專利名稱：測(cè)試頭對(duì)接系統(tǒng)及方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及電子測(cè)試頭對(duì)接的領(lǐng)域，更具體而言是涉及用于利用由一個(gè)或多個(gè)用 于對(duì)接致動(dòng)的致動(dòng)器驅(qū)動(dòng)的凸輪進(jìn)行的測(cè)試頭對(duì)接的方法和設(shè)備。
背景技術(shù)：
在制造集成電路(ICs)和其它電子器件時(shí)，使用自動(dòng)測(cè)試設(shè)備(ATE)在整個(gè)制造 過程的一個(gè)或多個(gè)步驟中進(jìn)行測(cè)試。使用專用處理設(shè)備將待測(cè)試的器件安置就位以進(jìn)行測(cè) 試。在某些情況下，當(dāng)器件被測(cè)試時(shí)，該專用處理設(shè)備還可以使待測(cè)試的器件處于適當(dāng)?shù)臏?度和/或保持適當(dāng)?shù)臏囟?。該專用處理設(shè)備具有多種類型，包括用于測(cè)試晶片上的無(wú)封裝 器件的“探針”以及用于測(cè)試封裝部分的“器件處理裝置”；在本文中，術(shù)語(yǔ)“處理設(shè)備”或“外 圍設(shè)備”是用來(lái)表示各種類型的這類設(shè)備。電子測(cè)試本身是由大型且昂貴的ATE系統(tǒng)來(lái)執(zhí) 行的，該ATE系統(tǒng)包括需要與處理設(shè)備連接和對(duì)接的測(cè)試頭。被測(cè)器件(DUT)需要精確、高 速的信號(hào)以便進(jìn)行有效的測(cè)試；因此，在ATE內(nèi)的用于測(cè)試DUT的“測(cè)試電子元件”通常設(shè)于 必須盡可能靠近DUT設(shè)置的測(cè)試頭中。測(cè)試頭非常沉重，并且隨著DUTs因電連接數(shù)量的增 多而變得越來(lái)越復(fù)雜，測(cè)試頭的尺寸和重量從幾百磅增長(zhǎng)到目前的兩千到三千磅。測(cè)試頭 通常通過電纜連接到ATE的固定的主機(jī)，該電纜提供了信號(hào)、接地以及電力的傳導(dǎo)路徑。另 外，測(cè)試頭可能需要被提供液體冷卻劑，該液態(tài)冷卻劑通過柔性管道供給到測(cè)試頭，該柔性 管道通常被捆扎在電纜中。此外，某些現(xiàn)代的測(cè)試頭是通過經(jīng)由柔性管道吹入的空氣或液 態(tài)冷卻劑和空氣的結(jié)合而冷卻的。在過去，測(cè)試系統(tǒng)通常包括主機(jī)，用以容置供電裝置、控 制器計(jì)算機(jī)等。在測(cè)試頭中包含有將主機(jī)電子設(shè)備耦接于“引腳電子設(shè)備”的電纜。目前， 一些現(xiàn)代的系統(tǒng)將幾乎所有的電子元件設(shè)置在可移動(dòng)的測(cè)試頭中，同時(shí)主機(jī)仍可被用來(lái)容 置冷卻設(shè)備、電源等。在測(cè)試復(fù)雜的器件時(shí)，在測(cè)試頭與DUT之間必須要設(shè)置數(shù)百到數(shù)千個(gè)電連接。這 些連接是由許多精細(xì)、密集并且相互隔開的觸點(diǎn)來(lái)實(shí)現(xiàn)。在測(cè)試晶片上的無(wú)封裝器件時(shí)，通 常由安裝在探針卡上的針狀的探針來(lái)實(shí)現(xiàn)與DUT的實(shí)際連接。在測(cè)試封裝器件時(shí)，通常使 用安裝在“DUT板”上的測(cè)試用插座。無(wú)論是測(cè)試無(wú)封裝器件還是封裝器件的情況，探針板 或DUT板通常被適當(dāng)?shù)毓潭ǖ教幚碓O(shè)備，由此使多個(gè)DUTs中的每一者依次地處于進(jìn)行測(cè)試 的位置。無(wú)論是測(cè)試無(wú)封裝器件還是封裝器件的情況，探針板或DUT板還提供連接點(diǎn)，測(cè)試 頭可通過這些連接點(diǎn)實(shí)現(xiàn)相應(yīng)的電連接。測(cè)試頭通常配備有接口單元(interface unit), 該接口單元包括用于實(shí)現(xiàn)與探針板或DUT板連接的觸點(diǎn)元件。觸點(diǎn)元件通常為彈簧加載的 “伸縮插腳”。總之，這種觸點(diǎn)非常纖弱和精細(xì)，因而必須受到保護(hù)以免被損壞?？墒褂脺y(cè)試頭操縱器來(lái)相對(duì)于處理設(shè)備操縱該測(cè)試頭。這種操縱可跨越大約一米 或更高的量級(jí)的相對(duì)較大的距離。這樣設(shè)置的目標(biāo)是使得能夠從一個(gè)處理設(shè)備迅速地轉(zhuǎn)變 到另一處理設(shè)備、或者能夠?qū)y(cè)試頭移離當(dāng)前的處理設(shè)備以便維護(hù)和/或更換接口部件。 當(dāng)測(cè)試頭被保持在相對(duì)于處理設(shè)備的適當(dāng)位置，使得測(cè)試頭與探針板或DUT板之間的所有 的連接都已完成時(shí)，測(cè)試頭稱作“對(duì)接”到處理設(shè)備。為了成功地實(shí)現(xiàn)對(duì)接，測(cè)試頭必須在相對(duì)于笛卡兒坐標(biāo)系統(tǒng)的六個(gè)自由度上精確定位。最經(jīng)常的是，使用測(cè)試頭操縱器來(lái)操控測(cè) 試頭到達(dá)位于對(duì)接位置的大約幾厘米的范圍內(nèi)的粗略對(duì)準(zhǔn)的第一位置，隨后使用“對(duì)接設(shè) 備”完成最終的精確定位。通常，對(duì)接設(shè)備的一部分設(shè)置在測(cè)試頭上，而其余部分設(shè)置在處 理設(shè)備上。由于一個(gè)測(cè)試頭可用于多個(gè)處理設(shè)備，所以通常優(yōu)選的是使對(duì)接設(shè)備的較昂貴 的部分設(shè)置在測(cè)試頭上。對(duì)接設(shè)備可包括將待對(duì)接的兩部分組合在一起的致動(dòng)機(jī)構(gòu)，由此 使測(cè)試頭對(duì)接，這被稱作“致動(dòng)器驅(qū)動(dòng)”的對(duì)接。對(duì)接設(shè)備或“對(duì)接”具有多個(gè)重要功能，包 括(1)將測(cè)試頭與處理設(shè)備對(duì)準(zhǔn)，(2)使測(cè)試頭和處理設(shè)備組合在一起，然后將兩者分離， (3)提供電接觸的預(yù)對(duì)準(zhǔn)保護(hù)，以及(4)將測(cè)試頭和處理設(shè)備鎖定和保持在一起。根據(jù)inTEST手冊(cè)(第5版 1996，inTEST Corporation)，“測(cè)試頭定位”是指“測(cè)試 頭易于移動(dòng)到處理設(shè)備”與“測(cè)試頭和處理設(shè)備的精確對(duì)準(zhǔn)”兩者的結(jié)合，這是成功實(shí)現(xiàn)對(duì) 接和分離所需要的。測(cè)試頭操縱器也可稱作測(cè)試頭定位器。與適合的對(duì)接裝置相結(jié)合的測(cè) 試頭操縱器執(zhí)行測(cè)試頭定位。這種技術(shù)例如在美國(guó)專利5，608，334,5, 450，766,5, 030, 869、 4，893，074,4, 715，574以及4，589，815中均有描述，鑒于這些專利在測(cè)試頭定位系統(tǒng)領(lǐng)域 所做的教示，現(xiàn)將其全部?jī)?nèi)容通過援引方式納入本文。先前的專利主要涉及致動(dòng)器驅(qū)動(dòng)的 對(duì)接。通過單個(gè)對(duì)接設(shè)備同時(shí)實(shí)現(xiàn)在相對(duì)大的距離上操縱測(cè)試頭以及最終精確對(duì)接的測(cè)試 頭定位系統(tǒng)也是公知的。例如，Holt等人的美國(guó)專利6，057，695以及Graham等人的美國(guó) 專利5，900, 373和5，600, 258 (全部以援引方式納入本文)描述了一種定位系統(tǒng)，其中對(duì)接 是通過“操縱器驅(qū)動(dòng)”而非“致動(dòng)器驅(qū)動(dòng)”來(lái)進(jìn)行的。然而，致動(dòng)器驅(qū)動(dòng)的系統(tǒng)的使用更為 廣泛，而本發(fā)明致力于驅(qū)動(dòng)器驅(qū)動(dòng)的系統(tǒng)。在典型的致動(dòng)器驅(qū)動(dòng)的定位系統(tǒng)中，操作者控制操縱器的移動(dòng)以操縱測(cè)試頭從一 個(gè)位置移到另一位置。這可以通過操作者直接施力于定位系統(tǒng)中的測(cè)試頭來(lái)手動(dòng)地完成對(duì) 接，在定位系統(tǒng)中，測(cè)試頭在其運(yùn)動(dòng)軸線上完全地平衡，或者可使用由操作者直接控制的致 動(dòng)器完成對(duì)接。在若干定位系統(tǒng)中，通過將沿一些軸線的直接手動(dòng)力與通過沿其它軸線上 的致動(dòng)器相結(jié)合來(lái)操縱測(cè)試頭。為將測(cè)試頭與處理設(shè)備對(duì)接，操作者必須首先操縱測(cè)試頭到達(dá)“準(zhǔn)備對(duì)接”位置， 該位置接近最終對(duì)接位置并與該最終對(duì)接位置大致對(duì)準(zhǔn)。