專利名稱：電感式位置傳感器、裝備其的測(cè)量系統(tǒng)和驅(qū)動(dòng)位置傳感器的方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種根據(jù)權(quán)利要求1的前序部分所述的用于確定相對(duì)位置的電感式 位置傳感器和一種根據(jù)權(quán)利要求7的前序部分所述的用于驅(qū)動(dòng)電感式位置傳感器的方法。 此外，本發(fā)明還涉及一種根據(jù)權(quán)利要求13所述的裝備有電感式位置傳感器的測(cè)量系統(tǒng)。
背景技術(shù)：
電感式位置傳感器例如被用作用于確定兩個(gè)可相對(duì)彼此轉(zhuǎn)動(dòng)的機(jī)器部分的角的 位置的轉(zhuǎn)動(dòng)傳感器(Drehgeber)。在電感式位置傳感器中，勵(lì)磁線圈和接收器線圈例如以印 制導(dǎo)線(Leiterbahn)的形式被施加在共同的電路板上，所述共同的電路板例如與轉(zhuǎn)動(dòng)傳感 器的定子固定連接。并不少見(jiàn)地被構(gòu)造為分度盤(pán)的另一板與該電路板相對(duì)，在該分度盤(pán)上 以周期性的間隔交替地施加有導(dǎo)電的面和不導(dǎo)電的面作為分度區(qū)域或分度結(jié)構(gòu)，并且該分 度盤(pán)與轉(zhuǎn)動(dòng)傳感器的轉(zhuǎn)子抗扭地(drehfest)相連。如果在勵(lì)磁線圈上施加在時(shí)間上交變 的勵(lì)磁電流，則在轉(zhuǎn)子與定子之間進(jìn)行相對(duì)轉(zhuǎn)動(dòng)期間在接收器線圈中產(chǎn)生與角的位置有關(guān) 的信號(hào)。這些信號(hào)接著在分析電子裝置中被進(jìn)一步處理。此外，電感式位置傳感器常常也被用于直接測(cè)量沿著軸線的縱向位移。在此，應(yīng)用 與在上述轉(zhuǎn)動(dòng)傳感器中相同的測(cè)量原理，然而接收器線圈和分度結(jié)構(gòu)接著沿著直線的軸線 走向。常常，這樣的電感式位置傳感器作為用于電傳動(dòng)裝置的測(cè)量設(shè)備而被采用，以確 定相對(duì)應(yīng)的機(jī)器部分的相對(duì)運(yùn)動(dòng)或相對(duì)位置。在這種情況下，由位置傳感器產(chǎn)生的位置值 通過(guò)相對(duì)應(yīng)的接口裝置被輸送給后續(xù)電子裝置(Folgeelektronik)，用于激勵(lì)傳動(dòng)裝置。這 樣的包括位置傳感器、接口裝置和后續(xù)電子裝置的配置被稱作測(cè)量系統(tǒng)。在這樣的位置傳感器或測(cè)量系統(tǒng)的許多應(yīng)用領(lǐng)域中，持久地存在滿足安全技術(shù)要 求的希望。常常必須可能的是，允許人員在其傳動(dòng)裝置與測(cè)量系統(tǒng)共同作用的機(jī)器部分的 回轉(zhuǎn)區(qū)域(khwenlcbereich)之內(nèi)停留。在所述前提條件下，必須排除人員由于測(cè)量系統(tǒng)中 的故障而陷于危險(xiǎn)中。相對(duì)應(yīng)地應(yīng)自然同時(shí)避免在運(yùn)動(dòng)的機(jī)器部分附近的實(shí)物會(huì)受到損 壞。在本申請(qǐng)人的DE 197 51 853 Al中描述了一種電感式位置傳感器，其中接收器線 圈以如下偏移被布置在槽(Spur)內(nèi)該偏移引起接收到的信號(hào)的90°相移。通常不會(huì)發(fā)現(xiàn) 接收器線圈的運(yùn)轉(zhuǎn)失靈或者分析電子裝置中的故障。在公開(kāi)文獻(xiàn)JP 2004 205456 Al中描述了一種增量式編碼器，該增量式編碼器產(chǎn) 生三個(gè)相移了 120°的信號(hào)。然而，相對(duì)應(yīng)的編碼器并不滿足更高的安全技術(shù)要求。

發(fā)明內(nèi)容
因而，本發(fā)明所基于的任務(wù)是提出一種電感式位置傳感器或相對(duì)應(yīng)的測(cè)量系統(tǒng)， 通過(guò)該電感式位置傳感器或通過(guò)該測(cè)量系統(tǒng)可以滿足高的安全技術(shù)要求。
同樣，通過(guò)本發(fā)明提出了一種能夠?qū)崿F(xiàn)相對(duì)應(yīng)的位置傳感器的可靠工作的方法。根據(jù)本發(fā)明，該任務(wù)通過(guò)權(quán)利要求1或權(quán)利要求7或者13的特征來(lái)解決。根據(jù)本發(fā)明的電感式位置傳感器包括掃描電路板，在該掃描電路板上布置有用于 產(chǎn)生電磁場(chǎng)的勵(lì)磁印制導(dǎo)線和具有多個(gè)接收器印制導(dǎo)線的(第一)接收器槽。此外，位置 傳感器包括分度元件，該分度元件相對(duì)于掃描電路板可移動(dòng)或者是可轉(zhuǎn)動(dòng)的并且具有分度 槽，該分度槽包括交替布置的、導(dǎo)電的和不導(dǎo)電的分度區(qū)域。此外，位置傳感器包括電子電 路。接收器槽在其方面具有至少三個(gè)接收器印制導(dǎo)線，所述至少三個(gè)接收器印制導(dǎo)線被布 置為使得在分度元件與掃描電路板之間進(jìn)行相對(duì)運(yùn)動(dòng)(例如相對(duì)轉(zhuǎn)動(dòng))時(shí)在接收器槽的接 收器印制導(dǎo)線中可檢測(cè)到信號(hào)，其中至少在一對(duì)這樣的信號(hào)之間的相移偏差η · 90°，其中 η為自然數(shù)，其中尤其是數(shù)0并不與自然數(shù)的量相關(guān)。電子電路被配置為使得根據(jù)由(第一) 接收器槽的接收器印制導(dǎo)線檢測(cè)到的信號(hào)首先可以產(chǎn)生三個(gè)數(shù)字信號(hào)，并且通過(guò)組合這三 個(gè)數(shù)字信號(hào)可以確定至少兩個(gè)位置值，作為在分度元件與掃描電路板之間的相對(duì)運(yùn)動(dòng)的度 量。