專利名稱：一種mems光譜儀運(yùn)動(dòng)補(bǔ)償系統(tǒng)及方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種運(yùn)動(dòng)控制系統(tǒng)及方法，尤其涉及一種MEMS光譜儀光學(xué)器件的運(yùn)動(dòng)補(bǔ)償控制系統(tǒng)及方法，屬于分析儀器技術(shù)領(lǐng)域。
背景技術(shù)：
光譜學(xué)是測(cè)量紫外、可見(jiàn)、近紅外和紅外波段光強(qiáng)度的一種技術(shù)，被廣泛應(yīng)用于多 種領(lǐng)域，如顏色測(cè)量、化學(xué)成份的濃度檢測(cè)或電磁輻射分析等。傳統(tǒng)光譜測(cè)量?jī)x由眾多光 學(xué)、電學(xué)與機(jī)械等分立器件組成，需要極其復(fù)雜的光路系統(tǒng)與精密機(jī)械結(jié)構(gòu)，降低了整個(gè)儀 器的可靠性，對(duì)儀器工作、存放環(huán)境也有著嚴(yán)格的要求，限制了對(duì)其更加廣泛的應(yīng)用。特別 是針對(duì)在線(現(xiàn)場(chǎng))光譜測(cè)量的應(yīng)用需求，傳統(tǒng)光譜儀無(wú)力解決，開(kāi)發(fā)微型化光譜儀已成為 當(dāng)前一大研究熱點(diǎn)。隨著科技的進(jìn)步，微電子機(jī)械系統(tǒng)(MEMS)技術(shù)和微細(xì)加工技術(shù)已取得了迅猛的 發(fā)展。眾多基于MEMS技術(shù)的新型器件亦已嶄露頭角，其與傳統(tǒng)器件相比具有許多優(yōu)勢(shì)，如 體積小、功耗低、靈敏度高、重復(fù)性好、易批量生產(chǎn)、成本低、加工工藝穩(wěn)定等。采用MEMS技 術(shù)制作光譜儀已成為光譜儀開(kāi)發(fā)的主流技術(shù)之一。S. H. Kong等(Infrared micro-spectrometer based on a diffractiongrating, 見(jiàn) Sensors and Actuators A, 2001,92 :88_95)于 2001 年提出采用 MEMS 技術(shù)將黑白衍射 光柵和熱電堆探測(cè)器集成制作了 一體化光柵光譜儀。何野等(200710021052.7，CN101021437A，2007 年 3 月 23 日)提出的一種基于微
電子機(jī)械系統(tǒng)技術(shù)的微型光譜儀，該技術(shù)方案利用MEMS器件與新型光路結(jié)構(gòu)，設(shè)計(jì)出具有 良好適用性的微型光譜儀，光路結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，可適合于各個(gè)光譜波段，具有明顯的技術(shù)優(yōu)勢(shì)。 該光譜儀由光纖連接器、入射狹縫、反射微鏡、閃耀光柵、聚焦鏡和探測(cè)器組成；待測(cè)光信號(hào) 由光纖連接器接入光譜儀，入射狹縫位于光纖連接器后部，光信號(hào)經(jīng)由入射狹縫入射到反 射微鏡上，反射微鏡反射光信號(hào)至閃耀光柵，閃耀光柵將入射光信號(hào)分解成不同波長(zhǎng)的單 色光，單色光入射到聚焦鏡上，由聚焦鏡會(huì)聚并反射到探測(cè)器上，探測(cè)器放置于聚焦鏡會(huì)聚 焦點(diǎn)處，探測(cè)器測(cè)量接受的單色光的強(qiáng)度；反射微鏡作周期性運(yùn)動(dòng)，使得入射光信號(hào)在閃耀 光柵上的入射角度和各入射光信號(hào)中的單色光的空間排列位置呈周期性變化，各種波長(zhǎng)的 單色光經(jīng)聚焦鏡會(huì)聚后，依次進(jìn)入探測(cè)器中，實(shí)現(xiàn)全光譜的掃描，其中所述反射微鏡應(yīng)用微 電子機(jī)械系統(tǒng)技術(shù)(MEMS)制造而成，是一種MEMS光學(xué)器件。