專(zhuān)利名稱：表面檢查裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明關(guān)于一種在半導(dǎo)體制造工藝檢查半導(dǎo)體晶圓等的基板表面的表面檢查裝置。
背景技術(shù)：
作為上述表面檢查裝置，已知有一種對(duì)硅晶圓表面照射照明光，拍攝來(lái)自形成于該硅晶圓表面的反復(fù)圖案的繞射光，從攝影面內(nèi)的亮度變化進(jìn)行圖案是否良好的判斷的表面檢查裝置(例如，參照專(zhuān)利文獻(xiàn)1)。此種表面檢查裝置中，伴隨反復(fù)圖案的間距的微細(xì)化，為了產(chǎn)生繞射光照明光的波長(zhǎng)縮短至紫外線的區(qū)域。因此，拍攝繞射光的攝影機(jī)所裝載的攝影元件，孔徑率小且受光效率低。為了提升受光效率，較佳為僅可能加大攝影元件的受光部的開(kāi)口，但由于必須配置用以實(shí)現(xiàn)噪聲的減少或信息的傳輸?shù)裙δ艿闹苓呺娐?，因此必須將無(wú)助于受光的區(qū)域的不感光區(qū)域設(shè)置于攝影元件的像素內(nèi)。亦即，如圖17所示，在攝影元件C，用以受光的有效區(qū)域(開(kāi)口部)A與不感光區(qū)域B合起來(lái)的部分為1個(gè)像素所占的區(qū)域。此外，如圖18(a) 所示，成像于有效區(qū)域A的像(晶圓W的像)的信息雖可取得為影像信息(亮度數(shù)據(jù))，但如圖18(b)所示，成像于不感光區(qū)域B的像的信息無(wú)法取得為影像信息(亮度數(shù)據(jù))。因此，使像再生的影像不包含不感光區(qū)域的信息。因此，為了將更多光導(dǎo)至攝影元件的開(kāi)口部(有效區(qū)域)，在多數(shù)個(gè)攝影元件的攝影面配置微透鏡或內(nèi)部透鏡等聚光部，藉此提升孔徑率，減少不感光區(qū)域。然而，拍攝短波長(zhǎng)的光的攝影元件的情形，由于在上述微透鏡或內(nèi)部透鏡(由于微透鏡或內(nèi)部透鏡一般而言是以PMMA(聚甲基丙烯酸甲基樹(shù)脂)等成形性優(yōu)異、可見(jiàn)區(qū)域的透明性高的材料制作) 吸收紫外線等的短波長(zhǎng)的光，因此無(wú)法使用該等。因此，短波長(zhǎng)對(duì)應(yīng)的攝影元件孔徑率較小。先前技術(shù)文獻(xiàn)專(zhuān)利文獻(xiàn)專(zhuān)利文獻(xiàn)1 日本特開(kāi)2008-151663號(hào)公報(bào)

發(fā)明內(nèi)容
發(fā)明要解決的技術(shù)課題為了使用短波長(zhǎng)的光必須使用孔徑率小的攝影元件的表面檢查裝置中，由于攝影元件的孔徑率小因此不感光區(qū)域廣，在攝影面成像的像的信息的缺少區(qū)域變大，成為像的再現(xiàn)性降低、檢查精度降低的原因。本發(fā)明有鑒于上述問(wèn)題而構(gòu)成，其目的在于提供一種降低不感光區(qū)域的影響以提升檢查精度的表面檢查裝置。解決前述課題的技術(shù)手段為了達(dá)成上述目的，本發(fā)明的表面檢查裝置，用以檢查基板的表面，其特征在于，具備載臺(tái)，用以支承該基板；照明部，對(duì)該載臺(tái)所支承的該基板的表面照射紫外光；受光光學(xué)系統(tǒng)，接受來(lái)自該紫外光所照射的該基板的表面的光，以使該基板的表面的像成像；攝影元件，在拍攝該受光光學(xué)系統(tǒng)所成像的該像的位置具有攝影面，并具備多個(gè)像素，該多個(gè)像素由具有在該攝影面接受以檢測(cè)來(lái)自該像的光的受光部、及設(shè)于該受光部周?chē)粰z測(cè)光的不感光部所構(gòu)成；以及設(shè)定部，設(shè)定該攝影元件相對(duì)成像于該攝影面的該像的位置；該設(shè)定部，以該攝影元件在僅錯(cuò)開(kāi)小于該像素彼此之間隔的相對(duì)移動(dòng)量的多個(gè)相對(duì)位置拍攝多個(gè)該像的方式設(shè)定該相對(duì)位置；具備產(chǎn)生合成影像的影像處理部，該合成影像，對(duì)應(yīng)該多個(gè)相對(duì)位置將該攝影元件所拍攝的該多個(gè)影像的各像素排列合成。此外，上述表面檢查裝置中，較佳為，該設(shè)定部由使該攝影元件與該像在該攝影面上相對(duì)移動(dòng)的相對(duì)移動(dòng)部構(gòu)成；具備控制該相對(duì)移動(dòng)部及該攝影元件的作動(dòng)的控制部，據(jù)以一邊使該相對(duì)移動(dòng)部以小于該像素彼此的間隔的該相對(duì)移動(dòng)量進(jìn)行該相對(duì)移動(dòng)、一邊使該攝影元件在該多個(gè)相對(duì)位置拍攝該多個(gè)該像；該影像處理部，對(duì)應(yīng)該相對(duì)移動(dòng)的順序?qū)⒃摂z影元件所拍攝的該多個(gè)影像的各像素排列合成以產(chǎn)生該合成影像。又，上述表面檢查裝置中，較佳為，該相對(duì)移動(dòng)部，是以該受光部位于該相對(duì)移動(dòng)之前該不感光部原本所在位置的方式，進(jìn)行該相對(duì)移動(dòng)。又，上述表面檢查裝置中，較佳為，該相對(duì)移動(dòng)部具有使該載臺(tái)移動(dòng)于正交2方向的載臺(tái)驅(qū)動(dòng)部；該控制部，是以能從該相對(duì)移動(dòng)量獲得根據(jù)該受光光學(xué)系統(tǒng)的成像倍率換算后的該載臺(tái)的移動(dòng)量的方式，控制該載臺(tái)驅(qū)動(dòng)部的作動(dòng)。又，上述表面檢查裝置中，較佳為，具備測(cè)定部，根據(jù)該攝影元件所拍攝的該多個(gè)影像測(cè)定實(shí)際的該相對(duì)移動(dòng)情況；以及修正部，修正該控制部對(duì)該相對(duì)移動(dòng)部的控制量，據(jù)以使該測(cè)定部所測(cè)定的實(shí)際的該相對(duì)移動(dòng)情況與目標(biāo)的該相對(duì)移動(dòng)情況無(wú)差異。又，上述表面檢查裝置中，較佳為，該測(cè)定部通過(guò)對(duì)該多個(gè)影像進(jìn)行影像處理，以小于該像素彼此之間隔的精度測(cè)定該相對(duì)移動(dòng)情況。又，上述表面檢查裝置中，較佳為，該測(cè)定部是通過(guò)在該影像設(shè)定多個(gè)參照區(qū)域， 并分別求出在該多個(gè)影像的該多個(gè)參照區(qū)域的位置，以測(cè)定實(shí)際的該相對(duì)移動(dòng)情況。此外，上述表面檢查裝置中，具備多個(gè)該攝影元件；該受光光學(xué)系統(tǒng)分別使該像成像于該多個(gè)攝影元件的攝影面；該多個(gè)攝影元件，以該設(shè)定部對(duì)應(yīng)各該多個(gè)相對(duì)位置配置以在該拍攝時(shí)彼此補(bǔ)足該不感光部，于該對(duì)應(yīng)的相對(duì)位置分別拍攝該像；該影像處理部，從該多個(gè)攝影元件分別拍攝的該多個(gè)影像產(chǎn)生該合成影像亦可。又，上述表面檢查裝置中，較佳為，在該多個(gè)攝影元件中的一個(gè)攝影元件的該受光部，接受來(lái)自在其他攝影元件到達(dá)該不感光部的該像的光加以檢測(cè)。 又，上述表面檢查裝置中，較佳為，該受光光學(xué)系統(tǒng)具有使來(lái)自該紫外光所照射的該基板的表面的光分歧成多個(gè)光束的分歧部、及將該多個(gè)光束分別導(dǎo)至該多個(gè)攝影元件的攝影面以使該多個(gè)該像成像的成像部。又，上述表面檢查裝置中，較佳為，該多個(gè)攝影元件為4個(gè)攝影元件。又，上述表面檢查裝置中，較佳為，具備根據(jù)該影像處理部所產(chǎn)生的該合成影像進(jìn)行該基板的表面的檢查的檢查部。發(fā)明的效果根據(jù)本發(fā)明，可提升檢查精度。


