專利名稱：反向共線瞬態(tài)熱反射測量系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明屬于激光技術(shù)領(lǐng)域，涉及到超快脈沖激光泵浦探測技術(shù)，尤其涉及到基于 泵浦探測技術(shù)的反向共線瞬態(tài)熱反射測量系統(tǒng)。
背景技術(shù)：
隨著超快脈沖激光技術(shù)的不斷發(fā)展和成熟，作為研究和測量工具的激光泵浦探測 技術(shù)在物理、化學(xué)、生物等領(lǐng)域也有著越來越重要的應(yīng)用。在非穩(wěn)態(tài)熱學(xué)過程中，尤其是在 微尺度傳熱過程中，基于泵浦探測技術(shù)發(fā)展而來的瞬態(tài)熱反射法更是一種有效的、非接觸 式的、無損的方法。在以往的瞬態(tài)熱反射測量系統(tǒng)中，主要有以下幾種思路①泵浦光和探測光采用 不同的波長，這就需要加入非線性晶體實現(xiàn)激光波長的轉(zhuǎn)換，并加入不同波段的濾光片；② 泵浦光和探測光采用共線的方式入射到樣品表面，這種方法無法有效地利用樣品材料對入 射偏振光的反射和吸收特性，且泵浦光對探測光干擾大，獲得的信號有較大的背景噪聲；③ 還有就是將泵浦光和探測光獨立處理，此方法雖然能夠很好地利用材料的吸收和反射特 性，但是調(diào)節(jié)過程復(fù)雜，較為不便。

發(fā)明內(nèi)容
技術(shù)問題本發(fā)明要解決的技術(shù)問題是解決測量系統(tǒng)光學(xué)元器件較多、調(diào)節(jié)過分 復(fù)雜的問題，提高探測信號的信噪比，并兼顧材料的吸收和反射特性，為此，本發(fā)明提供一 種反向共線瞬態(tài)熱反射測量系統(tǒng)。技術(shù)方案為解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明提供的技術(shù)方案為一種反向共線瞬態(tài) 熱反射測量系統(tǒng)，該系統(tǒng)用于測量待測樣品，該系統(tǒng)包括偏振輸出脈沖激光器、分束器、波 片、第一偏振器、第二偏振器、聲光調(diào)制器、大直角棱鏡、位移平臺、第一偏振分束器、第二偏 振分束器、光電探測器、第三反射鏡、第三凸透鏡、第四凸透鏡、第二擴(kuò)束鏡和光路截止擋 板，待測樣品設(shè)置在第三凸透鏡和第四凸透鏡之間，其中，偏振輸出脈沖激光器，用于輸出偏振態(tài)脈沖激光束；分束器，用于將偏振輸出脈沖激光器輸出的偏振態(tài)脈沖激光束分成透過該分束器 且由波片接收的泵浦光和由該分束器反射且由第三反射鏡接收的探測光；波片，接受通過分束器分成的泵浦光，用于旋轉(zhuǎn)激光束偏振方向；第一偏振器，接收通過波片旋轉(zhuǎn)偏振方向的泵浦光，使輸出泵浦光偏振方向與偏 振輸出脈沖激光器輸出的偏振態(tài)脈沖激光束偏振方向垂直；第一反射鏡，接收經(jīng)第一偏振器的泵浦光并反射該泵浦光；第一凸透鏡，接收并聚焦縮束經(jīng)過第一反射鏡反射的泵浦光；聲光調(diào)制器，接收并調(diào)制經(jīng)第一凸透鏡聚焦縮束的泵浦光，用于輸出調(diào)制的泵浦光；光闌，用于通過已經(jīng)聲光調(diào)制器調(diào)制的泵浦光，并阻擋其他衍射光；
第一偏振分束器，用于反射通過光闌的已調(diào)制的泵浦光；第一擴(kuò)束鏡，用于接收第一偏振分束器反射的已調(diào)制泵浦光，將其光斑放大；第三凸透鏡，用于將通過第一擴(kuò)束鏡的已調(diào)制泵浦光匯聚到樣品表面；第四凸透鏡，用于將從樣品表面反射的已調(diào)制泵浦光近似平行入射至第二擴(kuò)束 鏡；第二擴(kuò)束鏡，用于接收通過第四凸透鏡的已調(diào)制泵浦光，將其光斑縮?。坏诙穹质?，用于反射通過第二擴(kuò)束鏡的已調(diào)制泵浦光，使之入射至光路截 止擋板；光路截止擋板，用于阻擋第二偏振分束器反射的已調(diào)制泵浦光；