位置值可以被輸送給比較器，用于檢驗(yàn)位置傳感器的高效能。分度元件因此相對(duì)于掃描電路板可移動(dòng)或者是可轉(zhuǎn)動(dòng)的，使得可以進(jìn)行相對(duì)應(yīng)的 相對(duì)運(yùn)動(dòng)。相對(duì)運(yùn)動(dòng)可以是轉(zhuǎn)動(dòng)運(yùn)動(dòng)或者是線性運(yùn)動(dòng)。相對(duì)應(yīng)地，通過(guò)位置值可以表示角 位或者平移位置。相移在此被理解為有用信號(hào)的相移(或電相位偏移)，其中有用信號(hào)具有比勵(lì)磁線 圈中的勵(lì)磁電流顯著更低的頻率。適宜地給出在0°到360°的范圍中的相移。在至少一 對(duì)這種信號(hào)之間的相移使得這些信號(hào)彼此間具有線性關(guān)系。三個(gè)信號(hào)的組合由于存在相關(guān)的數(shù)字形式的三個(gè)信號(hào)而被理解為基于作為輸入 數(shù)據(jù)的三個(gè)信號(hào)對(duì)這些信號(hào)進(jìn)行結(jié)算或執(zhí)行計(jì)算算法。可確定的位置值基于如下信號(hào)這些信號(hào)源自不同的接收器印制導(dǎo)線，其中相應(yīng) 的接收器印制導(dǎo)線的信號(hào)可以在彼此獨(dú)立的信號(hào)路徑上通過(guò)電子電路傳導(dǎo)。由于數(shù)字位置 值源自不同的接收器印制導(dǎo)線或接收器印制導(dǎo)線的不同組合并且在電路中彼此獨(dú)立地被 處理或者被確定或是可確定的，因此這些數(shù)字位置值彼此獨(dú)立。在本發(fā)明的有利的擴(kuò)展方案中，電子電路存在于ASIC部件中。有利地，電感式位置傳感器被構(gòu)建來(lái)使得在掃描電路板上布置有具有多個(gè)接收器 印制導(dǎo)線的第一接收器槽和第二接收器槽。分度元件在此接著包括第一分度槽和第二分度 槽，其中位置傳感器被配置為使得在掃描電路板與分度元件之間進(jìn)行相同的相對(duì)運(yùn)動(dòng)時(shí)通 過(guò)第一接收器槽的接收器印制導(dǎo)線比通過(guò)第二接收器槽的接收器印制導(dǎo)線可產(chǎn)生更小數(shù) 目的信號(hào)周期。相同的相對(duì)運(yùn)動(dòng)被理解為相同大小的相對(duì)運(yùn)動(dòng)，例如相對(duì)轉(zhuǎn)動(dòng)一定的角度 量或者縱向位移一定的長(zhǎng)度量。當(dāng)然，電感式位置傳感器也可以被構(gòu)建來(lái)使得設(shè)置有多于 兩個(gè)的接收器槽和多于兩個(gè)的分度槽。在本發(fā)明的另外的擴(kuò)展方案中，電感式位置傳感器的電子電路被配置為使得位置 值可被輸送給平均值分析器，其中該平均值分析器是電子電路的部分。此外，電子電路可以被配置為使得根據(jù)由第二接收器槽的接收器印制導(dǎo)線所檢測(cè) 到的信號(hào)首先可產(chǎn)生三個(gè)數(shù)字信號(hào)，其中通過(guò)組合這三個(gè)數(shù)字信號(hào)可確定至少兩個(gè)位置 值。位置值接著可被輸送給平均值分析器。有利地，電子電路被配置為使得通過(guò)平均值分析器產(chǎn)生的平均值可被輸送給比較元件。在本發(fā)明的有利的擴(kuò)展方案中，電感式位置傳感器可以被配置為使得在分度元 件與掃描電路板之間進(jìn)行相對(duì)運(yùn)動(dòng)時(shí)在接收器槽的接收器印制導(dǎo)線中檢測(cè)到相移分別為 60°或者120°的信號(hào)。在根據(jù)本發(fā)明的用于驅(qū)動(dòng)電感式位置傳感器的方法中，首先在分度元件與掃描電 路板之間進(jìn)行相對(duì)運(yùn)動(dòng)時(shí)在接收器槽的接收器印制導(dǎo)線中檢測(cè)到信號(hào)，其中至少在一對(duì)這 種信號(hào)之間的相移偏差η·90°，其中η為自然數(shù)。通過(guò)電子電路接著首先根據(jù)由接收器槽 的接收器印制導(dǎo)線檢測(cè)到的信號(hào)產(chǎn)生三個(gè)數(shù)字信號(hào)。這三個(gè)數(shù)字信號(hào)然后被組合為使得確 定至少兩個(gè)數(shù)字位置值。接著，這些位置值彼此進(jìn)行比較，其中在所述位置值的偏差超過(guò)預(yù) 先給定的邊界值時(shí)觸發(fā)故障報(bào)告。位置值的偏差與預(yù)先給定的邊界值的比較可以在位置傳感器本身中進(jìn)行和/或 在后續(xù)電子裝置中進(jìn)行，這些位置值由位置傳感器事先傳輸給該后續(xù)電子裝置。有利地，在掃描電路板上布置有帶有多個(gè)接收器印制導(dǎo)線的第一接收器槽和第二 接收器槽，其中分度元件包括第一分度槽和第二分度槽。在該布局中，接著在掃描電路板 與分度元件之間進(jìn)行相同的相對(duì)運(yùn)動(dòng)時(shí)，通過(guò)第一接收器槽的接收器印制導(dǎo)線比通過(guò)第二 接收器槽的接收器印制導(dǎo)線產(chǎn)生更少數(shù)目的信號(hào)周期。在所述的布局中，接著即使在掃描 電路板與分度元件之間進(jìn)行相同的相對(duì)運(yùn)動(dòng)時(shí)，也通過(guò)第一接收器槽的接收器印制導(dǎo)線產(chǎn) 生奇數(shù)數(shù)目的信號(hào)周期，并且通過(guò)第二接收器槽的接收器印制導(dǎo)線產(chǎn)生偶數(shù)數(shù)目的信號(hào)周 期，或反之亦然。在本發(fā)明的其它擴(kuò)展方案中，位置值被輸送給平均值分析器。尤其是，在該方法 中，在該電子電路中根據(jù)由第二接收器槽的接收器印制導(dǎo)線檢測(cè)到的信號(hào)首先產(chǎn)生三個(gè)數(shù) 字信號(hào)，其中通過(guò)組合這三個(gè)數(shù)字信號(hào)確定至少兩個(gè)位置值。