專利名稱：圖像處理方法、圖像處理裝置及使用該圖像處理裝置的表面檢查裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及對(duì)包括由像素單位的濃淡值構(gòu)成的物體表面圖像的圖像進(jìn)行處理的圖像處理方法、圖像處理裝置、及使用該圖像處理裝置的表面檢查裝置。
背景技術(shù)：
以往提出了拍攝物體的表面，并根據(jù)得到的圖像來檢查所述物體表面的缺陷的表面檢查裝置(參照專利文獻(xiàn)1)。在該表面檢查裝置中，利用線傳感器對(duì)半導(dǎo)體晶片、液晶玻璃基板等被檢查物體的表面進(jìn)行掃描，根據(jù)從該線傳感器輸出的攝像信號(hào)，生成二維的被檢查體的表面圖像。并且，對(duì)該表面圖像的各個(gè)部分進(jìn)行處理，根據(jù)該各個(gè)部分經(jīng)處理后的表面圖像中的濃淡狀態(tài)等，檢測(cè)被檢查體表面的缺陷(膜厚不均和圖案缺陷等)。專利文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)1 日本特開2007-147441號(hào)公報(bào)可是，作為在上述的表面檢查裝置中進(jìn)行的針對(duì)物體表面圖像的處理，能夠進(jìn)行用于強(qiáng)調(diào)物體表面圖像中的缺陷部分的濃淡的濾波處理。該濾波處理是考慮周圍像素的濃淡值來強(qiáng)調(diào)各個(gè)關(guān)注像素的濃淡值的處理。即，對(duì)所述物體表面圖像實(shí)施對(duì)二維排列的多個(gè)像素(關(guān)注像素及其周圍像素)的濃淡值進(jìn)行依次處理的二維圖像處理。但是，在該物體表面圖像的邊緣線部分，濃淡值在該邊緣線的內(nèi)側(cè)(邊緣部圖像) 和外側(cè)(背景圖像)急劇變化，因此在二維圖像處理中，在該邊緣線部分的區(qū)域中不能得到合適的已處理圖像。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明就是鑒于上述情況而提出的，提供一種圖像處理方法和圖像處理裝置、以及使用該圖像處理裝置的表面檢查裝置，能夠得到在物體表面圖像的邊緣部分的區(qū)域中實(shí)施了合適的圖像處理的圖像。本發(fā)明的圖像處理方法構(gòu)成為包括圖像取得步驟，取得由像素單位的濃淡值構(gòu)成的、包括物體表面圖像的被處理圖像；邊緣部圖像確定步驟，將包括在所述被處理圖像中設(shè)定的所述物體表面圖像的邊緣線的、在與該邊緣線正交的方向上為預(yù)定寬度的區(qū)域的圖像，確定為邊緣部圖像；變換步驟，將所述邊緣部圖像變換為寬度相當(dāng)于所述預(yù)定寬度的矩形圖像；以及圖像處理步驟，對(duì)所述矩形圖像實(shí)施對(duì)在與該寬度方向正交的方向上排列的多個(gè)像素的濃淡值依次進(jìn)行處理的一維圖像處理。根據(jù)這種結(jié)構(gòu)，包括在被處理圖像中設(shè)定的物體表面圖像的邊緣線的、在與該邊緣線正交的方向上為預(yù)定寬度的區(qū)域的邊緣部圖像，被變換為寬度相當(dāng)于該預(yù)定寬度的矩形圖像，對(duì)該矩形圖像實(shí)施對(duì)在與該寬度正交的方向上排列的多個(gè)像素的濃淡值依次進(jìn)行處理的一維圖像處理。在針對(duì)所述矩形圖像的一維圖像處理中，對(duì)在與該矩形圖像的寬度方向正交的方向上排列的多個(gè)像素的濃淡值依次進(jìn)行處理，因而所述矩形圖像在沿著與所述物體表面圖像的邊緣線對(duì)應(yīng)的直線的方向上被依次進(jìn)行處理。在本發(fā)明的圖像處理方法中也能夠構(gòu)成為還包括逆變換步驟，在該步驟中，將實(shí)施了所述一維圖像處理的所述矩形圖像逆變換為原來區(qū)域的圖像，生成已處理邊緣部圖像。根據(jù)這種結(jié)構(gòu)，實(shí)施了一維圖像處理的所述矩形圖像被逆變換為原來區(qū)域的圖像，生成已處理邊緣部圖像。如前面所述，針對(duì)矩形圖像的一維圖像處理是在沿著與所述物體表面圖像的邊緣線對(duì)應(yīng)的直線的方向上的處理，所以將已實(shí)施該一維圖像處理的矩形圖像進(jìn)行逆變換得到的已處理邊緣部圖像，實(shí)質(zhì)上是沿著所述物體表面圖像的邊緣線實(shí)施圖像處理后的圖像。另外，在本發(fā)明的圖像處理方法中也能夠構(gòu)成為，在所述邊緣部圖像確定步驟中， 將下述區(qū)域的圖像確定為所述邊緣部圖像，所述區(qū)域是指在所述邊緣線的所述物體表面圖像的內(nèi)側(cè)方向上為第一預(yù)定寬度，在所述邊緣線的所述物體表面圖像的外側(cè)方向上為第二預(yù)定寬度的區(qū)域。根據(jù)這種結(jié)構(gòu)，即使在被處理圖像中未設(shè)定與該物體表面圖像的邊緣準(zhǔn)確一致的邊緣線，也能夠?qū)⒁欢òㄔ撐矬w表面圖像邊緣的區(qū)域的圖像確定為邊緣部圖像。另外，在本發(fā)明的圖像處理方法中也能夠構(gòu)成為，所述變換步驟包括位置變換步驟，取得所述邊緣部圖像中的與所述矩形圖像的各個(gè)像素對(duì)應(yīng)的位置；以及根據(jù)所述邊緣部圖像中的各個(gè)像素的濃淡值，確定與所述取得的邊緣部圖像中的各個(gè)位置對(duì)應(yīng)的、所述矩形圖像的像素的濃淡值的步驟。根據(jù)這種結(jié)構(gòu)，取得與構(gòu)成矩形圖像的各個(gè)像素對(duì)應(yīng)的邊緣部圖像中的位置，根據(jù)所述邊緣部圖像中的各個(gè)像素的濃淡值，確定與所述取得的邊緣部圖像中的各個(gè)位置對(duì)應(yīng)的、所述矩形圖像的像素的濃淡值。在與所述矩形圖像的像素對(duì)應(yīng)的所述邊緣部圖像中的位置、與該邊緣部圖像的像素位置一致的情況下，能夠?qū)⒃摼匦螆D像的像素的濃淡值確定為對(duì)應(yīng)的邊緣部圖像的像素的濃淡值。并且，在與所述矩形圖像的像素對(duì)應(yīng)的所述邊緣部圖像中的位置偏離該邊緣部圖像的像素位置的情況下，例如能夠通過基于對(duì)應(yīng)的邊緣部圖像中的位置的周圍像素的濃淡值的插值處理，確定該矩形圖像的像素的濃淡值。另外，在本發(fā)明的圖像處理方法中也能夠構(gòu)成為，預(yù)先生成表示所述邊緣部圖像中的與所述矩形圖像的各個(gè)像素對(duì)應(yīng)的位置的變換表，在所述位置變換步驟中，使用所述變換表，取得所述邊緣部圖像中的與所述矩形圖像的各個(gè)像素對(duì)應(yīng)的位置。根據(jù)這種結(jié)構(gòu)，使用變換表確定與矩形圖像中的各個(gè)像素對(duì)應(yīng)的邊緣部圖像中的位置，所以能夠更快速地取得與所述矩形圖像中的各個(gè)像素對(duì)應(yīng)的所述邊緣部圖像中的位置。另外，在本發(fā)明的圖像處理方法中也能夠構(gòu)成為，所述逆變換步驟包括位置逆變換步驟，取得與所述原來區(qū)域的圖像的各個(gè)像素對(duì)應(yīng)的矩形圖像中的位置；以及根據(jù)實(shí)施了所述一維圖像處理的矩形圖像中的各個(gè)像素的濃淡值，確定與所述取得的矩形圖像中的各個(gè)位置對(duì)應(yīng)的、所述原來區(qū)域的圖像的像素的濃淡值，生成所述已處理邊緣部圖像。根據(jù)這種結(jié)構(gòu)，取得與構(gòu)成原來區(qū)域的圖像的各個(gè)像素對(duì)應(yīng)的矩形圖像中的位置，根據(jù)實(shí)施了一維處理的矩形圖像中的各個(gè)像素的濃淡值，確定與所述取得的矩形圖像
8中的各個(gè)位置對(duì)應(yīng)的、所述原來區(qū)域的圖像的像素的濃淡值。生成利用這樣確定的所述原來區(qū)域的圖像的各個(gè)像素的濃淡值構(gòu)成的已處理邊緣部圖像。在與所述原來區(qū)域的圖像的像素對(duì)應(yīng)的所述矩形圖像中的位置、與該矩形圖像的像素位置一致的情況下，能夠?qū)⑺鲈瓉韰^(qū)域的像素的濃淡值確定為對(duì)應(yīng)的矩形圖像的像素的濃淡值。并且，在與所述原來區(qū)域的圖像的像素對(duì)應(yīng)的所述矩形圖像中的位置偏離該矩形圖像的像素位置的情況下，例如能夠通過基于對(duì)應(yīng)的矩形圖像位置的周圍像素的濃淡值的插值處理，確定該原來區(qū)域的圖像的像素的濃淡值。另外，在本發(fā)明的圖像處理方法中也能夠構(gòu)成為，預(yù)先生成表示所述矩形圖像中的與所述原來區(qū)域的圖像的各個(gè)像素對(duì)應(yīng)的位置的逆變換表，在所述位置逆變換步驟中， 使用所述逆變換表，取得所述矩形圖像中的與所述原來區(qū)域的圖像的各個(gè)像素對(duì)應(yīng)的位置。根據(jù)這種結(jié)構(gòu)，與原來區(qū)域的圖像中的各個(gè)像素對(duì)應(yīng)的矩形圖像中的位置是使用逆變換表而確定的，所以能夠更快速地取得與所述原來區(qū)域的圖像中的各個(gè)像素對(duì)應(yīng)的所述矩形圖像中的位置。另外，在本發(fā)明的圖像處理方法中也能夠構(gòu)成為，在所述圖像取得步驟中，取得包括圓盤狀半導(dǎo)體晶片的表面圖像的圖像作為所述被處理圖像，所述邊緣部圖像確定步驟將在與沿著所述半導(dǎo)體晶片表面圖像的邊緣的圓形線正交的方向上為預(yù)定寬度的環(huán)狀區(qū)域的全部或者一部分圖像確定為邊緣部圖像，所述逆變換步驟將實(shí)施了所述一維圖像處理的所述矩形圖像逆變換為原來的環(huán)狀區(qū)域的全部或者一部分圖像，生成所述已處理邊緣部圖像。根據(jù)這種結(jié)構(gòu)，能夠獲得針對(duì)包括在被處理圖像中沿著半導(dǎo)體晶片表面圖像的邊緣設(shè)定的圓形線在內(nèi)的環(huán)狀區(qū)域的全部或者一部分圖像，在實(shí)質(zhì)上沿著所述圓形線的方向上依次實(shí)施了圖像處理的已處理邊緣部圖像。另外，在本發(fā)明的圖像處理方法中也能夠構(gòu)成為，在所述邊緣部圖像確定步驟中， 將在所述圓形線的內(nèi)側(cè)為第一預(yù)定寬度、在所述圓形線的外側(cè)為第二預(yù)定寬度的環(huán)狀區(qū)域的全部或者一部分圖像，確定為邊緣部圖像。