專利名稱：測試模塊、測試裝置及測試方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明，涉及測試模塊，測試裝置及測試方法。本發(fā)明特別涉及對用于被測試器件的測試的測試程序壓縮并存儲的測試模塊，測試裝置及測試方法。本申請，與下列日本申請相關(guān)聯(lián)，主張來自下列日本申請的優(yōu)先權(quán)。對于認可通過文獻的參照而援引的指定國，下列申請記載的內(nèi)容通過參照的方式將編入本申請，作為本申請的一部分。1.專利申請2008-247690申請日2008年9月洸日
背景技術(shù)：
測試裝置，按照測試程序進行成為測試對象的被測試器件(DUT=Device Under Test)的測試。測試程序，在每個命令周期中，包含測試裝置應(yīng)該執(zhí)行的命令、對被測試器件的各端子輸出的測試圖案或與從被測試器件的各端子輸出的輸出圖案比較的期望值圖案。以前，以降低測試程序的數(shù)據(jù)量為目的，使用的測試裝置是通過采用重復(fù)命令壓縮測試程序的測試裝置。譬如，作為重復(fù)命令執(zhí)行IDXI命令，根據(jù)作為操作數(shù)被指定的次數(shù)，可以對DUT的各端子重復(fù)同一測試圖案的輸出。即，在以前的測試裝置中，對全端子，在多個命令周期之間持續(xù)采用同樣的圖案時，使用重復(fù)命令減小測試程序的大小。再者，比如專利文獻1，公開了在測試圖案存儲器中，針對每個命令獨立存儲測試方式的測試圖案列或通常方式的測試圖案列的測試裝置。這樣，在測試圖案存儲器中存儲適合于DUT的動作方式的形式的圖案列，能夠有效地壓縮測試程序。在先技術(shù)文獻專利文獻專利文獻1專利公開2006-58251號公報發(fā)明的概要發(fā)明預(yù)解決的問題可是，隨著近幾年的電子器件的高速化，被電子器件輸入輸出的信號的傳輸速率飛速提高。要想測試這樣的電子器件，需要更高速地產(chǎn)生測試圖案或期望值圖案的測試裝置。在這里，通過縮短執(zhí)行測試程序的命令周期，而使測試裝置的性能飛躍性地提高是困難的。因此，現(xiàn)在，通過在1命令周期之間供給多個測試圖案或期望值圖案，實現(xiàn)一邊比較低速地執(zhí)行命令，一邊高速生成圖案的測試裝置是可行的。如果在這樣的測試裝置中采用使用重復(fù)命令的壓縮方式的話，對于全端子，只在持續(xù)用多個命令周期之間完全相同的圖案列的時候能夠壓縮，而在即使是一部分不同的圖案列的情況下也不能壓縮。因此，僅采用使用重復(fù)命令的壓縮方式時，存在壓縮效率下降，存儲測試程序的存儲器區(qū)域不足的可能性。因此，在本發(fā)明的1個側(cè)面中，以提供能夠解決上述課題的測試模塊、測試裝置及測試方法為目的。該目的由權(quán)利要求中的獨立項記載的特征組合而達成。另外從屬項規(guī)定了本發(fā)明的更有利的具體例。

發(fā)明內(nèi)容
解決問題的技術(shù)手段為了解決上述課題，在本發(fā)明的第1方式中，提供一種測試模塊，包括壓縮信息存儲部，存儲多個壓縮信息，即存儲對應(yīng)圖案列和用于識別圖案列的圖案列識別信息對應(yīng)的壓縮信息；基本圖案存儲部，將多個所述圖案列數(shù)據(jù)作為一群基本圖案存儲，該圖案列數(shù)據(jù)與命令對應(yīng)包含圖案列或者圖案列識別信息數(shù)據(jù)；指示信息存儲部，存儲用于指示基本圖案的處理順序的指示信息；選擇部，從壓縮信息存儲部所存儲的多個壓縮信息中選擇在指示信息所指示的作為處理對象的基本圖案中使用的選擇壓縮信息；基本圖案讀出部，從基本圖案存儲部讀出作為處理對象的基本圖案中所包含的圖案列數(shù)據(jù)；圖案列讀出部，當基本圖案讀出部所讀出的圖案列數(shù)據(jù)中包含了圖案列識別信息時，參照選擇部選擇的選擇壓縮信息，讀出與圖案列識別信息對應(yīng)的圖案列；圖案輸出部，輸出基本圖案讀出部讀出的圖案列數(shù)據(jù)中包含的圖案列，或輸出與圖案列讀出部讀出的圖案列識別信息對應(yīng)的圖案列。在第1方式中，還可以具有基本圖案信息存儲部，與基本圖案對應(yīng)存儲用于識別基本圖案的處理中使用的壓縮信息的壓縮信息識別信息；選擇部能夠參照壓縮信息識別信息而選擇選擇壓縮信息；壓縮信息存儲部，能存儲的壓縮信息，作為壓縮信息還包含指定圖案列的重復(fù)次數(shù)的次數(shù)信息；圖案輸出部，只用次數(shù)信息指定的重復(fù)次數(shù)重復(fù)輸出圖案列； 壓縮信息存儲部，能存儲包含作為圖案列，預(yù)先定義的既定圖案列或在每個壓縮信息中定義的任意圖案列的壓縮信息；壓縮信息存儲部，在存儲作為圖案列包含任意圖案列的同時， 將識別多個任意圖案列的全體的單一的圖案列識別信息作為表示多個任意圖案列數(shù)目的次數(shù)信息而存儲；圖案輸出部，只輸出次數(shù)信息指定的數(shù)目的多個任意圖案列。壓縮信息存儲部，可以存儲每個輸入或輸出的通道的圖案列及圖案列識別信息作為壓縮信息；圖案輸出部，能對每個通道輸出圖案列。壓縮信息存儲部，作為圖案列，存儲高速模式圖案列或低速模式圖案列的同時，作為圖案列識別信息，存儲識別圖案列是高速模式圖案列還是低速模式圖案列的圖案識別信息。