圖1為顯示第1實(shí)施形態(tài)的表面檢查裝置的圖。圖2為顯示一邊進(jìn)行像素補(bǔ)足一邊拍攝晶圓表面的像的步驟的流程圖。圖3(a)為顯示錯(cuò)開(kāi)1/2像素進(jìn)行像素補(bǔ)足的順序例的示意圖，圖3 (b)為顯示錯(cuò)開(kāi)1/3像素進(jìn)行像素補(bǔ)足的順序例的示意圖。圖4為顯示錯(cuò)開(kāi)1/2像素的像素補(bǔ)足的影像合成的情形的示意圖。圖5為比較未進(jìn)行像素補(bǔ)足的影像與進(jìn)行像素補(bǔ)足的影像的圖。圖6為顯示晶圓影像的參照區(qū)域的一例的圖。圖7為比較像素補(bǔ)足量偏移時(shí)的影像與修正像素補(bǔ)足量時(shí)的影像的圖。圖8為顯示第2實(shí)施形態(tài)的表面檢查裝置的圖。圖9為顯示第3實(shí)施形態(tài)的表面檢查裝置的圖。圖10為顯示第3實(shí)施形態(tài)的DUV攝影裝置的圖。圖11為顯示攝影構(gòu)件的詳細(xì)的示意圖。圖12為顯示微細(xì)缺陷像成像于攝影構(gòu)件的例的示意圖。圖13為顯示微細(xì)缺陷像與4個(gè)攝影構(gòu)件的位置關(guān)系的示意圖。圖14為顯示影像處理部的影像處理的圖。圖15為顯示第4實(shí)施形態(tài)的DUV攝影裝置的圖。圖16為顯示第5實(shí)施形態(tài)的DUV攝影裝置的圖。圖17為攝影元件的立體圖。圖18為顯示晶圓像成像的情形的圖。
具體實(shí)施例方式以下，參照?qǐng)D式說(shuō)明本發(fā)明較佳實(shí)施形態(tài)。圖1為顯示第1實(shí)施形態(tài)的表面檢查裝置，以此裝置檢查被檢查基板的半導(dǎo)體晶圓W(以下，稱為晶圓W)的表面。第1實(shí)施形態(tài)的表面檢查裝置1具備用以支承大致圓盤(pán)形的晶圓W的載臺(tái)10，通過(guò)未圖示的搬送裝置搬送的晶圓W裝載于載臺(tái)10之上且通過(guò)真空吸附固定保持。載臺(tái)10，以晶圓W的旋轉(zhuǎn)對(duì)稱軸 (載臺(tái)10的中心軸)為旋轉(zhuǎn)軸，將晶圓W支承成可旋轉(zhuǎn)(在晶圓W表面內(nèi)旋轉(zhuǎn))。又，載臺(tái) 10，以通過(guò)晶圓W表面的軸為中心，能使晶圓W傾斜(傾動(dòng))，可調(diào)整照明光的入射角。表面檢查裝置1進(jìn)一步具有對(duì)載臺(tái)10所支承的晶圓W的表面照射照明光(紫外光)作為平行光的照明系統(tǒng)20、將接受照明光的照射時(shí)的來(lái)自晶圓W的繞射光加以聚光的受光系統(tǒng)30、接受受光系統(tǒng)30所聚光的光并拍攝晶圓W的表面像的DUV(深紫外)攝影機(jī) 32、控制部40、及影像處理部45。照明系統(tǒng)20具有射出照明光的照明單元21、及使從照明單元21射出的照明光反射向晶圓W表面的照明側(cè)凹面鏡25。照明單元21具有金屬鹵素?zé)艋蛩y燈等的光源部22、將來(lái)自光源部22的光取出具有紫外域波長(zhǎng)的光并調(diào)節(jié)強(qiáng)度的調(diào)光部23、及將來(lái)自調(diào)光部23的光作為照明光導(dǎo)至照明側(cè)凹面鏡25的光導(dǎo)光纖24。此外，來(lái)自光源部22的光通過(guò)調(diào)光部23，具有紫外域波長(zhǎng)(例如，248nm之波長(zhǎng)) 的紫外光從光導(dǎo)光纖M射出至照明側(cè)凹面鏡25作為照明光，從光導(dǎo)光纖M射出至照明側(cè)凹面鏡25的照明光，由于光導(dǎo)光纖M的射出部配置于照明側(cè)凹面鏡25的焦點(diǎn)面，因此通過(guò)照明側(cè)凹面鏡25成為平行光束照射至載臺(tái)10所保持的晶圓W的表面。此外，照明光對(duì)晶圓W的入射角與出射角的關(guān)系，可通過(guò)使載臺(tái)10傾斜(傾動(dòng))使晶圓W的裝載角度變化來(lái)調(diào)整。來(lái)自晶圓W表面的出射光(繞射光)通過(guò)受光系統(tǒng)30聚光。受光系統(tǒng)30以與載臺(tái)10對(duì)向配置的受光側(cè)凹面鏡31為主體構(gòu)成，由受光側(cè)凹面鏡31所聚光的出射光(繞射光)，經(jīng)過(guò)DUV攝影機(jī)32的物鏡33到達(dá)形成于攝影機(jī)部34的攝影面上，成像為晶圓W的像 (繞射像)。DUV攝影機(jī)32具有上述物鏡33及攝影機(jī)部34、像素補(bǔ)足驅(qū)動(dòng)部35。物鏡33與上述受光側(cè)凹面鏡31偕同動(dòng)作，將來(lái)自晶圓W表面的出射光(繞射光)聚光于攝影機(jī)部34 的攝影面上，在該攝影面上使晶圓W表面的像(繞射像)成像。攝影機(jī)部34，具有圖17所示的攝影元件C，在該攝影元件C的表面形成攝影面。此外，攝影元件C將形成于攝影面上的晶圓W的表面像進(jìn)行光電轉(zhuǎn)換以產(chǎn)生影像信號(hào)，將影像信號(hào)輸出至影像處理部45。像素補(bǔ)足驅(qū)動(dòng)部35，使用壓電元件構(gòu)成，能使具有攝影元件C的攝影機(jī)部34在與攝影面平行及正交的方向O軸方向)移動(dòng)。藉此，能使攝影元件C相對(duì)受光系統(tǒng)30的光軸移動(dòng)，因此能使在攝影面上成像的晶圓W的像相對(duì)攝影元件C在該攝影面上相對(duì)移動(dòng)，通過(guò)具備壓電驅(qū)動(dòng)裝置的像素補(bǔ)足驅(qū)動(dòng)部35，以小于構(gòu)成攝影元件C的像素間隔的移動(dòng)量使攝影元件C移動(dòng)，則能通過(guò)像素補(bǔ)足拍攝晶圓W的像?？刂撇?0控制DUV攝影機(jī)32的像素補(bǔ)足驅(qū)動(dòng)部35或攝影元件C、載臺(tái)10等的作動(dòng)。影像處理部45，根據(jù)從DUV攝影機(jī)32的攝影元件C輸入的晶圓W的影像信號(hào)，產(chǎn)生晶圓W的數(shù)字影像。在影像處理部45的內(nèi)部存儲(chǔ)器(未圖示)預(yù)先儲(chǔ)存良品晶圓的影像數(shù)據(jù)，影像處理部45，在產(chǎn)生晶圓W的影像(數(shù)字影像)時(shí)，比較晶圓W的影像數(shù)據(jù)與良品晶圓的影像數(shù)據(jù)，以檢查在晶圓W表面有無(wú)缺陷(異常)。此外，以未圖示的影像顯示裝置輸出顯示影像處理部45的檢查結(jié)果及此時(shí)的晶圓W的影像。然而，晶圓W在最上層光阻膜的曝光、顯影后，通過(guò)未圖示的搬送系統(tǒng)從未圖示的晶圓匣或顯影裝置搬送至載臺(tái)10上。此外，此時(shí)，晶圓W在以晶圓W的圖案或外緣部(凹口或定向平面等)為基準(zhǔn)進(jìn)行對(duì)準(zhǔn)的狀態(tài)下，搬送至載臺(tái)10上。此外，在晶圓W表面，如圖 6所示，多個(gè)晶片區(qū)域WA(照射區(qū)域)縱橫排列，在各晶片區(qū)域WA之中形成線狀圖案或球狀圖案等的反復(fù)圖案(未圖示)。為了使用以上述方式構(gòu)成的表面檢查裝置1進(jìn)行晶圓W的表面檢查，首先，通過(guò)控制部40的控制，像素補(bǔ)足驅(qū)動(dòng)部35 —邊以小于構(gòu)成攝影元件C的像素間隔的移動(dòng)量使攝影元件C(攝影機(jī)部34)移動(dòng)于與受光系統(tǒng)30的攝影面平行的方向、亦即一邊進(jìn)行像素補(bǔ)足，攝影元件C 一邊拍攝多個(gè)晶圓W的表面像。因此，關(guān)于一邊進(jìn)行像素補(bǔ)足一邊拍攝晶圓 W的表面像的步驟，以下參照?qǐng)D2所示的流程圖進(jìn)行說(shuō)明。首先，設(shè)η = 1 (步驟S101)。接著，判定η是否小于步驟數(shù)S (步驟S102)。此處， 步驟數(shù)S，由于設(shè)像素分割數(shù)為j時(shí)成為jX j，因此錯(cuò)開(kāi)1/2像素的像素補(bǔ)足的情形S = 4， 錯(cuò)開(kāi)1/3像素的像素補(bǔ)足的情形S = 9。又，η為一邊進(jìn)行像素補(bǔ)足一邊拍攝晶圓W的表面像的順序(編號(hào))。圖3為顯示一邊進(jìn)行像素補(bǔ)足一邊拍攝晶圓W的表面像的順序的例。 此外，圖3(a)為錯(cuò)開(kāi)1/2像素的情形，此情形，像素補(bǔ)足驅(qū)動(dòng)部35以構(gòu)成攝影元件C的像素的1/2的移動(dòng)量逐次使攝影元件C移動(dòng)。又，圖3(b)為錯(cuò)開(kāi)1/3像素的情形，此情形，像素補(bǔ)足驅(qū)動(dòng)部35以構(gòu)成攝影元件C的像素的1/3的移動(dòng)量逐次使攝影元件C移動(dòng)。若以上述順序拍攝晶圓W的表面像，則攝影元件C如一筆劃般移動(dòng)，因此不易受到遲滯或反沖的影響，可提升位置控制性，且能高效率使攝影元件C移動(dòng)，縮短拍攝所需的時(shí)間。