根據(jù)這種結(jié)構(gòu)，即使未設(shè)定與半導(dǎo)體晶片表面圖像的邊緣準(zhǔn)確一致的圓形線，也能夠?qū)⒁欢òㄔ摪雽?dǎo)體晶片表面圖像的邊緣的環(huán)狀區(qū)域的全部或者一部分圖像確定為邊緣部圖像。另外，在本發(fā)明的圖像處理方法中也能夠構(gòu)成為，在所述變換步驟中，將所述邊緣部圖像變換為由與下述各個(gè)位置對(duì)應(yīng)的呈矩形排列的像素構(gòu)成的矩形圖像，所述各個(gè)位置是指該邊緣部圖像中沿著夾著所述物體圖像的邊緣線并且與該邊緣線平行的兩條劃分線中的一條劃分線、以預(yù)定間隔設(shè)定的各個(gè)位置，以及在與該劃分線正交的法線上以預(yù)定間隔從該各個(gè)位置到另一條劃分線設(shè)定的各個(gè)位置。根據(jù)這種結(jié)構(gòu)，能夠獲得被排列成矩形狀的各個(gè)像素與下述位置對(duì)應(yīng)的矩形圖像，所述位置是指由夾著物體圖像的邊緣線并且與該邊緣線平行的兩條劃分線劃分的邊緣部圖像中的位置。另外，在本發(fā)明的圖像處理方法中也能夠構(gòu)成為，在所述變換步驟中，將所述邊緣部圖像變換為由與下述各個(gè)位置對(duì)應(yīng)的呈矩形排列的像素構(gòu)成的矩形圖像，所述各個(gè)位置是指該邊緣部圖像中沿著夾著所述物體圖像的邊緣線并且與該邊緣線平行的兩條劃分線中較長(zhǎng)的劃分線、以預(yù)定間隔設(shè)定的各個(gè)位置，以及在與該劃分線正交的法線上以預(yù)定間隔從該各個(gè)位置到較短的劃分線設(shè)定的各個(gè)位置。根據(jù)這種結(jié)構(gòu)，能夠根據(jù)沿著劃分邊緣部圖像的兩條劃分線中較長(zhǎng)的劃分線以預(yù)定間隔設(shè)定的各個(gè)位置，設(shè)定該邊緣部圖像中的各個(gè)位置，因而在邊緣部圖像中能夠設(shè)定更多的位置。結(jié)果，能夠變換為由更多的像素構(gòu)成的矩形圖像。另外，在本發(fā)明的圖像處理方法中也能夠構(gòu)成為預(yù)先生成使所述邊緣部圖像中的沿著所述劃分線的各個(gè)位置、與和設(shè)定在通過該位置的所述法線上的全部位置對(duì)應(yīng)的所述矩形圖像的1列的量的像素相對(duì)應(yīng)的變換表，所述變換步驟包括使用所述變換表來確定所述邊緣部圖像中的與所述矩形圖像的各個(gè)像素對(duì)應(yīng)的位置的步驟。根據(jù)這種結(jié)構(gòu)，變換表不是將邊緣部圖像中的全部位置分別與矩形圖像的像素對(duì)應(yīng)，而是使邊緣部圖像中的沿著一條劃分線的各個(gè)位置、與和設(shè)定在通過該位置的所述法線上的全部位置對(duì)應(yīng)的所述矩形圖像的1列的量的像素相對(duì)應(yīng)，因而能夠規(guī)模更小地構(gòu)成變換表，結(jié)果能夠削減存儲(chǔ)該變換表的存儲(chǔ)器的容量。本發(fā)明的圖像處理方法構(gòu)成為包括圖像取得步驟，取得被平行的兩條劃分線劃分的被處理圖像；以及變換步驟，將所述被處理圖像變換為由與下述各個(gè)位置對(duì)應(yīng)的呈矩形排列的像素構(gòu)成的矩形圖像，所述各個(gè)位置是指該被處理圖像的沿著所述平行的兩條劃分線中的一條劃分線以預(yù)定間隔設(shè)定的各個(gè)位置，以及在與該劃分線正交的法線上以預(yù)定間隔從該各個(gè)位置到另一條劃分線設(shè)定的各個(gè)位置。根據(jù)這種結(jié)構(gòu)，能夠?qū)⒈黄叫械膬蓷l劃分線劃分的被處理圖像變換為像素被排列成矩形狀的矩形圖像。在本發(fā)明的圖像處理方法中也能夠構(gòu)成為預(yù)先生成使所述被處理圖像中的沿著所述劃分線的各個(gè)位置、與和設(shè)定在通過該位置的所述法線上的全部位置對(duì)應(yīng)的所述矩形圖像的1列的量的像素相對(duì)應(yīng)的變換表，所述變換步驟包括使用所述變換表來確定與所述矩形圖像的各個(gè)像素對(duì)應(yīng)的所述被處理圖像中的位置的步驟。根據(jù)這種結(jié)構(gòu)，變換表不是將邊緣部圖像中的全部位置分別與矩形圖像的像素對(duì)應(yīng)，而是使邊緣部圖像中的沿著一條劃分線的各個(gè)位置、與和設(shè)定在通過該位置的所述法線上的全部位置對(duì)應(yīng)的所述矩形圖像的1列的量的像素相對(duì)應(yīng)，因而能夠規(guī)模更小地構(gòu)成變換表，結(jié)果能夠削減存儲(chǔ)該變換表的存儲(chǔ)器的容量。本發(fā)明的圖像處理裝置構(gòu)成為具有攝影單元，其拍攝物體的表面；以及處理單元，其對(duì)由該攝影單元得到的攝影圖像進(jìn)行處理，所述處理單元具有圖像取得單元，其取得由像素單位的濃淡值構(gòu)成的、包括所述物體的表面圖像的被處理圖像；邊緣部圖像確定單元，其將包括在所述被處理圖像中設(shè)定的所述物體表面圖像的邊緣線的、在與該邊緣線正交的方向上為預(yù)定寬度的區(qū)域的圖像，確定為邊緣部圖像；變換單元，其將所述邊緣部圖像變換為寬度相當(dāng)于所述預(yù)定寬度的矩形圖像；以及圖像處理單元，其對(duì)所述矩形圖像實(shí)施對(duì)在與該寬度方向正交的方向上排列的多個(gè)像素的濃淡值依次進(jìn)行處理的一維圖像處理。根據(jù)這種結(jié)構(gòu)，處理單元將包括在被處理圖像中設(shè)定的物體表面圖像的邊緣線的、在與該邊緣線正交的方向上為預(yù)定寬度的區(qū)域的邊緣部圖像，變換為寬度相當(dāng)于該預(yù)
10定寬度的矩形圖像，對(duì)該矩形圖像實(shí)施對(duì)在與該寬度正交的方向上排列的多個(gè)像素的濃淡值依次進(jìn)行處理的一維圖像處理。在針對(duì)所述矩形圖像的一維圖像處理中，對(duì)在與該矩形圖像的寬度方向正交的方向上排列的多個(gè)像素的濃淡值依次進(jìn)行處理，因而所述矩形圖像在沿著與所述物體表面圖像的邊緣線對(duì)應(yīng)的直線的方向上被依次進(jìn)行處理。在本發(fā)明的圖像處理裝置中也能夠構(gòu)成為還具有逆變換單元，將實(shí)施了所述一維圖像處理的所述矩形圖像逆變換為原來區(qū)域的圖像，生成已處理邊緣部圖像。根據(jù)這種結(jié)構(gòu)，將實(shí)施了一維圖像處理的所述矩形圖像逆變換為原來區(qū)域的圖像，生成已處理邊緣部圖像。如前面所述，針對(duì)矩形圖像的一維圖像處理是在沿著與在所述物體表面圖像中設(shè)定的邊緣線對(duì)應(yīng)的直線的方向上的處理，所以將已實(shí)施該一維圖像處理的矩形圖像進(jìn)行逆變換得到的已處理邊緣部圖像，實(shí)質(zhì)上是沿著所述物體表面圖像的邊緣線實(shí)施圖像處理后的圖像。另外，在本發(fā)明的圖像處理裝置中也能夠構(gòu)成為，所述變換單元具有位置變換單元，其取得所述邊緣部圖像中的與所述矩形圖像的各個(gè)像素對(duì)應(yīng)的位置；以及根據(jù)所述邊緣部圖像中的各個(gè)像素的濃淡值，確定與所述取得的邊緣部圖像的各個(gè)位置對(duì)應(yīng)的所述矩形圖像的像素的濃淡值的單元。根據(jù)這種結(jié)構(gòu)，處理單元取得與構(gòu)成矩形圖像的各個(gè)像素對(duì)應(yīng)的邊緣部圖像中的位置，根據(jù)所述邊緣部圖像中的各個(gè)像素的濃淡值，確定與所述取得的邊緣部圖像的各個(gè)位置對(duì)應(yīng)的所述矩形圖像的像素的濃淡值。另外，在本發(fā)明的圖像處理裝置中也能夠構(gòu)成為還具有存儲(chǔ)單元，該存儲(chǔ)單元存儲(chǔ)表示所述邊緣部圖像中的與所述矩形圖像的各個(gè)像素對(duì)應(yīng)的位置的變換表，所述位置變換單元使用所述變換表，取得所述邊緣部圖像中的與所述矩形圖像的各個(gè)像素對(duì)應(yīng)的位置。根據(jù)這種結(jié)構(gòu)，處理單元使用在存儲(chǔ)單元中存儲(chǔ)的變換表，取得與矩形圖像的各個(gè)像素對(duì)應(yīng)的邊緣部圖像中的位置，因而處理單元能夠更快速地得到與所述矩形圖像中的各個(gè)像素對(duì)應(yīng)的所述邊緣部圖像中的位置。另外，在本發(fā)明的圖像處理裝置中也能夠構(gòu)成為，所述攝影單元拍攝圓盤狀的半導(dǎo)體晶片的表面，所述圖像取得單元取得包括所述半導(dǎo)體晶片表面圖像的圖像作為所述被處理圖像，所述邊緣部圖像確定單元將在與沿著所述半導(dǎo)體晶片表面圖像的邊緣的圓形線正交的方向上為預(yù)定寬度的環(huán)狀區(qū)域的全部或者一部分圖像確定為邊緣部圖像，所述逆變換單元將實(shí)施了所述一維圖像處理的所述矩形圖像逆變換為原來的環(huán)狀區(qū)域的全部或者一部分圖像，生成已處理邊緣部圖像。根據(jù)這種結(jié)構(gòu)，處理單元能夠獲得在實(shí)質(zhì)上針對(duì)包括沿著圓盤狀半導(dǎo)體晶片表面圖像的邊緣設(shè)定的圓形線在內(nèi)的環(huán)狀區(qū)域的全部或者一部分圖像沿著所述圓形線的方向依次實(shí)施了圖像處理的已處理邊緣部圖像。另外，在本發(fā)明的圖像處理裝置中也能夠構(gòu)成為，所述邊緣部圖像確定單元將在所述圓形線的內(nèi)側(cè)為第一預(yù)定寬度、在所述圓形線的外側(cè)為第二預(yù)定寬度的環(huán)狀區(qū)域的全部或者一部分圖像，確定為邊緣部圖像。根據(jù)這種結(jié)構(gòu)，即使未設(shè)定與半導(dǎo)體晶片表面圖像的邊緣準(zhǔn)確一致的圓形線，處理單元也能夠?qū)⒁欢òㄔ摪雽?dǎo)體晶片表面圖像的邊緣的環(huán)狀區(qū)域的全部或者一部分圖像確定為邊緣部圖像。