這些設(shè)想都試圖利用MEMS技 術(shù)制作出一體化光譜儀，但只停留于理論探討階段，在實(shí)際產(chǎn)品開(kāi)發(fā)中，MEMS光學(xué)器件存在 以下問(wèn)題1、MEMS光學(xué)器件是一種具有溫度特性的器件，用恒定的信號(hào)驅(qū)動(dòng)時(shí)，其振幅隨著 溫度變化而變化，給光譜儀帶來(lái)的結(jié)果是光譜圖的波長(zhǎng)穩(wěn)定性被破壞；2、MEMS光學(xué)器件同時(shí)是易受外界機(jī)械振動(dòng)影響的，如果不采取措施，MEMS光學(xué)器 件在振動(dòng)環(huán)境下工作時(shí)會(huì)偏離理論的運(yùn)動(dòng)軌跡，使得光譜圖的波長(zhǎng)和波幅同時(shí)發(fā)生偏移。所以，如果不對(duì)MEMS光學(xué)器件的運(yùn)動(dòng)軌跡進(jìn)行自適應(yīng)補(bǔ)償，MEMS光譜儀將不能勝任野外或者其他惡劣環(huán)境下的工作，使其功耗低、靈敏度高、成本低等優(yōu)點(diǎn)無(wú)法得到發(fā)揮。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于提供一種MEMS光譜儀光學(xué)器件運(yùn)動(dòng)補(bǔ)償控制系統(tǒng)及方法，解決MEMS光譜儀中MEMS光學(xué)器件溫度穩(wěn)定性和機(jī)械穩(wěn)定性的問(wèn)題，使得MEMS光譜儀具有良 好的適應(yīng)性和應(yīng)用前景。本發(fā)明的目的通過(guò)以下技術(shù)方案予以實(shí)現(xiàn) 一種MEMS光譜儀運(yùn)動(dòng)補(bǔ)償系統(tǒng)，包括MEMS光學(xué)器件1、運(yùn)動(dòng)信號(hào)傳感器2、運(yùn)動(dòng)信 號(hào)放大器3、運(yùn)動(dòng)信號(hào)AD轉(zhuǎn)換器4、運(yùn)動(dòng)補(bǔ)償控制處理器5、MEMS器件驅(qū)動(dòng)DA轉(zhuǎn)換器6、MEMS 器件驅(qū)動(dòng)放大器7、溫度傳感器8 ；運(yùn)動(dòng)信號(hào)傳感器2采集MEMS光學(xué)器件1的運(yùn)動(dòng)信號(hào)，并 與運(yùn)動(dòng)信號(hào)放大器3連接，運(yùn)動(dòng)信號(hào)放大器3與運(yùn)動(dòng)信號(hào)AD轉(zhuǎn)換器4連接，運(yùn)動(dòng)信號(hào)AD轉(zhuǎn) 換器4與運(yùn)動(dòng)補(bǔ)償控制處理器5連接，運(yùn)動(dòng)補(bǔ)償控制處理器5與MEMS器件驅(qū)動(dòng)DA轉(zhuǎn)換器 6連接，MEMS器件驅(qū)動(dòng)DA轉(zhuǎn)換器6與MEMS器件驅(qū)動(dòng)放大器7連接，MEMS器件驅(qū)動(dòng)放大器 7與MEMS光學(xué)器件1連接，驅(qū)動(dòng)MEMS光學(xué)器件1 ；所述溫度傳感器8與運(yùn)動(dòng)補(bǔ)償控制處理 器5相連。一種MEMS光譜儀運(yùn)動(dòng)補(bǔ)償方法，該方法包括以下步驟1)編制MEMS光學(xué)器件標(biāo)準(zhǔn)的運(yùn)動(dòng)軌跡數(shù)據(jù)表；2)編制MEMS光學(xué)器件運(yùn)動(dòng)補(bǔ)償信號(hào)數(shù)據(jù)表，該數(shù)據(jù)表采用PID控制算法，計(jì)算出 不同溫度條件下，MEMS光學(xué)器件在不同運(yùn)動(dòng)幅度、不同運(yùn)動(dòng)位置時(shí)合適的運(yùn)動(dòng)補(bǔ)償控制信 號(hào)并列表保存待查；3)啟動(dòng)光譜儀，MEMS光學(xué)器件進(jìn)行周期性運(yùn)動(dòng)；4)由運(yùn)動(dòng)信號(hào)傳感器、運(yùn)動(dòng)信號(hào)放大器、運(yùn)動(dòng)信號(hào)AD轉(zhuǎn)換器組成的運(yùn)動(dòng)信號(hào)檢測(cè) 