這些位置值接著被輸送給平 均值分析器，用于確定相對(duì)應(yīng)的平均值。通過(guò)平均值分析器產(chǎn)生的平均值可以被輸送給比 較元件。根據(jù)另一方面，本發(fā)明涉及一種測(cè)量系統(tǒng)，該測(cè)量系統(tǒng)包括位置傳感器并且此外 還包括數(shù)據(jù)接口以及后續(xù)電子裝置。后續(xù)電子裝置在其方面包括比較器，其中通過(guò)數(shù)據(jù)接 口可給該比較器輸送至少兩個(gè)位置值。數(shù)據(jù)接口有利地包括接口電路(例如在位置傳感器 上的相對(duì)應(yīng)的接口部件)、用于傳輸位置值的線纜以及接口電路或后續(xù)電子裝置中的接口 部件?？商鎿Q地，位置值也可以無(wú)線纜地被傳輸，使得數(shù)據(jù)接口接著代替線纜而具有相對(duì)應(yīng) 的發(fā)送和接收元件。在根據(jù)本發(fā)明的測(cè)量系統(tǒng)的其它的擴(kuò)展方案中，如果位置值的偏差超過(guò)預(yù)先給定 的邊界值，則通過(guò)后續(xù)電子裝置可輸出故障報(bào)告。故障報(bào)告可以有利地直接觸發(fā)與測(cè)量系 統(tǒng)(或與后續(xù)電子裝置)相連的機(jī)器的自動(dòng)停機(jī)。補(bǔ)充地，出于診斷目的也可以將故障報(bào)告 例如在屏幕上輸出。有利地，測(cè)量系統(tǒng)包括帶有掃描電路板的電感式位置傳感器以及包括分度元件， 在該掃描電路板上布置有帶有多個(gè)接收器印制導(dǎo)線的第一接收器槽和第二接收器槽，該分 度元件具有第一分度槽和第二分度槽。在此，在掃描電路板與分度元件之間進(jìn)行相同的相 對(duì)運(yùn)動(dòng)時(shí)，通過(guò)第一接收器槽的接收器印制導(dǎo)線比通過(guò)第二接收器槽的接收器印制導(dǎo)線可 產(chǎn)生更小數(shù)目的信號(hào)周期。此外，根據(jù)接收器印制導(dǎo)線的信號(hào)產(chǎn)生的數(shù)字位置值在后續(xù)電
7子裝置中可被組合成一個(gè)位置值。本發(fā)明的有利的構(gòu)型由從屬權(quán)利要求得知。


根據(jù)本發(fā)明的電感式位置傳感器、用于驅(qū)動(dòng)電感式位置傳感器的方法以及裝備有 該位置傳感器的測(cè)量系統(tǒng)的其它細(xì)節(jié)和優(yōu)點(diǎn)從以下參照附圖對(duì)實(shí)施例的描述中得到。其中
圖1示出了分度盤(pán)的俯視圖， 圖2示出了掃描電路板的俯視圖，
圖3示出了帶有位置傳感器的測(cè)量系統(tǒng)的電子電路的功能的示意圖， 圖如-d示出了信號(hào)變化曲線，如在位置傳感器中出現(xiàn)的那樣， 圖5示出了通過(guò)電感式位置傳感器的橫截面。
具體實(shí)施例方式在所介紹的實(shí)施例中，參照以下測(cè)量系統(tǒng)描述了本發(fā)明該測(cè)量系統(tǒng)包括旋轉(zhuǎn)的 電感式位置傳感器以及用于進(jìn)行數(shù)據(jù)傳輸?shù)慕涌?5和后續(xù)電子裝置4。在圖1、2和5中示出了位置傳感器的原理結(jié)構(gòu)。根據(jù)圖5，位置傳感器具有轉(zhuǎn)子和 定子。在所介紹的實(shí)施例中，轉(zhuǎn)子包括軸20，該軸20例如可以抗扭地被安裝在要測(cè)量的馬 達(dá)軸上。為了檢測(cè)其角的位置，在軸20的凸緣上抗扭地安置有環(huán)狀的分度盤(pán)2形式的分度 元件，該分度元件具有(在圖5中并未示出的)分度槽2. 1、2.2。定子包括殼體10，在該殼體10上固定環(huán)狀的掃描電路板1作為支承體。在掃描電 路板1上安裝有ASIC部件3，在該ASIC部件3中有電子電路。ASIC部件3尤其是用作分 析元件。此外，在掃描電路板1上安裝有接口部件5和插塞連接器5.1。轉(zhuǎn)子和定子或軸 10和殼體20可以圍繞轉(zhuǎn)動(dòng)軸線R相對(duì)彼此轉(zhuǎn)動(dòng)。在圖1中示出了分度盤(pán)2。該分度盤(pán)2包括基板2. 3，該基板2. 3在所示的實(shí)施例 中由環(huán)氧樹(shù)脂制造并且在該基板2. 3上布置有兩個(gè)分度槽2. 1,2. 2。分度槽2. 1,2. 2圓形 地被構(gòu)造并且關(guān)于轉(zhuǎn)動(dòng)軸線R同心地以不同的直徑被布置在基板2. 3上。兩個(gè)分度槽2. 1、 2. 2分別包括交替布置的導(dǎo)電分度區(qū)域2. 11,2. 21和不導(dǎo)電的分度區(qū)域2. 12,2. 22的周期 序列。在所示的例子中，作為用于導(dǎo)電的分度區(qū)域2. 11,2.21的材料，銅被施加到基板2. 3 上。而在不導(dǎo)電的分度區(qū)域2. 12,2.22中，基板2. 3未被涂層。內(nèi)部的分度槽2. 1在所示的實(shí)施形式中包括具有導(dǎo)電材料(在此為銅)的半圓形的 第一分度區(qū)域2. 11以及布置有不導(dǎo)電的材料的半圓形的第二分度區(qū)域2. 12。在徑向上與第一分度槽2. 1鄰近地，在基板2. 3上有第二分度槽2. 2，其中第二分 度槽2. 2也包括多個(gè)導(dǎo)電的分度區(qū)域2. 21以及布置在其間的不導(dǎo)電的分度區(qū)域2. 22。各 種分度區(qū)域2. 21,2. 22在此按照材料與第一分度槽2. 1的分度區(qū)域2. 11,2. 12同樣地被構(gòu) 造。在所示的實(shí)施例中，第二分度槽2. 2總共包括十六個(gè)周期布置的、導(dǎo)電的分度區(qū)域2. 21 以及相對(duì)應(yīng)地包括十六個(gè)布置在其間的不導(dǎo)電的分度區(qū)域2. 22。圖2中示出的為了掃描分度盤(pán)2而設(shè)置的掃描電路板1作為接收器槽在內(nèi)部接收 器槽1. 1中包括三個(gè)接收器印制導(dǎo)線1. 11、1. 12,1. 