本發(fā)明的圖像處理裝置構(gòu)成為具有攝影單元，其拍攝物體的表面；以及處理單元，其對(duì)由該攝影單元得到的攝影圖像進(jìn)行處理，所述處理單元具有圖像取得單元，其從所述攝影圖像中取得被平行的兩條劃分線劃分的被處理圖像；以及變換單元，其將所述被處理圖像變換為由與下述各個(gè)位置對(duì)應(yīng)的呈矩形排列的像素構(gòu)成的矩形圖像，所述各個(gè)位置是指該被處理圖像的沿著所述平行的兩條劃分線中的一條劃分線以預(yù)定間隔設(shè)定的各個(gè)位置，以及在與該劃分線正交的法線上以預(yù)定間隔從該各個(gè)位置到另一條劃分線設(shè)定的各個(gè)位置。在本發(fā)明的圖像處理裝置中也能夠構(gòu)成為還具有存儲(chǔ)單元，其存儲(chǔ)使所述被處理圖像中的沿著所述劃分線的各個(gè)位置、與和設(shè)定在通過該位置的所述法線上的全部位置對(duì)應(yīng)的所述矩形圖像的1列的量的像素相對(duì)應(yīng)的變換表，所述變換單元具有使用所述變換表來確定與所述矩形圖像的各個(gè)像素對(duì)應(yīng)的所述被處理圖像中的位置的步驟。根據(jù)這種結(jié)構(gòu)，變換表不是將邊緣部圖像中的全部位置分別與矩形圖像的像素對(duì)應(yīng)，而是使邊緣部圖像中的沿著一條劃分線的各個(gè)位置、與和設(shè)定在通過該位置的所述法線上的全部位置對(duì)應(yīng)的所述矩形圖像的1列的量的像素相對(duì)應(yīng)，因而能夠規(guī)模更小地構(gòu)成變換表，結(jié)果能夠削減存儲(chǔ)該變換表的存儲(chǔ)器的容量。本發(fā)明的表面檢查裝置構(gòu)成為具有攝影單元，其拍攝物體的表面；以及處理單元，其對(duì)由該攝影單元得到的攝影圖像進(jìn)行處理，檢測(cè)所述物體表面上的缺陷，所述處理單元具有圖像取得單元，其取得由像素單位的濃淡值構(gòu)成的、包括所述物體的表面圖像的被處理圖像；邊緣部圖像確定單元，其將包括在所述被處理圖像中設(shè)定的所述物體表面圖像的邊緣線的、在與該邊緣線正交的方向上為預(yù)定寬度的區(qū)域的圖像，確定為邊緣部圖像；變換單元，其將所述邊緣部圖像變換為寬度相當(dāng)于所述預(yù)定寬度的矩形圖像；第1圖像處理單元，其對(duì)所述矩形圖像實(shí)施對(duì)在與該寬度方向正交的方向上排列的多個(gè)像素的濃淡值依次進(jìn)行處理的一維圖像處理；逆變換單元，其將實(shí)施了所述一維圖像處理的所述矩形圖像逆變換為原來區(qū)域的圖像，生成已處理邊緣部圖像；第2圖像處理單元，其對(duì)從所述物體表面圖像中去除了所述邊緣部圖像的主體部圖像實(shí)施對(duì)二維排列的多個(gè)像素的濃淡值依次進(jìn)行處理的二維圖像處理，生成已處理主體部圖像；以及缺陷確定單元，其在所述已處理邊緣部圖像和所述已處理主體部圖像中確定缺陷部分。根據(jù)這種結(jié)構(gòu)，處理單元將包括在被處理圖像中設(shè)定的物體表面圖像的邊緣線、 在與該邊緣線正交的方向上為預(yù)定寬度的區(qū)域的邊緣部圖像，變換為寬度相當(dāng)于該預(yù)定寬度的矩形圖像，對(duì)該矩形圖像實(shí)施對(duì)在與該寬度正交的方向上排列的多個(gè)像素的濃淡值依次進(jìn)行處理的一維圖像處理。在針對(duì)所述矩形圖像的一維圖像處理中，對(duì)在該矩形圖像的與寬度方向正交的方向上排列的多個(gè)像素的濃淡值依次進(jìn)行處理，因而所述矩形圖像在沿著與所述物體表面圖像的邊緣線對(duì)應(yīng)的直線的方向上被依次進(jìn)行處理。另外，處理單元將實(shí)施了一維圖像處理的所述矩形圖像逆變換為原來區(qū)域的圖像，生成已處理邊緣部圖像。如前面所述，針對(duì)矩形圖像的一維圖像處理是在沿著與所述物體表面圖像的邊緣線對(duì)應(yīng)的所述矩形圖像中的直線的方向上的處理，所以將已實(shí)施該一維圖像處理的矩形圖像進(jìn)行逆變換而得到的已處理邊緣部圖像，是實(shí)質(zhì)上在沿著所述物體表面圖像的邊緣線的方向上依次進(jìn)行處理后的圖像。
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另外，處理單元對(duì)從物體表面圖像中去除了所述邊緣部圖像的主體部圖像實(shí)施對(duì)二維排列的多個(gè)像素的濃淡值依次進(jìn)行處理的二維圖像處理，生成已處理主體部圖像，在所述已處理邊緣部圖像和所述已處理主體部圖像中確定缺陷部分。如上所述，在物體表面圖像的邊緣部圖像及主體部圖像中，都在已實(shí)施圖像處理的狀態(tài)下進(jìn)行缺陷部分的確定，因而能夠以更好的精度進(jìn)行物體表面整體的缺陷檢查。另外，本發(fā)明的表面檢查裝置構(gòu)成為，該表面檢查裝置是由所述攝影單元拍攝圓盤狀的半導(dǎo)體晶片的表面，由所述處理單元檢測(cè)該半導(dǎo)體晶片表面上的缺陷的第14方面所述的表面檢查裝置，所述圖像取得單元取得包括所述半導(dǎo)體晶片的表面圖像的圖像作為所述被處理圖像，所述邊緣部圖像確定單元將在與沿著所述半導(dǎo)體晶片表面圖像的邊緣的圓形線正交的方向上為預(yù)定寬度的環(huán)狀區(qū)域的全部或者一部分圖像，確定為邊緣部圖像， 所述逆變換單元將實(shí)施了所述一維圖像處理的所述矩形圖像逆變換為原來的環(huán)狀區(qū)域的全部或者一部分圖像，生成已處理邊緣部圖像，所述第2圖像處理單元對(duì)從所述半導(dǎo)體晶片表面圖像中去除了所述邊緣部圖像的所述主體部圖像實(shí)施所述二維圖像處理，生成已處理主體部圖像。根據(jù)這種結(jié)構(gòu)，在已處理邊緣部圖像以及已處理主體部圖像雙方中進(jìn)行缺陷部分的確定，因而能夠以更好的精度在半導(dǎo)體晶片表面整體進(jìn)行缺陷的檢查，所述已處理邊緣部圖像是指對(duì)包括沿著圓盤狀的半導(dǎo)體晶片表面圖像的邊緣設(shè)定的圓形線在內(nèi)的環(huán)狀區(qū)域的全部或者一部分，在實(shí)質(zhì)上沿著所述圓形線的方向上依次進(jìn)行了圖像處理的圖像，所述已處理主體部圖像是指對(duì)從所述半導(dǎo)體晶片表面圖像中去除了所述邊緣部圖像的主體部圖像實(shí)施二維圖像處理而得到的圖像。根據(jù)本發(fā)明的圖像處理方法及圖像處理裝置，包括在被處理圖像中確定的物體表面圖像的邊緣線在內(nèi)的邊緣部圖像被變換為矩形圖像，對(duì)該矩形圖像實(shí)施一維圖像處理。 在針對(duì)所述矩形圖像的一維圖像處理中，對(duì)在與該矩形圖像的寬度方向正交的方向上排列的多個(gè)像素的濃淡值依次進(jìn)行處理，因而已實(shí)施該一維圖像處理的矩形圖像與在沿著所述物體表面圖像的邊緣線的方向上依次進(jìn)行圖像處理而得到的圖像對(duì)應(yīng)。并且，如果對(duì)該已實(shí)施處理的矩形圖像進(jìn)行逆變換，則能夠容易得到在物體表面圖像的邊緣部分的區(qū)域中實(shí)施了合適的圖像處理的圖像。


圖1是表示半導(dǎo)體晶片的表面檢查裝置的機(jī)構(gòu)部的構(gòu)造的側(cè)視圖。圖2是表示半導(dǎo)體晶片的表面檢查裝置的機(jī)構(gòu)部的構(gòu)造的主視圖。圖3是表示攝像單元(CCD線傳感器)對(duì)半導(dǎo)體晶片表面的掃描狀態(tài)的圖。圖4是表示半導(dǎo)體晶片的表面檢查裝置的控制系統(tǒng)的框圖。圖5是表示登記處理的步驟的流程圖。圖6A是表示攝影圖像的一例的圖。圖6B是表示經(jīng)位置校正后的攝影圖像的一例的圖。圖6C是表示在攝影圖像中對(duì)晶片表面圖像的邊緣設(shè)定了圓形線的狀態(tài)的圖。圖7是表示包括在攝影圖像中設(shè)定的晶片表面圖像的邊緣線的環(huán)狀區(qū)域的圖。圖8是表示環(huán)狀區(qū)域的圖像(邊緣部圖像)將被變換的矩形圖像的像素結(jié)構(gòu)的圖。圖9是表示在攝影圖像中確定的邊緣部圖像與將其進(jìn)行變換而得到的矩形圖像之間的關(guān)系的圖。圖IOA是表示在任意的角度位置θ設(shè)定了法線NL的狀態(tài)的邊緣部圖像的圖。圖IOB是將圖IOA所示的角度范圍0° 90°放大表示的圖。圖IlA是將在邊緣部圖像的外周邊緣設(shè)定的位置放大表示的圖。圖IlB是表示在法線NL上設(shè)定的位置的圖。圖12是將在法線NL上設(shè)定的位置放大表示的圖。圖13是表示矩形圖像的各個(gè)像素與邊緣部圖像的位置之間的關(guān)系的圖。圖14是表示變換表具有的信息內(nèi)容的一例的圖。圖15是表示矩形圖像與將其進(jìn)行逆變換而得到的環(huán)狀區(qū)域的圖像(邊緣部圖像) 之間的關(guān)系的圖。圖16是表示檢查處理的步驟的流程圖。圖17Α是表示成為檢查對(duì)象的半導(dǎo)體晶片的攝影圖像的一例的圖。圖17Β是表示經(jīng)校正位置后的攝影圖像的一例的圖。圖18是表示在攝影圖像中確定的邊緣部圖像與將其進(jìn)行變換而得到的矩形圖像之間的關(guān)系的圖。圖19是表示一維圖像處理前的矩形圖像和一維圖像處理后的矩形圖像的圖。圖20是表示已處理矩形圖像與將其進(jìn)行逆變換而得到的已處理邊緣部圖像之間的關(guān)系的圖。圖21是表示示出所檢測(cè)到的缺陷的晶片表面圖像的一例的圖。
具體實(shí)施例方式下面，使用