繼續(xù)操縱測(cè)試頭直到測(cè)試頭到達(dá) “準(zhǔn)備動(dòng)作”位置，在準(zhǔn)備動(dòng)作位置中，對(duì)接致動(dòng)器能夠控制對(duì)測(cè)試頭的運(yùn)動(dòng)。隨后致動(dòng)器能 夠?qū)y(cè)試頭牽拉到最終的完全對(duì)接位置。在該過程中，通過各種對(duì)準(zhǔn)特征來(lái)提供測(cè)試頭的 最終對(duì)準(zhǔn)。對(duì)接操作可利用兩組或多組不同類型的對(duì)準(zhǔn)特征來(lái)提供從初始對(duì)接到最終對(duì)接 的不同的對(duì)準(zhǔn)階段。通常優(yōu)選地，在纖弱的電觸點(diǎn)進(jìn)行機(jī)械接觸之前測(cè)試頭在5個(gè)自由度 上對(duì)準(zhǔn)。隨后，可迫使測(cè)試頭沿相應(yīng)于與接口的平面(通常為探針板或DUT板的平面)垂 直的第6自由度進(jìn)行直線運(yùn)動(dòng)；在不發(fā)生可能損壞觸點(diǎn)的任何側(cè)部刮擦或力的情況下來(lái)進(jìn) 行連接。在對(duì)接致動(dòng)器工作時(shí)，如果并不是沿測(cè)試頭的所有的軸線都能夠進(jìn)行最終對(duì)準(zhǔn) 和定位，則測(cè)試頭通常能夠順從地沿幾個(gè)軸線移動(dòng)。對(duì)于操縱器的被適當(dāng)平衡但并非致 動(dòng)器驅(qū)動(dòng)的軸線，則不會(huì)成為問題。然而，致動(dòng)器驅(qū)動(dòng)軸線通常需要在其中設(shè)置從動(dòng)機(jī)構(gòu) (compliance mechanism)。在Slocum等人的美國(guó)專利5，931，048以及Alden的美國(guó)專利 5，949，002中描述了一些典型的實(shí)例。普通的從動(dòng)機(jī)構(gòu)(特別是對(duì)于非水平的不平衡的軸 線)包含彈簧狀機(jī)構(gòu)，這種機(jī)構(gòu)除了從動(dòng)特性以外還加入了一定量的彈性或“回彈力”。而
5且，連接測(cè)試頭與ATE主機(jī)的電纜也是彈性的。當(dāng)操作者嘗試操縱測(cè)試頭大致對(duì)準(zhǔn)并到達(dá) 可被對(duì)接機(jī)構(gòu)捕獲的位置時(shí)，操作者必須克服定位系統(tǒng)的彈性，這在測(cè)試頭非常大和非常 沉重的情況下通常可能很困難。而且，如果操作者在對(duì)接機(jī)構(gòu)被適當(dāng)接合之前釋放施加到 測(cè)試頭的力，則從動(dòng)機(jī)構(gòu)的彈性會(huì)導(dǎo)致測(cè)試頭移離對(duì)接位置。此情況有時(shí)被稱作回彈效應(yīng)。Smith的美國(guó)專利4，589，815披露了一種現(xiàn)有技術(shù)的對(duì)接機(jī)構(gòu)。該美國(guó)專利 4，589，815中，如圖5A、圖5B、圖5C中所示的對(duì)接機(jī)構(gòu)使用兩個(gè)導(dǎo)引銷和導(dǎo)引孔的組合來(lái)提 供最終的對(duì)準(zhǔn)并使用兩個(gè)圓形凸輪。當(dāng)通過附連到凸輪的手柄來(lái)轉(zhuǎn)動(dòng)凸輪時(shí)，對(duì)接的兩個(gè) 半部被拉拽到一起，并且導(dǎo)引銷完全地插入到與之相配的孔中。纜線(wire cable)將兩個(gè) 凸輪連接以使它們同步轉(zhuǎn)動(dòng)。纜線的配置允許通過將力施加到兩個(gè)手柄中的一個(gè)或另一個(gè) 上來(lái)操縱對(duì)接。因此，在這種情況中，手柄作為對(duì)接致動(dòng)器。隨著測(cè)試頭變得更為龐大，美國(guó)專利4，589，815的基本構(gòu)想已發(fā)展成為具有三組 或四組導(dǎo)引銷并且通過纜線相連接的圓形凸輪的更大的對(duì)接。本申請(qǐng)的圖1A、圖1B、圖IC 示出了作為現(xiàn)有技術(shù)的具有四個(gè)導(dǎo)引銷和孔的組合以及四個(gè)圓形凸輪的對(duì)接設(shè)備，稍后將 更詳細(xì)地描述這種對(duì)接設(shè)備。盡管這種四點(diǎn)對(duì)接結(jié)構(gòu)使得致動(dòng)器手柄附連到四個(gè)凸輪中的 每一個(gè)上，但所示的對(duì)接包含操縱纜線驅(qū)動(dòng)器的單個(gè)致動(dòng)器手柄。當(dāng)通過手柄使纜線驅(qū)動(dòng) 器旋轉(zhuǎn)時(shí)，纜線被移動(dòng)而使四個(gè)凸輪以同步的方式轉(zhuǎn)動(dòng)。這種設(shè)置將單個(gè)致動(dòng)器手柄設(shè)于 方便操作者操作的位置。而且，通過適當(dāng)?shù)卣{(diào)節(jié)凸輪直徑與纜線驅(qū)動(dòng)器直徑的比率，可獲得 更大的機(jī)械效益。美國(guó)專利5，654，631和5，744，974中所述的對(duì)接設(shè)備利用導(dǎo)引銷和導(dǎo)引孔來(lái)對(duì)準(zhǔn) 兩個(gè)半部。然而，對(duì)接設(shè)備由真空器件驅(qū)動(dòng)，當(dāng)施加真空時(shí)真空器件迫使兩個(gè)半部靠攏。只 要維持真空，兩個(gè)半部就會(huì)保持鎖定在一起。然而，真空器件能夠產(chǎn)生的力的大小局限于大 氣壓乘以有效面積。因此，這些對(duì)接設(shè)備的應(yīng)用受到局限。美國(guó)專禾Ij 5，821，764,5, 982，182和6，104，202中披露的對(duì)接設(shè)備使用其它方法 (運(yùn)動(dòng)學(xué)聯(lián)接)來(lái)提供兩個(gè)半部之間的最終對(duì)準(zhǔn)。也可使用粗定位銷來(lái)實(shí)現(xiàn)最終對(duì)準(zhǔn)。粗 定位銷可設(shè)有捕獲機(jī)構(gòu)，該捕獲機(jī)構(gòu)使導(dǎo)引銷保持在導(dǎo)引孔中并且防止導(dǎo)引銷脫離。在美 國(guó)專利5，821，764和6，104，202中，捕獲機(jī)構(gòu)表現(xiàn)為自動(dòng)地；而在美國(guó)專利5，982，182中， 三個(gè)粗定位銷均利用馬達(dá)驅(qū)動(dòng)的器件。而且，在美國(guó)專利5，982，182中，三個(gè)馬達(dá)可分別運(yùn) 轉(zhuǎn)以提供待對(duì)接的部件之間的平面性。在這三個(gè)美國(guó)專利中，最終通過線性致動(dòng)器使兩個(gè) 半部拉拽在一起。還披露了氣動(dòng)型式的線性致動(dòng)器，在該氣動(dòng)型式的致動(dòng)器中，必須使用另 一機(jī)構(gòu)提供充分的預(yù)對(duì)準(zhǔn)以防止損壞纖弱的電觸點(diǎn)。為此，需要使用上述的粗定位銷，由此 提高了總成本和復(fù)雜性。由此，設(shè)置兩組對(duì)準(zhǔn)特征，即(1)粗定位銷和孔的組合，(2)關(guān)節(jié) 聯(lián)接。先前已描述、并且也將在下文描述的凸輪驅(qū)動(dòng)的對(duì)接結(jié)合了借助角撐板和凸輪實(shí)現(xiàn) 的預(yù)對(duì)準(zhǔn)、借助導(dǎo)引銷和容納部實(shí)現(xiàn)的精確對(duì)準(zhǔn)以及借助凸輪和凸輪隨動(dòng)件實(shí)現(xiàn)的機(jī)械效 益和機(jī)械鎖定(三組簡(jiǎn)單的機(jī)構(gòu))。當(dāng)驅(qū)動(dòng)大型測(cè)試頭的對(duì)接時(shí)，期望保留這種簡(jiǎn)單的被證 實(shí)的技術(shù)。更具體而言，關(guān)于關(guān)節(jié)聯(lián)接，美國(guó)專利5，982，182披露了球和球窩的組合，，這種 組合由于實(shí)現(xiàn)了形成動(dòng)力學(xué)聯(lián)接所需的部分接觸而被稱作“運(yùn)動(dòng)學(xué)接觸”。由于凹槽實(shí)現(xiàn) 了在一個(gè)點(diǎn)的接觸，因此凹槽的每側(cè)被稱作“運(yùn)動(dòng)學(xué)表面”。由于球僅在一個(gè)點(diǎn)上與該動(dòng) 力學(xué)表面接觸，因此球被稱作“運(yùn)動(dòng)學(xué)配合表面”。為滿足運(yùn)動(dòng)學(xué)聯(lián)接的操作，美國(guó)專利5，982，182表示不一定必須使用凹槽來(lái)形成運(yùn)動(dòng)學(xué)表面。也可使用其它的形狀，例如尖拱 形。而且，不一定必須使用球作為關(guān)節(jié)配合表面?？墒褂闷渌男螤?，諸如與一表面在一個(gè) 點(diǎn)上接觸的錐體頂端。同樣地，運(yùn)動(dòng)學(xué)接觸不一定必須包括兩個(gè)運(yùn)動(dòng)學(xué)表面。其它適合的 運(yùn)動(dòng)學(xué)接觸的實(shí)例為球壓靠平坦表面(每次接觸同一個(gè)動(dòng)力學(xué)表面)；球壓靠四面體(每 次接觸三個(gè)運(yùn)動(dòng)學(xué)表面)或者球壓靠三個(gè)球(每次接觸三個(gè)運(yùn)動(dòng)學(xué)表面)。