13，而在外部接收器槽1. 2中包括其它三個(gè)接收器印制導(dǎo)線1. 21,1. 22,1. 23。相應(yīng)的接收器槽1. 1U. 2的接收器印制導(dǎo)線1. 11、 1. 12,1. 13 ；1. 21,1. 22,1. 23的相關(guān)的三元組在這種情況下相對(duì)于彼此偏移，在此尤其是 均勻地彼此偏移。此外，勵(lì)磁印制導(dǎo)線1. 3作為勵(lì)磁槽被設(shè)置在掃描電路板1上，所述勵(lì)磁印制導(dǎo)線 1.3被施加在內(nèi)部的、中部的和外部的勵(lì)磁槽上。掃描電路板1本身具有居中的孔并且多層 地被實(shí)施。在位置傳感器的裝配好的狀態(tài)下，分度盤(pán)2和掃描電路板1對(duì)置，使得轉(zhuǎn)動(dòng)軸線R 通過(guò)兩個(gè)元件的中點(diǎn)并且在分度盤(pán)2與掃描電路板1之間進(jìn)行相對(duì)轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)在掃描電路板1 中可通過(guò)電感效應(yīng)產(chǎn)生與相應(yīng)的角位有關(guān)的信號(hào)。對(duì)于形成相對(duì)應(yīng)的信號(hào)的前提條件是勵(lì)磁印制導(dǎo)線1. 3在接收器槽1. 1,1. 2的 區(qū)域中或在以此掃描的分度槽2. 1和2. 2的區(qū)域中產(chǎn)生在時(shí)間上交變的電磁勵(lì)磁場(chǎng)。在所 示的實(shí)施例中，勵(lì)磁印制導(dǎo)線1. 3被構(gòu)造為多個(gè)平面平行的、電流流經(jīng)的單個(gè)印制導(dǎo)線。如 果電流全都在相同的方向上流經(jīng)印制導(dǎo)線單元的勵(lì)磁印制導(dǎo)線1. 3，則圍繞相應(yīng)的印制導(dǎo) 線單元構(gòu)造管道狀或圓柱體形取向的電磁場(chǎng)。所得到的電磁場(chǎng)的場(chǎng)線以圍繞印制導(dǎo)線單元 的同心圓的形式走向，其中場(chǎng)線的方向以公知的方式和方法與印制導(dǎo)線單元中的電流方向 有關(guān)。直接鄰接共同的接收器槽1. 1,1. 2的印制導(dǎo)線單元的電流方向或這些印制導(dǎo)線 單元的相對(duì)應(yīng)的布線在此相反地被選擇，使得場(chǎng)線在接收器槽1. 1、1. 2的區(qū)域中分別相同 地取向。安裝在掃描電路板1上的ASIC部件3不僅作為分析元件工作，而且也作為勵(lì)磁 控制元件來(lái)工作，在該勵(lì)磁控制元件的控制下產(chǎn)生了接著流經(jīng)勵(lì)磁印制導(dǎo)線1. 3的勵(lì)磁電 流。通過(guò)勵(lì)磁電流在接收器印制導(dǎo)線1. 11、1. 12、1. 13、1. 21、1. 22、1. 23中根據(jù)分度盤(pán)2的 角位感應(yīng)出電壓，其中這些電壓以下被稱作信號(hào)Si. 11、S1. 12,Si. 13,Si. 21、S1. 22,Si. 23。在圖如至如中僅僅示出了內(nèi)部接收器槽1. 1的所接收到的高頻信號(hào)Si. 11、 Si. 12,Si. 13的變化曲線。根據(jù)內(nèi)部接收器槽1. 1和內(nèi)部分度槽2. 1的布局，此處針對(duì)每轉(zhuǎn) (即在為2 π (360° )的轉(zhuǎn)動(dòng)角或相對(duì)運(yùn)動(dòng)的情況下)，在接收器印制導(dǎo)線1. 11、1. 12、1. 13 中產(chǎn)生一個(gè)信號(hào)周期。三個(gè)外部接收器印制導(dǎo)線1. 21,1. 22,1. 23分別具有十六(即24)匝，使得利用外 部接收器印制導(dǎo)線1. 21,1. 22,1. 23可以在分度盤(pán)2相對(duì)于掃描電路板1進(jìn)行相對(duì)運(yùn)動(dòng)時(shí) 產(chǎn)生比較高分辨率的增量信號(hào)。在相對(duì)于支承體相對(duì)運(yùn)動(dòng)一轉(zhuǎn)(360°的轉(zhuǎn)動(dòng)角)之內(nèi)，接 收器印制導(dǎo)線1. 21,1. 22,1. 23在掃描分度槽2. 2時(shí)分別提供了十六個(gè)信號(hào)周期。三個(gè)感 應(yīng)出的并且幅度調(diào)制過(guò)的信號(hào)Si. 21、Si. 22、Si. 23原則上在變化曲線方面對(duì)應(yīng)于圖如至 4c的信號(hào)。根據(jù)圖3，信號(hào) Si. 11、Si. 12、Si. 13、Si. 21、Si. 22、Si. 23 首先分離地分別被輸 送給ASIC部件3的放大器電路3. 11,3. 12,3. 13,3.21,3. 22,3. 23，在那里放大模擬信號(hào) Si. 11、SL 12、SL 13、SL 21、SL 22、SL 23。然后，經(jīng)放大的信號(hào)Si. 11、Si. 12、Si. 13、Si. 21、Si. 22、Si. 23分別被引導(dǎo)到解 調(diào)器 3. 31,3. 32,3. 32,3. 41,3. 42,3. 43，在那里形成如下信號(hào) S3. 31、S3. 32, S3. 33, S3. 41、 S3. 42、S3. 43 這些信號(hào) S3. 31、S3. 32、S3. 33、S3. 41、S3. 42、S3. 43 是經(jīng)放大的信號(hào) Si. 11、Si. 12、Si. 13、Si. 21、Si. 22、Si. 23 的相位對(duì)齊的(phasengerichtet)低頻幅度。在圖 4d 中以圖示出了信號(hào)S3. 31、S3. 32、S3. 33。通過(guò)偏移地布置接收器印制導(dǎo)線1. 11、1. 12、 1. 13,1. 21,1. 22,1. 23，在位置傳感器工作時(shí)，對(duì)于每個(gè)接收器槽1. 1,1. 