本發(fā)明的實(shí)施方式。按照本發(fā)明的圖像處理方法執(zhí)行圖像處理的圖像處理裝置，例如構(gòu)成于半導(dǎo)體晶片的表面檢查裝置內(nèi)。該表面檢查裝置的機(jī)構(gòu)部按照?qǐng)D1及圖2所示構(gòu)成。另外，圖1是表示該機(jī)構(gòu)部的結(jié)構(gòu)的側(cè)視圖，圖2是其主視圖。在圖1及圖2中，該表面檢查裝置具有基座50，在基座50內(nèi)設(shè)有輸送架60和移位移動(dòng)機(jī)構(gòu)70 (尤其參照?qǐng)D1)。移位移動(dòng)機(jī)構(gòu)70具有載物臺(tái)71，輸送架60能夠在載物臺(tái) 71上實(shí)現(xiàn)自行式往復(fù)移動(dòng)(圖1中的左右方向移動(dòng)，圖2中的與紙面垂直的方向)。移位移動(dòng)機(jī)構(gòu)70還具有包括電機(jī)、齒輪機(jī)構(gòu)等的驅(qū)動(dòng)部72，載物臺(tái)71能夠通過該驅(qū)動(dòng)部72在與輸送架60的自行的移動(dòng)方向正交的方向(圖2中的左右方向，圖1中的與紙面垂直的方向)移動(dòng)。在輸送架60設(shè)有支撐作為檢查對(duì)象的半導(dǎo)體晶片(下面，簡(jiǎn)稱為晶片)10的支撐機(jī)構(gòu)20，該支撐機(jī)構(gòu)20從基座50的上表面突出。支撐機(jī)構(gòu)20具有圓形的工作臺(tái)21，用于設(shè)置晶片10 ；兩個(gè)支撐腳22a、22b，它們沿著與輸送架60的移動(dòng)方向正交的方向排列，用于支撐工作臺(tái)21，這些支撐腳22a、22b被固定在輸送架60上。另外，雖然在圖中沒有示出， 但是在基座50的上表面設(shè)有引導(dǎo)機(jī)構(gòu)，該引導(dǎo)機(jī)構(gòu)用于在輸送架60自行移動(dòng)時(shí)將支撐腳 22a、22b引導(dǎo)至該移動(dòng)方向，并且還設(shè)有移位引導(dǎo)機(jī)構(gòu)，該移位引導(dǎo)機(jī)構(gòu)用于在輸送架60通過移位移動(dòng)機(jī)構(gòu)70沿與該輸送架60的自行方向正交的方向進(jìn)行移位移動(dòng)時(shí)，將支撐腳 22a,22b引導(dǎo)至該方向。 在基座50上表面的輸送架60的自行方向的大致中央部設(shè)有弧形框架55。攝像單元30朝向下方設(shè)置在該框架55的大致中央部。并且，在框架55的攝像單元30的設(shè)置位置附近設(shè)有照明單元31。照明單元31對(duì)被支撐在支撐機(jī)構(gòu)20上的在框架55的下方移動(dòng)的晶片10的表面進(jìn)行照明。攝像單元30具有線傳感器(例如一維CCD圖像傳感器)，對(duì)由支撐機(jī)構(gòu)20支撐的晶片10的表面進(jìn)行拍攝，支撐機(jī)構(gòu)20隨著輸送架60的移動(dòng)而移動(dòng)。具體地講，如圖3所示，攝像單元30通過4次掃描，對(duì)晶片10的整個(gè)表面進(jìn)行拍攝。在圖3中，首先在移位初始位置1^1，在輸送架60沿方向Al移動(dòng)時(shí)，攝像單元30 沿方向Si掃描晶片10表面的預(yù)定寬度(與線傳感器的長(zhǎng)度對(duì)應(yīng))。當(dāng)在移位初始位置 Psl的掃描結(jié)束后，輸送架60通過移位移動(dòng)機(jī)構(gòu)70沿方向B移動(dòng)到移位位置1^2。然后， 在移位位置1^2，在輸送架60沿與所述方向Al相反的方向A2移動(dòng)時(shí)，攝像單元30沿方向 S2 (與方向Sl相反)掃描晶片10。當(dāng)在移位位置Ps2的掃描結(jié)束后，輸送架60通過移位移動(dòng)機(jī)構(gòu)70進(jìn)一步沿方向B移動(dòng)到移位位置1^3。并且，在移位位置1^3，在輸送架60沿方向Al移動(dòng)時(shí)，攝像單元30沿方向Sl掃描晶片10。當(dāng)在移位位置Ps3的掃描結(jié)束后，輸送架通過移位移動(dòng)機(jī)構(gòu)70進(jìn)一步移動(dòng)到移位位置1^4。在該移位位置1^4，在輸送架60沿方向A2移動(dòng)時(shí)，攝像單元30沿方向S2掃描晶片。這樣，輸送架60沿方向A1、A2進(jìn)行自行式往復(fù)移動(dòng)，在輸送架60通過移位移動(dòng)機(jī)構(gòu)70反復(fù)進(jìn)行向方向B的移位移動(dòng)的期間，攝像單元30對(duì)晶片10的表面進(jìn)行4次掃描。在該過程中，攝像單元30對(duì)晶片10的表面進(jìn)行拍攝，并依次輸出圖像信號(hào)。表面檢查裝置的控制系統(tǒng)按照?qǐng)D4所示構(gòu)成。在圖4中，處理單元100輸入來自前述攝像單元30的圖像信號(hào)，把該圖像信號(hào)作為表示晶片10的表面圖像的信息進(jìn)行處理。并且，驅(qū)動(dòng)控制單元120與處理單元100連接， 驅(qū)動(dòng)控制單元120在處理單元100的控制下，進(jìn)行包括前述的輸送架60和移位移動(dòng)機(jī)構(gòu)70 在內(nèi)的移動(dòng)機(jī)構(gòu)200的驅(qū)動(dòng)控制。另外，操作單元111及顯示單元112與處理單元100連接。輸入了來自由用戶操作的操作單元111的操作信號(hào)的處理單元100，執(zhí)行基于該操作信號(hào)的各種處理。處理單元100根據(jù)通過處理而得到的圖像數(shù)據(jù)，使顯示單元112顯示例如使顯示單元112顯示包括晶片10的表面圖像的攝影圖像等的各種信息。下面，對(duì)檢測(cè)晶片10表面缺陷的處理進(jìn)行說明。首先，進(jìn)行與晶片10的表面圖像的圖像處理相關(guān)的各種信息的登記相關(guān)的處理 (登記處理)。在前述的機(jī)構(gòu)部(參照?qǐng)D1 圖3)中利用攝像單元30，對(duì)作為檢查對(duì)象的代表晶片的晶片10的表面進(jìn)行拍攝，輸入了來自攝像單元30的圖像信號(hào)的處理單元100，按照?qǐng)D 5所示的步驟執(zhí)行處理。在圖5中，處理單元100將由攝像單元30依次提供的圖像信號(hào)變換為由像素單位的濃淡值構(gòu)成的圖像數(shù)據(jù)，取得包括表示晶片10的整個(gè)表面的晶片表面圖像(數(shù)據(jù))的攝影圖像作為被處理圖像(Si)。包括該晶片表面圖像的攝影圖像被存儲(chǔ)在圖像存儲(chǔ)器(省略圖示)中。處理單元100例如按照?qǐng)D6A所示，取得包括晶片表面圖像IlO的攝影圖像(被處理對(duì)象圖像)1，在圖像存儲(chǔ)器中根據(jù)X(橫向坐標(biāo)軸)、Y(縱向坐標(biāo)軸)及θ (逆時(shí)針方向旋轉(zhuǎn)的角度)的各個(gè)基準(zhǔn)，對(duì)該攝影圖像I進(jìn)行位置校正(S2)。例如，按照?qǐng)D6Β所示進(jìn)行位置校正，使晶片表面圖像IlO的缺口部分111位于預(yù)定的方向。處理單元100使顯示單元112顯示包括所述經(jīng)校正位置后的晶片表面圖像IlO的攝影圖像I。針對(duì)在顯示單元112中顯示的攝影圖像I，用戶操作操作單元111，例如按照?qǐng)D6C 所示，設(shè)定沿著晶片表面圖像IlO的邊緣Edg的圓形線CO (邊緣線參照單點(diǎn)劃線)。在設(shè)定了圓形線CO的狀態(tài)下，在利用操作單元111進(jìn)行預(yù)定的確定操作后，處理單元100取得所設(shè)定的所述圓形線CO的半徑R及其中心0的位置(Xojo)(S3)。然后，處理單元100按照?qǐng)D7所示設(shè)定與利用半徑R及其中心0的位置(Xo，Yo)確定的所述圓形線CO同心且半徑為(R-Ll)的內(nèi)側(cè)圓形劃分線Cl，和與所述圓形線CO同心且半徑為(R+L2)的外側(cè)圓形劃分線C2。由此，處理單元100識(shí)別環(huán)狀區(qū)域Eung，將攝影圖像I中的該環(huán)狀區(qū)內(nèi)的圖像確定為邊緣部圖像IE(S4)，其中，該環(huán)狀區(qū)域指由夾著所述圓形線CO并且與該圓形線CO平行的所述內(nèi)側(cè)圓形劃分線Cl和所述外側(cè)圓形劃分線C2劃分的、從所述圓形線 CO到晶片表面圖像IlO的內(nèi)側(cè)為寬度Li、到其外側(cè)為寬度L2的區(qū)域。另外，L1、L2例如是根據(jù)用戶對(duì)操作單元111的操作而設(shè)定的。然后，處理單元100生成變換表(HLUT) (S5)，該變換表將在環(huán)狀區(qū)的邊緣部圖像IE變換為寬度相當(dāng)于寬度(L1+L2)的矩形圖像頂時(shí)使用。該變換表(HLUT)用于使外周為2 π (R+L2)(外側(cè)圓形劃分線C2的長(zhǎng)度)及內(nèi)周為2 π (R-Ll)(內(nèi)側(cè)圓形劃分線Cl的長(zhǎng)度)的環(huán)狀邊緣部圖像IE的各個(gè)位置，與圖8所示的長(zhǎng)度及寬度分別相當(dāng)于所述邊緣部圖像IE的外周2 π (R+L2)及寬度(L1+L2)的矩形圖像頂?shù)南袼貙?duì)應(yīng)。具體地講，如圖9所示，環(huán)狀的邊緣部圖像IE中的第1角度范圍(0°彡θ <90° )的第1邊緣部圖像部分IE(I)的各個(gè)位置，與長(zhǎng)度相當(dāng)于長(zhǎng)度2 π (R+L2)中的所述第1角度范圍 (0° < θ <90° )的第1矩形圖像部分頂(1)的像素對(duì)應(yīng)，邊緣部圖像IE中的第2角度范圍(90° ( θ <180° )的第2邊緣部圖像部分IE (2)的各個(gè)位置，同樣地與長(zhǎng)度相當(dāng)于所述第2角度范圍(90° ( θ < 180° )的第2矩形圖像部分^ )的像素對(duì)應(yīng)。并且， 環(huán)狀的邊緣部圖像IE中的第3角度范圍(180° ( θ < 270° )的第3邊緣部圖像部分 ΙΕ(3)的各個(gè)位置，與長(zhǎng)度相當(dāng)于所述長(zhǎng)度2 π (R+L2)中的所述第3角度范圍(180° ( θ < 270° )的第3矩形圖像部分頂⑶的像素對(duì)應(yīng)，邊緣部圖像IE中的第4角度范圍 070° ( θ < 360°，0° )的第4邊緣部圖像部分IEG)的各個(gè)位置，同樣與長(zhǎng)度相當(dāng)于所述第4角度范圍070° ( θ < 360°，0° )的第4矩形圖像部分^ )的像素對(duì)應(yīng)。所述變換表用于表示與矩形圖像頂?shù)母鱾€(gè)像素對(duì)應(yīng)的所述邊緣部圖像IE的位置，是按照下面所述生成的。在圖IOA及圖IOB所示的具有外周緣(外側(cè)圓形劃分線C2)及內(nèi)周緣(內(nèi)側(cè)圓形劃分線Cl)的環(huán)狀的邊緣部圖像IE中，按照?qǐng)DIlA所示，沿著其外周緣(外側(cè)圓形劃分線 C2)以相等間隔δ (基于1個(gè)像素的分辨率的單位長(zhǎng)度)確定η處位置P。(X。，Y0KP1OC1,