系統(tǒng)檢測(cè)MEMS光學(xué)器件的運(yùn)動(dòng)軌跡；5)和標(biāo)準(zhǔn)的運(yùn)動(dòng)軌跡數(shù)據(jù)進(jìn)行比較，判斷運(yùn)動(dòng)軌跡是否正常；6)若運(yùn)動(dòng)軌跡正常則回到步驟4)；7)若運(yùn)動(dòng)軌跡不正常，則查詢MEMS光學(xué)器件運(yùn)動(dòng)補(bǔ)償信號(hào)數(shù)據(jù)表，根據(jù)數(shù)據(jù)表提 供的補(bǔ)償信號(hào)調(diào)節(jié)MEMS光學(xué)器件的驅(qū)動(dòng)信號(hào)，使之保持標(biāo)準(zhǔn)的運(yùn)動(dòng)軌跡。本發(fā)明的目的還可以通過(guò)以下技術(shù)措施來(lái)進(jìn)一步實(shí)現(xiàn) 前述一種MEMS光譜儀運(yùn)動(dòng)補(bǔ)償系統(tǒng)，其中運(yùn)動(dòng)補(bǔ)償控制處理器5采用嵌入式微處 理器ARM。前述一種MEMS光譜儀運(yùn)動(dòng)補(bǔ)償系統(tǒng)，其中MEMS光學(xué)器件1處于恒溫箱體內(nèi)。前述一種MEMS光譜儀運(yùn)動(dòng)補(bǔ)償方法，其中步驟7)中所述MEMS光學(xué)器件的驅(qū)動(dòng)信 號(hào)是PWM波，通過(guò)調(diào)整PWM波的幅值來(lái)調(diào)節(jié)MEMS光學(xué)器件的運(yùn)動(dòng)軌跡。前述一種MEMS光譜儀運(yùn)動(dòng)補(bǔ)償方法，其中步驟7)中所述MEMS光學(xué)器件的驅(qū)動(dòng)信 號(hào)是PWM波，通過(guò)調(diào)整PWM波的相位來(lái)調(diào)節(jié)MEMS光學(xué)器件的運(yùn)動(dòng)軌跡。前述一種MEMS光譜儀運(yùn)動(dòng)補(bǔ)償方法，其中步驟7)中所述MEMS光學(xué)器件的驅(qū)動(dòng)信 號(hào)是PWM波，通過(guò)調(diào)整PWM波的占空比來(lái)調(diào)節(jié)MEMS光學(xué)器件的運(yùn)動(dòng)軌跡。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明的有益效果是本發(fā)明采用運(yùn)動(dòng)補(bǔ)償技術(shù)，使MENS光學(xué) 器件的驅(qū)動(dòng)信號(hào)能根據(jù)外界溫度和機(jī)械振動(dòng)做自適應(yīng)變化，使其運(yùn)動(dòng)軌跡保持恒定，使得MENS光學(xué)器件工作在最佳工作區(qū)。


圖1是本發(fā)明的電路結(jié)構(gòu)圖。圖2是本發(fā)明的程序流程圖。
具體實(shí)施例方式下面結(jié)合附圖和具體實(shí)施例對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步說(shuō)明。如圖1所示，本發(fā)明包括MEMS光學(xué)器件1，它處于恒溫箱體內(nèi)，以減少環(huán)境溫度對(duì)其周期性運(yùn)動(dòng)幅值的影響；該系統(tǒng)還包括運(yùn)動(dòng)信號(hào)傳感器2、運(yùn)動(dòng)信號(hào)放大器3、運(yùn)動(dòng)信號(hào) AD轉(zhuǎn)換器4、運(yùn)動(dòng)補(bǔ)償控制處理器5、MEMS器件驅(qū)動(dòng)DA轉(zhuǎn)換器6、MEMS器件驅(qū)動(dòng)放大器7、溫 度傳感器8。