯(lián)接件(3)，所述保護(hù)聯(lián)接件包括測(cè)量機(jī)側(cè)聯(lián)接部(4)和傳感器元件側(cè)聯(lián)接部(5)，其中，在傳感器保護(hù)聯(lián)接件(3)的聯(lián)接部(4，5)之間引入纖維光纜(7)，并且其中，纖維光纜保護(hù)元件(26)圍繞纖維光纜(7)，其中，纖維光纜保護(hù)元件(26)的端部(27，28)被緊固到傳感器保護(hù)聯(lián)接件(3)的相關(guān)的聯(lián)接部(4，5)。
文檔編號(hào)G01B11/00GK102144143SQ200980134422
公開(kāi)日2011年8月3日 申請(qǐng)日期2009年8月28日 優(yōu)先權(quán)日2008年9月5日
發(fā)明者弗蘭克·索普, 托馬斯·延森, 本杰明·烏里奧德 申請(qǐng)人:萊卡地球系統(tǒng)公開(kāi)股份有限公司