壓縮信息存儲部，作為壓縮信息中包含的所述圖案列，存儲高速模式圖案列的同時，作為圖案列識別信息，存儲可指定一地址空間的短位圖案列識別信息或比一地址空間大的地址空間可指定的長位圖案列識別信息；作為短位圖案列識別信息所識別的圖案列，可分配預(yù)先定義的使用頻度高的高頻度既定圖案列； 作為長位圖案列識別信息所識別的圖案列，可分配比預(yù)先定義的高頻度既定圖案列的使用頻度低的低頻度既定圖案列。壓縮信息存儲部，可存儲是高速模式圖案列和在每個壓縮信息被定義的任意圖案列作為壓縮信息中包含的全部的圖案列，存儲空數(shù)據(jù)作為圖案列識別 fn息ο在本發(fā)明的第2方式中，提供一種測試裝置，包括壓縮信息存儲部，存儲多個壓縮信息，即存儲圖案列及用于識別圖案列的圖案列識別信息對應(yīng)的壓縮信息；基本圖案存儲部，將多個所述圖案列數(shù)據(jù)作為一群基本圖案存儲，該圖案列數(shù)據(jù)與命令對應(yīng)包含圖案列或者圖案列識別信息；指示信息存儲部，存儲用于指示基本圖案的處理順序的指示信息； 選擇部，從壓縮信息存儲部所存儲的多個壓縮信息中選擇指示信息所指示的作為處理對象的基本圖案使用的選擇壓縮信息；基本圖案讀出部，從基本圖案存儲部讀出作為處理對象
6的基本圖案中所包含的圖案列數(shù)據(jù)；圖案列讀出部，當基本圖案讀出部所讀出的圖案列數(shù)據(jù)中包含圖案列識別信息時，參照選擇部選擇的選擇壓縮信息，讀出與圖案列識別信息對應(yīng)的圖案列；圖案輸出部，輸出基本圖案讀出部讀出的圖案列數(shù)據(jù)中包含的圖案列，或輸出與圖案列讀出部讀出的圖案列識別信息對應(yīng)的圖案列。在本發(fā)明的第3方式中，提供一種測試方法，包括壓縮信息存儲步驟，存儲多個壓縮信息，即存儲圖案列及用于識別圖案列的圖案列識別信息對應(yīng)的壓縮信息；基本圖案存儲步驟，將多個所述圖案列數(shù)據(jù)作為一群基本圖案存儲，該圖案列數(shù)據(jù)對應(yīng)于命令包含圖案列或者圖案列識別信息；指示信息存儲步驟，存儲指示基本圖案的處理順序的指示信息；選擇步驟，從在壓縮信息存儲步驟存儲的多個壓縮信息中選擇指示信息所指示的作為處理對象的基本圖案使用的選擇壓縮信息；基本圖案讀出步驟，讀出處理對象的基本圖案中包含的圖案列數(shù)據(jù)；圖案列讀出步驟，當在基本圖案讀出步驟讀出了圖案列數(shù)據(jù)中包含圖案列識別信息時，參照選擇部選擇的選擇壓縮信息，讀出與圖案列識別信息對應(yīng)的圖案列；圖案輸出步驟，輸出在基本圖案讀出步驟讀出的圖案列數(shù)據(jù)中包含的圖案列，或輸出與在圖案列讀出步驟讀出的圖案列識別信息對應(yīng)的圖案列。另外，上述發(fā)明的概要，并未列舉出本發(fā)明的必要的特征的全部，這些的特征群的子結(jié)合也能夠成本發(fā)明。


圖1表示本實施方式涉及的測試模塊10構(gòu)成。圖2表示本實施方式涉及的序列圖案生成部142及序列圖案生成部146的構(gòu)成。圖3表示本實施方式涉及的壓縮信息的一個例子。圖4表示本實施方式涉及的測試程序的一個例子。圖5表示本實施方式涉及的測試程序的壓縮形式。圖6表示本實施方式的變形例涉及的圖案壓縮信息的一個例子。圖7表示將本實施方式的再變形例涉及的圖案壓縮信息的一個例子。圖8表示本實施方式的再變形例涉及的圖案壓縮信息的一個例子。圖9表示本實施方式的再變形例涉及的圖案壓縮信息的一個例子。圖10表示本實施方式的再變形例涉及的圖案壓縮信息的一個例子。實施方式以下，通過發(fā)明的實施方式說明本發(fā)明的(一)側(cè)面，不過，以下的實施方式并不限定權(quán)利要求范圍所涉及的發(fā)明，另外，在實施方式中說明的特征組合并非全部都是發(fā)明的解決手段所必須的。圖1，表示有關(guān)本實施方式的測試模塊10構(gòu)成。測試模塊10可以被使用在測試具有1或多個端子的DUTlOO的測試裝置上，具有主存儲器102、中央圖案控制部112和多個通道塊130。主存儲器102，存儲DUT100測試程序的同時，記錄執(zhí)行測試程序后的結(jié)果DUT100 輸出的輸出圖案。主存儲器102具有命令存儲器104、多個測試圖案存儲器106和多個期望值圖案存儲器108以及數(shù)字捕獲存儲器110。命令存儲器104存儲測試程序中包含的各命令。
測試圖案存儲器106，可以是基本圖案存儲部的一個例子。測試圖案存儲器106， 將與命令對應(yīng)含圖案列或者圖案列識別信息的圖案列數(shù)據(jù)，以多個圖案列數(shù)據(jù)為一群基本圖案存儲。多個測試圖案存儲器106，分別與DUT100各端子對應(yīng)設(shè)置，與各命令對應(yīng)，在每個端子存儲執(zhí)行該命令的命令周期期間中所使用的測試圖案列。在這里，測試圖案列可以是圖案列的一個例子。比如，當測試模塊10在每1命令周期產(chǎn)生32比特的信號，并對 DUT100輸出時，測試圖案存儲器106，存儲與各命令對應(yīng)，在1命令周期中輸出的32比特的信號對應(yīng)的32個的測試圖案的測試圖案列。期望值圖案存儲器108，可以是基本圖案存儲部的一個例子。期望值圖案存儲器 108，以多個圖案列數(shù)據(jù)為一群基本圖案存儲與命令對應(yīng)包含圖案列或圖案列識別信息的圖案列數(shù)據(jù)。多個期望值圖案存儲器108，分別與DUT100各端子對應(yīng)設(shè)置，存儲與各命令對應(yīng)，在每個端子在執(zhí)行該命令的命令周期中使用的期望值圖案列。