又，一邊進(jìn)行像素補(bǔ)足一邊拍攝晶圓W的表面像的順序，不為圖3所示的順序亦可。在步驟S102，判定為“是”時(shí)，前進(jìn)至步驟S103，通過(guò)像素補(bǔ)足驅(qū)動(dòng)部35使攝影元件C移動(dòng)至與第η個(gè)像素補(bǔ)足位置對(duì)應(yīng)的坐標(biāo)。接著，在第η個(gè)像素補(bǔ)足位置，攝影元件C 拍攝晶圓W的表面像(步驟S104)，設(shè)η = η+1后(步驟S105)，返回步驟S102。此外，此時(shí)，以在晶圓W表面上的照明方向與圖案的反復(fù)方向一致的方式使載臺(tái)10旋轉(zhuǎn)，且設(shè)圖案的間距為P、照射至晶圓W表面的照明光的波長(zhǎng)為λ、照明光的入射角為Θ1、η次繞射光的出射角為θ 2時(shí)，以惠更斯原理進(jìn)行設(shè)定以滿足下式(1)(使載臺(tái)10傾斜)。P = ηΧ λ / {sin ( θ l)-sin( θ 2)} · · · (1)以上述條件將照明光照射至晶圓W表面時(shí)，來(lái)自照明單元21的光源部22的光通過(guò)調(diào)光部23，具有紫外域波長(zhǎng)(例如，248nm的波長(zhǎng))的紫外光從光導(dǎo)光纖M射出至照明側(cè)凹面鏡25作為照明光，被照明側(cè)凹面鏡25反射的照明光成為平行光束照射至晶圓W的表面。從晶圓W表面射出的繞射光通過(guò)受光側(cè)凹面鏡31聚光，經(jīng)過(guò)DUV攝影機(jī)32的物鏡 33到達(dá)攝影元件C的攝影面上，成像為繞射光的晶圓W的表面像。接著，攝影元件C拍攝形成于攝影面上的晶圓W的像。此時(shí)，攝影元件C將形成于攝影面上的晶圓W的像進(jìn)行光電轉(zhuǎn)換以產(chǎn)生影像信號(hào)，將影像信號(hào)輸出至影像處理部45。另一方面，在步驟S102，判定為“否”時(shí)，亦即，在所有像素補(bǔ)足位置，攝影元件C拍攝晶圓W的表面像時(shí)，前進(jìn)至步驟S106，設(shè)η = 1后，在次一步驟S107，通過(guò)像素補(bǔ)足驅(qū)動(dòng)部35使攝影元件C移動(dòng)至與第η個(gè)(第1個(gè))像素補(bǔ)足位置對(duì)應(yīng)的坐標(biāo)。接著，在次一步驟S108，根據(jù)在所有像素補(bǔ)足位置攝影元件C拍攝的多個(gè)晶圓W的影像，影像處理部45產(chǎn)生晶圓W的合成影像，并結(jié)束處理。此時(shí)，影像處理部45，對(duì)在所有像素補(bǔ)足位置攝影元件C拍攝的多個(gè)晶圓W的影像的各像素，一邊進(jìn)行像素補(bǔ)足一邊依照拍攝順序排列合成，產(chǎn)生晶圓W的合成影像。例如，錯(cuò)開(kāi)1/2像素的像素補(bǔ)足的情形，如圖 4所示，若設(shè)在第η個(gè)(n = 1 4)步驟取得的KXL像素的影像中任意像素的坐標(biāo)為(k， l，n)，則如圖4所示將像素逐次4個(gè)(依拍攝順序)排列合成，如圖5(b)所示，原本成像在攝影元件C的不感光區(qū)域(攝影面)的像的亮度數(shù)據(jù)再現(xiàn)于影像上。此外，圖4所示的錯(cuò)開(kāi)1/2像素的像素補(bǔ)足的情形，合成影像的像素?cái)?shù)成為IX 2L(攝影時(shí)像素?cái)?shù)的4倍)。以此方式拍攝晶圓W的像時(shí)，若像素補(bǔ)足驅(qū)動(dòng)部35的攝影元件C的移動(dòng)量(像素補(bǔ)足量)不適當(dāng)，則會(huì)有無(wú)法取得成像于攝影元件C的不感光區(qū)域的像的信息之虞。又，影像包含晶片區(qū)域的邊緣部的情形時(shí)，若像素補(bǔ)足量不適當(dāng)則出現(xiàn)于邊緣部影像的階度會(huì)出現(xiàn)偏差(晶片切割路徑的部分的亮度信息混入)，因此如圖7(a)所示，導(dǎo)致邊緣部產(chǎn)生不自然缺陷等，降低合成影像的畫(huà)質(zhì)。為了避免上述情況，在晶圓W的檢查前預(yù)先如前所述的一邊進(jìn)行像素補(bǔ)足一邊拍攝晶圓W的表面像，進(jìn)行像素補(bǔ)足驅(qū)動(dòng)部35的實(shí)際的像素補(bǔ)足量 (攝影元件C的移動(dòng)量)的測(cè)定，求出目標(biāo)的理想像素補(bǔ)足量(攝影元件C的移動(dòng)量)與實(shí)際像素補(bǔ)足量(攝影元件C的移動(dòng)量)之差，修正控制部40對(duì)像素補(bǔ)足驅(qū)動(dòng)部35的控制量(驅(qū)動(dòng)信號(hào))以消除該差，實(shí)現(xiàn)適當(dāng)?shù)南袼匮a(bǔ)足驅(qū)動(dòng)。具體而言，首先，設(shè)在第1個(gè)(n = 1)步驟取得的影像為基準(zhǔn)影像，設(shè)圖6中以一點(diǎn)鏈線的框圍繞的3個(gè)區(qū)域(晶圓W的中心部及左右外周部附近的區(qū)域)為參照區(qū)域WS。 所得的影像中圖案的邊緣部，通過(guò)受光系統(tǒng)30的光學(xué)性能或圖案形成時(shí)的形成條件獲得為具有階度的像。亦即，在與邊緣的延伸方向正交的方向排列的像素，從有圖案的部分朝向無(wú)圖案的部分遍布數(shù)個(gè)像素具有亮度變化。本實(shí)施形態(tài)中，通過(guò)影像處理從亮度變化以子像素單位求出邊緣的位置。接著，通過(guò)影像處理測(cè)定在第2個(gè)以后的各步驟取得的影像的參照區(qū)域WS相對(duì)基準(zhǔn)影像的參照區(qū)域WS的位移(亦即，像素補(bǔ)足量)。此時(shí)，利用晶圓 W的晶片區(qū)域與晶片切割路徑之間的亮度差，通過(guò)影像處理以子像素單位檢測(cè)參照區(qū)域WS 中晶片區(qū)域的邊緣部的位置，與上述基準(zhǔn)影像相同，從各步驟的邊緣部的位移量求出參照區(qū)域WS的影像位移。接著，算出在各步驟的影像位移(像素補(bǔ)足量)與理想的影像位移(像素補(bǔ)足量) 之差，修正控制部40對(duì)像素補(bǔ)足驅(qū)動(dòng)部35的控制量(對(duì)2軸方向的驅(qū)動(dòng)信號(hào))以消除該差。又，對(duì)3個(gè)參照區(qū)域WS分別求出影像位移量，以在3個(gè)參照區(qū)域WS滿足的方式修正可提高像素補(bǔ)足的精度。此外，該等修正是對(duì)X、Y兩者的驅(qū)動(dòng)軸方向進(jìn)行。藉此，由于能使像素在攝影元件C的排列方向與像素補(bǔ)足驅(qū)動(dòng)部35的驅(qū)動(dòng)方向平行，因此能使在晶圓W表面的攝影感度均勻，能獲得如圖7(b)所示無(wú)邊緣部的缺陷、誤差較少的合成影像。此外，為了提升像素補(bǔ)足量的測(cè)定精度，至少必須在晶圓W的左右外周部附近的2個(gè)部位設(shè)定參照區(qū)域WS。又，若在晶圓W的中心部及以該中心部為基準(zhǔn)的上下及左右對(duì)稱的區(qū)域(5個(gè)區(qū)域) 設(shè)定參照區(qū)域WS則更佳。根據(jù)以上述方式一邊進(jìn)行像素補(bǔ)足攝影元件C 一邊拍攝的多個(gè)晶圓W的影像，影像處理部45產(chǎn)生晶圓W的合成影像時(shí)，影像處理部45比較晶圓W的影像數(shù)據(jù)與良品晶圓的影像數(shù)據(jù)，檢查在晶圓W表面有無(wú)缺陷(異常)。接著，以未圖示的影像顯示裝置輸出顯示影像處理部45的檢查結(jié)果及此時(shí)的晶圓W的影像(合成影像)。然而，如上述，為了使用短波長(zhǎng)的光而必須使用孔徑率小的攝影元件的表面檢查裝置中，由于攝影元件的孔徑率小因此不感光區(qū)域廣，在攝影面成像的像的信息的缺少區(qū)域變大，導(dǎo)至像的再現(xiàn)性降低、檢查精度降低。又，由于到達(dá)攝影元件的受光部的光較少，因此受光感度變低，此外，由于半導(dǎo)體圖案間距的微細(xì)化從圖案產(chǎn)生的繞射光的光量變小，因此導(dǎo)至檢查信號(hào)的感度的二重降低。相對(duì)于此，為了取得可使用于檢查程度的檢查影像增加攝影部的曝光時(shí)間時(shí)，產(chǎn)生噪聲導(dǎo)致的感度降低與產(chǎn)率降低的不良影響。又，若欲制造提升受光感度的攝影元件，則無(wú)法避免龐大的開(kāi)發(fā)、制造成本。