Y1) ^..Pi (Xi5Yi).....Plri (Xlri ,Yn-i)。其中，η = 2 π (R+L2)/5。然后，按照?qǐng)D 10A、圖 IOB
及圖IlB所示，設(shè)定通過在外周緣(外側(cè)圓形劃分線以)設(shè)定的所述各個(gè)位置Pp并且與外周緣(外側(cè)圓形劃分線C2)及內(nèi)周緣(內(nèi)側(cè)圓形劃分線Cl)正交的直線(以下稱為法線) 1(9)，在該法線1(9)上的與所述外周緣(C2)的交點(diǎn)A和與所述內(nèi)周緣(Cl)的交點(diǎn)B之間，以相等間隔δ設(shè)定m處位置Ρ」1Δ Ρ」ωΔ。其中，m= (Ll+L2)/S。具體地講，如圖12 所示，在法線NL ( θ )上，能夠從A點(diǎn)的位置P」一直到點(diǎn)B設(shè)定從A點(diǎn)的位置P」起沿X方向依次偏移Δ Xj (= δ ^os θ)、以及沿Y方向依次偏移AYj (= δ ·8 ιθ)而得到的各個(gè)位
置 P^ P-。各個(gè)位置的坐標(biāo)值是 Pj (XjjYj)、Ρ』1Δ (Xj- Δ Xj, Yr AYj).....Pjm. (Xrm Δ Xj,
Yrm Δ Yj)。如前面所述，在邊緣部圖像IE中設(shè)定的各個(gè)位置與圖8所示的矩形圖像頂?shù)南袼貙?duì)應(yīng)。具體地講，如圖13所示，沿著與邊緣部圖像IE的外周緣(外側(cè)圓形劃分線C2)對(duì)應(yīng)的矩形圖像頂?shù)倪匳 (C2)排列的η個(gè)像素 Pxlri，分別與沿著邊緣部圖像IE的外周緣(外側(cè)圓形劃分線C2)設(shè)定的位置Ptl(Xtl,U Plri (Xn-PYlri)對(duì)應(yīng)，在距矩形圖像IR的所述邊V(C2)為1個(gè)像素的量的內(nèi)側(cè)處排列的η個(gè)像素^^ !^(『…，分別與在距邊緣部圖像 IE的外周緣(外側(cè)圓形劃分線C2)為間隔δ的內(nèi)側(cè)處設(shè)定的位置Pc^(Xtl-A)Cci, Yq-AYq) Ρ( -1)1Δ (Xlri-AXlri，Ylri-AYlri)對(duì)應(yīng)，以下同樣地，沿著與邊緣部圖像IE的內(nèi)周緣(內(nèi)側(cè)圓形劃分線Cl)對(duì)應(yīng)的矩形圖像頂?shù)倪匳(Cl)排列的η個(gè)像素P^1 !^(『…，分別與沿著邊緣部圖像IE的內(nèi)周緣(內(nèi)側(cè)圓形劃分線Cl)設(shè)定的位置Ρ。ωΔ (X0-mAX0, Y0-mAY0) Pirf mA (Xn-1-m Δ Xlri，Ylri-Hi Δ Ylri)對(duì)應(yīng)。考慮到上述的關(guān)系，如圖14所示，變換表(HLUT)使包括沿著邊緣部圖像IE的外周緣(外側(cè)圓形劃分線C2)設(shè)定的各個(gè)位置P0 Plri的坐標(biāo)值的數(shù)值0(0，Υ0，Δ X0, Δ Y0)、
(XijY1, AX1, AY1).....(Xlri，Ylri，AXlri，Δ Ylri)，與矩形圖像頂中的寬度方向1列的量的
像素(Ρ& I3Xj、(Px1 I3Xlm).....(Pxlri I3Xfe-Dm)對(duì)應(yīng)。通過使用這種變換表(HLUT)，
將與矩形圖像頂中沿寬度方向排列的第1列的各個(gè)像素(Ρ& I3XcJ對(duì)應(yīng)的邊緣部圖像
IE 的各個(gè)位置確定為(X。，Y0)、(X0- Δ X0, Y0- Δ Y0).....(X0-m Δ X0, Y0-m Δ Y0)，同樣，將與在
寬度方向排列的任意第(i+Ι)列的各個(gè)像素(Pxi I3Xim)對(duì)應(yīng)的邊緣部圖像IE的各個(gè)位置確定為(Xi, Yi)^ (Xi-Δ Xi, Yi-Δ Yi) 、OCi-HiAXi, Yi-JiiAYi)。變換表(HLUT)也可以不表示圖13所示的在邊緣部圖像IE中設(shè)定的全部位置與矩形圖像頂?shù)母鱾€(gè)像素之間的對(duì)應(yīng)關(guān)系，而是如圖14所示對(duì)于矩形圖像頂?shù)膶挾确较虻?列像素的量，使沿著邊緣部圖像IE的外周緣(外側(cè)圓形劃分線C2)的各個(gè)位置PciOCq, Y0) Plri (Xlri，Yn-i)、與在通過該各個(gè)位置的法線上設(shè)定的位置的間隔Δ對(duì)應(yīng)，因而能夠構(gòu)成規(guī)模更小的變換表(HLUT)，其結(jié)果，能夠削減存儲(chǔ)該變換表的存儲(chǔ)器的容量。返回圖5，在根據(jù)前面所述的關(guān)系來生成表示與矩形圖像頂?shù)母鱾€(gè)像素對(duì)應(yīng)的邊緣部圖像IE的位置的變換表(HLUT)后，處理單元100相反生成表示與邊緣部圖像IE的各個(gè)像素對(duì)應(yīng)的矩形圖像頂?shù)奈恢玫哪孀儞Q表(NLUT) (S6)。使如圖8所示的長(zhǎng)度及寬度相當(dāng)于長(zhǎng)度2 π (R+L2)且寬度(L1+L2)的矩形圖像頂?shù)母鱾€(gè)位置，與外周為2 π (R+L2)及內(nèi)周為2 π (R-Ll)的原來的環(huán)狀區(qū)域的圖像(邊緣部圖像IE)的像素對(duì)應(yīng)。具體地講， 如圖15所示，使長(zhǎng)度相當(dāng)于長(zhǎng)度2 π (R+L2)中的第1角度范圍(0°彡θ <90° )的第1 矩形圖像部分頂(1)的各個(gè)位置，與環(huán)狀的邊緣部圖像IE中的所述第1角度范圍(0° < θ <90° )的第1邊緣部圖像部分IE(I)的各個(gè)像素對(duì)應(yīng)，同樣，使長(zhǎng)度相當(dāng)于第2角度范圍(90° ( θ <180° )的第2矩形圖像部分^ )的各個(gè)位置，與邊緣部圖像IE中的所述第2角度范圍(90° ( θ <180° )的第2邊緣部圖像部分IEO)的像素對(duì)應(yīng)。并且，所述逆變換表使長(zhǎng)度相當(dāng)于長(zhǎng)度2 π (R+L2)中的第3角度范圍(180°彡θ < 270° )的第3矩形圖像部分頂(3)的各個(gè)位置，與環(huán)狀的邊緣部圖像IE中的所述第3角度范圍 (180° ( θ < 270° )的第3邊緣部圖像部分IE(3)的像素對(duì)應(yīng)，使長(zhǎng)度相當(dāng)于第4角度范圍070° ( θ < 360°，0° )的第4矩形圖像部分^ )的各個(gè)位置，與邊緣部圖像IE 中的所述第4角度范圍070°彡θ < 360°，0° )的第4邊緣部圖像部分IEG)的像素對(duì)應(yīng)。另外，該逆變換表(NLUT)的生成方法與前述變換表(HLUT)的生成方法相同。在生成所述變換表(HLUT)和所述逆變換表(NLUT)后，處理單元100使用所述變換表(HLUT)，將在包括晶片表面圖像IlO的攝影圖像I中確定的邊緣部圖像IE變換為矩形圖像IR，并且使用所述逆變換表(NLUT)將通過所述變換而得到的矩形圖像頂逆變換為原來的環(huán)狀區(qū)域^ing的圖像(邊緣部圖像IE) (S7)。然后，包括通過該逆變換而得到的圖像的攝影圖像I被顯示在顯示單元112中。如果在顯示單元112顯示的攝影圖像I的尤其所述環(huán)狀區(qū)域的圖像部分沒有問題，用戶利用操作單元111進(jìn)行預(yù)定的登記執(zhí)行的操作。處理單元100在輸入了基于來自操作單元111的登記執(zhí)行的操作的操作信號(hào)后，將按照前面所述設(shè)定的用于確定沿著晶片表面圖像IlO的邊緣的圓形線C0(邊緣線)的中心位置0(Xo，Yo)及半徑(R)、距表示環(huán)狀區(qū)域&_的邊界線(Cl、)的圓形線CO的寬度Li、 L2、變換表(HLUT)、逆變換表(NLUT)、以及從晶片表面圖像IlO的圓形區(qū)域中去除了所述環(huán)狀區(qū)域King的中心位置00(ο，Yo)及半徑(R-Ll)的圓形主體部區(qū)域，登記在內(nèi)部存儲(chǔ)器中 (S8)，并結(jié)束處理。該登記處理能夠按照進(jìn)行檢查的晶片的不同直徑來執(zhí)行。另外，如果經(jīng)過所述變換及逆變換的處理而得到的攝影圖像I的尤其所述環(huán)狀區(qū)域4_的圖像部分存在任何問題，用戶能夠再次對(duì)晶片10的表面進(jìn)行拍攝，確定針對(duì)晶片表面圖像IlO的圓形線CO及寬度Li、L2，生成變換表(HLUT)及逆變換表(NLUT)。在如前面所述的登記處理結(jié)束后，該表面檢查裝置能夠進(jìn)行各個(gè)晶片10的表面檢查。在前述的機(jī)構(gòu)部(參照?qǐng)D1 圖3)中利用攝像單元30對(duì)作為檢查對(duì)象的晶片10 的表面進(jìn)行拍攝，輸入了來自攝像單元30的圖像信號(hào)的處理單元100按照?qǐng)D16所示的步驟執(zhí)行處理。在圖16中，處理單元100將由對(duì)作為檢查對(duì)象的晶片10的表面進(jìn)行拍攝的攝像單元30依次提供的圖像信號(hào)，變換為由像素單位的濃淡值構(gòu)成的圖像數(shù)據(jù)，取得包括表示晶片10的整個(gè)表面的晶片表面圖像(數(shù)據(jù))的攝影圖像作為被處理圖像(Sll)。包括該晶片表面圖像的被處理圖像被存儲(chǔ)在圖像存儲(chǔ)器(省略圖示)中。處理單元100當(dāng)取得例如包括如圖17A所示的晶片表面圖像120的攝影圖像I時(shí)，在圖像存儲(chǔ)器中根據(jù)X(橫向坐標(biāo)軸)、Y(縱向坐標(biāo)軸)及θ (逆時(shí)針方向旋轉(zhuǎn)的角度)的各個(gè)基準(zhǔn)，對(duì)該攝影圖像I進(jìn)行位置校正(S12)。例如，按照?qǐng)D17Β所示進(jìn)行位置校正，使晶片表面圖像120的缺口部分121 位于預(yù)定方向，同時(shí)使晶片表面圖像120位于與登記處理時(shí)的位置(參照?qǐng)D5、圖6Β)相同的位置，進(jìn)行該位置校正后的攝影圖像I被存儲(chǔ)在圖像存儲(chǔ)器中。