在這里，期望值圖案列， 可以是圖案列的一個例子，包含在命令周期期間中被DUT100端子依次輸出的多個輸出圖案和應(yīng)該依次被比較的多個期望值圖案。數(shù)字捕獲存儲器110，記錄執(zhí)行測試程序后的結(jié)果 DUT100輸出的輸出圖案。在以上中，命令存儲器104、多個測試圖案存儲器106、多個期望值圖案存儲器 108、和/或數(shù)字捕獲存儲器110，可以分割為構(gòu)成主存儲器102的個別的存儲模塊而設(shè)置， 也可以作為同樣的存儲模塊內(nèi)不同的記憶區(qū)而設(shè)置。中央圖案控制部112被主存儲器102及多個通道塊130連接，在DUT100各端子進行共同的處理。中央圖案控制部112具有圖案清單存儲器114、矢量生成控制部116、中央捕獲控制部120和圖案結(jié)果存儲器122。圖案清單存儲器114，可以是指示信息存儲部的一個例子。圖案清單存儲器114， 存儲指示基本圖案的處理順序的指示信息。圖案清單存儲器114，對于測試程序的主例程或各子例程，分別存儲命令存儲器104中的該例程的開始/結(jié)束地址、測試圖案存儲器106中的測試圖案的開始地址、在期望值圖案存儲器108中的期望值圖案的開始地址等。矢量生成控制部116可以是命令執(zhí)行部的一個例子，每個命令周期，依次執(zhí)行 DUT100測試程序中包含的命令。更具體，矢量生成控制部116，在每個例程，從圖案清單存儲器114依次讀出從開始地址到結(jié)束地址的各命令，依次執(zhí)行。中央捕獲控制部120，從各通道塊130接收每個DUT100端子的好壞判斷結(jié)果，合計每個例程的DUT100好壞判斷結(jié)果。圖案結(jié)果存儲器122存儲每個例程的DUT100好壞判斷結(jié)果。多個通道塊130可各自對應(yīng)DUT100各端子設(shè)置。各通道塊130，具有通道圖案生成部140、定時生成部160、驅(qū)動器170和比較儀180。通道圖案生成部140，生成使用于該端子的測試的測試圖案列或期望值圖案列，進行DUT100輸出圖案列及期望值圖案列的比較。通道圖案生成部140包含既定圖案存儲器 118、序列圖案生成部142、格式控制部144、序列圖案生成部146、搜索及比較部148、失效捕獲控制部150和失效捕獲存儲器152。既定圖案存儲器118，可以是壓縮信息存儲部的一個例子。既定圖案存儲器118， 存儲多個壓縮信息，每個所述壓縮信息對應(yīng)圖案列及識別圖案列的圖案列識別信息。既定圖案存儲器118，與識別該既定圖案列的該既定圖案識別信息對應(yīng)測試圖案列和/或期望
8值圖案列，即圖案列里面被預(yù)先設(shè)定的既定圖案列。既定圖案識別信息可以是圖案列識別信息的一個例子。在這里，測試圖案存儲器106和/或期望值圖案存儲器108，關(guān)于與既定圖案列同樣的圖案列，替換該圖案列本身，存儲該既定圖案列的既定圖案識別信息。序列圖案生成部142，從矢量生成控制部116接收與執(zhí)行的例程對應(yīng)輸出的測試圖案列的開始地址。并且，序列圖案生成部142，與各命令周期對應(yīng)從該開始地址起按順序從測試圖案存儲器106讀出測試圖案列，依次向格式控制部144輸出。格式控制部144，與驅(qū)動器170共同具有本實施方式涉及的測試圖案輸出部的功能，將測試圖案列轉(zhuǎn)換為了控制驅(qū)動器170的格式。序列圖案生成部146，與執(zhí)行的例程對應(yīng)，從矢量生成控制部116接收期望值圖案列的開始地址。并且，序列圖案生成部146，與各命令周期對應(yīng)，從該開始地址起按順序從期望值圖案存儲器108讀出期望值圖案，順次輸出到搜索及比較部148及失效捕獲控制部 150。搜索及比較部148，是本實施方式涉及的期望值比較部的一個例子，借助比較儀180輸入DUT100輸出的輸出圖案列，并與期望值圖案列比較。在這里，針對被DUT100輸出的定時不固定的輸出圖案列，搜索及比較部148，可以具有以DUT100輸出特定的首圖案為條件，開始與期望值圖案列的比較的搜索功能。失效捕獲控制部150，從搜索及比較部148接收到DUT100的輸出圖案列及期望值圖案列一致/不一致的信息，生成關(guān)于該端子的DUT100好壞判斷結(jié)果。失效捕獲存儲器 152，存儲包含搜索及比較部148的搜索處理的結(jié)果或與期望值不一致的輸出圖案的值等的失效信息。定時生成部160，生成驅(qū)動器170輸出測試圖案列內(nèi)的各測試圖案的定時，及，生成比較儀180獲取DUT100的輸出圖案的定時。驅(qū)動器170，與格式控制部144共同具有本實施方式涉及的作為測試圖案輸出部的功能，在被定時生成部160指定的定時中，將被通道圖案生成部140內(nèi)的格式控制部144輸出的各測試圖案輸出到DUT100。比較儀180，在被定時生成部160指定的定時中，取得從DUT100端子輸出的輸出圖案，并供給通道塊130 內(nèi)的搜索及比較部148和數(shù)字捕獲存儲器110。圖2，與既定圖案存儲器118 —起表示本實施方式涉及的序列圖案生成部142及序列圖案生成部146的構(gòu)成。序列圖案生成部142，包含圖案存儲器讀出部200、既定圖案讀出部210、圖案選擇部220和選擇部230。圖案存儲器讀出部200，可以是基本圖案讀出部的一個例子。