相對(duì)于此，根據(jù)第1實(shí)施形態(tài)的表面檢查裝置1，根據(jù)一邊進(jìn)行像素補(bǔ)足攝影元件 C 一邊拍攝的多個(gè)晶圓W的影像，影像處理部45產(chǎn)生晶圓W的合成影像，因此能使在攝影元件C的不感光區(qū)域(攝影面)成像的像的亮度數(shù)據(jù)在影像上再現(xiàn)，可縮小不感光區(qū)域的影響提升檢查精度。此外，通過(guò)像素補(bǔ)足驅(qū)動(dòng)部35使攝影元件C在與受光系統(tǒng)30的攝影面平行的方向移動(dòng)，能使在攝影面上成像的晶圓W的像相對(duì)攝影元件C高精度移動(dòng)(高精度進(jìn)行像素補(bǔ)足)。又，影像處理部45，以消除實(shí)際的像素補(bǔ)足量(相對(duì)移動(dòng)量)與目標(biāo)的理想像素補(bǔ)足量(相對(duì)移動(dòng)量)的差的方式，修正控制部40對(duì)像素補(bǔ)足驅(qū)動(dòng)部35的控制量，能使像素在攝影元件C的排列方向與像素補(bǔ)足驅(qū)動(dòng)部35的驅(qū)動(dòng)方向平行，因此能獲得誤差較少的合成影像。又，此時(shí)，在晶圓W的影像設(shè)定多個(gè)參照區(qū)域WS，一邊進(jìn)行像素補(bǔ)足一邊分別求出拍攝的多個(gè)晶圓W的影像的參照區(qū)域WS的位置，若測(cè)定實(shí)際的像素補(bǔ)足量(相對(duì)移動(dòng)量)， 則能高精度測(cè)定實(shí)際的像素補(bǔ)足量。此外，上述第1實(shí)施形態(tài)中，為了實(shí)現(xiàn)適當(dāng)?shù)南袼匮a(bǔ)足驅(qū)動(dòng)，雖修正像素補(bǔ)足驅(qū)動(dòng)部35的驅(qū)動(dòng)量，但并不限于此，除了像素補(bǔ)足驅(qū)動(dòng)部35之外，修正載臺(tái)10的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)量亦可。接著，說(shuō)明表面檢查裝置的第2實(shí)施形態(tài)。第2實(shí)施形態(tài)的表面檢查裝置101，如圖8所示，具備用以支承晶圓W的載臺(tái)部110、對(duì)載臺(tái)部110所支承的晶圓W的表面照射照明光(紫外光)作為平行光的照明系統(tǒng)20、將接受照明光的照射時(shí)的來(lái)自晶圓W的繞射光加以聚光的受光系統(tǒng)130、接受受光系統(tǒng)130所聚光的光并拍攝晶圓W的表面像的DUV攝影機(jī)132、控制部140、及影像處理部145。載臺(tái)部110具有θ載臺(tái)111、Χ載臺(tái)112、Υ載臺(tái)113，通過(guò)未圖示的搬送裝置搬送的晶圓W裝載于θ載臺(tái)111之上且通過(guò)真空吸附固定保持。θ載臺(tái)111，以晶圓W的旋轉(zhuǎn)對(duì)稱軸(Θ載臺(tái)111的中心軸)為旋轉(zhuǎn)軸，將晶圓W支承成可旋轉(zhuǎn)(在晶圓W表面內(nèi)旋轉(zhuǎn))。又，θ載臺(tái)111，以通過(guò)晶圓W表面的軸為中心，能使晶圓W傾斜(傾動(dòng))，可調(diào)整照明光的入射角。X載臺(tái)112將θ載臺(tái)111支承成可朝圖8中左右方向移動(dòng)。Y載臺(tái)113將 θ載臺(tái)111及X載臺(tái)112支承成可朝圖8中前后方向移動(dòng)。亦即，通過(guò)X載臺(tái)112及Y載臺(tái)113，能使θ載臺(tái)111所支承的晶圓W在大致水平面內(nèi)移動(dòng)于前后左右方向。照明系統(tǒng)20與第1實(shí)施形態(tài)的照明系統(tǒng)20構(gòu)成相同，賦予相同符號(hào)以省略詳細(xì)說(shuō)明。受光系統(tǒng)130以與載臺(tái)部110( θ載臺(tái)111)對(duì)向配置的受光側(cè)凹面鏡131為主體構(gòu)成，由受光側(cè)凹面鏡131所聚光的出射光(繞射光)，經(jīng)過(guò)DUV攝影機(jī)132的物鏡133到達(dá)形成于攝影機(jī)部134的攝影面上，成像為晶圓W的像。如上述，由于受光側(cè)凹面鏡131與載臺(tái)部110( θ載臺(tái)111)對(duì)向配置，因此通過(guò)X載臺(tái)112及Y載臺(tái)113，能使θ載臺(tái)111所支承的晶圓W相對(duì)受光系統(tǒng)130的光軸移動(dòng)于直角方向O軸方向)，能使在攝影面上成像的晶圓W的像相對(duì)攝影元件C在該攝影面上移動(dòng)，因此若以小于構(gòu)成攝影元件C的像素間隔的移動(dòng)量使晶圓W的像相對(duì)移動(dòng)，則能通過(guò)像素補(bǔ)足拍攝晶圓W的像。DUV攝影機(jī)132具有上述物鏡133及攝影機(jī)部134。物鏡133與上述受光側(cè)凹面鏡131偕同動(dòng)作，將來(lái)自晶圓W表面的出射光(繞射光)聚光于攝影機(jī)部134的攝影面上， 在該攝影面上使晶圓W表面的像成像。攝影機(jī)部134，具有圖17所示的攝影元件C，在該攝影元件C的表面形成攝影面。此外，攝影元件C將形成于攝影面上的晶圓W的表面像進(jìn)行光電轉(zhuǎn)換以產(chǎn)生影像信號(hào)，將影像信號(hào)輸出至影像處理部145?？刂撇?40控制DUV攝影機(jī)132的攝影元件C、載臺(tái)部110等的作動(dòng)。影像處理部 145，根據(jù)從DUV攝影機(jī)132的攝影元件C輸入的晶圓W的影像信號(hào)，與第1實(shí)施形態(tài)同樣地，產(chǎn)生晶圓W的合成影像，且根據(jù)產(chǎn)生的晶圓W的合成影像，與第1實(shí)施形態(tài)同樣地，檢查在晶圓W表面有無(wú)缺陷(異常)。以上述方式構(gòu)成的第2實(shí)施形態(tài)的表面檢查裝置101，取代第1實(shí)施形態(tài)的像素補(bǔ)足驅(qū)動(dòng)部35，使用X載臺(tái)112及Y載臺(tái)113，使θ載臺(tái)111所支承的晶圓W在和與受光系統(tǒng)130的攝影面共軛之面平行的方向O軸方向)移動(dòng)，則能使在攝影面上成像的晶圓W的像相對(duì)攝影元件C在該攝影面上移動(dòng)。因此，通過(guò)控制部140的控制，一邊使θ載臺(tái)111 所支承的晶圓W在和與受光系統(tǒng)130的攝影面共軛之面平行的方向O軸方向)移動(dòng)、亦即一邊進(jìn)行像素補(bǔ)足，與第1實(shí)施形態(tài)同樣地，攝影元件C 一邊拍攝多個(gè)晶圓W的表面像。此外，影像處理部145，與第1實(shí)施形態(tài)同樣地，根據(jù)一邊進(jìn)行像素補(bǔ)足攝影元件C一邊拍攝的多個(gè)晶圓W的影像，產(chǎn)生晶圓W的合成影像，且根據(jù)產(chǎn)生的晶圓W的合成影像，檢查在晶圓 W表面有無(wú)缺陷(異常)。此外，以未圖示的影像顯示裝置輸出顯示影像處理部145的檢查結(jié)果及此時(shí)的晶圓W的影像。如上所述，根據(jù)第2實(shí)施形態(tài)的表面檢查裝置101，能獲得與第1實(shí)施形態(tài)同樣的效果。此外，相對(duì)物體面的晶圓W表面在攝影面上成像的晶圓W的表面像通過(guò)受光系統(tǒng)130 改變倍率，因此控制部140以從晶圓W的像相對(duì)攝影元件C的移動(dòng)量(像素補(bǔ)足量)獲得對(duì)應(yīng)受光系統(tǒng)130的成像倍率換算的θ載臺(tái)111的移動(dòng)量的方式，控制X載臺(tái)112及Y載臺(tái)113的作動(dòng)。具體而言，設(shè)受光系統(tǒng)130的成像倍率為β、構(gòu)成攝影元件C的像素的尺寸為L(zhǎng)、像素分割數(shù)為j時(shí)，以β XL/j的移動(dòng)量使θ載臺(tái)111逐次移動(dòng)。以此方式，使用X 載臺(tái)112及Y載臺(tái)113使θ載臺(tái)111所支承的晶圓W相對(duì)受光系統(tǒng)130的光軸移動(dòng)于直角方向，則能以較簡(jiǎn)單的構(gòu)成使晶圓W的像相對(duì)攝影元件C移動(dòng)。又，第2實(shí)施形態(tài)中，為了實(shí)現(xiàn)適當(dāng)?shù)南袼匮a(bǔ)足驅(qū)動(dòng)，替代第1實(shí)施形態(tài)的像素補(bǔ)足驅(qū)動(dòng)部35，修正控制部140對(duì)X載臺(tái)112及Y載臺(tái)113的控制量即可。