第三反射鏡，用于接收并反射分束器反射出的探測光；大直角棱鏡，利用全反射接收的經(jīng)過第三反射鏡反射的探測光，并改變探測光的 光路路方向，使探測光的光路方向改變180度；位移平臺，其移動方向和第三反射鏡入射至大直角棱鏡的方向平行；第二反射鏡，用于反射通過大直角棱鏡的探測光；第二偏振分束器，還用于透過第二反射鏡反射的探測光；第二擴(kuò)束鏡，還用于接收透過第二偏振分束器的探測光，將其光斑放大；第四凸透鏡，還用于將通過第二擴(kuò)束鏡的探測光到樣品表面；第三凸透鏡，還用于將從樣品表面反射的探測光近似平行入射至第一擴(kuò)束鏡；第一擴(kuò)束鏡，還用于接收通過第三凸透鏡的偏振探測光，將其光斑縮??；第一偏振分束器，還用于接收通過第一擴(kuò)束鏡的探測光，使之透過并入射至第二 偏振器；第二偏振器，還用于接收透過第一偏振分束器的探測光，并過濾掉和探測光偏振 方向不同的雜散光。優(yōu)選的，所述偏振輸出脈沖激光器是波長700 900nm的鈦寶石飛秒激光器，重復(fù) 頻率76MHz，脈沖寬度約lOOfs。優(yōu)選的，所述分束器采用約90%透過、10%反射的分束器。優(yōu)選的，波片采用二分之一波片。優(yōu)選的，第一反射鏡、第二反射鏡和第三反射鏡采用45度全反鏡。優(yōu)選的，第一凸透鏡、第二凸透鏡、第三凸透鏡和第四凸透鏡的焦距范圍在50 300mm之間選取。優(yōu)選的，聲光調(diào)制器的調(diào)制頻率范圍為IkHz 10MHz。優(yōu)選的，光電探測器采用響應(yīng)時間小于2ns的探測器。優(yōu)選的，第一擴(kuò)束鏡和第二擴(kuò)束鏡分別采用3 5倍擴(kuò)束鏡。優(yōu)選的，位移平臺移動精度為每步100納米，掃描范圍大于150毫米，相應(yīng)的光程 延時范圍大于Ins。有益效果本發(fā)明將偏振方向垂直的光分別通過樣品的反射實現(xiàn)反向共線。這樣， 能夠有效地減少光學(xué)元件，簡化調(diào)節(jié)過程，提高探測信號的信噪比，并兼顧到材料的吸收和 反射特性。


附圖1是本發(fā)明實施例中的結(jié)構(gòu)示意圖主要部件說明如下1.偏振輸出脈沖激光器；2.分束器；3.波片；4.待測樣品；5.第一偏振器；6.第一反射鏡；7.第一凸透鏡；8.聲光調(diào)制器；9.光闌；10.第二偏振器；11.第二凸透鏡；12.光電探測器；13.第一偏振分束器；14.第一擴(kuò)束鏡；15.第三凸透鏡；16.第四凸透鏡；17.第二擴(kuò)束鏡；18.第二偏振分束器；19.第二反射鏡；20.光路截止擋板；21.第三反射鏡；22.大直角棱鏡；23.位移平臺。
具體實施例方式下面結(jié)合附圖對本發(fā)明做進(jìn)一步說明。應(yīng)指出的是，所描述的實例僅旨在便于對 本發(fā)明的理解，而不對其起任何限定作用。本發(fā)明提供的反向共線瞬態(tài)熱反射測量系統(tǒng)，該系統(tǒng)用于測量待測樣品4，該系統(tǒng) 包括偏振輸出脈沖激光器1、分束器2、波片3、第一偏振器5、第二偏振器10、聲光調(diào)制器8、 大直角棱鏡22、位移平臺23、第一偏振分束器13、第二偏振分束器18、光電探測器12、第三 反射鏡21、第三凸透鏡15、第四凸透鏡16、第二擴(kuò)束鏡17和光路截止擋板20，待測樣品4 設(shè)置在第三凸透鏡15和第四凸透鏡16之間，其中，偏振輸出脈沖激光器1，用于輸出偏振態(tài)脈沖激光束；分束器2，用于將偏振輸出脈沖激光器1輸出的偏振態(tài)脈沖激光束分成透過該分束器2且由波片3接收的泵浦光和由該分束器2反射且由第三反射鏡21接收的探測光；波片3，接受通過分束器2分成的泵浦光，用于旋轉(zhuǎn)激光束偏振方向；