可在一個(gè)運(yùn)動(dòng) 學(xué)聯(lián)接中使用不同類型的接觸，只要總共具有6個(gè)動(dòng)力學(xué)表面即可。這里選擇性地描述了圖IA至圖ID所示的現(xiàn)有技術(shù)的對(duì)接設(shè)備的結(jié)構(gòu)和操作的細(xì) 節(jié)。本說(shuō)明書包括美國(guó)專利4，589，815所述的較早的對(duì)接設(shè)備的多個(gè)方面，該美國(guó)專利以 援引方式納入本文。圖IA示出了保持在支架(cradle) 190上的測(cè)試頭100的立體圖，支架190則由測(cè) 試頭操縱器(圖未示)支撐。圖IA還示出了處理設(shè)備108的局部視圖，測(cè)試頭100可與該處 理設(shè)備108對(duì)接。圖IB示出了以稍許比例放大并且更詳細(xì)的電子器件處理設(shè)備108(在該 具體的實(shí)例中，處理設(shè)備為封裝的電子器件處理設(shè)備，測(cè)試頭從下方對(duì)接到該處理設(shè)備)。 簡(jiǎn)要地參照?qǐng)DIC的截面圖，可看到測(cè)試頭100具有電接口 126，處理設(shè)備108具有相應(yīng)的電 接口 128。電接口 1 和1 通常具有數(shù)百或數(shù)千個(gè)細(xì)小、纖弱的電觸點(diǎn)(圖未示)，當(dāng)測(cè) 試頭被最終對(duì)接時(shí)，這些電觸點(diǎn)必須以可靠地對(duì)應(yīng)于各自的電連接的方式精密地接合。如 在該示例的情況中所示的，處理設(shè)備108的下表面包含處理設(shè)備電接口 128，測(cè)試頭100通 常通過自下而上的運(yùn)動(dòng)來(lái)與之對(duì)接。其它可能的和已知的取向包括但不限于通過向下的 運(yùn)動(dòng)與上表面對(duì)接；通過水平的運(yùn)動(dòng)與豎直的平面對(duì)接；以及對(duì)接到與水平和豎直方向成 角度的平面。返回參照?qǐng)DIA和圖1B，其示出了整個(gè)四點(diǎn)對(duì)接設(shè)備；該對(duì)接設(shè)備的一部分附連到 處理設(shè)備108或者附連到測(cè)試頭100。面板106附連到測(cè)試頭100。四個(gè)導(dǎo)引銷112附連 到面板106的四個(gè)角部并設(shè)置在四個(gè)角部的附近。面板106具有中心開口并附連到測(cè)試頭 100以使得測(cè)試頭電接口 126(圖IA和圖IB中未示出)穿過該開口突出，導(dǎo)引銷112限定 了 一個(gè)大致的矩形，該矩形具有與電接口 1沈大體共同的中心。角撐板114附連到處理設(shè)備108的下表面。角撐板114具有中心開口并附連到處 理設(shè)備108以使處理設(shè)備電接口 1 穿過該開口突出。四個(gè)角撐部116附連到角撐板114， 角撐部分別設(shè)置在角撐板的四個(gè)角部附近。每個(gè)角撐部116具有鉆設(shè)于其上的導(dǎo)引銷容納 部或?qū)бN孔11加。每個(gè)導(dǎo)引銷孔11 與各個(gè)導(dǎo)引銷112相對(duì)應(yīng)。這些導(dǎo)引銷孔被設(shè)置 成使得當(dāng)測(cè)試頭完全對(duì)接時(shí)每個(gè)導(dǎo)引銷112完全地插入到其相應(yīng)的導(dǎo)引銷孔11 中。每 個(gè)導(dǎo)引銷112與其相應(yīng)的導(dǎo)引銷孔11 的配合為緊配合。因此，通過導(dǎo)引銷112和導(dǎo)引銷 孔11 使測(cè)試頭100與處理設(shè)備108之間對(duì)準(zhǔn)。四個(gè)對(duì)接凸輪110可轉(zhuǎn)動(dòng)地附連到面板106。凸輪110為圓形凸輪并類似于美國(guó) 專利4，589，815中描述的凸輪。具體而言，每個(gè)凸輪具有圍繞其圓周的側(cè)部螺旋槽129，并 且其上表面具有上部切口 125。每個(gè)對(duì)接凸輪110靠近相應(yīng)的導(dǎo)引銷112設(shè)置，使得對(duì)接凸 輪大體居中地設(shè)置于大致從測(cè)試頭電接口 126的中央經(jīng)過各個(gè)導(dǎo)引銷112延伸的直線上， 使導(dǎo)引銷112位于凸輪110與測(cè)試頭電接口 1 之間。角撐部116和角撐板114的角部具 有圓形切口，使得當(dāng)測(cè)試頭完全插入到角撐部中的導(dǎo)引銷孔11 中時(shí)，每個(gè)凸輪110的圓 周鄰接各自的角撐部116中的圓形切口并與該圓形切口同心。當(dāng)首先將測(cè)試頭100操縱到達(dá)與處理設(shè)備108進(jìn)行對(duì)接的位置時(shí)，這種配置提供了對(duì)接部件之間的初始粗略對(duì)準(zhǔn)。還 可通過將導(dǎo)引銷112的錐形端部插入其相應(yīng)的容納部11 中來(lái)實(shí)現(xiàn)初始粗略對(duì)準(zhǔn)。角撐部 116、凸輪110以及導(dǎo)引銷112被設(shè)置成使處理設(shè)備電接口 1 與測(cè)試頭電接口 126(圖IA 和圖IB中未示出)保持分離，直到導(dǎo)引銷112被實(shí)際地容納于其相應(yīng)的導(dǎo)引銷孔112中。 由此，為電觸點(diǎn)提供了預(yù)對(duì)準(zhǔn)保護(hù)。因此，提供了兩組對(duì)準(zhǔn)特征，S卩(1)角撐部116相對(duì)于凸輪110的配合，以及⑵ 導(dǎo)引銷112和容納部112a的組合。并且，附連有對(duì)接手柄135的圓形纜線驅(qū)動(dòng)部132可轉(zhuǎn)動(dòng)地附連到面板106。對(duì)接 纜線115附連到每個(gè)凸輪110并附連到纜線驅(qū)動(dòng)器132?；?37適當(dāng)?shù)匾龑?dǎo)纜線往返于 纜線驅(qū)動(dòng)件132的路徑?？赏ㄟ^施力于手柄135來(lái)使纜線驅(qū)動(dòng)器132轉(zhuǎn)動(dòng)。當(dāng)纜線驅(qū)動(dòng)器 132轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，將力傳遞到纜線115，纜線115則使凸輪110同步地轉(zhuǎn)動(dòng)。從每個(gè)角撐部116的圓形切口中延伸的是凸輪隨動(dòng)件111。凸輪隨動(dòng)件111配合 到各個(gè)凸輪110的上表面的上部切口中。圖IC示出了在測(cè)試頭100和處理設(shè)備108的對(duì)接 過程中的一個(gè)階段的截面圖。此處，導(dǎo)引銷112部分地插入到角撐板116的導(dǎo)引銷孔11 中。在該示例的情況中，導(dǎo)引銷112的遠(yuǎn)端呈錐形，并且導(dǎo)引銷112在較靠近其與面板106 的附連點(diǎn)的位置處具有恒定的直徑。在圖IC中，導(dǎo)引銷112插入到導(dǎo)引銷孔11 中并到 達(dá)使恒定直徑的區(qū)域剛好進(jìn)入到導(dǎo)引銷孔11 中的位置。同樣在圖IC中，每個(gè)凸輪隨動(dòng) 件111插入到各個(gè)凸輪110的上表面的上部切口 125中并到達(dá)位于螺旋凸輪凹槽129的最 上端的深度。在這種配置下，通過施力于手柄135(圖IC中未示出)并使凸輪110轉(zhuǎn)動(dòng)來(lái) 準(zhǔn)備致動(dòng)。因此，這種配置可稱作“準(zhǔn)備致動(dòng)”位置。重要的是，注意在該位置中已完成了 五個(gè)自由度的對(duì)準(zhǔn)。具體而言，如果處理設(shè)備電接口 1 的平面是三維接口的X-Y平面，則 整個(gè)直徑插入到容納部中的導(dǎo)引銷112實(shí)現(xiàn)了 X、Y、Z對(duì)準(zhǔn)。此外，通過將凸輪隨動(dòng)件111 完全插入到所有的切口 125中，實(shí)現(xiàn)了處理設(shè)備電接口 1 與測(cè)試頭電接口 1 之間的平 面化。圖ID示出了充分轉(zhuǎn)動(dòng)凸輪110得到的最終狀態(tài)的截面圖。測(cè)試頭100此時(shí)與處 理設(shè)備108 “完全對(duì)接”?？梢钥吹酵馆?10已被轉(zhuǎn)動(dòng)，并促使凸輪隨動(dòng)件111順沿螺旋凹 槽1 到達(dá)更接近面板106的位置。另外，導(dǎo)引銷112完全插入到其相應(yīng)的導(dǎo)引銷孔11 中。注意到導(dǎo)引銷112的恒定直徑區(qū)域與各個(gè)導(dǎo)引銷孔11 的側(cè)部之間的配合緊密度決 定了操縱設(shè)備電接口 1 與測(cè)試頭電接口 1 之間的最終對(duì)準(zhǔn)。因此，緊密配合通常需要 提供0. 003到0. 007英寸范圍內(nèi)的對(duì)接位置可再現(xiàn)性。而且，一旦角撐板114被附連到處 理設(shè)備108，導(dǎo)引銷112必須相對(duì)于角撐部精確地設(shè)置在面板106上。