再者，除了 X載臺(tái) 112及Y載臺(tái)113的修正外，修正θ載臺(tái)111的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)量亦可。此外，上述第1 第2實(shí)施形態(tài)中，雖利用在晶圓W表面產(chǎn)生的繞射光檢查晶圓W 表面，但并不限于此，利用在晶圓W表面產(chǎn)生的散射光檢查晶圓W表面的表面檢查裝置中亦可適用。又，上述第1 第2實(shí)施形態(tài)中，雖檢查晶圓W表面，但并不限于此，例如檢查玻璃基板表面亦可。接著，說(shuō)明表面檢查裝置的第3實(shí)施形態(tài)。圖9為顯示第3實(shí)施形態(tài)的表面檢查裝置，以此裝置檢查半導(dǎo)體基板的半導(dǎo)體晶圓W(以下，稱為晶圓W)的表面。第3實(shí)施形態(tài)的表面檢查裝置201具備用以支承大致圓盤(pán)形的晶圓W的載臺(tái)210，通過(guò)未圖示的搬送裝置搬送的晶圓W裝載于載臺(tái)210之上且通過(guò)真空吸附固定保持。載臺(tái)210，以晶圓W的旋轉(zhuǎn)對(duì)稱軸(載臺(tái)210的中心軸)為旋轉(zhuǎn)軸，將晶圓W支承成可旋轉(zhuǎn)(在晶圓W表面內(nèi)旋轉(zhuǎn))。 又，載臺(tái)210，以通過(guò)晶圓W表面的軸為中心，能使晶圓W傾斜(傾動(dòng))，可調(diào)整照明光的入射角。表面檢查裝置201進(jìn)一步具有對(duì)載臺(tái)210所支承的晶圓W的表面照射照明光(紫外光)作為平行光的照明系統(tǒng)220、將接受照明光的照射時(shí)的來(lái)自晶圓W的繞射光加以聚光的受光系統(tǒng)230、接受受光系統(tǒng)230所聚光的光并拍攝晶圓W的表面像的DUV攝影裝置250、 及影像處理部對(duì)5。照明系統(tǒng)220具有射出照明光的照明單元221、及使從照明單元221射出的照明光反射向晶圓W表面的照明側(cè)凹面鏡225。照明單元221具有金屬鹵素?zé)艋蛩y燈等的光源部222、將來(lái)自光源部222的光取出具有紫外域波長(zhǎng)的光并調(diào)節(jié)強(qiáng)度的調(diào)光部 223、及將來(lái)自調(diào)光部223的光作為照明光導(dǎo)至照明側(cè)凹面鏡225的光導(dǎo)光纖224。此外，來(lái)自光源部222的光通過(guò)調(diào)光部223，具有紫外域波長(zhǎng)(例如，248nm的波長(zhǎng))的紫外光從光導(dǎo)光纖2M射出至照明側(cè)凹面鏡225作為照明光，從光導(dǎo)光纖2M射出至照明側(cè)凹面鏡225的照明光，由于光導(dǎo)光纖224的射出部配置于照明側(cè)凹面鏡225的焦點(diǎn)面，因此通過(guò)照明側(cè)凹面鏡225成為平行光束照射至載臺(tái)210所保持的晶圓W的表面。此外，照明光對(duì)晶圓W的入射角與出射角的關(guān)系，可通過(guò)使載臺(tái)210傾斜(傾動(dòng))使晶圓W的裝載角度變化來(lái)調(diào)整。來(lái)自晶圓W表面的出射光(繞射光)通過(guò)受光系統(tǒng)230聚光。受光系統(tǒng)230以與載臺(tái)210對(duì)向配置的受光側(cè)凹面鏡231為主體構(gòu)成，由受光側(cè)凹面鏡231所聚光的出射光 (繞射光)，到達(dá)DUV攝影裝置250的攝影面上，成像為晶圓W的像(繞射像)。DUV攝影裝置250，如圖10所示，具有透鏡群251、3個(gè)分束器252 254、反射鏡 255,4個(gè)成像透鏡258a 258d、及4個(gè)攝影構(gòu)件^Oa ^0d。被受光側(cè)凹面鏡231反射的來(lái)自晶圓W表面的出射光(繞射光)射入DUV攝影裝置250后，透射過(guò)透鏡群251成為平行光。透射過(guò)透鏡群251所獲得的平行光(繞射光)射入第1分束器252。此時(shí)，入射的平行光的1/4被第1分束器252反射，通過(guò)第1成像透鏡258a所聚光后成像于第1攝影構(gòu)件^Oa的攝影面上。另一方面，入射的平行光的3/4透射過(guò)第1分束器252，射入第2分束器253。此時(shí)，入射的平行光的1/3被第2分束器253反射，通過(guò)第2成像透鏡258b所聚光后成像于第2攝影構(gòu)件^Ob的攝影面上。另一方面，射入第2分束器253的平行光的2/3透射過(guò)第2分束器253，射入第3 分束器254。此時(shí)，入射的平行光的1/2被第3分束器2M反射，通過(guò)第3成像透鏡258c所聚光后成像于第3攝影構(gòu)件^Oc的攝影面上。另一方面，射入第3分束器254的平行光的 1/2透射過(guò)第3分束器254，被反射鏡255大致100%反射，通過(guò)第4成像透鏡258d所聚光后成像于第4攝影構(gòu)件^Od的攝影面上。此外，作為第1 第3分束器252 254，可使用例如以在平行玻璃基板等蒸鍍金屬膜或電介質(zhì)膜而成為所欲特性的方式制作的半反射鏡。 又，作為反射鏡255，可使用例如在玻璃基板等蒸鍍金屬膜等制作的反射鏡。在4個(gè)攝影構(gòu)件^Oa ^Od的表面上分別形成攝影面。此外，各攝影構(gòu)件^Oa ^Od將形成于攝影面上的晶圓W的表面像進(jìn)行光電轉(zhuǎn)換以產(chǎn)生影像信號(hào)，將影像信號(hào)輸出至影像處理部對(duì)5。接著，針對(duì)在4個(gè)攝影構(gòu)件^Oa ^OcK以下，適當(dāng)總稱為攝影構(gòu)件 260)的攝影面上分別成像的晶圓W的像與攝影構(gòu)件260的位置關(guān)系進(jìn)行說(shuō)明。圖11(a)為以示意方式顯示攝影構(gòu)件260的圖，圖11 (b)為顯示在攝影構(gòu)件260的各像素區(qū)域?qū)嶋H上受光的受光區(qū)域261a與不感光區(qū)域^lb ^ld。亦即，圖11(b)所示的像素區(qū)域集中形成圖11 (a)所示的攝影構(gòu)件沈0的受光面(攝影面)。此外，圖11 圖13中，為圖示方便像素區(qū)域261的右下區(qū)域成為受光區(qū)域^la。接著，使用圖12對(duì)微細(xì)缺陷像成像于攝影構(gòu)件沈0的攝影面上的例進(jìn)行說(shuō)明。圖 12為顯示缺陷270的像成像于攝影構(gòu)件沈0的攝影面上的狀態(tài)的圖。從圖12(a)可知，由于缺陷270的兩端進(jìn)入受光區(qū)域^la,因此能產(chǎn)生缺陷270的影像信號(hào)，但由于其他部分未進(jìn)入受光區(qū)域261a，因此無(wú)法產(chǎn)生影像信號(hào)。假設(shè)實(shí)際的攝影像的情形，從受光區(qū)域^la 產(chǎn)生影像信號(hào)時(shí)判斷為在像素區(qū)域261有像，因此影像信號(hào)視為如圖12(b)所示般(從涂黑的像素區(qū)域261)產(chǎn)生，在影像處理部245產(chǎn)生圖12(c)所示的影像作為最終像。因此， 其結(jié)果，成為與缺陷270的形狀完全不同的形狀(如涂黑的部分)。因此，本實(shí)施形態(tài)中，相對(duì)晶圓W的像將4個(gè)攝影構(gòu)件^Oa ^Od分別配置成晶圓W的像錯(cuò)開(kāi)像素間隔的1/2成像。此外，像素間隔是相鄰像素區(qū)域的像素中心間的間隔。此處，關(guān)于各攝影構(gòu)件沈如 沈0(1的配置，使用圖13及圖14詳細(xì)進(jìn)行說(shuō)明。圖 13(a)為顯示缺陷270與第1攝影構(gòu)件^Oa的像素的位置關(guān)系。同樣地，圖13(b)為顯示缺陷270與第2攝影構(gòu)件^Ob的像素的位置關(guān)系，圖13 (c)為顯示缺陷270與第3攝影構(gòu)件^Oc的像素的位置關(guān)系，圖13(d)為顯示缺陷270與第4攝影構(gòu)件^Od的像素的位置關(guān)系。又，圖13 (a’) (d’)為分別將圖13(a) (d)中橢圓圍繞的部分裁切出顯示。從此等圖可知，由于相對(duì)晶圓W的像將4個(gè)攝影構(gòu)件^Oa ^Od分別配置成錯(cuò)開(kāi)像素間隔的1/2，因此各攝影構(gòu)件^Oa ^Od的不感光區(qū)域^lb ^ld彼此補(bǔ)足。此外，如圖10所示，第1 第4攝影構(gòu)件^Oa ^Od分別通過(guò)第1 第4保持機(jī)構(gòu) 保持成可(往與光軸垂直的方向)調(diào)整位置，通過(guò)各保持機(jī)構(gòu)