2形成三個(gè)感應(yīng)出 的電壓變化曲線，所述感應(yīng)出的電壓變化曲線的相位對(duì)齊的幅度或有用信號(hào)分別具有彼此 間120°的相移。必要時(shí)，在信號(hào)S3. 11、S3. 12、S3. 13、S3. 21、S3. 22、S3. 23被輸送給模擬-數(shù)字轉(zhuǎn) 換器 3. 51,3. 52,3. 53,3. 61,3. 62,3. 63 之前，這些信號(hào) S3. 11、S3. 12,S3. 13,S3. 21、S3. 22、 S3. 23可以再次被放大。在那里，產(chǎn)生數(shù)字信號(hào)S3. 51、S3. 52,S3. 53,S3. 61、S3. 62,S3. 63。 相對(duì)應(yīng)地，因此對(duì)于每個(gè)接收器槽1. 1、1· 2形成三個(gè)數(shù)字信號(hào)S3. 51、S3. 52,S3. 53,S3. 61、 S3. 62、S3. 63。因此，ASIC部件3也即包括模擬部分(在圖3中的點(diǎn)劃線以上)和數(shù)字部分 (在圖3中的點(diǎn)劃線之下)。ASIC 部件 3 可以被構(gòu)建為使得數(shù)字信號(hào) S3. 51、S3. 52,S3. 53,S3. 61、S3. 62,S3. 63 經(jīng)受檢驗(yàn)例程。例如可以檢驗(yàn)信號(hào)S3. 51、S3. 52、S3. 53之和或者信號(hào)S3. 61、S3. 62、S3. 63 之和是否顯著偏離于零，或者是否信號(hào)S3. 11、S3. 12、S3. 13或S3. 61、S3. 62、S3. 63中有 多于一個(gè)的信號(hào)的值取零。如果情況如此，則可以產(chǎn)生故障報(bào)告。用于執(zhí)行所述可選的檢 驗(yàn)例程的設(shè)備此外在圖3中未示出。通常，為了進(jìn)行故障監(jiān)控而對(duì)S3. 11、S3. 12、S3. 13或 S3. 61、S3. 62、S3. 63的相位關(guān)系進(jìn)行檢驗(yàn)。在ASIC部件3的數(shù)字部分上的邏輯電路3. 71,3. 72中，通過(guò)組合三個(gè)數(shù)字信號(hào) S3. 51、S3. 52、S3. 53來(lái)確定或計(jì)算兩個(gè)彼此獨(dú)立的位置值P3. 71、P3. 72，所述三個(gè)數(shù)字信 號(hào)S3. 51、S3. 52,S3. 53基于信號(hào)S3. 11、S3. 12,S3. 13并且由對(duì)相對(duì)粗的分度槽2. 1的掃描 而得到。計(jì)算例如基于坐標(biāo)變換，通過(guò)該坐標(biāo)變換首先將數(shù)字信號(hào)S3. 51、S3. 52、S3. 53轉(zhuǎn) 化到笛卡爾坐標(biāo)系中，并且隨后根據(jù)傳統(tǒng)的方法進(jìn)行分析。尤其是，根據(jù)信號(hào)S3. 51 (0° ) 和S3. 52 (120° )形成位置值P3. 71，根據(jù)信號(hào)S3. 52 (120° )和S3. 53 (240° )形成位置 值P3. 72。每個(gè)位置值P3.71、3. 72因此是分度盤(pán)2圍繞轉(zhuǎn)動(dòng)軸線R—轉(zhuǎn)內(nèi)的位置信息。在 理想情況下，位置值P3. 71、P3. 72因此分別會(huì)取相同的值。由于必然出現(xiàn)的制造容差和安 裝容差以及由于變化的環(huán)境影響，位置值P3. 71、P3. 72即使僅僅微小偏差也彼此偏差。這 樣的偏差在比較器3. 20中被確定并且與預(yù)先給定的邊界值相比較，該預(yù)先給定的邊界值 被存放在存儲(chǔ)器3. 21中。對(duì)于偏差大于邊界值的情況，輸出故障報(bào)告E3. 20。類似于形成比較粗的位置值P3. 71、P3. 72，也以電子方式處理由三個(gè)數(shù)字信號(hào) S3. 61、S3. 62、S3. 63構(gòu)成的明顯更精細(xì)的位置信息，其中在邏輯電路3. 81、3. 82、3. 83中同 樣計(jì)算三個(gè)彼此獨(dú)立地被確定的位置值P3. 81、P3. 82、P3. 82，這三個(gè)位置值P3. 81、P3. 82、 P3. 82接著在平均值分析器3. 102中被處理成平均值P3. 102。通過(guò)求平均值P3. 102，達(dá)到 極其精確的測(cè)量結(jié)果，該測(cè)量結(jié)果此外在很大程度上沒(méi)有三階諧波。因此實(shí)現(xiàn)的是使在掃 描電路板1和分度盤(pán)2之間的距離波動(dòng)對(duì)測(cè)量結(jié)果的影響最小化。平均值P3. 102和三個(gè)位 置值Ρ3.81、Ρ3. 82、Ρ3· 82被轉(zhuǎn)發(fā)給比較元件3. 122，該比較元件3. 122具有存儲(chǔ)器3. 1221， 在該存儲(chǔ)器3. 1221中寄存有針對(duì)平均值Ρ3. 102和位置值Ρ3.81、Ρ3. 82、Ρ3. 82中的每個(gè)單 個(gè)位置值之間的可靠偏差的值。一旦在比較元件3. 122中確定了不可靠地高的偏差，就輸 出故障報(bào)告Ε3. 122。在連接電路3. 90中，將精細(xì)的平均值Ρ3. 102與比較粗的位置值Ρ3. 72連接，使得