為此，導(dǎo)引銷112可 被以能夠調(diào)整其位置的方式附連。在美國(guó)專利4，589，815中描述了這種被廣泛應(yīng)用的附連 方式?；仡櫽嘘P(guān)凸輪隨動(dòng)件的運(yùn)動(dòng)的某些信息是有益的。圖2示出了在凸輪110運(yùn)動(dòng)的 各個(gè)位置、凸輪隨動(dòng)件11的豎直位置。圖2中使用了例如在由ReidAshman制造公司制造 的特定對(duì)接設(shè)備中使用的圓形(或圓柱形)凸輪以及線性凸輪。凸輪凹槽1 和切口 125 的形狀被示意性地示出；因?yàn)閳D2的目的僅作為示例，因此圖2不是按比例繪制的。凸輪 隨動(dòng)件11能夠進(jìn)入或離開凸輪凹槽的切口區(qū)域以點(diǎn)0表示。凸輪隨動(dòng)件111(其以凸輪槽 1 各處的虛線圓來(lái)示出)在位置400進(jìn)入切口 125中，隨后到達(dá)與“準(zhǔn)備致動(dòng)”位置相對(duì)應(yīng)的位置。切割區(qū)域連接到凹槽1 在點(diǎn)0與點(diǎn)A之間的大致水平的區(qū)域。該水平區(qū)域的 長(zhǎng)度大致相當(dāng)于凸輪隨動(dòng)件直徑的一到兩倍，并僅代表了整個(gè)凸輪的運(yùn)動(dòng)的一小部分(幾 度)。一旦凸輪隨動(dòng)件111插入到切口 125的底部時(shí)，凸輪可轉(zhuǎn)動(dòng)以“捕獲”該水平區(qū)域中 的凸輪隨動(dòng)件。凸輪隨動(dòng)件111在位置420被“捕獲”。在點(diǎn)A，隨著凸輪進(jìn)一步移動(dòng)，水平 凹槽轉(zhuǎn)變?yōu)閮A斜凹槽。當(dāng)凸輪移動(dòng)時(shí)，凸輪隨動(dòng)件被相應(yīng)地在垂直方向上提升或降低。在 傾斜部分下端的點(diǎn)B，凹槽轉(zhuǎn)變?yōu)榇篌w水平的區(qū)域，該水平區(qū)域的長(zhǎng)度通常至少相當(dāng)于凸輪 隨動(dòng)件的直徑的一到兩倍。在最后提到的這一區(qū)域中，凸輪隨動(dòng)件處于其行進(jìn)的極限點(diǎn)，并 且對(duì)接設(shè)備被完全對(duì)接。當(dāng)凸輪隨動(dòng)件位于凹槽的最深處的點(diǎn)C(以凸輪隨動(dòng)件111位于 440的位置表示)時(shí)，對(duì)接設(shè)備視作被閂住(或者完全對(duì)接并鎖定)。從點(diǎn)A到點(diǎn)B的區(qū)域 可稱作“中間”區(qū)域(以凸輪隨動(dòng)件111位于位置430示出)，從點(diǎn)B到點(diǎn)C的區(qū)域可稱作 對(duì)接區(qū)域。依據(jù)前文的論述，現(xiàn)在適合更全面地論述對(duì)接過程并定義某些特定術(shù)語(yǔ)。對(duì)接的 目的是使測(cè)試頭電接口 126與操控主設(shè)備電接口 1 精確配合。每個(gè)電接口 1 和128限 定一個(gè)平面，該平面通常、但并非必須在法向上平行于電觸點(diǎn)的遠(yuǎn)端。當(dāng)對(duì)接時(shí)，這兩個(gè)平 面必須相互平行。為了防止電觸點(diǎn)損壞，優(yōu)選的是在允許電觸點(diǎn)相互機(jī)械接觸之前，首先使 兩個(gè)接口 1 和1 在五個(gè)自由度上對(duì)準(zhǔn)。如果在對(duì)接位置中接口的所限定的平面平行于 三維笛卡爾坐標(biāo)系統(tǒng)的X-Y平面，則必須沿X軸和Y軸進(jìn)行對(duì)準(zhǔn)并圍繞與X軸和Y軸正交 的Z軸線(Theta Ζ，ΘΖ)轉(zhuǎn)動(dòng)，以使相應(yīng)的觸點(diǎn)彼此對(duì)齊。另外，通過沿X軸和Y軸的轉(zhuǎn)動(dòng) 運(yùn)動(dòng)使這兩個(gè)平面平行。使兩個(gè)電接口平面相互平行的過程稱為接口的“平面化”；當(dāng)該過 程完成時(shí)，接口被稱作被“平面化”或“共面”。一旦被平面化并沿X、Y、Theta Z上對(duì)準(zhǔn)，則 通過引起沿正交于處理設(shè)備電接口 1 平面的Z方向的運(yùn)動(dòng)來(lái)執(zhí)行對(duì)接。在對(duì)接過程中， 首先操控測(cè)試頭100到達(dá)靠近處理設(shè)備108的位置。繼續(xù)操控測(cè)試頭使角撐部116的圓形 切口與凸輪110到達(dá)第一對(duì)準(zhǔn)位置。該位置、或剛好處于該位置之前的位置可被視為“準(zhǔn)備 對(duì)接”位置。更一般地，“準(zhǔn)備對(duì)接”表示這樣的位置在該位置中，一部分第一粗略對(duì)準(zhǔn)裝 置近似位于待接合的位置。在該階段中，依據(jù)細(xì)節(jié)設(shè)計(jì)，導(dǎo)引銷的遠(yuǎn)端準(zhǔn)備插入其相應(yīng)的導(dǎo) 引銷容納部中。繼續(xù)進(jìn)一步操控測(cè)試頭將會(huì)使其到達(dá)“準(zhǔn)備致動(dòng)位置”，在前文已結(jié)合圖IA 至圖ID定義了 “準(zhǔn)備致動(dòng)位置”。更一般地，“準(zhǔn)備致動(dòng)”表示測(cè)試頭達(dá)到了可以使對(duì)接設(shè) 備被致動(dòng)的位置。在準(zhǔn)備致動(dòng)的位置已經(jīng)完成了近似的平面化和沿X、Y、Theta Z的對(duì)準(zhǔn)。 當(dāng)對(duì)接被致動(dòng)，并且導(dǎo)引銷112完全插入到其相應(yīng)的導(dǎo)引銷孔112中時(shí)，對(duì)準(zhǔn)和平面化變得 更為精確。應(yīng)注意的是，在操縱器驅(qū)動(dòng)的對(duì)接時(shí)，如美國(guó)專利5，600，258和5，900，373中所 述的，為了從粗略定位模式變換到精細(xì)定位模式，傳感器檢測(cè)“準(zhǔn)備致動(dòng)位置”的等效量。因 此，對(duì)于本領(lǐng)域一般技術(shù)人員而言，在致動(dòng)器驅(qū)動(dòng)的對(duì)接中檢測(cè)“準(zhǔn)備致動(dòng)位置”是美國(guó)專 利5，600，258和5，900，373教導(dǎo)和披露的自然延伸(可預(yù)見且顯而易見的)。上述類型的對(duì)接已成功地應(yīng)用于重量達(dá)到和超過一百磅的測(cè)試頭。然而，隨著測(cè) 試頭變得越來(lái)越大并隨著電觸點(diǎn)數(shù)量的增多時(shí)，會(huì)產(chǎn)生一些問題。首先，隨著電觸點(diǎn)數(shù)量的 增多，使電觸點(diǎn)接合所需的力也會(huì)增大。通常，每次接觸需要幾盎司的力；因此，對(duì)接具有 1000磅或更大重量的測(cè)試頭需要額外的100或200磅的力來(lái)實(shí)現(xiàn)該目的。在測(cè)試頭具有近 似一立方米或更大的體積的情況下，對(duì)于操作者而言，則越來(lái)越難以通過觀察所有的角撐 部和凸輪來(lái)確定測(cè)試頭何時(shí)處于準(zhǔn)備對(duì)接位置以及準(zhǔn)備致動(dòng)位置。而且，由于測(cè)試頭操縱器中的從動(dòng)機(jī)構(gòu)和纜線具有彈性，因此回彈效應(yīng)使得測(cè)試頭難以在保持于準(zhǔn)備致動(dòng)位置的 同時(shí)啟動(dòng)致動(dòng)。由于致動(dòng)機(jī)構(gòu)要克服更大的力所導(dǎo)致的另一個(gè)困難是，凸輪可能因纜線被 拉長(zhǎng)而非同步地運(yùn)動(dòng)。已知在使用實(shí)心桿和曲柄的對(duì)接技術(shù)中存在著類似的機(jī)械變形的問 題。如上所述的對(duì)接設(shè)備的特征在于所使用的導(dǎo)引銷和容納部的數(shù)量。在美國(guó)專利 4，589，815中所述的設(shè)備的特征在于兩點(diǎn)對(duì)接，而如圖IA至圖ID所示的設(shè)備為公知的四點(diǎn) 對(duì)接。遵循相同的基本原理的三點(diǎn)對(duì)接也是公知的并被普遍使用。本發(fā)明將依照四點(diǎn)構(gòu)造 進(jìn)行描述，但不限制本發(fā)明應(yīng)用于其它的構(gòu)造。

發(fā)明內(nèi)容