另外，在這種情況下，在晶片表面圖像120的外緣部分存在缺陷部分D1。處理單元100根據(jù)用于確定所述登記的圓形線CO的中心位置(Xo，Yo)和半徑 (R)、以及用于確定環(huán)狀區(qū)的寬度Li、L2，在經(jīng)位置校正后的晶片表面圖像120中進(jìn)行檢查范圍的映射(S13)。通過該映射，環(huán)狀區(qū)的圖像被確定為邊緣部圖像ΙΕ，同時(shí)確定了從晶片表面圖像120的區(qū)域中去除了所述環(huán)狀區(qū)域^ing(邊緣部圖像IE)的圓形主體部區(qū)域(半徑(R-Ll)的晶片主體部圖像)。然后，處理單元100使用前述的變換表(HLUT)(參照?qǐng)D13、圖14)，將通過所述映射而得到的環(huán)狀區(qū)域的圖像即邊緣部圖像IE變換為矩形圖像。在該變換處理中，首先從所述變換表(HLUT)取得與矩形圖像頂?shù)母鱾€(gè)像素(參照?qǐng)D8)對(duì)應(yīng)的環(huán)狀的邊緣部圖像IE中的位置。然后，取得所取得的所述邊緣部圖像IE中的位置的濃淡值，將該濃淡值確定為與該位置對(duì)應(yīng)的矩形圖像頂?shù)南袼氐臐獾?。在所述邊緣部圖像IE中的位置與該邊緣部圖像IE中的像素位置一致的情況下，將該像素的濃淡值確定為對(duì)應(yīng)的矩形圖像頂中的像素的濃淡值。并且，在所述邊緣部圖像IE中的位置與該邊緣部圖像IE中的像素位置不一致的情況下，通過基于該位置的周圍像素的濃淡值的插值處理來確定該位置的濃淡值，將該濃淡值確定為對(duì)應(yīng)的矩形圖像頂中的像素的濃淡值。這樣，根據(jù)變換表(HLUT)將矩形圖像頂中的各個(gè)像素的濃淡值確定為對(duì)應(yīng)的邊緣部圖像IE中的位置濃淡值，由此所述邊緣部圖像IE被變換為所述矩形圖像頂。通過該變換處理，如圖18所示，邊緣部圖像IE中的第1角度范圍(0° ( θ <90° )的第1邊緣部圖像部分IE(I)被變換為長(zhǎng)度相當(dāng)于長(zhǎng)度2 π (R+L2)中的所述第1角度范圍(0° ( θ <90° )的第1矩形圖像部分頂(1)，邊緣部圖像IE中的第2角度范圍(90°彡θ < 180° )的第2邊緣部圖像部分IEO)同樣被變換為長(zhǎng)度相當(dāng)于所述第2角度范圍 (90° ^ θ <180° )的第2矩形圖像部分頂0)。并且，環(huán)狀的邊緣部圖像IE中的第3角度范圍(180° ( θ < 270° )的第3邊緣部圖像部分IE (3)被變換為長(zhǎng)度相當(dāng)于所述長(zhǎng)度 2 π (R+L2)中的所述第3角度范圍(180° ( θ < 270° )的第3矩形圖像部分頂(3)，邊緣部圖像IE中的第4角度范圍070°彡θ < 360°，0° )的第4邊緣部圖像部分IE(4) 同樣被變換為長(zhǎng)度相當(dāng)于所述第4角度范圍070° ( θ < 360°，0° )的第4矩形圖像部分頂0)。在這種情況下，存在于第2邊緣部圖像部分IEQ)中的缺陷部分Dl被變換為對(duì)應(yīng)的第2矩形圖像部分頂⑵的缺陷部分DR1。返回圖16，處理單元100在生成矩形圖像頂后，對(duì)該矩形圖像頂實(shí)施用于強(qiáng)調(diào)缺陷部分的一維濾波處理(S15)。在該一維濾波處理中，各個(gè)關(guān)注像素的濃淡值是根據(jù)在下述方向上前后排列的像素的濃淡值而確定的，所述方向是指針對(duì)該關(guān)注像素與矩形圖像 IR的寬度方向正交的方向，即，與直線V(CO)(參照?qǐng)D8)平行的方向，其中，該直線V(CO) 在與設(shè)定為邊緣部圖像IE的邊緣線的圓形線CO對(duì)應(yīng)的橫向上延伸。通過這種一維濾波處理，能夠得到強(qiáng)調(diào)了缺陷部分的已處理矩形圖像1&。具體地講，如圖19所示，從與第1角度范圍(0° < θ <90° )對(duì)應(yīng)的第1矩形圖像部分頂(1)，生成對(duì)應(yīng)于同一角度范圍的第1已處理矩形圖像1&(1)，從與第2角度范圍(90°彡θ <180° )對(duì)應(yīng)的第2矩形圖像部分頂⑵，生成對(duì)應(yīng)于同一角度范圍的第2已處理矩形圖像IRJ2)，從與第3角度范圍 (180° ( θ < 270° )對(duì)應(yīng)的第3矩形圖像部分頂(3)，生成對(duì)應(yīng)于同一角度范圍的第3 已處理矩形圖像1&(3)，從與第4角度范圍070° ( θ < 360°，0° )對(duì)應(yīng)的第4矩形圖像部分頂(4)，生成對(duì)應(yīng)于同一角度范圍的第4已處理矩形圖像。在這種情況下，包含于第2矩形圖像部分中的缺陷部分DRl被強(qiáng)調(diào)，并在第2已處理矩形圖像
中生成為缺陷部分DR1P。在對(duì)矩形圖像頂實(shí)施一維濾波處理得到已處理矩形圖像1 后，處理單元100使用逆變換表(NLUT)，將已處理矩形圖像1 逆變換為原來的環(huán)狀區(qū)域的圖像(S16)。在該逆變換處理中，首先從所述逆變換表(NLUT)取得與原來的環(huán)狀區(qū)域&_的各個(gè)像素對(duì)應(yīng)的已處理矩形圖像1 的位置。然后，取得所取得的所述已處理矩形圖像1 中的位置的濃淡值，將該濃淡值確定為與該位置對(duì)應(yīng)的環(huán)狀區(qū)中的像素的濃淡值。在所述已處理矩形圖像1 中的位置與該已處理矩形圖像1 中的像素位置一致的情況下，將該像素的濃淡值確定為對(duì)應(yīng)的環(huán)狀區(qū)域的像素的濃淡值。并且，在所述已處理矩形圖像1 中的位置與該已處理矩形圖像1 中的像素位置不一致的情況下，通過基于該位置的周圍像素的濃淡值的插值處理來確定該位置的濃淡值，將該濃淡值確定為對(duì)應(yīng)的環(huán)狀區(qū)域中的像素的濃淡值。這樣，根據(jù)逆變換表(NLUT)將環(huán)狀區(qū)域的各個(gè)像素的濃淡值確定為對(duì)應(yīng)的已處理矩形圖像1 的位置的濃淡值，由此所述已處理矩形圖像1 被變換為所述環(huán)狀區(qū)域 ELing的圖像，得到已處理邊緣部圖像IEP。通過該逆變換處理，如圖20所示，與第1角度范圍(0° < θ <90° )對(duì)應(yīng)的第1已處理矩形圖像部分被逆變換為同一角度范圍的第1已處理邊緣部圖像部分IEp(I)，與第2角度范圍(90° ( θ <180° )對(duì)應(yīng)的第2已處理矩形圖像部分1 )被變換為同一角度范圍的第2已處理邊緣部圖像部分IEP(2)，與第3角度范圍(180° ( θ < 270° )對(duì)應(yīng)的第3已處理矩形圖像部分被變換為同一角度范圍的第3已處理邊緣部圖像部分ffiP(3)，與第4角度范圍070° ( θ < 360°， 0° )對(duì)應(yīng)的第4已處理矩形圖像部分1 )被變換為同一角度范圍的第4已處理邊緣部圖像部分IEP(4)。在這種情況下，被強(qiáng)調(diào)攝入到第2已處理矩形圖像部分1 )中的缺陷部分DRlp被變換為在第2已處理邊緣部圖像部分IEp(2)被強(qiáng)調(diào)的缺陷部分D1P。返回圖16，處理單元100在生成前述的已處理邊緣部圖像后，對(duì)從通過所述映射(參照S13)而得到的晶片表面圖像120的區(qū)域中去除了所述環(huán)狀區(qū)的圓形主體部區(qū)域的圖像，實(shí)施二維濾波處理(S17)。具體地講，在圓形主體部區(qū)域的圖像(晶片主體部圖像)中，根據(jù)被二維配置的其周圍像素(例如包圍關(guān)注像素的8個(gè)像素)的濃淡值，確定各個(gè)關(guān)注像素的濃淡值。通過實(shí)施這種二維濾波處理，能夠得到已處理晶片主體部圖像。 在該已處理晶片主體部圖像中，處于強(qiáng)調(diào)了缺陷部分的狀態(tài)。然后，處理單元100將所述已處理邊緣部圖像和所述已處理晶片主體部圖像進(jìn)行合成，生成一個(gè)已處理晶片表面圖像I20P(S18)。并且，處理單元100對(duì)所生成的已處理晶片表面圖像I20P實(shí)施缺陷檢測(cè)處理(S19)。例如，根據(jù)已處理晶片表面圖像I20P的濃度分布來確定缺陷部分。處理單元100 生成用于確定通過所述缺陷檢測(cè)處理而得到的缺陷部分的信息、即缺陷信息(例如缺陷編號(hào)(NO.)、缺陷部分的中心坐標(biāo)、缺陷部分的面積、缺陷部分的扁平度、對(duì)缺陷部分進(jìn)行近似的橢圓的長(zhǎng)軸及短軸、缺陷分類編號(hào)(NO.)等)，將該缺陷信息與所述已處理晶片表面圖像 I20P —起保存(S20)。并且，處理單元100按照?qǐng)D21所示，將利用所述缺陷信息確定的缺陷部分D1P、D2P、D3P、D4P與已處理晶片表面圖像I20P—起顯示在顯示單元112中。另外， 在圖21中，缺陷部分Dlp是在所述已處理邊緣部圖像上確定的缺陷部分，其它缺陷部分 D2P、D3P及D4P是在所述已處理晶片主體部圖像上的確定的缺陷部分。在前述的晶片的表面檢查裝置進(jìn)行的圖像處理中，包括沿著在攝影圖像I (被處理圖像)中確定的晶片表面圖像Iio的邊緣的圓形線CO在內(nèi)的邊緣部圖像IE被變換為矩形圖像頂，對(duì)該矩形圖像頂實(shí)施一維濾波處理。該一維濾波處理是在沿著與對(duì)晶片表面圖像120的邊緣設(shè)定的圓形線Co對(duì)應(yīng)的直線V(Co)的方向上的處理，因而將被實(shí)施了該一維濾波處理的已處理矩形圖像1 進(jìn)行逆變換得到的已處理邊緣部圖像IEP，是實(shí)質(zhì)上沿著所述晶片表面圖像120的邊緣線實(shí)施了濾波處理的圖像。因此，能夠容易得到在晶片表面圖像120的邊緣部分的區(qū)域中實(shí)施了合適的濾波處理的圖像(已處理邊緣部圖像IEp)。