以分別錯(cuò)開(kāi)像素間隔的1/2的方式(以各攝影構(gòu)件^Oa ^Od的不感光區(qū)域^lb ^ld 彼此補(bǔ)足的方式)設(shè)定調(diào)整配置。又，并不限于此，第1 第4攝影構(gòu)件^Oa ^Od為分別以錯(cuò)開(kāi)像素間隔的1/2之方式預(yù)先固定保持于保持構(gòu)件(未圖示)亦可。圖14為顯示影像處理部M5的影像處理的圖。圖14(a)為將圖13(a) (d)所示的各像素區(qū)域261加以合成的影像。圖14(a)中，圖14(a)中從左上往右下延伸的斜線區(qū)域相當(dāng)于第1攝影構(gòu)件^Oa的受光區(qū)域^la,圖14 (a)中縱線區(qū)域相當(dāng)于第 2攝影構(gòu)件^Ob的受光區(qū)域^la,圖14(a)中從右上往左下延伸的斜線區(qū)域相當(dāng)于第3攝影構(gòu)件^Oc的受光區(qū)域^la,圖14 (a)中橫線區(qū)域相當(dāng)于第4攝影構(gòu)件^Od 的受光區(qū)域261a。由于影像處理部對(duì)5以圖14(a)所示的位置關(guān)系(亦即，在縱橫錯(cuò)開(kāi)像素間隔之1/2的位置關(guān)系)將各攝影構(gòu)件^Oa ^Od所獲得的像加以合成，因此各攝影構(gòu)件沈Oa ^Od的不感光區(qū)域^lb ^ld彼此補(bǔ)足，可產(chǎn)生圖14(b)所示的合成影像。 從圖14(b)可知缺陷270的形狀(如涂黑的部分)大致再現(xiàn)。此外，作為第1 第3分束器252 254，使用例如以在平行玻璃基板等蒸鍍金屬膜或電介質(zhì)膜而成為所欲特性的方式制作的半反射鏡的情形，針對(duì)1個(gè)波長(zhǎng)能較容易設(shè)計(jì)、制作成成為所欲性能(反射率或透射率等)。然而，針對(duì)多個(gè)波長(zhǎng)同樣地設(shè)計(jì)、制作成成為所欲性能需要高度的技術(shù)，而會(huì)導(dǎo)致成本增加。此時(shí)，設(shè)計(jì)、制作成在使用頻率最高的波長(zhǎng)(例如365nm)呈現(xiàn)所欲性能，針對(duì)其他波長(zhǎng)預(yù)先求出反射率或透射率并儲(chǔ)存于影像處理部M5，在將影像加以合成時(shí)調(diào)整各影像的增益可獲得良好的合成影像。影像處理部M5，根據(jù)從DUV攝影裝置250的4個(gè)構(gòu)件^Oa ^Od輸入的影像信號(hào)，產(chǎn)生以上述方式進(jìn)行像素補(bǔ)足的晶圓W的合成影像。在影像處理部M5的內(nèi)部存儲(chǔ)器 (未圖示)預(yù)先儲(chǔ)存良品晶圓的影像數(shù)據(jù)，影像處理部M5，在產(chǎn)生晶圓W的合成影像時(shí)，比較晶圓W的影像數(shù)據(jù)與良品晶圓的影像數(shù)據(jù)，以檢查在晶圓W表面有無(wú)缺陷(異常)。此外，以未圖示的影像顯示裝置輸出顯示影像處理部M5的檢查結(jié)果及此時(shí)的晶圓W的影像 (合成影像)。然而，晶圓W在最上層光阻膜的曝光、顯影后，通過(guò)未圖示的搬送裝置從未圖示的晶圓匣或顯影裝置搬送至載臺(tái)210上。此外，此時(shí)，晶圓W在以晶圓W的圖案或外緣部(凹口或定向平面等)為基準(zhǔn)進(jìn)行對(duì)準(zhǔn)的狀態(tài)下，搬送至載臺(tái)210上。此外，雖省略詳細(xì)圖示， 在晶圓W表面，多個(gè)晶片區(qū)域(照射區(qū)域)縱橫排列，在各晶片區(qū)域之中形成線狀圖案或球狀圖案等的反復(fù)圖案。為了使用以上述方式構(gòu)成的表面檢查裝置201進(jìn)行晶圓W的表面檢查，首先，通過(guò)未圖示的搬送裝置，將晶圓W搬送至載臺(tái)210上。此外，在搬送途中通過(guò)未圖示的對(duì)準(zhǔn)機(jī)構(gòu)取得形成于晶圓W表面的圖案的位置信息，可將晶圓W以既定方向裝載于載臺(tái)210上的既定位置。接著，以在晶圓W表面上的照明方向與圖案的反復(fù)方向一致的方式使載臺(tái)210旋轉(zhuǎn)，且設(shè)圖案的間距為P、照射至晶圓W表面的照明光的波長(zhǎng)為λ、照明光的入射角為θ Un 次繞射光的出射角為θ 2時(shí)，以惠更斯原理進(jìn)行設(shè)定以滿足上述式(1)(使載臺(tái)210傾斜)。 此外，此處，再次揭示上述式(1)。P = ηΧ λ / {sin ( θ l)-sin( θ 2)} · · · (1)以上述條件將照明光照射至晶圓W表面時(shí)，來(lái)自照明單元221的光源部222的光通過(guò)調(diào)光部223，具有紫外域波長(zhǎng)(例如，248nm的波長(zhǎng))的紫外光從光導(dǎo)光纖2M射出至照明側(cè)凹面鏡225作為照明光，被照明側(cè)凹面鏡225反射的照明光成為平行光束照射至晶圓W的表面。從晶圓W表面射出的繞射光通過(guò)受光側(cè)凹面鏡231聚光，射入DUV攝影裝置 250，透射過(guò)透鏡群251成為平行光。透射過(guò)透鏡群251所獲得的平行光(繞射光)通過(guò)第 1 第3分束器252 2M及反射鏡255分歧成4個(gè)平行光束。分歧后的4個(gè)平行光束分別通過(guò)第1 第4成像透鏡258a 258d聚光，到達(dá)第1 第4攝影構(gòu)件^Oa ^Od的攝影面上，成像為晶圓W的像。第1 第4攝影構(gòu)件^Oa ^Od將形成于攝影面上的晶圓W的表面像進(jìn)行光電轉(zhuǎn)換以產(chǎn)生影像信號(hào)，將影像信號(hào)輸出至影像處理部對(duì)5。影像處理部M5，根據(jù)從4個(gè)攝影構(gòu)件^Oa ^Od輸入的影像信號(hào)，產(chǎn)生以上述方式進(jìn)行像素補(bǔ)足的晶圓W的合成影像。 又，影像處理部對(duì)5，在產(chǎn)生晶圓W的合成影像時(shí)，比較晶圓W的影像數(shù)據(jù)與良品晶圓的影像數(shù)據(jù)，以檢查在晶圓W表面有無(wú)缺陷(異常)。此外，以未圖示的影像顯示裝置輸出顯示影像處理部M5的檢查結(jié)果及此時(shí)的晶圓W的影像(合成影像)。如上述，根據(jù)第3實(shí)施形態(tài)的表面檢查裝置201，根據(jù)以拍攝時(shí)不感光區(qū)域^lb 261d彼此補(bǔ)足的方式配置的多個(gè)攝影構(gòu)件^Oa ^Od分別拍攝的晶圓W的影像，影像處理部245產(chǎn)生晶圓W的合成影像以進(jìn)行晶圓W的表面檢查，因此能使在攝影構(gòu)件的不感光區(qū)域成像的像的亮度數(shù)據(jù)在影像上再現(xiàn)，可縮小不感光區(qū)域的影響提升檢查精度。此外，不驅(qū)動(dòng)各攝影構(gòu)件^Oa 260d，影像處理部M5即可產(chǎn)生進(jìn)行像素補(bǔ)足的晶圓W的合成影像，因此可進(jìn)行可靠度高的像素補(bǔ)足。又，多個(gè)攝影構(gòu)件^0a ^Od之中一個(gè)攝影構(gòu)件的受光區(qū)域沈1 接受在其他攝影構(gòu)件到達(dá)不感光區(qū)域^lb ^ld的來(lái)自晶圓W表面的光形成的像，可進(jìn)行高效率的像素補(bǔ)足。又，通過(guò)第1 第3分束器252 2M將來(lái)自晶圓W表面的光分歧成多個(gè)光束，通過(guò)第1 第4成像透鏡258a 258d分別聚光成像于各攝影構(gòu)件^Oa ^Od的攝影面上， 可一次拍攝用以進(jìn)行像素補(bǔ)足的多個(gè)影像。又，本實(shí)施形態(tài)，相對(duì)晶圓W的像將攝影構(gòu)件錯(cuò)開(kāi)像素間隔的1/2配置的情形，較佳為，使用4個(gè)攝影構(gòu)件^Oa ^0d。接著，使用圖15說(shuō)明表面檢查裝置的第4實(shí)施形態(tài)。第4實(shí)施形態(tài)的表面檢查裝置，與第3實(shí)施形態(tài)的表面檢查裝置201相較，僅DUV攝影裝置250的構(gòu)成不同，其他構(gòu)成皆相同，因此對(duì)相同構(gòu)件賦予相同符號(hào)以省略詳細(xì)說(shuō)明。