在本發(fā)明的示例性實(shí)施例中，提供了一種用于將電子測(cè)試頭與處理設(shè)備對(duì)接的系 統(tǒng)和方法。提供用于使電子測(cè)試頭和處理設(shè)備至少部分地對(duì)準(zhǔn)，并隨后使電子測(cè)試頭和處 理設(shè)備組合在一起(bring together)的組件。動(dòng)力驅(qū)動(dòng)的致動(dòng)器使得電子測(cè)試頭和處理 設(shè)備組合在一起。在另一示例性實(shí)施例中，本發(fā)明還提供了一種用于將電子測(cè)試頭與處理設(shè)備對(duì)接 的系統(tǒng)和方法。提供了一種用于使電子測(cè)試頭和處理設(shè)備組合在一起的組件。本發(fā)明還提 供了用于操作該組件的機(jī)構(gòu)以及用于操作該機(jī)構(gòu)的至少一個(gè)致動(dòng)器。在另一示例性實(shí)施例中，本發(fā)明還提供了一種用于將電子測(cè)試頭與處理設(shè)備對(duì)接 的系統(tǒng)和方法。提供用于使電子測(cè)試頭和處理設(shè)備組合在一起的組件。在測(cè)試頭和處理設(shè) 備兩者中的一者上設(shè)置多個(gè)凸輪。這些凸輪用于操作該組件。在測(cè)試頭和處理設(shè)備兩者中 的另一者上設(shè)置多個(gè)角撐部。每個(gè)角撐部用于對(duì)準(zhǔn)鄰接多個(gè)凸輪中的至少一個(gè)凸輪。至少 一個(gè)動(dòng)力驅(qū)動(dòng)的致動(dòng)器提供凸輪的動(dòng)力操作。在另一示例實(shí)施例中，本發(fā)明提供了一種用于將電子測(cè)試頭和處理設(shè)備對(duì)接的系 統(tǒng)，該系統(tǒng)包括用于使電子測(cè)試頭和處理設(shè)備組合在一起的組件。提供用于操作所述組件 的機(jī)構(gòu)。該機(jī)構(gòu)包括設(shè)置在測(cè)試頭和處理設(shè)備兩者中的一者上并用于操作該組件的多個(gè)凸 輪。提供至少一個(gè)致動(dòng)器用以操作所述機(jī)構(gòu)。在至少一個(gè)致動(dòng)器與至少兩個(gè)凸輪之間延伸 設(shè)置有一連桿組件，該連桿組件包括與該致動(dòng)器關(guān)聯(lián)設(shè)置的至少一個(gè)連桿體并包括至少一 個(gè)伸長(zhǎng)的槽，該伸長(zhǎng)的槽容置與連桿組件的第二連桿構(gòu)件樞轉(zhuǎn)接合的樞轉(zhuǎn)銷。 在又一示例實(shí)施例中，本發(fā)明同樣提供了 一種用于將電子測(cè)試頭與處理設(shè)備對(duì)接 的系統(tǒng)。在測(cè)試頭和處理設(shè)備兩者中的一者上設(shè)置多個(gè)凸輪。這些凸輪由至少一個(gè)致動(dòng)器 驅(qū)動(dòng)。為將測(cè)試頭與處理設(shè)備對(duì)接，在測(cè)試頭和處理設(shè)備兩者中的另一者上設(shè)置多個(gè)角撐 部用以與凸輪接合。凸輪隨動(dòng)件附連到用于與凸輪接合的角撐部。
在又一示例實(shí)施例中，本發(fā)明同樣提供了 一種用于將電子測(cè)試頭與處理設(shè)備對(duì)接 的系統(tǒng)。提供用于使電子測(cè)試頭和處理設(shè)備組合在一起的組件。在測(cè)試頭和處理設(shè)備兩者 中的一者上設(shè)置至少兩個(gè)凸輪，這些凸輪用于操作該組件。在測(cè)試頭和處理設(shè)備兩者中的 另一者上設(shè)置多個(gè)角撐部。每個(gè)角撐部用于對(duì)準(zhǔn)鄰接多個(gè)凸輪中的至少一個(gè)凸輪。至少一 個(gè)動(dòng)力驅(qū)動(dòng)的致動(dòng)器為這些凸輪提供動(dòng)力驅(qū)動(dòng)。在測(cè)試頭和處理設(shè)備兩者中的一者上設(shè)置 多個(gè)對(duì)準(zhǔn)特征。在測(cè)試頭和處理設(shè)備兩者中的另一者上設(shè)置用于容納這些對(duì)準(zhǔn)特征的多個(gè) 對(duì)準(zhǔn)特征容納部。


圖IA是現(xiàn)有技術(shù)的對(duì)接設(shè)備的立體圖。圖IB是現(xiàn)有技術(shù)的對(duì)接設(shè)備的附連至處理設(shè)備的部分的立體圖。圖IC是處于準(zhǔn)備致動(dòng)位置的現(xiàn)有技術(shù)的對(duì)接設(shè)備的示意圖。圖ID是處于完全對(duì)接位置的現(xiàn)有技術(shù)的對(duì)接設(shè)備的示意圖。圖2是示出在一現(xiàn)有技術(shù)的對(duì)接設(shè)備的凸輪隨動(dòng)件的豎直位置與其凸輪的旋轉(zhuǎn) 角度的對(duì)應(yīng)關(guān)系的非按比例繪制的示意圖。圖3是根據(jù)本發(fā)明的對(duì)接設(shè)備的立體圖。圖4A是對(duì)接設(shè)備的測(cè)試頭側(cè)的立體圖。圖4B是對(duì)接設(shè)備的處理設(shè)備側(cè)的立體圖。圖5A是根據(jù)本發(fā)明一實(shí)施例的示例性致動(dòng)器的俯視圖。圖5B是圖5A所示的致動(dòng)器相對(duì)于其在面板(face plate)上的正常位置旋轉(zhuǎn) 90°示出的立體圖。圖6是對(duì)接設(shè)備的處理設(shè)備側(cè)的立體分解圖。圖7A是在對(duì)接操作開始時(shí)處于分離位置的對(duì)接設(shè)備的處理設(shè)備側(cè)的俯視圖。圖7B是圖7A所示的對(duì)接設(shè)備的處理設(shè)備側(cè)的一側(cè)的放大的俯視圖。圖8A是處于從分離位置到對(duì)接位置的中間行程(mid travel)的對(duì)接設(shè)備的處理 設(shè)備側(cè)的俯視圖。圖8B是圖8A所示的對(duì)接設(shè)備的處理設(shè)備側(cè)的一側(cè)的放大的俯視圖。圖9A是剛好到達(dá)對(duì)接位置之后的對(duì)接設(shè)備的處理設(shè)備側(cè)的俯視圖。圖9B是圖9A所示的對(duì)接設(shè)備的處理設(shè)備側(cè)的一側(cè)的放大的俯視圖。圖IOA是在分離操作開始時(shí)對(duì)接設(shè)備的處理設(shè)備側(cè)的俯視圖。圖IOB是圖IOA所示的對(duì)接設(shè)備的處理設(shè)備側(cè)的一側(cè)的放大的俯視圖。圖IlA是處于從分離位置到對(duì)接位置的中間行程的對(duì)接設(shè)備的處理設(shè)備側(cè)的俯 視圖。圖IlB是圖IlA所示的對(duì)接設(shè)備的處理設(shè)備側(cè)的一側(cè)的放大的俯視圖。圖12A是剛好到達(dá)對(duì)接位置之后的對(duì)接設(shè)備的處理設(shè)備側(cè)的俯視圖。圖12B是圖12A所示的對(duì)接設(shè)備的處理設(shè)備側(cè)的一側(cè)的放大的俯視圖。
具體實(shí)施例方式本發(fā)明致力于改進(jìn)如上文所述的簡(jiǎn)單的手動(dòng)對(duì)接。具體而言，本發(fā)明致力于對(duì)具 有數(shù)百到數(shù)千個(gè)電觸點(diǎn)、需要數(shù)百到數(shù)千磅致動(dòng)器力的大型沉重的測(cè)試頭的對(duì)接進(jìn)行簡(jiǎn) 化。本發(fā)明還提供了用以使準(zhǔn)備致動(dòng)位置與完全對(duì)接位置之間的對(duì)接的過程完全自動(dòng)化的
直ο圖3是根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)示例性實(shí)施例的改進(jìn)的對(duì)接的立體圖。圖4A示出了圖 3所示的對(duì)接設(shè)備的測(cè)試頭側(cè)的放大視圖，圖4B示出了圖3所示的對(duì)接設(shè)備的處理設(shè)備側(cè) 的放大視圖。如圖IA所示，圖3中的對(duì)接設(shè)備包括附連到處理設(shè)備的角撐板114以及附連 到測(cè)試頭的面板106。四個(gè)角撐部(gusset) 116各自具有一導(dǎo)引銷容納部112a(guide pinreceptacle)和一凸輪隨動(dòng)件111，這些角撐部116附連到角撐板114。例如，每個(gè)角撐部可 利用安裝螺栓199附連到角撐板114。相應(yīng)地，四個(gè)凸輪110和四個(gè)導(dǎo)引銷112設(shè)置在面 板106上。因此，圖3所示的對(duì)接設(shè)備是一種四點(diǎn)對(duì)接。然而，所描述的概念也可應(yīng)用于兩 點(diǎn)、三點(diǎn)或其它的配置。進(jìn)一步地，所描述的概念還可應(yīng)用于具有其它凸輪結(jié)構(gòu)(包括線性 凸輪)的對(duì)接。面板106和角撐板114均具有中心開口，用以容納測(cè)試頭和處理設(shè)備的電接口 (圖未示)，如前文參照?qǐng)DIA至圖ID所述。導(dǎo)引銷112設(shè)置在一個(gè)近似的正方形的四個(gè) 角部，該正方形的中心大致位于測(cè)試頭的電接口的中心。凸輪110、角撐部116和導(dǎo)引銷孔 112a的位置由導(dǎo)引銷112的位置決定。具體而言，每個(gè)凸輪110近似居中設(shè)置于從上述的 正方形的中心穿過導(dǎo)引銷112延伸的直線上，并且比導(dǎo)引銷112更遠(yuǎn)離正方形中心。如參 照?qǐng)DIA描述的，角撐部116成形為具有一圓形切口(cut out)Ml，在測(cè)試頭完全對(duì)接時(shí)該 圓形切口 241與凸輪110近似同心，并且一凸輪隨動(dòng)件111附連到每個(gè)角撐部116的每個(gè) 圓形切口 241的表面。如圖3所示，角撐板114具有與角撐部切口 241相一致的圓形切口。 而且，如參照?qǐng)DIA描述的，圖3中的每個(gè)凸輪110具有圍繞其周面的側(cè)部螺旋槽129，并且 凸輪的上表面具有上部切口 125。每個(gè)角撐部116具有鉆設(shè)于其中的容納部導(dǎo)或引銷孔 112a0同樣是在圖3中，每個(gè)導(dǎo)引銷孔11 對(duì)應(yīng)于各個(gè)導(dǎo)引銷112。這些導(dǎo)引銷孔被布 置成當(dāng)測(cè)試頭完全對(duì)接時(shí)，使每個(gè)導(dǎo)引銷112完全地插入到其各自的導(dǎo)引銷孔11 內(nèi)。每 個(gè)導(dǎo)引銷112與其相應(yīng)的導(dǎo)引銷孔11 的配合為緊配合。因此，通過導(dǎo)引銷112和導(dǎo)引銷 孔11 提供了測(cè)試頭100與處理設(shè)備108之間的對(duì)準(zhǔn)。繼續(xù)參照?qǐng)D3，每個(gè)凸輪110具有位于其側(cè)部的一個(gè)或多個(gè)螺紋孔212。一個(gè)或多 個(gè)對(duì)接手柄135由適合的桿制成并旋擰到一端，因而每個(gè)對(duì)接手柄可通過螺紋旋入適當(dāng)?shù)?孔212中而附連到凸輪110。盡管此處示出的是手柄135，但這種手柄通常被設(shè)置為在例如 本文中所述的致動(dòng)器組件因流體源損失而不能正常工作的情況下使凸輪110轉(zhuǎn)動(dòng)的備用