圖案存儲器讀出部 200，從測試圖案存儲器106或期望值圖案存儲器108中讀出作為處理對象的基本圖案中包含的圖案列數(shù)據(jù)。圖案存儲器讀出部200，在測試模塊10執(zhí)行一命令中，與該一命令對應(yīng)讀出在測試圖案存儲器106中存儲的圖案列數(shù)據(jù)，即測試圖案列或既定圖案識別信息。選擇部230，從既定圖案存儲器118中存儲的多個壓縮信息，選擇圖案清單指示的處理對象的基本圖案中使用的選擇壓縮信息。所述既定圖案存儲器118可以是壓縮信息存儲部的一個例子，圖案清單可以是指示信息的一個例子。既定圖案存儲器118具有多個壓縮信息1到壓縮信息η。選擇部230，可以對每個圖案選擇多個壓縮信息中的任何一個。在本實施方式的測試模塊10中，由于具有選擇部230，所以能夠?qū)Ω骰緢D案轉(zhuǎn)換壓縮信息。 再者，還能夠具有與基本圖案對應(yīng)存儲識別在基本圖案的處理中使用的壓縮信息的壓縮信息識別信息的基本圖案信息存儲部，選擇部230能參照壓縮信息識別信息選擇選擇壓縮fn息ο既定圖案讀出部210，可以是圖案列讀出部的一個例子。既定圖案讀出部210，在圖案存儲器讀出部200讀出的圖案列數(shù)據(jù)中包含可以是圖案列識別信息的一個例子的既定圖案識別信息時，參照選擇部230選擇的選擇壓縮信息，讀出與既定圖案列識別信息對應(yīng)的既定圖案列。根據(jù)這個，既定圖案讀出部210，將既定圖案識別信息轉(zhuǎn)換成對應(yīng)的既定圖案列。圖案選擇部220，可以是圖案輸出部的一個例子。圖案選擇部220，輸出圖案存儲器讀出部200讀出的圖案列數(shù)據(jù)中包含的圖案列，或輸出與圖案列讀出部讀出的圖案列識別信息對應(yīng)的圖案列。圖案選擇部220，在執(zhí)行該一命令的命令周期期間中，與該一命令對應(yīng)選擇圖案存儲器讀出部200從測試圖案存儲器106讀出的測試圖案列，或，既定圖案讀出部210從既定圖案存儲器118讀出的既定圖案列，并輸出到格式控制部144。更具體，圖案選擇部220，與該一命令對應(yīng)判斷是否已經(jīng)從測試圖案存儲器106讀出測試圖案列或既定圖案識別信息的任何一個，當測試圖案列被讀出時，將從圖案存儲器讀出部200輸出的該測試圖案列輸出到格式控制部144。另一方面，當既定圖案識別信息被讀出時，向格式控制部144輸出從既定圖案讀出部210輸出的既定圖案列。接收到這個，本實施方式涉及的測試圖案輸出部的一個例子的格式控制部144及驅(qū)動器170，將被圖案選擇部220選擇的測試圖案列或既定圖案列對驅(qū)動器170連接的DUT100端子輸出。序列圖案生成部146，因為采用序列圖案生成部142同樣的構(gòu)成，所以省略說明。 再者，取代個別設(shè)置以上所示的序列圖案生成部142及序列圖案生成部146的構(gòu)成，通道圖案生成部140可以采用具有序列圖案生成部142及序列圖案生成部146的功能的共同的序列圖案生成部的構(gòu)成。圖3，表示本實施方式涉及的壓縮信息的一個例子。在到本實施方式中，測試圖案存儲器106和/或期望值圖案存儲器108，以能夠判斷圖案列或既定圖案識別信息的哪一個被存儲為目的，與各命令對應(yīng)存儲測試圖案壓縮信息和/或期望值圖案壓縮信息(以下總稱「圖案壓縮信息」)。以下，用圖3說明圖案壓縮信息的編碼形式的一個例子。另外，如上所述，在本實施方式中圖案壓縮信息可以具有多個。本實施方式涉及的圖案壓縮信息的第0比特，作為指定1命令周期期間中使用的圖案列的矢量長度的矢量長度信息被使用。在這里，本實施方式涉及的測試模塊10具有在 1命令周期期間中使用的圖案列的矢量長不相同的多個動作方式。作為一個例子測試模塊 10具有例如使用32圖案的測試圖案列或期望值圖案列進行測試的第1動作方式(高速模式)和，與高速模式較比，用少數(shù)的，譬如1圖案的測試圖案列或期望值圖案列進行測試的第2動作方式(低速模式)。并且，矢量長度信息指定將與該圖案壓縮信息對應(yīng)的圖案列作為第1動作方式或第2動作方式的哪個方式的圖案列進行處理。第1動作方式(第0比特是"0")中，圖案壓縮信息，在預(yù)先確定了特定值(第 1-3比特是"000")的情況下，識別存儲著的圖案列。該情況下，測試圖案存儲器106和 /或期望值圖案存儲器108，與命令對應(yīng)，與該圖案壓縮信息一起，存儲第1動作方式的圖案列，即32圖案的圖案列。另外，在第1動作方式中，圖案壓縮信息在不是特定值的情況下(第1-3比特為"001"至"111")作為既定圖案識別信息使用。在這種情況下，測試圖案存儲器106