第4實(shí)施形態(tài)的DUV攝影裝置觀0，如圖15(a)所示，具有透鏡群251、分歧光學(xué)元件觀2、4個(gè)成像透鏡^3a ^3d、及4 個(gè)攝影構(gòu)件260a ^0d。此外，4個(gè)成像透鏡 之中，第2成像透鏡觀北及第 4成像透鏡觀3(1在圖15(a)中省略圖示。又，4個(gè)攝影構(gòu)件^Oa ^Od之中，第2攝影構(gòu)件^Ob及第4攝影構(gòu)件^Od在圖15(a)中省略圖示。第4實(shí)施形態(tài)中，與第3實(shí)施形態(tài)相同，從晶圓W表面射出的繞射光通過(guò)受光側(cè)凹面鏡231聚光，射入DUV攝影裝置觀0，透射過(guò)透鏡群251成為平行光。透射過(guò)透鏡群251 所獲得的平行光(繞射光)射入分歧光學(xué)元件觀2。分歧光學(xué)元件觀2，如圖15(b)所示， 具有在四角柱的一面(頂部)組合正四角錐的形狀、無(wú)色透明且低色散的一體光學(xué)元件。 此種分歧光學(xué)元件觀2，配置成四角柱部觀加的延伸方向(與四角錐底面連接的棱線)與平行光的行進(jìn)方向一致，且四角錐部 2b的頂點(diǎn)與平行光的中心一致。因此，從四角柱部 282a的底面射入分歧光學(xué)元件觀2內(nèi)部的平行光，從與四角錐部的頂點(diǎn)相連的4個(gè)側(cè)面均勻地以既定角度分歧射出。從分歧光學(xué)元件282分歧射出的4個(gè)平行光束，分別通過(guò)第1 第4成像透鏡 聚光，成像于第1 第4攝影構(gòu)件^Oa ^Od的攝影面上。第1 第4攝影構(gòu)件^Oa 260d，與第3實(shí)施形態(tài)相同，分別通過(guò)上述保持機(jī)構(gòu)沈如 沈5(1等配置成相對(duì)晶圓W的像彼此錯(cuò)開(kāi)像素間隔的1/2(亦即，拍攝時(shí)不感光區(qū)域彼此補(bǔ)足)，將形成于攝影面上的晶圓W的表面像進(jìn)行光電轉(zhuǎn)換以產(chǎn)生影像信號(hào)，將影像信號(hào)輸出至影像處理部對(duì)5。此外，影像處理部M5，根據(jù)從4個(gè)攝影構(gòu)件^Oa ^Od輸入的影像信號(hào)，與第3實(shí)施形態(tài)相同產(chǎn)生進(jìn)行像素補(bǔ)足的晶圓W的合成影像，使用產(chǎn)生的晶圓 W的合成影像檢查在晶圓W表面有無(wú)缺陷(異常)。如上述，根據(jù)第4實(shí)施形態(tài)，可獲得與第3實(shí)施形態(tài)相同的效果。再者，第4實(shí)施形態(tài)中，由于使用分歧光學(xué)元件觀2，因此從透射過(guò)透鏡群251后至以分歧光學(xué)元件282分歧后到達(dá)各攝影構(gòu)件260a ^Od之前的光學(xué)條件相同。因此，各攝影構(gòu)件^Oa ^Od 所獲得的影像亮度相同，即使產(chǎn)生像差亦同樣地產(chǎn)生，因此合成后的影像亦為良好的影像。 又，由于不使用制作復(fù)雜的半反射鏡，因此可抑制制作成本。此外，分歧光學(xué)元件282雖為低色散的光學(xué)元件(例如，螢石或石英玻璃、ED (低色散)玻璃等)，但依光的波長(zhǎng)會(huì)有射出得到角度稍微不同的情形。為了僅可能不受到其影響，較佳為，增加四角錐部的頂角，縮小從分歧光學(xué)元件282射出的光與射入分歧光學(xué)元件觀2的平行光的延伸線的夾角。接著，使用圖16說(shuō)明表面檢查裝置的第5實(shí)施形態(tài)。第5實(shí)施形態(tài)的表面檢查裝置，與第3實(shí)施形態(tài)的表面檢查裝置201相較，僅DUV攝影裝置250的構(gòu)成不同，其他構(gòu)成皆相同，因此對(duì)相同構(gòu)件賦予相同符號(hào)以省略詳細(xì)說(shuō)明。第5實(shí)施形態(tài)的DUV攝影裝置四0， 如圖16(a)所示，具有透鏡群251、分歧反射鏡元件四2、4個(gè)成像透鏡^3a ^3d、及4個(gè)攝影構(gòu)件^Oa ^0d。此外，4個(gè)成像透鏡 之中，第2成像透鏡及第4 成像透鏡四3(1在圖16(a)中省略圖示。又，4個(gè)攝影構(gòu)件^Oa ^Od之中，第2攝影構(gòu)件 ^Ob及第4攝影構(gòu)件^Od在圖16(a)中省略圖示。第5實(shí)施形態(tài)中，與第3實(shí)施形態(tài)相同，從晶圓W表面射出的繞射光通過(guò)受光側(cè)凹面鏡231聚光，射入DUV攝影裝置四0，透射過(guò)透鏡群251成為平行光。透射過(guò)透鏡群251所獲得的平行光(繞射光)射入分歧反射鏡元件四2。分歧反射鏡元件四2，如圖16(b)所示，在側(cè)面與底面的夾角為45度的正四角錐形的基體的側(cè)面以蒸鍍等方法使銀等反射精度高的物質(zhì)附著的光學(xué)元件。又，分歧反射鏡元件四2的側(cè)面形成為平面度非常高，反射面的平面度變高，能使射入分歧反射鏡元件四2的光不散亂地反射。此種分歧反射鏡元件四2，配置成底面相對(duì)射入分歧反射鏡元件292的平行光垂直，且頂點(diǎn)與平行光的中心一致。因此， 射入分歧反射鏡元件四2的平行光，在與頂點(diǎn)相連的4個(gè)側(cè)面均勻地分歧反射至與入射方向垂直的方向。被分歧反射鏡元件292分歧反射的4個(gè)平行光束，分別通過(guò)第1 第4成像透鏡 聚光，成像于第1 第4攝影構(gòu)件^Oa ^Od的攝影面上。第1 第4攝影構(gòu)件^Oa 260d，與第3實(shí)施形態(tài)相同，分別通過(guò)上述保持機(jī)構(gòu)沈如 沈5(1等配置成相對(duì)晶圓W的像彼此錯(cuò)開(kāi)像素間隔的1/2(亦即，拍攝時(shí)不感光區(qū)域彼此補(bǔ)足)，將形成于攝影面上的晶圓W的表面像進(jìn)行光電轉(zhuǎn)換以產(chǎn)生影像信號(hào)，將影像信號(hào)輸出至影像處理部對(duì)5。此外，影像處理部M5，根據(jù)從4個(gè)攝影構(gòu)件^Oa ^Od輸入的影像信號(hào)，與第3實(shí)施形態(tài)相同產(chǎn)生進(jìn)行像素補(bǔ)足的晶圓W的合成影像，使用產(chǎn)生的晶圓 W的合成影像檢查在晶圓W表面有無(wú)缺陷(異常)。如上述，根據(jù)第5實(shí)施形態(tài)，可獲得與第3實(shí)施形態(tài)相同的效果。再者，第5實(shí)施形態(tài)中，由于使用分歧反射鏡元件四2，因此從透射過(guò)透鏡群251后至以分歧反射鏡元件292 分歧后到達(dá)各攝影構(gòu)件^Oa ^Od之前的光學(xué)條件相同。因此，各攝影構(gòu)件^Oa ^Od 所獲得的影像亮度相同，即使產(chǎn)生像差亦同樣地產(chǎn)生，因此合成后的影像亦為良好的影像。 又，第5實(shí)施形態(tài)中，由于使用反射鏡，因此不會(huì)因光的波長(zhǎng)受到影響，能使從透射過(guò)透鏡群251后至以分歧反射鏡元件292分歧后到達(dá)各攝影構(gòu)件^Oa ^Od之前的光學(xué)條件相同。此外，作為攝影構(gòu)件可使用CXD (電荷耦合元件)或CMOS (互補(bǔ)金屬氧化半導(dǎo)體) 等固態(tài)攝影元件。上述第3 第5實(shí)施形態(tài)中，為了補(bǔ)足固態(tài)攝影元件的不感光部分使用多個(gè)固態(tài)攝影元件。作為此固態(tài)攝影元件，即使具有微透鏡陣列等的光學(xué)構(gòu)件亦可適用于具有不感光部分的攝影構(gòu)件。又，上述第3 第5實(shí)施形態(tài)中，雖利用晶圓W的表面產(chǎn)生的繞射光檢查晶圓W的表面，但并不限于此，利用在晶圓W表面產(chǎn)生的散射光檢查晶圓W表面的表面檢查裝置中亦可適用。又，上述第3 第5實(shí)施形態(tài)中，雖檢查晶圓W表面，但并不限于此，例如檢查玻璃基板表面亦可。符號(hào)的說(shuō)明
W 晶圓
C 攝影元件
1 表面檢查裝置(第1實(shí)施形態(tài))
10載臺(tái)
20照明系統(tǒng)(照明部)
30受光系統(tǒng)(受光光學(xué)系統(tǒng))
32=DUV攝影機(jī)
33物鏡
34攝影機(jī)部
35像素補(bǔ)足驅(qū)動(dòng)部(相對(duì)移動(dòng)部)