直ο四個(gè)粗定位銷(coarse alignment pin) 210附連到角撐板114的四個(gè)角部附近。 襯有襯套210a的四個(gè)粗定位導(dǎo)引孔設(shè)置在面板106的相應(yīng)的位置上。粗定位銷210非常 寬松地配合入相應(yīng)的粗定位襯套210a中。粗定位銷210比凸輪110的高度更高。因此，通 過將粗定位銷210插入到與其相應(yīng)的襯套210a中，為測(cè)試頭提供與處理設(shè)備的第一預(yù)先粗 對(duì)準(zhǔn)(coarse pre-alignment)。應(yīng)該注意的是，為了從本發(fā)明的其它方面獲益，對(duì)接設(shè)備不 需要具有這種特征。還應(yīng)該注意的是，導(dǎo)引銷112和粗定位銷210都執(zhí)行對(duì)準(zhǔn)功能，并且導(dǎo) 引銷112和粗定位銷210通常均被稱作“定位銷”。本文使用術(shù)語(yǔ)“定位銷”來(lái)表示諸如導(dǎo) 引銷和粗定位銷的對(duì)準(zhǔn)特征。如全面并入本文的美國(guó)專利7，109，733中所述的，本發(fā)明的對(duì)接設(shè)備中可結(jié)合有 傳感器(圖未示)。傳感器的輸出端可連接到系統(tǒng)控制器(圖未示)的適當(dāng)?shù)妮斎攵?，該?統(tǒng)控制器還可控制定位系統(tǒng)的其它功能，包括例如控制選定的操縱器(manipulator)運(yùn)動(dòng) 軸線。本發(fā)明所克服的另一問題是較大型的測(cè)試頭所需的對(duì)接力的增大。當(dāng)測(cè)試頭對(duì)接 時(shí)，電連接被接合并且彈性觸點(diǎn)(例如，彈簧伸縮插腳)被壓縮。對(duì)于需要數(shù)百至數(shù)千的電
12觸點(diǎn)的情況，所需的直接力(direct force，接觸力)能夠高達(dá)一千(1000)或兩千(2000) 磅。對(duì)接致動(dòng)器(無(wú)論其是手動(dòng)的還是動(dòng)力驅(qū)動(dòng)的)必須克服這種力以及使測(cè)試頭移動(dòng)所 必需的力，并克服任何從動(dòng)機(jī)構(gòu)的制約。必須要由致動(dòng)器施加的實(shí)際作用力是由致動(dòng)機(jī)構(gòu) 的機(jī)械效益所確定的上述直接力。在例如具有圓形凸輪的對(duì)接設(shè)備中，機(jī)械效益部分上是 通過凸輪槽129的斜度確定的?？商峁┚哂蟹枪潭ㄐ倍鹊耐馆啿? 從而使機(jī)械效益隨著 凸輪位置而變化。這可以用于在所要克服的直接力隨著電接口之間的間隔而改變的情況下 要求在整個(gè)運(yùn)動(dòng)范圍上致動(dòng)器力大體恒定的對(duì)接。由于測(cè)試頭隨電觸點(diǎn)數(shù)量的增多而變得 越來(lái)越大和越來(lái)越沉重，提供手動(dòng)操作的致動(dòng)器愈加成為一個(gè)問題。參照?qǐng)D3、圖4A、圖5A、圖5B以及圖6，設(shè)置致動(dòng)器組件220以協(xié)助凸輪110轉(zhuǎn)動(dòng)。 致動(dòng)器組件220通常包括至少一個(gè)線性致動(dòng)器222和一組連桿230、231以及232。本實(shí)施 例被示出為具有兩個(gè)線性致動(dòng)器222，但也可以設(shè)置一個(gè)或者多于兩個(gè)的線性致動(dòng)器222。 如參照本文描述的示例實(shí)施例所述的，致動(dòng)器222為雙作用氣動(dòng)缸。然而，任何基于流體的 缸，包括液壓缸都可以適合于實(shí)施本發(fā)明。再者，本發(fā)明不局限于雙作用缸。例如，其它類型 的線性致動(dòng)器也可以適合于實(shí)施本發(fā)明，包括但不限于電動(dòng)機(jī)驅(qū)動(dòng)的致動(dòng)器或電動(dòng)螺線管 和/或電磁螺線管?；蛘?，可加入旋轉(zhuǎn)馬達(dá)和適合的齒輪傳動(dòng)裝置，以將旋轉(zhuǎn)動(dòng)力供給到具 有圓形凸輪的對(duì)接設(shè)備中的其中一個(gè)圓形凸輪或纜線驅(qū)動(dòng)器(如果設(shè)有這些裝置的話)， 或者供給到結(jié)合有線性凸輪和連桿的對(duì)接設(shè)備中的曲柄。旋轉(zhuǎn)馬達(dá)可以為例如電動(dòng)、液動(dòng) 或氣動(dòng)馬達(dá)。參照?qǐng)D5A和圖5B，示例性線性致動(dòng)器222為氣動(dòng)缸，并具有穿伸于其中的活塞桿 2M和一對(duì)入口 225、227。通過經(jīng)由入口 225供給流體促使活塞桿2M移動(dòng)到圖5A的右側(cè)， 通過經(jīng)由入口 227供給流體使活塞桿2 移動(dòng)到圖5A的左側(cè)。如上文所述，致動(dòng)器222不 一定非要具有雙作用特性，而是可由相反的單作用(single-acting)氣動(dòng)缸來(lái)替代，例如 在面板106的每側(cè)設(shè)置單作用汽缸。每個(gè)連桿體226附連到活塞桿224的每一端。每個(gè)連 桿體2 包括一伸長(zhǎng)的槽228，該槽的長(zhǎng)度1大于寬度W。參照?qǐng)D6，每個(gè)槽2 被配置成用以容置一樞轉(zhuǎn)銷234，且圍繞樞轉(zhuǎn)銷234設(shè)置一 襯套235。襯套235設(shè)置在槽2 中，樞轉(zhuǎn)銷234延伸穿過襯套235并延伸穿過對(duì)應(yīng)的短的 連桿230、231—端上的樞轉(zhuǎn)孔。襯套235的直徑與槽228的寬度w大體相同，使得襯套235 可在槽228中軸向移動(dòng)。這樣，連桿體2 和各自的短連桿230、231繞樞轉(zhuǎn)銷234相對(duì)于 彼此樞轉(zhuǎn)，同時(shí)樞轉(zhuǎn)點(diǎn)可被軸向調(diào)整，下文將對(duì)此進(jìn)行更詳細(xì)的描述。盡管本文描述了通過 槽來(lái)協(xié)助樞轉(zhuǎn)和軸向調(diào)整，但也可使用其它機(jī)構(gòu)如本文所述地通過拉力來(lái)移動(dòng)每個(gè)連桿構(gòu) 件。例如，可將短的連桿(圖未示)以其各端部可樞轉(zhuǎn)地連接到連桿體226與短連桿230、 231之間。在本實(shí)施例中，致動(dòng)器組件220還包括使從桿2 延伸并可樞轉(zhuǎn)地附連到短連桿 231的連桿體2 從圖6中的線性致動(dòng)器22 以順時(shí)針方向移動(dòng)(從該圖的下方觀察)。 短連桿231的相對(duì)端通過樞轉(zhuǎn)銷236可樞轉(zhuǎn)地連接到凸輪IlOa的第一凸緣221。第一凸 緣221被固定到凸輪110a，使得在致動(dòng)器222的作用下第一凸緣221的運(yùn)動(dòng)促使凸輪IlOa 轉(zhuǎn)動(dòng)。當(dāng)凸輪IlOa轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，促使附連到凸輪IlOa的第二凸緣223與凸輪一起轉(zhuǎn)動(dòng)。盡管 這里示出的是第一凸緣221和第二凸緣223，但它們可被具有伸長(zhǎng)的槽的單個(gè)凸緣(圖未 示)替代。長(zhǎng)連桿232的各端可樞轉(zhuǎn)地連接在下一凸輪IlOb的第二凸緣223與第一凸緣221之間。短連桿230可樞轉(zhuǎn)地連接在該第二凸輪IlOb的第二凸緣223和從致動(dòng)器22 的桿224的一端延伸的連桿體2 之間。類似的連桿連接型式從致動(dòng)器222b經(jīng)由一對(duì)凸 輪IlOc和IlOd并延續(xù)至連接到致動(dòng)器22 的桿2 的相對(duì)端的連桿體226。盡管該系統(tǒng) 優(yōu)選地為對(duì)稱設(shè)置，但并非必須如此。在本實(shí)施例中，每個(gè)致動(dòng)器222借助螺紋250之類附連到面板106?？