10和/或期望值圖案存儲器108，與命令對應(yīng)存儲該圖案壓縮信息，且不附加圖案列。在第1動作方式中，測試模塊10，進行以下的動作。首先，圖案存儲器讀出部200， 如果在執(zhí)行一命令中，從測試圖案存儲器106或期望值圖案存儲器108讀出圖案壓縮信息， 圖案壓縮信息是特定值(第0-3比特為"0000")的情況下，進一步讀出圖案列。其次，既定圖案讀出部210，在圖案壓縮信息不是特定值的情況下，讀出與該圖案壓縮信息對應(yīng)并在既定圖案存儲器118中存儲的既定圖案列。并且，圖案選擇部220，在圖案壓縮信息作為特定值的情況下選擇圖案存儲器讀出部200輸出的圖案列，在圖案壓縮信息不是特定值的情況下選擇既定圖案讀出部210輸出的既定圖案列。另一方面，第2動作方式(第0比特為"1")中，圖案壓縮信息，在預(yù)先確定了特定值(第1-3比特是〃 000〃，和〃 111〃的)情況時，識別為存儲著圖案列。在第1-3比特是"000"的情況下，測試圖案存儲器106和/或期望值圖案存儲器108與在所接連的 16命令周期期間中被執(zhí)行的16命令對應(yīng)，與該圖案壓縮信息一起，存儲每個第2動作方式的圖案列，即每個命令對應(yīng)的1圖案的圖案列。同時，第1-3比特是"111"的情況下，測試圖案存儲器106和/或期望值圖案存儲器108，與圖案數(shù)部分的命令對應(yīng)，與該圖案壓縮信息一起，存儲具有圖案數(shù)部分的長度的第2動作方式的圖案列，其中，該圖案數(shù)部分是與相當于被第4-7比特指定的圖案數(shù)的命令周期間中所執(zhí)行的圖案數(shù)部分。測試圖案存儲器 106和/或期望值圖案存儲器108，通過改變這個第4-7比特，能夠與1個圖案壓縮信息對應(yīng)存儲可變長度的圖案。另外，在第2動作方式中，當圖案壓縮信息不是特定值時(第1-3比特為"001" 至"110")作為既定圖案識別信息使用。這種情況下，測試圖案存儲器106和/或期望值圖案存儲器108，與命令對應(yīng)存儲該圖案壓縮信息，且不附加圖案列。在第2動作方式中，測試模塊10，進行以下的動作。首先，圖案存儲器讀出部200， 如果在執(zhí)行一命令中，從測試圖案存儲器106或期望值圖案存儲器108讀出圖案壓縮信息， 在圖案壓縮信息是特定值(第0-3比特為"1000"或"1111")的情況下進一步讀出圖案列。其次，既定圖案讀出部210，在圖案壓縮信息不是特定值的情況時，讀出與該圖案壓縮信息對應(yīng)在既定圖案存儲器118中存儲的既定圖案列。并且，圖案選擇部220，在圖案壓縮信息作為特定值的情況下選擇圖案存儲器讀出部200輸出的圖案列，在圖案壓縮信息不是特定值的情況下選擇既定圖案讀出部210輸出的既定圖案列。在第2動作方式中，從該一命令過渡到多個命令周期期間之間，依次采用所選擇的圖案列的各圖案。圖4，表示本實施方式涉及的測試程序的一個例子。在圖4例示的測試程序，包含有應(yīng)該依次被執(zhí)行的多個命令和，與各命令及各端子(CHl至CH4)對應(yīng)執(zhí)行該命令的命令周期期間中被輸出到DUT100 的測試圖案列。命令存儲器104，存儲圖4所示的各命令。同時，多個測試圖案存儲器106 分別與各命令對應(yīng)，存儲作為識別在執(zhí)行該命令的命令周期間中輸出的測試圖案列，或，在該命令周期期間中輸出的既定圖案列的既定圖案識別信息而被使用的圖案壓縮信息。比如，與第1行的命令〃 NOP"對應(yīng)，端子CHl的測試圖案存儲器106存儲測試圖案列{011. · · 110}，端子CH2的測試圖案存儲器106存儲測試圖案列{000. · · 110}，端子CH3 的測試圖案存儲器106存儲測試圖案列{011. . . 000}，端子CH4的測試圖案存儲器106存儲測試圖案列{001... 110}。更具體，測試圖案存儲器106將這些測試圖案列，作為特定值 (第0-3比特為"0000")的圖案壓縮信息以及在該圖案壓縮信息中所附加的圖案列的組合而存儲。再比如，與第3行的命令〃 IDXI 100〃對應(yīng)，分別在端子CHl及端子CH2的測試圖案存儲器106存儲特定值以外的圖案壓縮信息CODEHl (第0-3比特為"0001");端子CH3 的測試圖案存儲器106存儲特定值以外的圖案壓縮信息C0DEH2(第0-3比特為"0010")； 端子CH4的測試圖案存儲器106存儲特定值以外的圖案壓縮信息C0DEH3(第0_3比特為"0011")。這樣，多個測試圖案存儲器106與相同的命令對應(yīng)，對各端子存儲不同的既定圖案識別信息。再譬如，與第9行的命令"NOP"對應(yīng)，端子CHl的測試圖案存儲器106存儲特定值以外的圖案壓縮信息C0DEH1，端子CH2到4存儲特定值的圖案壓縮信息及測試圖案列。根據(jù)對以上所示的測試程序的存儲形式，能夠與同一命令對應(yīng)，在每個端子獨立地確定是存儲數(shù)據(jù)量大的測試圖案列自己，還是置換為既定圖案識別信息存儲，得以更有效率地降低測試程序的數(shù)據(jù)量。更具體，與DUT100第1端子對應(yīng)的第1測試圖案存儲器 106，與一命令對應(yīng)存儲一測試圖案列；與DUT100第2端子對應(yīng)的第2測試圖案存儲器 106，可以存儲與該一命令對應(yīng)包含一既定圖案識別信息的圖案壓縮信息。并且，該情況，與 DUT100第1端子對應(yīng)的第1圖案存儲器讀出部200，與該一命令對應(yīng)讀出在第1測試圖案存儲器106中存儲的特定值的圖案壓縮信息及一測試圖案列。另一方面，與第2端子對應(yīng)的第2圖案存儲器讀出部200，與該一命令對應(yīng)讀出在第2測試圖案存儲器106中存儲的， 不是特定值的一圖案壓縮信息。其次，與第2端子對應(yīng)的第2既定圖案讀出部210，讀出與不是特定值的一圖案壓縮信息對應(yīng)在既定圖案存儲器118中存儲的一既定圖案列。并且，與第1端子對應(yīng)的第1 通道圖案生成部140及驅(qū)動器170，在執(zhí)行該一命令的一命令周期期間中，對第1端子輸出從第1測試圖案存儲器106讀出的一測試圖案列。