40:控制部45 影像處理部(測(cè)定部及修正部)101 表面檢查裝置(第2實(shí)施形態(tài))110:載臺(tái)部111 θ 載臺(tái)112:Χ載臺(tái)(載臺(tái)驅(qū)動(dòng)部)113:Υ載臺(tái)(載臺(tái)驅(qū)動(dòng)部)130 受光系統(tǒng)(受光光學(xué)系統(tǒng))132:DUV 攝影機(jī)133:物鏡134:攝影機(jī)部140:控制部145 影像處理部(測(cè)定部及修正部)201 表面檢查裝置(第3實(shí)施形態(tài))210 載臺(tái)220 照明系統(tǒng)(照明部)230 受光系統(tǒng)(受光光學(xué)系統(tǒng))245 影像處理部(檢查部)250:DUV 攝影裝置252:第1分束器(分歧部)253:第2分束器(分歧部)254:第3分束器(分歧部)258a 第1成像透鏡(成像部)258b 第2成像透鏡(成像部)258c 第3成像透鏡(成像部)258d 第4成像透鏡(成像部)260a:第1攝影構(gòu)件260b:第2攝影構(gòu)件260c:第3攝影構(gòu)件260d:第4攝影構(gòu)件261 像素區(qū)域261a 受光區(qū)域(受光部)261b 不感光區(qū)域(不感光部)261c 不感光區(qū)域(不感光部)261d 不感光區(qū)域(不感光部)265a 第1保持機(jī)構(gòu)(設(shè)定部)265b 第2保持機(jī)構(gòu)(設(shè)定部)265c 第3保持機(jī)構(gòu)(設(shè)定部)265d 第4保持機(jī)構(gòu)(設(shè)定部)
280 =DUV攝影裝置(第4實(shí)施形態(tài))282 分歧光學(xué)元件(分歧部)283a 第1成像透鏡(成像部)283b 第2成像透鏡(成像部)283c 第3成像透鏡(成像部)283d 第4成像透鏡(成像部)290 =DUV攝影裝置(第5實(shí)施形態(tài))292 分歧反射鏡元件(分歧部)293a第1成像透鏡(成像部)
293b第2成像透鏡(成像部)
293c第3成像透鏡(成像部)
293d第4成像透鏡(成像部)
權(quán)利要求
1.一種表面檢查裝置，用以檢查基板的表面，具備 載臺(tái)，用以支承該基板；照明部，對(duì)該載臺(tái)所支承的該基板的表面照射紫外光；受光光學(xué)系統(tǒng)，接受來(lái)自該紫外光所照射的該基板的表面的光，以使該基板的表面的像成像；攝影元件，在拍攝該受光光學(xué)系統(tǒng)所成像的該像的位置具有攝影面，并具備多個(gè)像素， 該多個(gè)像素由具有在該攝影面接受以檢測(cè)來(lái)自該像的光的受光部、及設(shè)于該受光部周?chē)粰z測(cè)光的不感光部所構(gòu)成；以及設(shè)定部，設(shè)定該攝影元件相對(duì)成像于該攝影面的該像的位置； 該設(shè)定部，以該攝影元件在僅錯(cuò)開(kāi)小于該像素彼此的間隔的相對(duì)移動(dòng)量的多個(gè)相對(duì)位置拍攝多個(gè)該像的方式設(shè)定該相對(duì)位置；具備產(chǎn)生合成影像的影像處理部，該合成影像，對(duì)應(yīng)該多個(gè)相對(duì)位置將該攝影元件所拍攝的該多個(gè)影像的各像素排列合成。
2.如權(quán)利要求1的表面檢查裝置，其中，該設(shè)定部由使該攝影元件與該像在該攝影面上相對(duì)移動(dòng)的相對(duì)移動(dòng)部構(gòu)成；具備控制該相對(duì)移動(dòng)部及該攝影元件的作動(dòng)的控制部，據(jù)以一邊使該相對(duì)移動(dòng)部以小于該像素彼此的間隔的該相對(duì)移動(dòng)量進(jìn)行該相對(duì)移動(dòng)、一邊使該攝影元件在該多個(gè)相對(duì)位置拍攝該多個(gè)該像；該影像處理部，對(duì)應(yīng)該相對(duì)移動(dòng)的順序?qū)⒃摂z影元件所拍攝的該多個(gè)影像的各像素排列合成以產(chǎn)生該合成影像。
3.如權(quán)利要求2的表面檢查裝置，其中，該相對(duì)移動(dòng)部，以該受光部位于該相對(duì)移動(dòng)之前該不感光部原本所在位置的方式，進(jìn)行該相對(duì)移動(dòng)。
4.如權(quán)利要求2或3的表面檢查裝置，其中，該相對(duì)移動(dòng)部具有使該載臺(tái)移動(dòng)于正交2 方向的載臺(tái)驅(qū)動(dòng)部；該控制部，以能從該相對(duì)移動(dòng)量獲得根據(jù)該受光光學(xué)系統(tǒng)的成像倍率換算后的該載臺(tái)的移動(dòng)量的方式，控制該載臺(tái)驅(qū)動(dòng)部的作動(dòng)。
5.如權(quán)利要求2至4中任一項(xiàng)的表面檢查裝置，其具備測(cè)定部，根據(jù)該攝影元件所拍攝的該多個(gè)影像測(cè)定實(shí)際的該相對(duì)移動(dòng)情況；以及修正部，修正該控制部對(duì)該相對(duì)移動(dòng)部的控制量，據(jù)以使該測(cè)定部所測(cè)定的實(shí)際的該相對(duì)移動(dòng)情況與目標(biāo)的該相對(duì)移動(dòng)情況無(wú)差異。
6.如權(quán)利要求5的表面檢查裝置，其中，該測(cè)定部通過(guò)對(duì)該多個(gè)影像進(jìn)行影像處理，以小于該像素彼此的間隔的精度測(cè)定該相對(duì)移動(dòng)情況。
7.如權(quán)利要求5或6的表面檢查裝置，其中，該測(cè)定部通過(guò)在該影像設(shè)定多個(gè)參照區(qū)域，并分別求出在該多個(gè)影像的該多個(gè)參照區(qū)域的位置，以測(cè)定實(shí)際的該相對(duì)移動(dòng)情況。
8.如權(quán)利要求1的表面檢查裝置，其具備多個(gè)該攝影元件； 該受光光學(xué)系統(tǒng)分別使該像成像于該多個(gè)攝影元件的攝影面；該多個(gè)攝影元件，以該設(shè)定部對(duì)應(yīng)各該多個(gè)相對(duì)位置配置以在該拍攝時(shí)彼此補(bǔ)足該不感光部，于該對(duì)應(yīng)的相對(duì)位置分別拍攝該像；該影像處理部，從該多個(gè)攝影元件分別拍攝的多個(gè)影像產(chǎn)生該合成影像。
9.如權(quán)利要求8的表面檢查裝置，其中，在該多個(gè)攝影元件中的一個(gè)攝影元件的該受光部，接受來(lái)自在其他攝影元件到達(dá)該不感光部的該像的光加以檢測(cè)。
10.如權(quán)利要求8或9的表面檢查裝置，其中，該受光光學(xué)系統(tǒng)具有使來(lái)自該紫外光所照射的該基板的表面的光分歧成多個(gè)光束的分歧部、及將該多個(gè)光束分別導(dǎo)至該多個(gè)攝影元件的攝影面以使該多個(gè)該像成像的成像部。
11.如權(quán)利要求8至10中任一項(xiàng)的表面檢查裝置，其中，該多個(gè)攝影元件為4個(gè)攝影元件。
12.如權(quán)利要求1至11中任一項(xiàng)的表面檢查裝置，其具備根據(jù)該影像處理部所產(chǎn)生的該合成影像進(jìn)行該基板的表面的檢查的檢查部。
全文摘要
表面檢查裝置(1)，具備載臺(tái)(10)，用以支承晶圓(W)；照明系統(tǒng)(20)，對(duì)載臺(tái)(10)所支承的晶圓(W)的表面照射紫外光；受光系統(tǒng)(30)，使來(lái)自晶圓(W)表面的光成像于既定攝影面上；攝影機(jī)部(34)，拍攝通過(guò)受光系統(tǒng)(30)成像于攝影面上的晶圓(W)的像；像素補(bǔ)足驅(qū)動(dòng)部(35)，用以進(jìn)行像素補(bǔ)足；控制部(40)，控制像素補(bǔ)足驅(qū)動(dòng)部(35)及攝影機(jī)部(34)的作動(dòng)，據(jù)以一邊使像素補(bǔ)足驅(qū)動(dòng)部(35)進(jìn)行像素補(bǔ)足，一邊使攝影機(jī)部(34)拍攝多個(gè)晶圓(W)的像；以及影像處理部(45)，產(chǎn)生晶圓(W)的合成影像，該合成影像，對(duì)應(yīng)像素補(bǔ)足的順序?qū)z影機(jī)部(34)所拍攝的多個(gè)影像的各像素排列合成。
文檔編號(hào)G01N21/956GK102203590SQ200980143980
公開(kāi)日2011年9月28日 申請(qǐng)日期2009年11月2日 優(yōu)先權(quán)日2008年11月4日
發(fā)明者深澤和彥, 湊和春, 藤澤晴彥 申請(qǐng)人:株式會(huì)社尼康