并且，由于能夠得到在晶片表面圖像120的邊緣部分的區(qū)域中實(shí)施了合適的濾波處理的圖像(已處理邊緣部圖像IEp)，因而同樣能夠可靠地檢測(cè)位于晶片表面圖像120的邊緣部分的缺陷部分D1P，以及位于其內(nèi)側(cè)的晶片主體部圖像中的缺陷部分D2P、D3P、D4P。另外，在前述的本發(fā)明的實(shí)施方式中，把包括作為在晶片表面圖像120中設(shè)定的邊緣線的圓形線CO在內(nèi)的環(huán)狀區(qū)域內(nèi)的圖像，設(shè)為邊緣部圖像IE，但也能夠把該環(huán)狀區(qū)域King的一部分圖像設(shè)為邊緣部圖像IE進(jìn)行處理。并且，在物體表面的邊緣線不是圓形而是任意的曲線時(shí)，也能夠設(shè)定沿著該邊緣的曲線的邊緣線，將在與該邊緣線正交的方向上為預(yù)定寬度的區(qū)域的圖像確定為邊緣部圖像。在這種情況下，根據(jù)該任意的彎曲形狀的邊緣部圖像的各個(gè)位置與矩形圖像的各個(gè)像素的對(duì)應(yīng)關(guān)系，將該邊緣圖像變換為矩形圖像，并且將已處理矩形圖像逆變換為原來的彎曲形狀的區(qū)域的圖像(已處理邊緣部圖像)。另外，在本發(fā)明的圖像處理方法及圖像處理裝置中，對(duì)矩形圖像頂實(shí)施的一維圖像處理不限于濾波處理，只要是對(duì)在與矩形圖像頂?shù)膶挾确较蛘坏姆较蛏吓帕械亩鄠€(gè)像素的濃淡值依次進(jìn)行處理的一維圖像處理，則沒有特殊限定。在前述的本發(fā)明的實(shí)施方式中，對(duì)從邊緣部圖像IE變換得到的矩形圖像頂實(shí)施一維圖像處理(一維濾波處理)，得到已處理矩形圖像1 ，然后對(duì)該已處理矩形圖像1 進(jìn)行逆變換生成已處理邊緣部圖像ΙΕρ，在該已處理邊緣部圖像IEp(實(shí)際上是合成圖像)中檢測(cè)缺陷。但是，在只是檢測(cè)被處理圖像的尤其邊緣部圖像IE內(nèi)有無缺陷的情況下等，不需要對(duì)已處理矩形圖像1 進(jìn)行逆變換，在已處理矩形圖像1 中能夠進(jìn)行缺陷檢測(cè)的處理。另外，在前述的本發(fā)明的實(shí)施方式中，把半導(dǎo)體晶片的攝影圖像設(shè)為被處理圖像， 但被處理圖像只要是包括任何物體的表面圖像的圖像，則沒有特殊限定。產(chǎn)業(yè)上的可利用性如以上說明的那樣，本發(fā)明的圖像處理方法及圖像處理裝置具有能夠得到在物體表面圖像的邊緣部分的區(qū)域中實(shí)施了合適的圖像處理的圖像的效果，作為對(duì)由像素單位的濃淡值構(gòu)成的物體表面圖像進(jìn)行處理的圖像處理方法及圖像處理裝置比較有用，并且適合于表面檢查裝置。標(biāo)號(hào)說明10晶片；20支撐機(jī)構(gòu)；21工作臺(tái)；2加、2沘支撐腳；30攝像單元；31照明單元；50 基座；55框架；60輸送架；70移位移動(dòng)機(jī)構(gòu)；71載物臺(tái)；72驅(qū)動(dòng)部；100處理單元；111操作單元；112顯示單元；120驅(qū)動(dòng)控制單元；200移動(dòng)機(jī)構(gòu)。
2權(quán)利要求
1.一種圖像處理方法，其包括圖像取得步驟，取得由像素單位的濃淡值構(gòu)成的、包括物體表面圖像的被處理圖像； 邊緣部圖像確定步驟，將包括所述被處理圖像中設(shè)定的所述物體表面圖像的邊緣線的、在與該邊緣線正交的方向上為預(yù)定寬度的區(qū)域的圖像，確定為邊緣部圖像；變換步驟，將所述邊緣部圖像變換為寬度相當(dāng)于所述預(yù)定寬度的矩形圖像；以及圖像處理步驟，對(duì)所述矩形圖像實(shí)施對(duì)在與該寬度方向正交的方向上排列的多個(gè)像素的濃淡值依次進(jìn)行處理的一維圖像處理。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的圖像處理方法，其中，該圖像處理方法還包括逆變換步驟，將實(shí)施了所述一維圖像處理的所述矩形圖像逆變換為原來區(qū)域的圖像，生成已處理邊緣部圖像。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的圖像處理方法，其中，在所述邊緣部圖像確定步驟中，將下述區(qū)域的圖像確定為所述邊緣部圖像，所述區(qū)域是指在所述邊緣線的所述物體表面圖像的內(nèi)側(cè)方向上為第一預(yù)定寬度，在所述邊緣線的所述物體表面圖像的外側(cè)方向上為第二預(yù)定寬度的區(qū)域。
4.根據(jù)權(quán)利要求1 3中任意一項(xiàng)所述的圖像處理方法，其中，所述變換步驟包括 位置變換步驟，取得所述邊緣部圖像中的與所述矩形圖像的各個(gè)像素對(duì)應(yīng)的位置；以及根據(jù)所述邊緣部圖像中的各個(gè)像素的濃淡值，確定與取得的所述邊緣部圖像中的各個(gè)位置對(duì)應(yīng)的、所述矩形圖像的像素的濃淡值的步驟。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的圖像處理方法，其中，預(yù)先生成表示所述邊緣部圖像中的與所述矩形圖像的各個(gè)像素對(duì)應(yīng)的位置的變換表， 在所述位置變換步驟中，使用所述變換表，取得所述邊緣部圖像中的與所述矩形圖像的各個(gè)像素對(duì)應(yīng)的位置。
6.根據(jù)權(quán)利要求2所述的圖像處理方法，其中，所述逆變換步驟包括位置逆變換步驟，取得矩形圖像中的與所述原來區(qū)域的圖像的各個(gè)像素對(duì)應(yīng)的位置；以及根據(jù)實(shí)施了所述一維圖像處理的矩形圖像中的各個(gè)像素的濃淡值，確定與取得的所述矩形圖像中的各個(gè)位置對(duì)應(yīng)的、所述原來區(qū)域的圖像中的像素的濃淡值，生成所述已處理邊緣部圖像。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的圖像處理方法，其中，預(yù)先生成表示所述矩形圖像中的與所述原來區(qū)域的圖像的各個(gè)像素對(duì)應(yīng)的位置的逆變換表，在所述位置逆變換步驟中，使用所述逆變換表，取得所述矩形圖像中的與所述原來區(qū)域的圖像的各個(gè)像素對(duì)應(yīng)的位置。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的圖像處理方法，其中，在所述圖像取得步驟中，取得包括圓盤狀半導(dǎo)體晶片的表面圖像的圖像作為所述被處理圖像，在所述邊緣部圖像確定步驟中，將在與沿著所述半導(dǎo)體晶片表面圖像的邊緣的圓形線正交的方向上為預(yù)定寬度的環(huán)狀區(qū)域的全部或者一部分的圖像確定為邊緣部圖像。
9.根據(jù)權(quán)利要求2所述的圖像處理方法，其中，在所述圖像取得步驟中，取得包括圓盤狀半導(dǎo)體晶片的表面圖像的圖像作為所述被處理圖像，在所述邊緣部圖像確定步驟中，將在與沿著所述半導(dǎo)體晶片表面圖像的邊緣的圓形線正交的方向上為預(yù)定寬度的環(huán)狀區(qū)域的全部或者一部分的圖像確定為邊緣部圖像，在所述逆變換步驟中，將實(shí)施了所述一維圖像處理的所述矩形圖像逆變換為原來的環(huán)狀區(qū)域的全部或者一部分的圖像，生成所述已處理邊緣部圖像。
10.根據(jù)權(quán)利要求8或9所述的圖像處理方法，其中，在所述邊緣部圖像確定步驟中，將在所述圓形線的內(nèi)側(cè)為第一預(yù)定寬度、在所述圓形線的外側(cè)為第二預(yù)定寬度的環(huán)狀區(qū)域的全部或者一部分的圖像，確定為邊緣部圖像。
11.根據(jù)權(quán)利要求1所述的圖像處理方法，其中，在所述變換步驟中，將所述邊緣部圖像變換為由與下述各個(gè)位置對(duì)應(yīng)的呈矩形排列的像素構(gòu)成的矩形圖像，所述各個(gè)位置是指該邊緣部圖像的沿著夾著所述物體圖像的邊緣線并且與該邊緣線平行的兩條劃分線中的一條劃分線、以預(yù)定間隔設(shè)定的各個(gè)位置，以及在與該劃分線正交的法線上以預(yù)定間隔從該各個(gè)位置到另一條劃分線設(shè)定的各個(gè)位置。
12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的圖像處理方法，其中，在所述變換步驟中，將所述邊緣部圖像變換為由與下述各個(gè)位置對(duì)應(yīng)的呈矩形排列的像素構(gòu)成的矩形圖像，所述各個(gè)位置是指該邊緣部圖像的沿著夾著所述物體圖像的邊緣線并且與該邊緣線平行的兩條劃分線中較長(zhǎng)的劃分線、以預(yù)定間隔設(shè)定的各個(gè)位置，以及在與該劃分線正交的法線上以預(yù)定間隔從該各個(gè)位置到較短的劃分線設(shè)定的各個(gè)位置。
13.根據(jù)權(quán)利要求11或12所述的圖像處理方法，其中，預(yù)先生成使所述邊緣部圖像中的沿著所述劃分線的各個(gè)位置、與和設(shè)定在通過該位置的所述法線上的全部位置對(duì)應(yīng)的所述矩形圖像的1列的量的像素相對(duì)應(yīng)的變換表，所述變換步驟包括使用所述變換表來確定所述邊緣部圖像中的與所述矩形圖像的各個(gè)像素對(duì)應(yīng)的位置的步驟。
14.一種圖像處理方法，其包括圖像取得步驟，取得被平行的兩條劃分線劃分的被處理圖像；以及變換步驟，將所述被處理圖像變換為由與下述各個(gè)位置對(duì)應(yīng)的呈矩形排列的像素構(gòu)成的矩形圖像，所述各個(gè)位置是指該被處理圖像的沿著所述平行的兩條劃分線中的一條劃分線以預(yù)定間隔設(shè)定的各個(gè)位置，以及在與該劃分線正交的法線上以預(yù)定間隔從該各個(gè)位置到另一條劃分線設(shè)定的各個(gè)位置。
15.根據(jù)權(quán)利要求14所述的圖像處理方法，在所述變換步驟中，將所述被處理圖像變換為由與下述各個(gè)位置對(duì)應(yīng)的呈矩形排列的像素構(gòu)成的矩形圖像，所述各個(gè)位置是指該被處理圖像的沿著所述平行的兩條劃分線中較長(zhǎng)的劃分線以預(yù)定間隔設(shè)定的各個(gè)位置，以及在與該劃分線正交的法線上以預(yù)定間隔從該各個(gè)位置到較短的劃分線設(shè)定的各個(gè)位置。