另一方面，與第2端子對應(yīng)的第2格式控制部144及驅(qū)動器170，在該一命令周期期間中，對第2端子輸出被第2既定圖案讀出部 210讀出的一既定圖案列。根據(jù)以上所示測試模塊10，能夠在各端子獨立存儲與同一命令對應(yīng)，對各測試圖案存儲器106指定測試圖案列或既定圖案識別信息的圖案壓縮信息，從而提高壓縮測試程序的可能性。再者，在圖4中以測試圖案存儲器106中存儲測試圖案列為例進行了說明。不過， 由于在期望值圖案存儲器108中存儲期望值圖案列的情況也是如此，因此省略說明。圖5，表示有關(guān)本實施方式的測試程序的壓縮形式。圖5(a)是壓縮前的測試程序。本式測試程序，在第1-2行和第觀-30行中，用第1 動作方式(高速模式)使測試模塊10動作，使每個命令周期32圖案的測試圖案列。同時， 在第3-27行中，測試模塊10用第2動作方式(低速度方式)使之動作，使每個命令周期輸出1圖案。圖5(b)是壓縮后的測試程序。在本測試程序中，壓縮前的測試圖案列 {VA1...VA32}，作為與既定圖案識別信息"Hl"對應(yīng)的既定圖案列被存儲在既定圖案存儲器118中。并且，壓縮前的測試圖案列{VA1...VA32}，被置換成指定既定圖案識別信息"Hl"的圖案壓縮信息C0DEH1，并被存儲在測試圖案存儲器106中。同樣，壓縮前的測試圖案列{VB1. . . VB32}, {VD1...VD32}，和{VE1. . . VE32}被置換成指定既定圖案識別信息"H2"，“ H4"，及〃 H5"的圖案壓縮信息C0DEH2，C0DEH4，和C0DEH5，并被存儲在測試圖案存儲器106中。另外，與第2動作方式接連的16命令對應(yīng)依次被輸出的測試圖案列 {SA1...SA16}，作為與既定圖案識別信息"Li"對應(yīng)的第2動作方式的既定圖案列存儲于既定圖案存儲器118中。另外，壓縮前的測試圖案列{VX1. . . VX32}，作為特定值(第1_4比特為〃 0000〃 ) 的圖案壓縮信息CODEHO和該測試圖案列的組合而存儲在測試圖案存儲器106。同樣，壓縮前的測試圖案列{SA17...SA25}，作為特定值(第1-4比特為〃 1111"，且，第5_8比特為"9")的圖案壓縮信息C0DEL7和圖案數(shù)是9的測試圖案列{SA17...SA25}的組合而存儲在測試圖案存儲器106。根據(jù)以上所述的測試程序的壓縮方式，測試模塊10，通過將頻繁出現(xiàn)的測試圖案列作為既定圖案列預(yù)先存儲在既定圖案存儲器118中，從而能夠?qū)y試程序中包含的多個測試圖案列，置換成指定該既定圖案列的圖案壓縮信息，能夠高效率地降低測試程序的規(guī)模。再者，在圖5中以測試圖案存儲器106中存儲測試圖案列為例進行了說明。不過， 在期望值圖案存儲器108中存儲期望值圖案列時的情況與之相同，因此省略說明。圖6，表示本實施方式的變形例涉及的圖案壓縮信息的一個例子。如圖6所示的圖案壓縮信息中，用全部的壓縮信息的編碼指定高速模式。根據(jù)這樣的圖案壓縮信息，能增加可以用高速模式使用的既定圖案數(shù)。圖7，表示本實施方式的進一步變形例的圖案壓縮信息的一個例子。圖7所示的圖案壓縮信息中，用全部的壓縮信息的編碼指定任意的圖案列。根據(jù)這樣的圖案壓縮信息，能夠以相當于4比特的壓縮編碼，分配空數(shù)據(jù)，S卩，削減4比特大小的壓縮編碼，可以提高壓縮率。另外，在圖案信息存儲器中能夠存儲表示全部的編碼用高速模式指定的意義或用任意圖案列指定的意義的信息。圖8，表示本實施方式的進一步變形例的圖案壓縮信息的一個例子。圖8表現(xiàn)的圖案壓縮信息中，作為壓縮信息的編碼，分配8比特，用高位4比特的"0111"作為圖案列指定包含多個任意圖案列。同時，指定用低位4比特的"1001"指定的多個任意圖案列的數(shù)目。即，作為壓縮信息，能指定包含圖案列的重復(fù)次數(shù)的次數(shù)信息。低位4比特的"1001" 表示著任意圖案列被重復(fù)10次。根據(jù)這樣的圖案壓縮信息，能消除在第2次以后的重復(fù)涉及的圖案列中的數(shù)據(jù)的壓縮信息的編碼，能提高圖案列數(shù)據(jù)的壓縮率。圖9表示本實施方式的再變形例涉及的圖案壓縮信息的一個例子。圖9所示的圖案壓縮信息中，作為壓縮信息的編碼，分配8比特，用高位4比特的"0110"指定被多次重復(fù)的同一圖案列。同時，用低位4比特的"0011"指定重復(fù)次數(shù)。即，作為壓縮信息，可以包含指定圖案列的重復(fù)次數(shù)的次數(shù)信息。低位4比特的"0011"表示任意圖案列被重復(fù)5 次。根據(jù)這樣的圖案壓縮信息，能消除在第2次以后的重復(fù)涉及的圖案列數(shù)據(jù)的壓縮信息的編碼，能提高圖案列數(shù)據(jù)的壓縮率。再者，在圖9中的壓縮信息，能對每個輸入或輸出通道指定。因而，不能用作為重復(fù)命令的IDXI指定，即使在輸入通道和輸出通道的重復(fù)的次數(shù)相異的情況下，也因能對每個通道指定重復(fù)次數(shù)，得以提高壓縮率。在圖9中，作為重復(fù)的圖案列，列舉了任意圖案列，不過，既定圖案列也當然能適用。圖10表示本實施方式的再變形例涉及的圖案壓縮信息的一個例子。在圖10表示的圖案壓縮信息中，作為指定高速模式的壓縮信息的編碼，分配8比特，分為僅用高位4比特指定的圖案列，和，與低位4比特合起來后用8比特指定的圖案列。