10結(jié)果產(chǎn)生關(guān)于連接電路3. 90的角位的高分辨率的絕對(duì)位置值P。為了滿足提高的安全技術(shù)要求，此外還在連接監(jiān)控單元3. 91中對(duì)精細(xì)的平均值 P3. 102與位置值P3. 72的連接就似然性進(jìn)行檢驗(yàn)。為此目的，在平均值P3. 102和位置值 P3. 72之間的差被確定。同樣，從存儲(chǔ)器3. 911讀出邊界值，該邊界值與所確定的差相比較。 一旦在連接監(jiān)控單元3. 91中確定不可靠地大的差，就輸出故障報(bào)告E3. 91。比較器3. 20、連接監(jiān)控單元3. 91和比較元件3. 122的可能出現(xiàn)的故障報(bào)告被轉(zhuǎn)發(fā) 給接口部件5。在那里根據(jù)所希望的傳輸協(xié)議進(jìn)一步處理這些值并且通過(guò)插塞連接器5. 1 和線纜將這些值傳輸給后續(xù)電子裝置4。后續(xù)電子裝置4例如可以是機(jī)器的數(shù)字控制裝置，其中后續(xù)電子裝置4包括另一 接口部件4. 20和比較器4. 1。所傳輸?shù)奈恢弥礟3. 71和所傳輸?shù)慕^對(duì)位置值P3. 102被后 續(xù)電子裝置4的接口部件4. 20轉(zhuǎn)換并且被輸送給比較器4. 1。為了保證在數(shù)據(jù)傳輸期間 不出現(xiàn)故障，在比較器4. 1中再次進(jìn)行檢驗(yàn)?，F(xiàn)在，所傳輸?shù)奈恢弥礟3. 71與所傳輸?shù)慕^對(duì) 位置值P3. 102進(jìn)行比較，其中此處也將位置值P3. 71、P3. 102的偏差與寄存在存儲(chǔ)器4. 11 中的預(yù)先給定的邊界值進(jìn)行比較。一旦在比較器4. 1中確定了不可靠地大的偏差，就輸出 故障報(bào)告E4. 1。因此，如果位置傳感器的ASIC部件3已獲得故障報(bào)告E3. 20、E3. 91或者 E3. 1221中的至少一個(gè)或者如果比較器4. 1在后續(xù)電路裝置4中已產(chǎn)生了故障報(bào)告E4. 1， 則后續(xù)電子裝置4輸出故障報(bào)告E。所介紹的測(cè)量系統(tǒng)尤其是具有如下優(yōu)點(diǎn)該測(cè)量系統(tǒng)滿足最高的安全要求。因?yàn)?數(shù)字信號(hào)S3. 51、S3. 52、S3. 53、S3. 61、S3. 62、S3. 63基于在彼此獨(dú)立的信號(hào)路徑上被傳導(dǎo) 的模擬信號(hào)Si. 11、Si. 12、Si. 13 ；Si. 21、Si. 22、Si. 23。由于接收器槽1. 1、1. 2分別包括 三個(gè)接收器印制導(dǎo)線1. 11、1. 12,1. 13 ；1. 21,1. 22,1. 23，通過(guò)這些接收器印制導(dǎo)線1. 11、 1. 12、1. 13 ；1.21、1.22、1.23可檢測(cè)到為120°的相對(duì)相移分別偏差η · 90° (其中η為自 然數(shù))的信號(hào)Si. 11、S1. 12,Si. 13 ；Si. 21、S1. 22,Si. 23，所以進(jìn)一步提高了安全性。這樣， 在該布局中例如立即識(shí)別出，接收器印制導(dǎo)線1. 11、1. 12,1. 13 ；1. 21,1. 22,1. 23是否由于 缺陷而運(yùn)轉(zhuǎn)失靈。關(guān)于測(cè)量系統(tǒng)的高安全性的另一方面在于位置值P3.71的比較P在實(shí)現(xiàn)數(shù)據(jù)傳 輸之后才在后續(xù)電子裝置4中進(jìn)行。以這種方式也還可以識(shí)別出通過(guò)數(shù)據(jù)傳輸才產(chǎn)生的故 障并且通過(guò)發(fā)出相對(duì)應(yīng)的故障報(bào)告E來(lái)處理。
權(quán)利要求
1.一種電感式位置傳感器，其包括 掃描電路板(1)，在該掃描電路板(1)上設(shè)置有 -勵(lì)磁印制導(dǎo)線(1.3)，以及-具有多個(gè)接收器印制導(dǎo)線(1. 11,1. 12,1. 13 ；1.21,1.22,1.23)的接收器槽(1. 1 ； 1.2)，以及 該電感式位置傳感器包括分度元件(2)，所述分度元件(2)能夠相對(duì)于掃描電路板 (1)移動(dòng)或者轉(zhuǎn)動(dòng)并且包括分度槽(2. 1，2.2)，所述分度槽(2. 1，2. 2)包括交替布置的、導(dǎo) 電的和不導(dǎo)電的分度區(qū)域(2. 11,2. 12 ；2. 12,2. 22)， 該電感式位置傳感器包括電子電路(3)， 其特征在于，接收器槽(1. 1 ；1.2)包括三個(gè)接收器印制導(dǎo)線(1. 11，1. 12，1. 13 ；1. 21，1. 22，1. 23)， 所述接收器印制導(dǎo)線(1. 11，1. 12，1. 13 ；1.21，1.22，1.23)被布置為使得在分度元件(2) 與掃描電路板(1)之間進(jìn)行相對(duì)運(yùn)動(dòng)時(shí)在接收器槽(1. 1 ；1.2)的接收器印制導(dǎo)線(1. 11， 1. 12，1. 13 ；1. 21，1. 22，1. 23)中能夠檢測(cè)到信號(hào)(Si. 11，Si. 12，Si. 13 ；Si. 21，Si. 22， Si. 23)，其中至少在一對(duì)所述信號(hào)(Si. 11，Si. 12，Si. 13 ；Si. 21，Si. 22，Si. 23)之間的相移 偏差η · 90°，其中η為自然數(shù)，以及電子電路(3)被配置為使得根據(jù)由接收器槽(1. 1 ；1. 2)的接收器印制導(dǎo)線(1. 11， 1. 12,1. 13 ；1. 21,1. 22,1. 23)檢測(cè)到的信號(hào)(Si. 11, Si. 12, Si. 13 ；Si. 21, Si. 22, Si. 23)首 先能夠產(chǎn)生三個(gè)數(shù)字信號(hào)(S3. 51，S3. 52，S3. 53 ；S3. 61，S3. 62，S3. 63)，其中通過(guò)組合所述三個(gè)數(shù)字信號(hào)(S3. 51，S3. 52，S3. 53 ；S3. 61, S3. 62，S3. 63)能確定至少 兩個(gè)位置值(P，Ρ3. 71，Ρ3. 72 ；Ρ3. 81，Ρ3. 82，Ρ3. 83)，以及位置值(P，Ρ3. 71，Ρ3. 72 ；Ρ3. 81，Ρ3. 82，Ρ3. 83)能被輸送給比較器(3. 20,4. 1)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電感式位置傳感器，其特征在于，一在掃描電路板(1)上布置有具有多個(gè)接收器印制導(dǎo)線(1. 