第一偏振器5，接收通過波片3旋轉(zhuǎn)偏振方向的泵浦光，使輸出泵浦光偏振方向與 偏振輸出脈沖激光器1輸出的偏振態(tài)脈沖激光束偏振方向垂直；第一反射鏡6，接收經(jīng)第一偏振器5的泵浦光并反射該泵浦光；第一凸透鏡7，接收并聚焦縮束經(jīng)過第一反射鏡6反射的泵浦光；聲光調(diào)制器8，接收并調(diào)制經(jīng)第一凸透鏡7聚焦縮束的泵浦光，用于輸出 調(diào)制的泵 浦光；光闌9，用于通過已經(jīng)聲光調(diào)制器8調(diào)制的泵浦光，并阻擋其他衍射光；第一偏振分束器13，用于反射通過光闌9的已調(diào)制的泵浦光；第一擴(kuò)束鏡14，用于接收第一偏振分束器13反射的已調(diào)制泵浦光，將其光斑放 大；第三凸透鏡15，用于將通過第一擴(kuò)束鏡14的已調(diào)制泵浦光匯聚到樣品4表面；第四凸透鏡16，用于將從樣品4表面反射的已調(diào)制泵浦光近似平行入射至第二擴(kuò) 束鏡17 ；第二擴(kuò)束鏡17，用于接收通過第四凸透鏡16的已調(diào)制泵浦光，將其光斑縮?。坏诙穹质?8，用于反射通過第二擴(kuò)束鏡17的已調(diào)制泵浦光，使之入射至光 路截止擋板20 ；光路截止擋板20，用于阻擋第二偏振分束器18反射的已調(diào)制泵浦光；第三反射鏡21，用于接收并反射分束器2反射出的探測光；大直角棱鏡22，利用全反射接收的經(jīng)過第三反射鏡21反射的探測光，并改變探測 光的光路路方向，使探測光的光路方向改變180度；位移平臺23，沿著圖示箭頭方向移動，其移動方向和第三反射鏡21入射至大直角 棱鏡22的方向平行；第二反射鏡19，用于反射通過大直角棱鏡22的探測光；第二偏振分束器18，還用于透過第二反射鏡19反射的探測光；第二擴(kuò)束鏡17，還用于接收透過第二偏振分束器18的探測光，將其光斑放大；第四凸透鏡16，還用于將通過第二擴(kuò)束鏡17的探測光到樣品4表面；第三凸透鏡15，還用于將從樣品4表面反射的探測光近似平行入射至第一擴(kuò)束鏡 14；第一擴(kuò)束鏡14，還用于接收通過第三凸透鏡15的偏振探測光，將其光斑縮?。坏谝黄穹质?3，還用于接收通過第一擴(kuò)束鏡14的探測光，使之透過并入射至 第二偏振器10 ；第二偏振器10，還用于接收透過第一偏振分束器13的探測光，并過濾掉和探測光 偏振方向不同的雜散光。偏振輸出脈沖激光器1是波長700 900nm的鈦寶石飛秒激光器，重復(fù)頻率 76MHz，脈沖寬度約IOOfs。所述分束器2采用約90%透過、10%反射的分束器。波片3采用二分之一波片。第一反射鏡6、第二反射鏡19和第三反射鏡21采用45度全反鏡。第一凸透鏡7、第二凸透鏡11、第三凸透鏡15和第四凸透鏡16的焦距范圍在50 300mm之間選取。聲光調(diào)制器8的調(diào)制頻率范圍為IkHz IOMHz。光電探測器12采用響應(yīng)時間小于2ns的探測器。第一擴(kuò)束鏡14和第二擴(kuò)束鏡17分別采用3 5倍擴(kuò)束鏡。位移平臺23移動精度為每步100納米，掃描范圍大于150毫米，相應(yīng)的光程延時 范圍大于Ins。應(yīng)用實例如結(jié)構(gòu)示意圖1所示，偏振輸出脈沖激光器1輸出波長為SOOnm的飛秒脈沖光，重 復(fù)頻率76MHz，脈沖寬度lOOfs，平均功率1. 