即，存儲高速模式圖案列作為壓縮信息中包含的圖案列的同時，存儲能指定一地址空間的短位圖案列識別信息或能指定比一地址空間大的地址空間的長位圖案列識別信息作為圖案列識別信息。作為短位圖案列識別信息識別的圖案列，分配預(yù)先被定義的使用頻度高的高頻度既定圖案列，作為識別長位組合列識別信息的圖案列；分配比預(yù)先被定義的高頻度既定圖案列使用頻度低的低頻度既定圖案列。根據(jù)這樣的圖案壓縮信息，高頻度的既定圖案列用4比特的壓縮信息編碼指定，低頻度的既定圖案用8比特的壓縮信息編碼指定。因而，能提高綜合性的壓縮率。此外，由于在低速模式的壓縮編碼與上述相同，所以省略說明。如以上所示，根據(jù)本實施方式涉及的測試模塊10，根據(jù)同樣命令，能夠在每個 DUT100端子獨立壓縮在多個測試圖案存儲器106中和/或在多個期望值圖案存儲器108中存儲的圖案列，能夠提高測試程序的壓縮效率。另外，高效率地壓縮測試程序的結(jié)果，能夠降低針對每命令從測試圖案存儲器106和/或期望值圖案存儲器108讀出的平均數(shù)據(jù)量， 可以將主存儲器102的要求數(shù)據(jù)流量控制得比較低。以上，通過實施方式說明了本發(fā)明，不過，以上的實施方式并不限定權(quán)利范圍所涉及的發(fā)明，另外，本行業(yè)專業(yè)人員明白，能夠?qū)ι鲜鰧嵤├右远喾N多樣的改良和變更。根據(jù)權(quán)利要求的記載可以明確，實施了這樣的變更和改良的實施方式也包含在本發(fā)明的技術(shù)范圍之內(nèi)。在權(quán)利要求范圍、說明書、和在附圖中表示的裝置、系統(tǒng)、程序、和在方法中的動作、次序、步驟，和階段等的各處理的執(zhí)行順序，只要沒有特別注明“比...先”、“在...之前”等，或者只要不是后邊的處理必須使用前面的處理的輸出，就可以以任意的順序?qū)嵤?有關(guān)專利請求的范圍、說明書和圖紙中的動作流程，為了說明上的方便，使用了“首先”、“其次”、等字樣加以說明，但即使這樣也不意味著以這個程序?qū)嵤┦潜仨毜臈l件。附圖標記說明
10、測試模塊
100、DUT
102、主存儲器
104、命令存儲器
106、測試圖案存儲器
108、期望值圖案存儲器
110、數(shù)字捕獲存儲器
112、中央圖案控制部
114、圖案清單存儲器
116、矢量生成控制部
118、既定圖案存儲器
120、中央捕獲控制部
122、圖案結(jié)果存儲器
14
130、通道塊140、通道圖案生成部142、序列圖案生成部144、格式控制部146、序列圖案生成部148、搜索及比較部150、失效捕獲控制部152、失效捕獲存儲器160、定時生成部170、驅(qū)動器180、比較儀200、圖案存儲器讀出部210、既定圖案讀出部220、圖案選擇部230、選擇部
權(quán)利要求
1.一種測試模塊，其特征在于，包括壓縮信息存儲部，存儲多個壓縮信息，即存儲圖案列和用于識別所述圖案列的圖案列識別信息對應(yīng)的所述壓縮信息；基本圖案存儲部，將多個圖案列數(shù)據(jù)作為一群基本圖案存儲，所述圖案列數(shù)據(jù)與命令對應(yīng)包含所述圖案列或者所述圖案列識別信息；指示信息存儲部，存儲用于指示所述基本圖案的處理順序的指示信息； 選擇部，從所述壓縮信息存儲部所存儲的多個所述壓縮信息中選擇在所述指示信息所指示的處理對象的基本圖案中使用的選擇壓縮信息；基本圖案讀出部，從所述基本圖案存儲部讀出作為處理對象的所述基本圖案中包含的所述圖案列數(shù)據(jù)；圖案列讀出部，當所述基本圖案讀出部所讀出的所述圖案列數(shù)據(jù)中包含所述圖案列識別信息時，參照所述選擇部選擇的所述選擇壓縮信息，讀出與所述圖案列識別信息對應(yīng)的圖案列；圖案輸出部，輸出所述基本圖案讀出部讀出的所述圖案列數(shù)據(jù)中包含的所述圖案列， 輸出與所述圖案列讀出部讀出的所述圖案列識別信息對應(yīng)的所述圖案列。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的測試模塊，其特征在于，還包括基本圖案信息存儲部，與所述基本圖案對應(yīng)存儲用于識別所述基本圖案的處理中使用的壓縮信息的壓縮信息識別信息；所述選擇部，參照所述壓縮信息識別信息而選擇所述選擇壓縮信息。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的測試模塊，其特征在于，所述壓縮信息存儲部，存儲的所述壓縮信息，作為所述壓縮信息還包含指定所述圖案列的重復(fù)次數(shù)的次數(shù)信息；所述圖案輸出部，只按照被所述次數(shù)信息指定的重復(fù)次數(shù)重復(fù)輸出所述圖案列。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的測試模塊，其特征在于，所述壓縮信息存儲部，存儲包含作為所述圖案列，預(yù)先定義的既定圖案列或在每個所述壓縮信息中定義的任意圖案列的所述壓縮信息。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的測試模塊，其特征在于，所述壓縮信息存儲部，在存儲作為所述圖案列包含多個所述任意圖案列的同時，將識別多個所述任意圖案列全體的單一圖案列識別信息作為表示多個所述任意圖案列的數(shù)目的次數(shù)信息而存儲；所述圖案輸出部，只按照所述次數(shù)信息所指定的數(shù)目輸出多個所述任意圖案列。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的測試模塊，其特征在于，所述壓縮信息存儲部，存儲每個輸入或輸出通道的所述圖案列及所述圖案列識別信息作為所述壓縮信息；所述圖案輸出部，對每個所述通道輸出所述圖案列。