運(yùn)動(dòng)信號(hào)傳感器2采集MEMS光學(xué)器件1的運(yùn)動(dòng)信號(hào)，并與運(yùn)動(dòng)信號(hào)放大器3 連接，將運(yùn)動(dòng)信號(hào)送至運(yùn)動(dòng)信號(hào)放大器3 ；運(yùn)動(dòng)信號(hào)放大器3與運(yùn)動(dòng)信號(hào)AD轉(zhuǎn)換器4連接， 運(yùn)動(dòng)信號(hào)AD轉(zhuǎn)換器4將運(yùn)動(dòng)信號(hào)進(jìn)行模數(shù)轉(zhuǎn)換，然后將信號(hào)送至運(yùn)動(dòng)補(bǔ)償控制處理器5，運(yùn) 動(dòng)補(bǔ)償控制處理器5采用嵌入式微處理器ARM，內(nèi)嵌運(yùn)動(dòng)補(bǔ)償控制軟件，運(yùn)動(dòng)補(bǔ)償控制軟件 根據(jù)光學(xué)器件1的運(yùn)動(dòng)信號(hào)計(jì)算出運(yùn)動(dòng)補(bǔ)償控制信號(hào)。運(yùn)動(dòng)補(bǔ)償控制處理器5與MEMS器 件驅(qū)動(dòng)DA轉(zhuǎn)換器6連接，MEMS器件驅(qū)動(dòng)DA轉(zhuǎn)換器6與MEMS器件驅(qū)動(dòng)放大器7連接，MEMS 器件驅(qū)動(dòng)放大器7與MEMS光學(xué)器件1連接，運(yùn)動(dòng)補(bǔ)償控制信號(hào)經(jīng)DA轉(zhuǎn)換、放大后驅(qū)動(dòng)MEMS 光學(xué)器件1進(jìn)行周期性運(yùn)動(dòng)，使其運(yùn)動(dòng)軌跡保持標(biāo)準(zhǔn)、恒定。所述溫度傳感器8與運(yùn)動(dòng)補(bǔ)償 控制處理器5相連，采集環(huán)境溫度送至運(yùn)動(dòng)補(bǔ)償控制處理器5。如圖2所示，MEMS光譜儀運(yùn)動(dòng)補(bǔ)償系統(tǒng)中運(yùn)動(dòng)補(bǔ)償控制處理器5運(yùn)行的運(yùn)動(dòng)補(bǔ)償 控制程序的流程包括以下步驟1)編制MEMS光學(xué)器件標(biāo)準(zhǔn)的運(yùn)動(dòng)軌跡數(shù)據(jù)表；2)編制MEMS光學(xué)器件運(yùn)動(dòng)補(bǔ)償信號(hào)數(shù)據(jù)表，該數(shù)據(jù)表采用PID控制算法，計(jì)算出 不同溫度條件下，MEMS光學(xué)器件在不同運(yùn)動(dòng)幅度、不同運(yùn)動(dòng)位置時(shí)合適的運(yùn)動(dòng)補(bǔ)償控制信 號(hào)并列表保存待查；3)啟動(dòng)光譜儀，MEMS光學(xué)器件進(jìn)行周期性運(yùn)動(dòng)；4)由運(yùn)動(dòng)信號(hào)傳感器、運(yùn)動(dòng)信號(hào)放大器、運(yùn)動(dòng)信號(hào)AD轉(zhuǎn)換器組成的運(yùn)動(dòng)信號(hào)檢測(cè) 系統(tǒng)檢測(cè)MEMS光學(xué)器件的運(yùn)動(dòng)軌跡；5)和標(biāo)準(zhǔn)的運(yùn)動(dòng)軌跡數(shù)據(jù)進(jìn)行比較，判斷運(yùn)動(dòng)軌跡是否正常；6)若運(yùn)動(dòng)軌跡正常則回到步驟4)；7)若運(yùn)動(dòng)軌跡不正常，則查詢MEMS光學(xué)器件運(yùn)動(dòng)補(bǔ)償信號(hào)數(shù)據(jù)表，根據(jù)數(shù)據(jù)表提 供的補(bǔ)償信號(hào)調(diào)節(jié)MEMS光學(xué)器件的驅(qū)動(dòng)信號(hào)，使之保持標(biāo)準(zhǔn)的運(yùn)動(dòng)軌跡。理想狀態(tài)下，運(yùn)動(dòng)檢測(cè)系統(tǒng)采集到的數(shù)據(jù)和標(biāo)準(zhǔn)的軌跡數(shù)據(jù)應(yīng)該吻合，但當(dāng)外界 溫度微小的變化或有微小振動(dòng)時(shí)，MEMS光學(xué)器件的運(yùn)動(dòng)軌跡會(huì)受到影響，運(yùn)動(dòng)檢測(cè)系統(tǒng)采 集到的數(shù)據(jù)立刻會(huì)偏離標(biāo)準(zhǔn)的軌跡數(shù)據(jù)，由于采用了高增益的運(yùn)動(dòng)信號(hào)放大器，當(dāng)這種偏 離還很微小，未影響到光譜儀性能時(shí)，系統(tǒng)就會(huì)根據(jù)數(shù)據(jù)偏移的大小對(duì)驅(qū)動(dòng)MENS光學(xué)器件 的驅(qū)動(dòng)信號(hào)進(jìn)行調(diào)整，MEMS光學(xué)器件的驅(qū)動(dòng)信號(hào)是PWM波，可以通過(guò)調(diào)整PWM波的相位或 占空比或振幅來(lái)調(diào)節(jié)MEMS光學(xué)器件的運(yùn)動(dòng)軌跡。