稍诿姘?06 中設(shè)置用于容納每個(gè)致動(dòng)器222的一部分的凹部107，以減小致動(dòng)器222突出于面板106的 表面之上的高度。如圖所示，每個(gè)致動(dòng)器被固定到面板106，并且在操作過程中不會(huì)相對(duì)于 面板106樞轉(zhuǎn)或移動(dòng)。在致動(dòng)器222被固定的情況下，連桿體226中的槽2 使樞轉(zhuǎn)點(diǎn)能 夠軸向運(yùn)動(dòng)以順應(yīng)固定的致動(dòng)器222與樞轉(zhuǎn)的凸緣221、223之間的距離和取向的變化，下 文中將對(duì)此進(jìn)行更詳細(xì)的描述。由于汽缸可以為氣動(dòng)缸(即，利用諸如空氣的可壓縮氣體操作)或液壓缸(S卩，利 用不可壓縮的液體操作)，下文的描述將假設(shè)為適用氣動(dòng)缸或液壓缸中的任一者，并結(jié)合詞 語(yǔ)“流體”來(lái)表示液體或氣體。參照?qǐng)D3和圖4A，致動(dòng)器222所使用的流體可以通過從控制器270延伸的一對(duì)軟 管260和262來(lái)傳送?？刂破?70具有從流體源(圖未示)接收加壓流體的入口 272。控 制器270優(yōu)選包括調(diào)節(jié)器，使得可通過軟管260或262供給期望壓力的流體?？刂破?70 具有開關(guān)(圖未示)，例如三向撥動(dòng)開關(guān)，其使操作者能夠控制流體流經(jīng)通向入口 225的軟 管沈0、控制流體流經(jīng)通向入口 227的軟管沈2、或者不使流體流經(jīng)軟管260和沈2中的任 一者。本實(shí)施例包括流體分離器264，以將來(lái)自控制器270的流體同時(shí)供給到兩個(gè)致動(dòng)器 222?；蛘撸梢詾槊總€(gè)致動(dòng)器222設(shè)置單獨(dú)的控制器。注意到當(dāng)處于對(duì)接位置時(shí)，由于流體被收集在相應(yīng)的軟管沈0、262和控制器270 中，因此動(dòng)力損失或流體供給損失將不會(huì)導(dǎo)致凸輪轉(zhuǎn)動(dòng)以及導(dǎo)致對(duì)接錯(cuò)位。這樣，即使凸輪 隨動(dòng)件111并未完全地就位于各自的螺旋槽1 中，也能夠提供安全的鎖定。在控制器270 遇到流體壓力損失的情況下，可通過例如利用閥釋放收集的流體或通過割斷相應(yīng)的軟管來(lái) 手動(dòng)進(jìn)行對(duì)接操作。上文已描述了本發(fā)明的對(duì)接設(shè)備的示例性實(shí)施例的部件，下面將參照?qǐng)D7A至圖 12B描述其操作。圖7A和圖7B示出了在對(duì)接操作的開始處于非對(duì)接位置的致動(dòng)器組件220。為執(zhí) 行對(duì)接操作，凸輪110必須沿圖中的順時(shí)針方向轉(zhuǎn)動(dòng)。為啟動(dòng)對(duì)接操作，操作者啟動(dòng)控制器 270以將加壓流體供給到入口閥227，由此促使桿2M沿箭頭A1的方向移動(dòng)。當(dāng)桿2M移 動(dòng)時(shí)，連桿體226a與該桿一起移動(dòng)，樞轉(zhuǎn)銷234接觸槽228的端部而使得連桿體226a的軸 向運(yùn)動(dòng)如箭頭A2所示地傳遞到短連桿231a。短連桿231a的運(yùn)動(dòng)則促使第一凸緣221a和 第二凸緣223a如箭頭A3所示地與凸輪IlOa —起轉(zhuǎn)動(dòng)。第二凸緣223a的轉(zhuǎn)動(dòng)促使長(zhǎng)連桿 23 如箭頭A4所示移動(dòng)，從而促使位于其相對(duì)端的凸輪IlOb開始轉(zhuǎn)動(dòng)。長(zhǎng)連桿23 由于 其兩端連接到相應(yīng)的大體沿相同路徑移動(dòng)的凸緣223a、221b，因此不需要槽。從圖7B中應(yīng)注意到，當(dāng)桿22 沿箭頭A1的方向移動(dòng)時(shí)，由于系統(tǒng)開始處于松弛 狀態(tài)，具體而言，由于在連桿體226b的槽228b中開始進(jìn)行樞轉(zhuǎn)銷234b的初始軸向運(yùn)動(dòng)， 因此桿22 能夠輕柔地推壓短連桿230a。短連桿230a和長(zhǎng)連桿232b則通過線性致動(dòng)器 222b的桿224b的運(yùn)動(dòng)而以類似于上文與致動(dòng)器22 相關(guān)地描述的方式被牽拉(如箭頭B所示)。這樣就避免了折彎之類的現(xiàn)象，而如果任一連桿被推壓并由此處于壓縮狀態(tài)而不是 像本發(fā)明一樣被牽拉而處于張緊狀態(tài)，則可能發(fā)生彎曲。即使在僅使用一個(gè)致動(dòng)器222的 情況下，例如用一長(zhǎng)連桿代替致動(dòng)器222b，長(zhǎng)連桿232b和短連桿230仍會(huì)被致動(dòng)器222經(jīng) 由其余各連桿和凸緣而施加于連桿體226a上的連續(xù)力牽拉，并由此處于張緊狀態(tài)。由于連 桿在操作過程中始終處于張緊狀態(tài)，所以連桿不會(huì)受到將不利地導(dǎo)致連桿彎曲的壓縮力的 作用。因此，連桿可由具有足夠的抗拉強(qiáng)度的相對(duì)薄的材料或可壓縮的材料制成。實(shí)際上， 連桿原則上可由鋼絲繩或鋼纜制成。參照?qǐng)D8A和圖8B，其示出了處于從非對(duì)接位置到對(duì)接位置的中間行程的致動(dòng)器 組件220。桿22 如箭頭A1所示地繼續(xù)行進(jìn)，并且每個(gè)合力均存在。同時(shí)，桿224b也以類 似的方式行進(jìn)。如此處所示，現(xiàn)已通過凸輪IlOd和第二凸緣223d的轉(zhuǎn)動(dòng)而使短連桿230a 移動(dòng)，而凸輪IlOd和第二凸緣223d則是通過施加于長(zhǎng)連桿232b上的拉力來(lái)驅(qū)動(dòng)的(如 箭頭B所示)。第二凸緣223d的轉(zhuǎn)動(dòng)促使短連桿230a同時(shí)進(jìn)行軸向移動(dòng)和樞轉(zhuǎn)。樞轉(zhuǎn)銷 234b可沿槽228b的長(zhǎng)度自由地軸向移動(dòng)，由此順應(yīng)連桿體226b與第二凸緣223d的樞轉(zhuǎn)點(diǎn) 之間的距離的變化。在桿22 的相對(duì)端，樞轉(zhuǎn)銷23 不能在槽228a中進(jìn)一步移動(dòng)，因此 連桿體226a牽拉短連桿231a和第一凸緣221a，并且樞轉(zhuǎn)角度順應(yīng)了相對(duì)位置的變化。參照?qǐng)D9A和圖9B，其示出了剛好到達(dá)對(duì)接位置后的致動(dòng)器組件220。桿22 如箭 頭A1所示地繼續(xù)行進(jìn)，并且每個(gè)合力均存在。同時(shí)，桿224b也繼續(xù)以類似的方式行進(jìn)。如 此處所示，現(xiàn)已通過凸輪IlOd和第二凸緣223d的轉(zhuǎn)動(dòng)而使短連桿230a移動(dòng)，而凸輪IlOd 和第二凸緣223d則是通過施加于長(zhǎng)連桿232b上的拉力來(lái)驅(qū)動(dòng)的(如箭頭B所示)。第二 凸緣223d的轉(zhuǎn)動(dòng)亦促使短連桿230a同時(shí)進(jìn)行軸向移動(dòng)和樞轉(zhuǎn)。樞轉(zhuǎn)銷234b可沿槽228b 的長(zhǎng)度自由地軸向移動(dòng)，使得當(dāng)連桿體226b與第二凸緣223d的樞轉(zhuǎn)點(diǎn)之間的距離再次改 變時(shí)，樞轉(zhuǎn)銷234b沿槽228b軸向移動(dòng)到例如近似中間點(diǎn)的位置。在桿22 的相對(duì)端，樞 轉(zhuǎn)銷23 仍不能在槽228a中進(jìn)一步移動(dòng)，因此連桿體226a牽拉短連桿231a和第一凸緣 221a直到凸緣IlOa處于對(duì)接位置為止。分離過程按與對(duì)接步驟相反的順序執(zhí)行。參照?qǐng)DIOA和圖10B，其示出了在分離操 作開始時(shí)的致動(dòng)器組件220。為啟動(dòng)分離操作，操作者啟動(dòng)控制器270以將加壓流體供給 到入口閥225，由此促使桿22 沿箭頭A1的方向移動(dòng)。同時(shí)，桿224b也以類似的方式沿相 反的方向移動(dòng)。當(dāng)桿22 移動(dòng)時(shí)，連桿體226b與該桿一起移動(dòng)，樞轉(zhuǎn)銷234b接觸槽228b 的端部而使得連桿體226b的軸向運(yùn)動(dòng)如箭頭A2所示地傳遞到短連桿231a。短連桿231a 的運(yùn)動(dòng)則促使第一凸緣221a和第二凸緣223a如箭頭A3所示地與凸輪IlOa —起轉(zhuǎn)動(dòng)。第 一凸緣221d的轉(zhuǎn)動(dòng)促使長(zhǎng)連桿232b如箭頭A4所示地移動(dòng)，從而促使位于其相對(duì)端的凸輪 IlOc開始轉(zhuǎn)動(dòng)。并且，長(zhǎng)連桿232b由于其兩端連接到相應(yīng)的大體沿相同路徑移動(dòng)的凸緣 221d、223c，因此不需要設(shè)置槽。