7.根據(jù)權(quán)利呀要求1所述的測試模塊，其特征在于，所述壓縮信息存儲部，作為所述圖案列，存儲高速模式圖案列或低速模式圖案列的同時，作為所述圖案列識別信息，存儲識別所述圖案列是所述高速模式圖案列還是所述低速模式圖案列的圖案識別信息。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的測試模塊，其特征在于，所述壓縮信息存儲部，作為所述壓縮信息中包含的所述圖案列，存儲所述高速模式圖案列的同時，作為所述圖案列識別信息，存儲可指定一地址空間的短位圖案列識別信息或比所述一地址空間大的地址空間可指定的長位圖案列識別信息；作為所述短位圖案列識別信息所識別的圖案列，分配預(yù)先定義的使用頻度高的高頻度既定圖案列；作為所述長位圖案列識別信息所識別的圖案列，分配比預(yù)先定義的所述高頻度既定圖案列的使用頻度低的低頻度既定圖案列。
9.根據(jù)權(quán)利要求7記載的測試模塊，其特征在于，所述壓縮信息存儲部，存儲是所述高速模式圖案列和在每個所述壓縮信息被定義的任意圖案列作為所述壓縮信息中包含的全部的所述圖案列，存儲空數(shù)據(jù)作為所述圖案列識別 fn息ο
10. 一種測試裝置，其特征在于，包括壓縮信息存儲部，存儲多個壓縮信息，即存儲圖案列和用于識別所述圖案列的圖案列識別信息對應(yīng)的所述壓縮信息；基本圖案存儲部，將多個圖案列數(shù)據(jù)為一群基本圖案存儲，所述圖案列數(shù)據(jù)與命令對應(yīng)包含所述圖案列或者所述圖案列識別信息；指示信息存儲部，存儲用于指示所述基本圖案的處理順序的指示信息； 選擇部，從所述壓縮信息存儲部所存儲的多個所述壓縮信息中選擇所述指示信息所指示的作為處理對象的基本圖案使用的選擇壓縮信息；基本圖案讀出部，從所述基本圖案存儲部讀出作為處理對象的所述基本圖案中包含的所述圖案列數(shù)據(jù)；圖案列讀出部，當所述基本圖案讀出部所讀出的所述圖案列數(shù)據(jù)中包含所述圖案列識別信息時，參照所述選擇部選擇的所述選擇壓縮信息，讀出與所述圖案列識別信息對應(yīng)的圖案列；圖案輸出部，輸出所述基本圖案讀出部讀出的所述圖案列數(shù)據(jù)中包含的所述圖案列， 或輸出與所述圖案列讀出部讀出的所述圖案列識別信息對應(yīng)的所述圖案列。
11. 一種測試方法，其特征在于，包括壓縮信息存儲步驟，存儲多個壓縮信息，即存儲圖案列和識別所述圖案列的圖案列識別信息對應(yīng)的所述壓縮信息；基本圖案存儲步驟，將多個圖案列數(shù)據(jù)作為一群基本圖案存儲，所述圖案列數(shù)據(jù)與命令對應(yīng)包含所述圖案列或者所述圖案列識別信息；指示信息存儲步驟，存儲指示所述基本圖案的處理順序的指示信息； 選擇步驟，從在所述壓縮信息存儲步驟存儲的多個所述壓縮信息中選擇所述指示信息所指示的處理對象的基本圖案中使用的選擇壓縮信息；基本圖案讀出步驟，讀出處理對象的所述基本圖案中包含的所述圖案列數(shù)據(jù)； 圖案列讀出步驟，當在所述基本圖案讀出步驟讀出的所述圖案列數(shù)據(jù)中包含所述圖案列識別信息時，參照在所述選擇步驟選擇的所述選擇壓縮信息，讀出與所述圖案列識別信息對應(yīng)的圖案列；圖案輸出步驟，輸出在所述基本圖案讀出步驟讀出的所述圖案列數(shù)據(jù)中包含的所述圖案列，或輸出與在所述圖案列讀出步驟讀出的所述圖案列識別信息對應(yīng)的所述圖案列。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種測試模塊，包括壓縮信息存儲部(118)，存儲多個壓縮信息，即存儲圖案列及用于識別圖案列的圖案列識別信息對應(yīng)的壓縮信息；基本圖案存儲部(106、108)，將多個圖案列數(shù)據(jù)作為一群基本圖案而存儲，該圖案例數(shù)據(jù)對應(yīng)于命令包含圖案列或者圖案列識別信息數(shù)據(jù)；指示信息存儲部(114)，存儲指示基本圖案的處理順序的指示信息，選擇部(230)，從壓縮信息存儲部所存儲的多個壓縮信息中選擇指示信息所指示的作為處理對象的基本圖案使用的選擇壓縮信息；基本圖案讀出部(200)，從基本圖案存儲部讀出作為處理對象的基本圖案中包含的圖案列數(shù)據(jù)；圖案列讀出部(210)，當基本圖案讀出部所讀出的圖案列數(shù)據(jù)中包含圖案列識別信息時，參照上述選擇部選擇的選擇壓縮信息，讀出與圖案列識別信息對應(yīng)的圖案列；圖案輸出部，輸出基本圖案讀出部讀出的圖案列數(shù)據(jù)中包含的圖案列，或輸出與圖案列讀出部讀出的圖案列識別信息對應(yīng)的圖案列。
文檔編號G01R31/3183GK102165326SQ20098013756
公開日2011年8月24日 申請日期2009年9月18日 優(yōu)先權(quán)日2008年9月26日
發(fā)明者森川昭夫 申請人:愛德萬測試株式會社