16.根據(jù)權(quán)利要求14或15所述的圖像處理方法，其中，預(yù)先生成使所述被處理圖像中的沿著所述劃分線的各個(gè)位置、與和設(shè)定在通過該位置的所述法線上的全部位置對(duì)應(yīng)的所述矩形圖像的1列的量的像素相對(duì)應(yīng)的變換表，所述變換步驟包括使用所述變換表來確定與所述矩形圖像的各個(gè)像素對(duì)應(yīng)的所述被處理圖像中的位置的步驟。
17.一種圖像處理裝置，其具有 攝影單元，其拍攝物體的表面；以及處理單元，其對(duì)由該攝影單元得到的攝影圖像進(jìn)行處理， 所述處理單元具有圖像取得單元，其取得由像素單位的濃淡值構(gòu)成的、包括所述物體的表面圖像的被處理圖像；邊緣部圖像確定單元，其將包括在所述被處理圖像中設(shè)定的所述物體表面圖像的邊緣線且在與該邊緣線正交的方向上為預(yù)定寬度的區(qū)域的圖像，確定為邊緣部圖像；變換單元，其將所述邊緣部圖像變換為寬度相當(dāng)于所述預(yù)定寬度的矩形圖像；以及圖像處理單元，其對(duì)所述矩形圖像實(shí)施對(duì)在與該寬度方向正交的方向上排列的多個(gè)像素的濃淡值依次進(jìn)行處理的一維圖像處理。
18.根據(jù)權(quán)利要求17所述的圖像處理裝置，其中，所述圖像處理裝置還具有逆變換單元，該逆變換單元將實(shí)施了所述一維圖像處理的所述矩形圖像逆變換為原來區(qū)域的圖像， 生成已處理邊緣部圖像。
19.根據(jù)權(quán)利要求17或18所述的圖像處理裝置，其中， 所述變換單元具有位置變換單元，其取得所述邊緣部圖像中的與所述矩形圖像的各個(gè)像素對(duì)應(yīng)的位置；以及根據(jù)所述邊緣部圖像中的各個(gè)像素的濃淡值，確定所述矩形圖像的與取得的所述邊緣部圖像中的各個(gè)位置對(duì)應(yīng)的像素的濃淡值的單元。
20.根據(jù)權(quán)利要求19所述的圖像處理裝置，其中，所述圖像處理裝置還具有存儲(chǔ)單元，該存儲(chǔ)單元存儲(chǔ)表示所述邊緣部圖像中的與所述矩形圖像的各個(gè)像素對(duì)應(yīng)的位置的變換表，所述位置變換單元使用所述變換表，取得所述邊緣部圖像中的與所述矩形圖像的各個(gè)像素對(duì)應(yīng)的位置。
21.根據(jù)權(quán)利要求17所述的圖像處理裝置，其中， 所述攝影單元拍攝圓盤狀的半導(dǎo)體晶片的表面，所述圖像取得單元取得包括所述半導(dǎo)體晶片表面圖像的圖像作為所述被處理圖像， 所述邊緣部圖像確定單元將在與沿著所述半導(dǎo)體晶片表面圖像的邊緣的圓形線正交的方向上為預(yù)定寬度的環(huán)狀區(qū)域的全部或者一部分的圖像，確定為邊緣部圖像，所述逆變換單元將實(shí)施了所述一維圖像處理的所述矩形圖像逆變換為原來的環(huán)狀區(qū)域的全部或者一部分的圖像，生成已處理邊緣部圖像。
22.根據(jù)權(quán)利要求21所述的圖像處理裝置，其中，所述邊緣部圖像確定單元將在所述圓形線的內(nèi)側(cè)為第一預(yù)定寬度、在所述圓形線的外側(cè)為第二預(yù)定寬度的環(huán)狀區(qū)域的全部或者一部分的圖像，確定為邊緣部圖像。
23.根據(jù)權(quán)利要求17所述的圖像處理裝置，其中，所述變換單元將所述邊緣部圖像變換為由與下述各個(gè)位置對(duì)應(yīng)的呈矩形排列的像素構(gòu)成的矩形圖像，所述各個(gè)位置是指該邊緣部圖像的沿著夾著所述物體圖像的邊緣線并且與該邊緣線平行的兩條劃分線中的一條劃分線、以預(yù)定間隔設(shè)定的各個(gè)位置，以及在與該劃分線正交的法線上以預(yù)定間隔從該各個(gè)位置到較短的劃分線設(shè)定的各個(gè)位置。
24.根據(jù)權(quán)利要求11所述的圖像處理裝置，其中，在所述變換步驟中，將所述邊緣部圖像變換為由與下述各個(gè)位置對(duì)應(yīng)的呈矩形排列的像素構(gòu)成的矩形圖像，所述各個(gè)位置是指該邊緣部圖像的沿著夾著所述物體圖像的邊緣線并且與該邊緣線平行的兩條劃分線中較長(zhǎng)的劃分線、以預(yù)定間隔設(shè)定的各個(gè)位置，以及在與該劃分線正交的法線上以預(yù)定間隔從該各個(gè)像素到較短的劃分線設(shè)定的各個(gè)位置。
25.根據(jù)權(quán)利要求23或M所述的圖像處理裝置，其中，所述圖像處理裝置還具有存儲(chǔ)單元，該存儲(chǔ)單元存儲(chǔ)使所述邊緣部圖像中的沿著所述劃分線的各個(gè)位置、與和設(shè)定在通過該位置的所述法線上的全部位置對(duì)應(yīng)的所述矩形圖像的1列的量的像素相對(duì)應(yīng)的變換表，所述變換單元具有使用所述變換表來確定所述邊緣部圖像中的與所述矩形圖像的各個(gè)像素對(duì)應(yīng)的位置的單元。
26.一種圖像處理裝置，其具有攝影單元，其拍攝物體的表面；以及處理單元，其對(duì)由該攝影單元得到的攝影圖像進(jìn)行處理，所述處理單元具有圖像取得單元，其從所述攝影圖像中取得被平行的兩條劃分線劃分的被處理圖像；以及變換單元，其將所述被處理圖像變換為由與下述各個(gè)位置對(duì)應(yīng)的呈矩形排列的像素構(gòu)成的矩形圖像，所述各個(gè)位置是指該被處理圖像的沿著所述平行的兩條劃分線中的一條劃分線以預(yù)定間隔設(shè)定的各個(gè)位置，以及在與該劃分線正交的法線上以預(yù)定間隔從該各個(gè)位置到另一條劃分線設(shè)定的各個(gè)位置。
27.根據(jù)權(quán)利要求沈所述的圖像處理裝置，其中，所述變換單元將所述被處理圖像變換為由與下述各個(gè)位置對(duì)應(yīng)的呈矩形排列的像素構(gòu)成的矩形圖像，所述各個(gè)位置是指該被處理圖像的沿著所述平行的兩條劃分線中較長(zhǎng)的劃分線以預(yù)定間隔設(shè)定的各個(gè)位置，以及在與該劃分線正交的法線上以預(yù)定間隔從該各個(gè)位置到較短的劃分線設(shè)定的各個(gè)位置。
28.根據(jù)權(quán)利要求沈或27所述的圖像處理裝置，其中，所述圖像處理裝置還具有存儲(chǔ)單元，該存儲(chǔ)單元存儲(chǔ)使所述被處理圖像中的沿著所述劃分線的各個(gè)位置、與和設(shè)定在通過該位置的所述法線上的全部位置對(duì)應(yīng)的所述矩形圖像的1列的量的像素相對(duì)應(yīng)的變換表，所述變換單元具有使用所述變換表來確定與所述矩形圖像的各個(gè)像素對(duì)應(yīng)的所述被處理圖像中的位置的單元。
29.—種表面檢查裝置，其具有攝影單元，其拍攝物體的表面；以及處理單元，其對(duì)由該攝影單元得到的攝影圖像進(jìn)行處理，檢測(cè)所述物體表面上的缺陷，所述處理單元具有圖像取得單元，其取得由像素單位的濃淡值構(gòu)成的、包括所述物體的表面圖像的被處理圖像；邊緣部圖像確定單元，其將包括在所述被處理圖像中設(shè)定的所述物體表面圖像的邊緣線且在與該邊緣線正交的方向上為預(yù)定寬度的區(qū)域的圖像，確定為邊緣部圖像； 變換單元，其將所述邊緣部圖像變換為寬度相當(dāng)于所述預(yù)定寬度的矩形圖像； 第1圖像處理單元，其對(duì)所述矩形圖像實(shí)施對(duì)在與該寬度方向正交的方向上排列的多個(gè)像素的濃淡值依次進(jìn)行處理的一維圖像處理；逆變換單元，其將實(shí)施了所述一維圖像處理的所述矩形圖像逆變換為原來區(qū)域的圖像，生成已處理邊緣部圖像；第2圖像處理單元，其對(duì)從所述物體表面圖像中去除了所述邊緣部圖像后的主體部圖像實(shí)施對(duì)二維排列的多個(gè)像素的濃淡值依次進(jìn)行處理的二維圖像處理，生成已處理物體表面主體部圖像；以及缺陷確定單元，其在所述已處理邊緣部圖像和所述已處理主體部圖像中確定缺陷部分。
30.根據(jù)權(quán)利要求四所述的表面檢查裝置，其是由所述攝影單元拍攝圓盤狀的半導(dǎo)體晶片的表面，由所述處理單元檢測(cè)該半導(dǎo)體晶片表面上的缺陷的表面檢查裝置，所述圖像取得單元取得包括所述半導(dǎo)體晶片的表面圖像的圖像作為所述被處理圖像， 所述邊緣部圖像確定單元將在與沿著所述半導(dǎo)體晶片表面圖像的邊緣的圓形線正交的方向上為預(yù)定寬度的環(huán)狀區(qū)域的全部或者一部分的圖像，確定為邊緣部圖像，所述逆變換單元將實(shí)施了所述一維圖像處理的所述矩形圖像逆變換為原來的環(huán)狀區(qū)域的全部或者一部分圖像，生成已處理邊緣部圖像，所述第2圖像處理單元對(duì)從所述半導(dǎo)體晶片表面圖像中去除了所述邊緣部圖像后的所述主體部圖像實(shí)施所述二維圖像處理，生成已處理主體部圖像。
全文摘要
本發(fā)明提供一種圖像處理方法，能夠得到在物體表面圖像的邊緣部分的區(qū)域中實(shí)施了合適的圖像處理的圖像。圖像處理方法構(gòu)成為包括圖像取得步驟(S11)，取得由像素單位的濃淡值構(gòu)成的、包括物體表面圖像的被處理圖像；邊緣部圖像確定步驟(S13)，將包括在所述被處理圖像中設(shè)定的所述物體表面圖像的邊緣線的、在與該邊緣線正交的方向上為預(yù)定寬度的區(qū)域的圖像，確定為邊緣部圖像；變換步驟(S14)，將所述邊緣部圖像變換為寬度相當(dāng)于所述預(yù)定寬度的矩形圖像；圖像處理步驟(S15)，對(duì)所述矩形圖像實(shí)施對(duì)在與該寬度方向正交的方向上排列的多個(gè)像素的濃淡值依次進(jìn)行處理的一維圖像處理；以及逆變換步驟(S16)，將實(shí)施了所述一維圖像處理的所述矩形圖像逆變換為原來區(qū)域的圖像，生成已處理邊緣部圖像。
文檔編號(hào)G01N21/88GK102177428SQ20098014044
公開日2011年9月7日 申請(qǐng)日期2009年10月14日 優(yōu)先權(quán)日2008年10月14日
發(fā)明者宮園浩一, 川崎祥三, 林義典, 森秀樹, 浜谷和彥, 若葉博之 申請(qǐng)人:芝浦機(jī)械電子裝置股份有限公司