從圖IOB中應(yīng)注意到，當(dāng)桿22 沿箭頭A1的方向移動(dòng)時(shí)，由于系統(tǒng)開始處于松弛 狀態(tài)，具體而言，由于在連桿體226a的槽228a中開始進(jìn)行樞轉(zhuǎn)銷234b的初始軸向運(yùn)動(dòng)， 因此桿22 能夠輕柔地推壓短連桿231a。短連桿231a和長(zhǎng)連桿23 則通過線性致動(dòng)器 222b的桿224b的運(yùn)動(dòng)而以類似于上文與致動(dòng)器22 相關(guān)地描述的方式被牽拉(如箭頭 B所示)。無(wú)論在對(duì)接操作還是分離操作中，各個(gè)連桿230、231、232均會(huì)被牽拉而不會(huì)被 推壓。例如，在對(duì)接操作中，由致動(dòng)器22 牽拉長(zhǎng)連桿23 ，在分離操作中，則是由致動(dòng)器222b牽拉長(zhǎng)連桿23加。并且，即使在僅有一個(gè)致動(dòng)器的情況下，致動(dòng)器222也將牽拉而不 是推壓各個(gè)連桿。圖IlA和圖IlB示出了處于從對(duì)接位置到非對(duì)接位置的中間行程的致動(dòng)器組件 220，圖12A和圖12B示出了剛好到達(dá)對(duì)接位置后的致動(dòng)器組件220。其操作仍與對(duì)接操作 類似，這些圖中示出了連桿和處于槽228內(nèi)的樞轉(zhuǎn)銷234的相對(duì)位置。因此，如先前所述， 所有的連桿均如所期望地和有利地保持為張拉(而非壓縮)的狀態(tài)。盡管結(jié)合特定的具體實(shí)施例示出和描述了本發(fā)明，但本發(fā)明絕不局限于所示的細(xì) 節(jié)。相反地，可在不背離本發(fā)明原理的情況下，在權(quán)利要求的等效范圍和界限內(nèi)對(duì)這些細(xì)節(jié) 做出各種變型。
權(quán)利要求
1.一種用于將電子測(cè)試頭與處理設(shè)備對(duì)接的系統(tǒng)，所述系統(tǒng)包括用于將所述電子測(cè)試頭和所述處理設(shè)備組合在一起的組件；用于操作所述組件的機(jī)構(gòu)，所述機(jī)構(gòu)包括設(shè)置在所述測(cè)試頭和所述處理設(shè)備兩者中的 一者上的至少兩個(gè)凸輪，所述凸輪用于操作所述組件；用于操作所述機(jī)構(gòu)的至少一個(gè)致動(dòng)器；以及連桿組件，其包括在所述至少兩個(gè)凸輪之間延伸的至少兩個(gè)連桿構(gòu)件，其中，所述致動(dòng) 器機(jī)構(gòu)在對(duì)接操作和分離操作中是可操作的，并且所述連桿組件的每個(gè)連桿構(gòu)件在對(duì)接操 作和分離操作中均通過牽拉張力而被移動(dòng)。
2.如權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其中，所述至少一個(gè)致動(dòng)器包括手柄，該手柄與所述凸輪 的其中一個(gè)關(guān)聯(lián)并被配置成用以在對(duì)接操作和分離操作中操作該凸輪。
3.如權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其中，所述至少一個(gè)致動(dòng)器是由流體或電致動(dòng)的線性致 動(dòng)器或旋轉(zhuǎn)致動(dòng)器。
4.如權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，包括至少兩個(gè)致動(dòng)器，每個(gè)致動(dòng)器是由流體或電致動(dòng)的 線性致動(dòng)器或旋轉(zhuǎn)致動(dòng)器。
5.如權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其中，所述至少一個(gè)致動(dòng)器是流體致動(dòng)器，并且流體從流 體源到所述流體致動(dòng)器的流動(dòng)是通過控制器來(lái)控制。
6.如權(quán)利要求5所述的系統(tǒng)，其中，所述控制器被配置成用以防止當(dāng)發(fā)生動(dòng)力損失或 所述流體源的流體供給損失時(shí)所述流體致動(dòng)器發(fā)生流體損失。
7.如權(quán)利要求5所述的系統(tǒng)，其中，所述流體致動(dòng)器為雙作用缸，并且所述控制器被配 置成用以在對(duì)接操作過程中將流體供給到所述雙作用缸的第一側(cè)，以及在分離操作過程中 將流體供給到所述雙作用缸的相對(duì)側(cè)。
8.如權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其中，所述至少一個(gè)致動(dòng)器為具有一桿的線性致動(dòng)器，并 且所述連桿構(gòu)件中的至少一個(gè)連桿構(gòu)件為連接到所述桿的第一端的第一連桿體。
9.如權(quán)利要求8所述的系統(tǒng)，其中，所述第一連桿體包括至少一個(gè)伸長(zhǎng)的槽，所述槽容 置與其它的連桿構(gòu)件中的一個(gè)連桿構(gòu)件樞轉(zhuǎn)接合的樞轉(zhuǎn)銷。
10.如權(quán)利要求9所述的系統(tǒng)，其中，所述桿的第二端連接具有伸長(zhǎng)的槽的第二連桿體。
11.如權(quán)利要求8所述的系統(tǒng)，其中，所述線性致動(dòng)器相對(duì)于所述測(cè)試頭和所述處理設(shè) 備兩者中的其上設(shè)有所述至少兩個(gè)凸輪的一者而被固定。
12.如權(quán)利要求8所述的系統(tǒng)，其中，所述線性致動(dòng)器被固定在一凹部中。
13.如權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其中，每個(gè)凸輪包括從該凸輪延伸的至少一個(gè)凸緣，并 且至少一個(gè)連桿構(gòu)件樞轉(zhuǎn)連接到所述凸緣。
14.如權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其中，所述連桿組件以閉環(huán)方式連接到所述凸輪。
15.如權(quán)利要求14所述的系統(tǒng)，其中，所述至少一個(gè)致動(dòng)器是線性致動(dòng)器，該線性致動(dòng) 器設(shè)置在所述閉環(huán)內(nèi)，并且該線性致動(dòng)器的各端部分別連接到所述連桿構(gòu)件中相應(yīng)的一個(gè) 連桿構(gòu)件。
16.如權(quán)利要求15所述的系統(tǒng)，其中，所述線性致動(dòng)器被固定就位，并且所述連桿構(gòu)件 被配置為在所述致動(dòng)器沿朝向相應(yīng)的連桿構(gòu)件的方向被操作時(shí)，所述連桿構(gòu)件提供一定 范圍的樞轉(zhuǎn)自由度和軸向自由度。
17.如權(quán)利要求15所述的系統(tǒng)，其中，所述線性致動(dòng)器被配置為在對(duì)接操作過程中沿 第一方向牽拉每個(gè)所述連桿構(gòu)件，并且在分離操作過程中沿第二方向牽拉每個(gè)所述連桿構(gòu) 件。
18.如權(quán)利要求14所述的系統(tǒng)，其中，所述至少一個(gè)致動(dòng)器是設(shè)置在所述閉環(huán)內(nèi)的由 第一線性致動(dòng)器和第二線性致動(dòng)器構(gòu)成的一對(duì)致動(dòng)器，每個(gè)線性致動(dòng)器的各端部上分別連 接所述連桿構(gòu)件中相應(yīng)的一個(gè)連桿構(gòu)件。
19.如權(quán)利要求18所述的系統(tǒng)，其中，所述第一線性致動(dòng)器被配置為在對(duì)接操作過程 中沿第一方向牽拉所述連桿構(gòu)件的第一部分，所述第二線性致動(dòng)器被配置為在對(duì)接操作過 程中沿第一方向牽拉所述連桿構(gòu)件的其余部分，并且其中，所述第二線性致動(dòng)器被配置為 在分離操作過程中沿第二方向牽拉所述連桿構(gòu)件的第一部分，并且所述第一線性致動(dòng)器被 配置為在分離操作過程中沿第二方向牽拉所述連桿構(gòu)件的其余部分。
20.如權(quán)利要求18所述的系統(tǒng)，其中，所述第一線性致動(dòng)器被配置為在對(duì)接操作過程 中沿第一方向牽拉每個(gè)所述連桿構(gòu)件，并且所述第二線性致動(dòng)器被配置為在分離操作過程 中沿第二方向牽拉每個(gè)所述連桿構(gòu)件。
全文摘要
本發(fā)明提供一種用于將電子測(cè)試頭與處理設(shè)備對(duì)接的系統(tǒng)。該系統(tǒng)包括用于將電子測(cè)試頭和處理設(shè)備至少部分地對(duì)準(zhǔn)并隨后將兩者組合在一起的組件。該系統(tǒng)包括動(dòng)力驅(qū)動(dòng)的致動(dòng)器，該致動(dòng)器用于以動(dòng)力驅(qū)使電子測(cè)試頭和處理設(shè)備相組合。
文檔編號(hào)G01R31/26GK102150055SQ200980135954
公開日2011年8月10日 申請(qǐng)日期2009年7月10日 優(yōu)先權(quán)日2008年7月14日
發(fā)明者布萊恩·M·波什, 詹姆斯·B·伍德 申請(qǐng)人:Intest公司