2W ；分束器2采用透過90%反射10%的分束器；波片3采用二分之一波片；第一偏振器5采用格蘭激光棱鏡，第二偏振器10采用格蘭湯姆森棱鏡；第一反射鏡6、第二反射鏡19和第三反射鏡21采用45度全反鏡；第一凸透鏡7、第二凸透鏡11、第三凸透鏡15和第四凸透鏡16可以根據(jù)需求選用 焦距范圍在50 300mm之間的凸透鏡；聲光調(diào)制器8的調(diào)制頻率范圍選在IkHz IOMHz，其頻率調(diào)制通過聲光調(diào)制器驅(qū) 動器控制；光闌9采用可調(diào)小孔光闌；光電探測器12采用響應(yīng)時間Ins的PIN硅二極管；第一擴(kuò)束鏡14和第二擴(kuò)束鏡17采用3 5倍擴(kuò)束鏡；光路截止擋板20采用擋板吸收并截止光路；大直角棱鏡22采用30mmX30mmX30mm直角棱鏡；位移平臺23采用電控位移平臺，精度為每步lOOnm，掃描范圍300mm，對應(yīng)的光程 延時范圍為2ns。本發(fā)明的主要結(jié)構(gòu)與原理描述如下本發(fā)明的主要結(jié)構(gòu)有偏振輸出脈沖激光器1、分束器2、波片3、第一偏振器5、第二 偏振器10、聲光調(diào)制器8、大直角棱鏡22、位移平臺23、第一偏振分束器13、第二偏振分束器 18和光電探測器12組成。偏振輸出脈沖激光器1輸出的脈沖激光如果是水平線偏振的，通過分束器2后，會 有90%的光透過、10%的光反射；透過的光作為泵浦光，會通過二分之一波片3和第一偏振 器5組成的功率調(diào)節(jié)系統(tǒng)，二分之一波片3旋轉(zhuǎn)水平線偏振光的偏振方向，第一偏振器5使 通過的激光偏振方向變成垂直；偏振方向變?yōu)榇怪钡募す馐ㄟ^第一反射鏡6(45度反射 鏡)反射和第一凸透鏡7聚焦后進(jìn)入聲光調(diào)制器8，聲光調(diào)制器8在函數(shù)發(fā)生器TTL電平信 號控制的聲光調(diào)制器驅(qū)動器驅(qū)動下，將通過的激光束調(diào)制到設(shè)定頻率；從聲光調(diào)制器8出 射的激光束經(jīng)過可調(diào)小孔光闌9，選擇所需的一級衍射光，通過第一偏振分束器13的反射、 第一擴(kuò)束鏡14的擴(kuò)束，最終通過第三凸透鏡15聚焦到樣品4的表面，加熱樣品4。泵浦光 經(jīng)過樣品表面的反射會通過第四凸透鏡16出射、第二擴(kuò)束器17逆向縮束，經(jīng)過第二偏振分 束器18反射到光路截止擋板20。即完成整個泵浦光 路。被分束器2反射的10%的水平偏振光作為探測光，經(jīng)過第三反射鏡21 (45度反射鏡)，入射到安裝在位移平臺23上的大直角棱鏡22 ；經(jīng)過大直角棱鏡22的兩次全反射，激光束出射至第二反射鏡19 (45度反射鏡)，反射通過第二偏振分束器18，通過第二擴(kuò)束鏡17 擴(kuò)束后，第四凸透鏡16將其聚焦至樣品4的表面。探測光從樣品4表面反射，通過第三凸 透鏡15出射、第一擴(kuò)束鏡14逆向縮束后，透過第一偏振分束器13進(jìn)入第二偏振器10，過濾 掉水平偏振光以外的雜散光后，通過第二凸透鏡11聚焦探測光信號到光電探測器12上。泵浦光從第一偏振分束器13經(jīng)過樣品4反射到第二偏振分束器18的這段光路和 探測光從第二偏振分束器18經(jīng)樣品4反射到第一偏振分束器13這段光路，即為反向共線 光路。泵浦光和探測光在樣品4表面同一點重合，利用樣品4表面的鏡面反射，實現(xiàn)兩束光 的反向共線。而由于泵浦光和探測光的偏振方向垂直，所以，泵浦光利用第一偏振分束器13 和第二偏振分束器18對垂直偏振光的反射，而水平偏振方向的探測光則直接透過第二偏 振分束器18和第一偏振分束器13。光程延時環(huán)節(jié)由位移平臺23和大直角棱鏡22組成，延時范圍由位移平臺的行程 確定，實例中延時范圍最大為2ns。