MEMS光學(xué)器件振幅偏小時(shí)增大驅(qū)動(dòng)，振幅偏大時(shí)減小驅(qū)動(dòng)，使得MENS光學(xué)器件的運(yùn)動(dòng)軌跡克服外界溫度或振動(dòng)帶來(lái)的影響，保持標(biāo) 準(zhǔn)的軌跡數(shù)據(jù)運(yùn)動(dòng)。從而解決了 MEMS光譜儀溫度穩(wěn)定性差和耐振動(dòng)差的問(wèn)題。
[ 0040] 除上述實(shí)施例外，本發(fā)明還可以有其他實(shí)施方式，凡采用等同替換或等效變換形 成的技術(shù)方案，均落在本發(fā)明要求的保護(hù)范圍內(nèi)。
權(quán)利要求
一種MEMS光譜儀運(yùn)動(dòng)補(bǔ)償系統(tǒng)，包括MEMS光學(xué)器件(1)，其特征在于，還包括運(yùn)動(dòng)信號(hào)傳感器(2)、運(yùn)動(dòng)信號(hào)放大器(3)、運(yùn)動(dòng)信號(hào)AD轉(zhuǎn)換器(4)、運(yùn)動(dòng)補(bǔ)償控制處理器(5)、MEMS器件驅(qū)動(dòng)DA轉(zhuǎn)換器(6)、MEMS器件驅(qū)動(dòng)放大器(7)、溫度傳感器(8)；運(yùn)動(dòng)信號(hào)傳感器(2)采集MEMS光學(xué)器件(1)的運(yùn)動(dòng)信號(hào)，并與運(yùn)動(dòng)信號(hào)放大器(3)連接，運(yùn)動(dòng)信號(hào)放大器(3)與運(yùn)動(dòng)信號(hào)AD轉(zhuǎn)換器(4)連接，運(yùn)動(dòng)信號(hào)AD轉(zhuǎn)換器(4)與運(yùn)動(dòng)補(bǔ)償控制處理器(5)連接，運(yùn)動(dòng)補(bǔ)償控制處理器(5)與MEMS器件驅(qū)動(dòng)DA轉(zhuǎn)換器(6)連接，MEMS器件驅(qū)動(dòng)DA轉(zhuǎn)換器(6)與MEMS器件驅(qū)動(dòng)放大器(7)連接，MEMS器件驅(qū)動(dòng)放大器(7)與MEMS光學(xué)器件(1)連接，驅(qū)動(dòng)MEMS光學(xué)器件(1)；所述溫度傳感器(8)與運(yùn)動(dòng)補(bǔ)償控制處理器(5)相連。
2.如權(quán)利要求1所述的一種MEMS光譜儀運(yùn)動(dòng)補(bǔ)償系統(tǒng)，其特征在于，所述運(yùn)動(dòng)補(bǔ)償控 制處理器(5)采用嵌入式微處理器ARM。
3.如權(quán)利要求1或2所述的一種MEMS光譜儀運(yùn)動(dòng)補(bǔ)償系統(tǒng)，其特征在于，所述MEMS光 學(xué)器件(1)處于恒溫箱體內(nèi)。
4.如權(quán)利要求1所述的一種MEMS光譜儀運(yùn)動(dòng)補(bǔ)償方法，其特征在于，該方法包括以下 步驟1)編制MEMS光學(xué)器件標(biāo)準(zhǔn)的運(yùn)動(dòng)軌跡數(shù)據(jù)表；2)編制MEMS光學(xué)器件運(yùn)動(dòng)補(bǔ)償信號(hào)數(shù)據(jù)表，該數(shù)據(jù)表采用PID控制算法，計(jì)算出不同 溫度條件下，MEMS光學(xué)器件在不同運(yùn)動(dòng)幅度、不同運(yùn)動(dòng)位置時(shí)合適的運(yùn)動(dòng)補(bǔ)償控制信號(hào)并 