11，1. 12，1. 13 ；1. 21， 1. 22，1. 23)的第一接收器槽(1. 1)和第二接收器槽(1. 2)，以及一分度元件(2)包括第一分度槽(2. 1)和第二分度槽(2. 2)，其中 在掃描電路板(1)與分度元件(2)之間進(jìn)行相同的相對(duì)運(yùn)動(dòng)時(shí)，通過(guò)第一接收器槽 (1. 1)的接收器印制導(dǎo)線(1. 11，1. 12，1. 13)比通過(guò)第二接收器槽(1.2)的接收器印制導(dǎo)線 (1. 21，1. 22，1. 23)能產(chǎn)生更小數(shù)目的信號(hào)周期。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的電感式位置傳感器，其特征在于，電子電路(3)被配置 為使得位置值(Ρ3. 81，Ρ3. 82，Ρ3. 83)能夠被輸送給平均值分析器(3. 102)。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的電感式位置傳感器，其特征在于，電子電路(3)被配置為使得根據(jù)由第二接收器槽(1.2)的接收器印制導(dǎo)線(1.21， 1.22，1.23)檢測(cè)到的信號(hào)(Si. 21，SL 22，Si. 23)首先能夠產(chǎn)生三個(gè)數(shù)字信號(hào)(S3. 61， S3. 62，S3. 63)，其中通過(guò)組合所述三個(gè)數(shù)字信號(hào)(S3. 61，S3. 62，S3. 63)能夠確定至少兩個(gè)位置值(Ρ3. 81， Ρ3. 82，Ρ3. 83)，以及位置值(Ρ3. 81，Ρ3. 82，Ρ3. 83)能被輸送給平均值分析器(3. 102)。
5.根據(jù)權(quán)利要求3或4所述的電感式位置傳感器，其特征在于，電子電路(3)被配置為使得能夠?qū)⑼ㄟ^(guò)平均值分析器(3. 102)產(chǎn)生的平均值輸送給比較元件(3. 122)。
6.根據(jù)上述權(quán)利要求之一所述的電感式位置傳感器，其特征在于，在分度元件(2)與 掃描電路板(1)之間進(jìn)行相對(duì)運(yùn)動(dòng)時(shí)，在接收器槽(1. 1 ；1.2)的接收器印制導(dǎo)線(1. 11， 1. 12,1. 13 ；1.21,1.22,1.23)中能檢測(cè)到相移分別為60 °或者120°的信號(hào)(Si. 11， Si. 12，Si. 13 ；Si. 21，Si. 22，Si. 23)。
7.一種用于驅(qū)動(dòng)電感式位置傳感器的方法，所述電感式位置傳感器包括 掃描電路板(1)，在該掃描電路板(1)上布置有-勵(lì)磁印制導(dǎo)線(1.3)，以及-具有多個(gè)接收器印制導(dǎo)線(1. 11,1. 12,1. 13 ；1.21,1.22,1.23)的接收器槽(1. 1 ； 1.2)，以及 所述電感式位置傳感器包括分度元件(2)，所述分度元件(2)能夠相對(duì)于掃描電路 板(1)移動(dòng)或者轉(zhuǎn)動(dòng)并且包括分度槽(2. 1，2.2)，所述分度槽(2. 1，2. 2)包括交替布置的、 導(dǎo)電的和不導(dǎo)電的分度區(qū)域(2. 11,2. 12 ；2. 21,2. 22)， 其特征在于， 在分度元件(2)與掃描電路板(1)之間進(jìn)行相對(duì)運(yùn)動(dòng)時(shí)，在接收器槽(1. 1 ；1. 2)的 接收器印制導(dǎo)線(1. 11,1. 12,1. 13 ；1. 21,1. 22，1. 23)中檢測(cè)到信號(hào)(Si. 11, Si. 12, Si. 13 ； Si. 21，Si. 22，Si. 23)，其中至少在一對(duì)所述信號(hào)(Si. 11，Si. 12，Si. 13 ；Si. 21，Si. 22， Si. 23)之間的相移偏差η · 90°，其中η為自然數(shù)，以及 通過(guò)電子電路(3)根據(jù)由接收器槽(1. 1 ；1. 2)的接收器印制導(dǎo)線(1. 11，1. 12，1. 13 ； 1. 21，1. 22，1. 23)檢測(cè)到的信號(hào)(Si. 11, Si. 12, Si. 13 ；Si. 21, Si. 22, Si. 23)首先產(chǎn)生三個(gè) 數(shù)字信號(hào)(S3. 51，S3. 52，S3. 53 ；S3. 61，S3. 62，S3. 63)，以及 組合所述三個(gè)數(shù)字信號(hào)(S3. 51，S3. 52，S3. 53 ；S3. 61，S3. 62，S3. 63)來(lái)使得確定至少 兩個(gè)位置值(P，Ρ3. 71，Ρ3. 72 ；Ρ3. 81，Ρ3. 82，Ρ3. 83)，以及接著 將位置值(P，Ρ3. 71，Ρ3. 72 ；Ρ3.81, Ρ3. 82，Ρ3. 83)彼此相比較，其中在位置值(P， Ρ3. 71，Ρ3. 72 ；Ρ3. 81，Ρ3. 82，Ρ3. 83)的偏差超過(guò)預(yù)先給定的值時(shí)，輸出故障報(bào)告(Ε3. 20， Ε3. 91，Ε3. 1221，Ε4. 1，Ε)。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的用于驅(qū)動(dòng)電感式位置傳感器的方法，其特征在于，-在掃描電路板(1)上布置有具有多個(gè)接收器印制導(dǎo)線(1. 11,1. 12,1. 13 ；1.21， 1. 22，1. 23)的第一接收器槽(1. 1)和第二接收器槽(1. 2)，以及-分度元件(2)包括第一分度槽(2. 1)和第二分度槽(2. 2)，其中 在掃描電路板(1)與分度元件(2)之間進(jìn)行相同的相對(duì)運(yùn)動(dòng)時(shí)，通過(guò)第一接收器槽 (1. 1)的接收器印制導(dǎo)線(1. 11，1. 12，1. 13)比通過(guò)第二接收器槽(1.2)的接收器印制導(dǎo)線 (1.21，1. 22，1. 23)產(chǎn)生更小數(shù)目的信號(hào)周期。
9.根據(jù)權(quán)利要求7或8所述的用于驅(qū)動(dòng)電感式位置傳感器的方法，其特征在于，位置 值(Ρ3. 81，Ρ3. 82，Ρ3. 83)被輸送給平均值分析器(3. 102)。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的用于驅(qū)動(dòng)電感式位置傳感器的方法，其特征在于，在電子 電路(3)中，根據(jù)由第二接收器槽(1. 2)的接收器印制導(dǎo)線(1. 21，1. 22，1. 23)檢測(cè)到的信 號(hào)(Si. 21，Si. 22，Si. 23)首先產(chǎn)生三個(gè)數(shù)字信號(hào)(S3. 61，S3. 62，S3. 63)，其中通過(guò)組合所述三個(gè)數(shù)字信號(hào)(S3. 61，S3. 62，S3. 63)確定至少兩個(gè)位置值(Ρ3. 81，P3. 82，P3. 83)，以及位置值(P3. 81，P3. 82，P3. 83)被輸送給平均值分析器(3. 102)。
11.根據(jù)權(quán)利要求9或10所述的用于驅(qū)動(dòng)電感式位置傳感器的方法，其特征在于，通 過(guò)平均值分析器(3. 102)產(chǎn)生的平均值被輸送給比較元件(3. 122)。
12.根據(jù)權(quán)利要求7至11之一所述的用于驅(qū)動(dòng)電感式位置傳感器的方法，其特征在 于，在分度元件(2)與掃描電路板(1)之間進(jìn)行相對(duì)運(yùn)動(dòng)時(shí)，在接收器槽(1. 1 ；1.2)的接收 器印制導(dǎo)線(1. 11，1. 12，1. 13 ；1.21，1.22，1.23)中檢測(cè)到相移分別為60°或者120°的信 號(hào)(Si. 11，Si. 12，Si. 13 ；Si. 21，Si. 22，Si. 23)。
13.測(cè)量系統(tǒng)，其具有根據(jù)權(quán)利要求1所述的位置傳感器，該測(cè)量系統(tǒng)此外還具有數(shù) 據(jù)接口(5. 20,4. 20)和后續(xù)電子裝置(4)，該后續(xù)電子裝置(4)包括比較器(4. 1)，其中能夠 通過(guò)數(shù)據(jù)接口(5. 20,4. 20)給比較器(4. 1)輸送至少兩個(gè)位置值(P，P3. 71，P3. 72 ；P3. 81， P3. 82，P3. 83)。
14.根據(jù)權(quán)利要求13所述的測(cè)量系統(tǒng)，其中，在兩個(gè)位置值(P，P3.71，P3.72；P3.81, P3. 82，P3. 83)的偏差超過(guò)預(yù)先給定的邊界值的情況下，通過(guò)后續(xù)電子裝置(4)能夠輸出故 障報(bào)告(E)。
15.根據(jù)權(quán)利要求13或14所述的測(cè)量系統(tǒng)，其中， 電感式位置傳感器包括-掃描電路板(1)，在所述掃描電路板(1)上布置有具有多個(gè)接收器印制導(dǎo)線(1.11， 1. 12，1. 13 ；1. 21，1. 22，1. 23)的第一接收器槽(1. 1)和第二接收器槽(1. 2)，以及-分度元件(2)，所述分度元件(2)具有第一分度槽(2. 1)和第二分度槽(2. 2)，以及 后續(xù)電子裝置(4)具有連接電路(3. 90)，其中，在掃描電路板(1)與分度元件(2)之間進(jìn)行相同的相對(duì)運(yùn)動(dòng)時(shí)，通過(guò)第一接收器 槽(1. 1)的接收器印制導(dǎo)線(1. 11,1. 12，1. 13)比通過(guò)第二接收器槽(1. 2)的接收器印制導(dǎo) 線(1. 21，1. 22，1. 23)能產(chǎn)生更小數(shù)目的信號(hào)周期，以及根據(jù)接收器印制導(dǎo)線(1. 11，1. 12，1. 13 ；1. 21，1. 22，1. 23)的信號(hào)(Si. 11，Si. 12， Si. 13 ；Si. 21, Si. 22, Si. 23)產(chǎn)生的數(shù)字位置值(P3. 71,P3. 72,P3. 102)在連接電路(3. 90) 中能被組合成一個(gè)位置值(P )。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種電感式位置傳感器，其具有電子電路(3)，所述電子電路(3)被配置來(lái)使得根據(jù)由三個(gè)接收器印制導(dǎo)線(1.11，1.12，1.13；1.21，1.22，1.23)檢測(cè)到的信號(hào)(S1.11，S1.12，S1.13；S1.21，S1.22，S1.23)首先可產(chǎn)生三個(gè)數(shù)字信號(hào)(S3.51，S3.52，S3.53；S3.61，S3.62，S3.63)。在此，通過(guò)組合所述三個(gè)數(shù)字信號(hào)(S3.51，S3.52，S3.53；S3.61，S3.62，S3.63)可確定至少兩個(gè)位置值(P，3.71，P3.72；P3.81，P3.82，P3.83)，并且所述位置值(P，P3.71，P3.72；P3.81，P3.82，P3.83)可被輸送給比較器(3.20，4.1)。此外，本發(fā)明還包括一種用于驅(qū)動(dòng)電感式位置傳感器的方法以及一種測(cè)量系統(tǒng)，該測(cè)量系統(tǒng)除了位置傳感器以外還具有數(shù)據(jù)接口(5.20，4.20)和包括比較器(4.1)的后續(xù)電子裝置(4)。
文檔編號(hào)G01D5/20GK102150016SQ200980135624
公開(kāi)日2011年8月10日 申請(qǐng)日期2009年7月14日 優(yōu)先權(quán)日2008年9月11日
發(fā)明者M·O·蒂曼 申請(qǐng)人:約翰尼斯海登海恩博士股份有限公司