列表保存待查；3)啟動(dòng)光譜儀，MEMS光學(xué)器件進(jìn)行周期性運(yùn)動(dòng)；4)由運(yùn)動(dòng)信號(hào)傳感器、運(yùn)動(dòng)信號(hào)放大器、運(yùn)動(dòng)信號(hào)AD轉(zhuǎn)換器組成的運(yùn)動(dòng)信號(hào)檢測(cè)系統(tǒng) 檢測(cè)MEMS光學(xué)器件的運(yùn)動(dòng)軌跡；5)和標(biāo)準(zhǔn)的運(yùn)動(dòng)軌跡數(shù)據(jù)進(jìn)行比較，判斷運(yùn)動(dòng)軌跡是否正常；6)若運(yùn)動(dòng)軌跡正常則回到步驟4)；7)若運(yùn)動(dòng)軌跡不正常，則查詢MEMS光學(xué)器件運(yùn)動(dòng)補(bǔ)償信號(hào)數(shù)據(jù)表，根據(jù)數(shù)據(jù)表提供的 補(bǔ)償信號(hào)調(diào)節(jié)MEMS光學(xué)器件的驅(qū)動(dòng)信號(hào)，使之保持標(biāo)準(zhǔn)的運(yùn)動(dòng)軌跡。
5.如權(quán)利要求4所述的一種MEMS光譜儀運(yùn)動(dòng)補(bǔ)償方法，其特征在于，步驟7)中所述 MEMS光學(xué)器件的驅(qū)動(dòng)信號(hào)是PWM波，通過(guò)調(diào)整PWM波的幅值來(lái)調(diào)節(jié)MEMS光學(xué)器件的運(yùn)動(dòng)軌 跡。
6.如權(quán)利要求4所述的一種MEMS光譜儀運(yùn)動(dòng)補(bǔ)償方法，其特征在于，步驟7)中所述 MEMS光學(xué)器件的驅(qū)動(dòng)信號(hào)是PWM波，通過(guò)調(diào)整PWM波的相位來(lái)調(diào)節(jié)MEMS光學(xué)器件的運(yùn)動(dòng)軌 跡。
7.如權(quán)利要求4所述的一種MEMS光譜儀運(yùn)動(dòng)補(bǔ)償方法，其特征在于，步驟7)中所述 MEMS光學(xué)器件的驅(qū)動(dòng)信號(hào)是PWM波，通過(guò)調(diào)整PWM波的占空比來(lái)調(diào)節(jié)MEMS光學(xué)器件的運(yùn)動(dòng) 軌跡。
全文摘要
本發(fā)明公開(kāi)了一種MEMS光譜儀運(yùn)動(dòng)補(bǔ)償系統(tǒng)及方法，該系統(tǒng)包括MEMS光學(xué)器件、運(yùn)動(dòng)信號(hào)傳感器、運(yùn)動(dòng)信號(hào)放大器、運(yùn)動(dòng)信號(hào)AD轉(zhuǎn)換器、運(yùn)動(dòng)補(bǔ)償控制處理器、MEMS器件驅(qū)動(dòng)DA轉(zhuǎn)換器、MEMS器件驅(qū)動(dòng)放大器、溫度傳感器，各部分組成閉環(huán)控制系統(tǒng)。運(yùn)動(dòng)補(bǔ)償方法包括以下步驟1)編制標(biāo)準(zhǔn)運(yùn)動(dòng)軌跡數(shù)據(jù)表；2)編制運(yùn)動(dòng)補(bǔ)償信號(hào)數(shù)據(jù)表；3)啟動(dòng)光譜儀；4)檢測(cè)MEMS光學(xué)器件運(yùn)動(dòng)軌跡；5)和標(biāo)準(zhǔn)的運(yùn)動(dòng)軌跡進(jìn)行比較判斷是否正常；6)若正常則回到步驟4)；7)若不正常，查詢運(yùn)動(dòng)補(bǔ)償信號(hào)數(shù)據(jù)表，調(diào)節(jié)驅(qū)動(dòng)信號(hào)。本發(fā)明解決了MEMS光譜儀溫度穩(wěn)定性、耐振動(dòng)性差的問(wèn)題。
文檔編號(hào)G01J3/02GK101806621SQ201010114598
公開(kāi)日2010年8月18日 申請(qǐng)日期2010年2月26日 優(yōu)先權(quán)日2010年2月26日
發(fā)明者嚴(yán)松, 唐明, 龍濤 申請(qǐng)人:江蘇惠通集團(tuán)有限責(zé)任公司