分束器2反射的探測光，通過第三反射鏡21 (45度反射鏡)反射，入射至大直角棱 鏡22，其入射方向應(yīng)保證和位移平臺23移動方向平行；同時需調(diào)節(jié)大直角棱鏡22安放位 置和角度，以保證在位移平臺23移動的過程中從大直角棱鏡22出射的激光束始終和位移 平臺23運動方向平行。光電探測器12使用響應(yīng)時間為Ins的PIN硅二極管，保證響應(yīng)頻率高于偏振輸出 脈沖激光器1的重復(fù)頻率，避免探測誤差。聲光調(diào)制器8，位移平臺23和光電探測器12須協(xié)調(diào)工作，根據(jù)聲光調(diào)制器8的調(diào) 制頻率設(shè)置位移平臺23的移動速度，并讀取光電探測器12采集的數(shù)據(jù)，如聲光調(diào)制器8采 用IMHz的調(diào)制信號，則在泵浦光和探測光光程相等點附近2cm處位移平臺速度不得大于10 微米每秒，而其他位置平臺的位移速度不得大于150微米每秒。一般一秒讀取一個或一個 以上的探測信號。最后得到不同延時時間的反射探測光的強度，從而反推出材料的熱學(xué)性 質(zhì)。
權(quán)利要求
一種反向共線瞬態(tài)熱反射測量系統(tǒng)，該系統(tǒng)用于測量待測樣品(4)，其特征在于該系統(tǒng)包括偏振輸出脈沖激光器(1)、分束器(2)、波片(3)、第一偏振器(5)、第二偏振器(10)、聲光調(diào)制器(8)、大直角棱鏡(22)、位移平臺(23)、第一偏振分束器(13)、第二偏振分束器(18)、光電探測器(12)、第三反射鏡(21)、第三凸透鏡(15)、第四凸透鏡(16)、第二擴(kuò)束鏡(17)和光路截止擋板(20)，待測樣品(4)設(shè)置在第三凸透鏡(15)和第四凸透鏡(16)之間，其中，偏振輸出脈沖激光器(1)，用于輸出偏振態(tài)脈沖激光束；分束器(2)，用于將偏振輸出脈沖激光器(1)輸出的偏振態(tài)脈沖激光束分成透過該分束器(2)且由波片(3)接收的泵浦光和由該分束器(2)反射且由第三反射鏡(21)接收的探測光；波片(3)，接受通過分束器(2)分成的泵浦光，用于旋轉(zhuǎn)激光束偏振方向；第一偏振器(5)，接收通過波片(3)旋轉(zhuǎn)偏振方向的泵浦光，使輸出泵浦光偏振方向與偏振輸出脈沖激光器(1)輸出的偏振態(tài)脈沖激光束偏振方向垂直；第一反射鏡(6)，接收經(jīng)第一偏振器(5)的泵浦光并反射該泵浦光；第一凸透鏡(7)，接收并聚焦縮束經(jīng)過第一反射鏡(6)反射的泵浦光；聲光調(diào)制器(8)，接收并調(diào)制經(jīng)第一凸透鏡(7)聚焦縮束的泵浦光，用于輸出調(diào)制的泵浦光；光闌(9)，用于通過已經(jīng)聲光調(diào)制器(8)調(diào)制的泵浦光，并阻擋其他衍射光；第一偏振分束器(13)，用于反射通過光闌(9)的已調(diào)制的泵浦光；第一擴(kuò)束鏡(14)，用于接收第一偏振分束器(13)反射的已調(diào)制泵浦光，將其光斑放大；第三凸透鏡(15)，用于將通過第一擴(kuò)束鏡(14)的已調(diào)制泵浦光匯聚到樣品(4)表面；第四凸透鏡(16)，用于將從樣品(4)表面反射的已調(diào)制泵浦光近似平行入射至第二擴(kuò)束鏡(17)；第二擴(kuò)束鏡(17)，用于接收通過第四凸透鏡(16)的已調(diào)制泵浦光，將其光斑縮?。坏诙穹质?18)，用于反射通過第二擴(kuò)束鏡(17)的已調(diào)制泵浦光，使之入射至光路截止擋板(20)；光路截止擋板(20)，用于阻擋第二偏振分束器(18)反射的已調(diào)制泵浦光；第三反射鏡(21)，用于接收并反射分束器(2)反射出的探測光；大直角棱鏡(22)，利用全反射接收的經(jīng)過第三反射鏡(21)反射的探測光，并改變探測光的光路路方向，使探測光的光路方向改變180度；位移平臺(23)，其移動方向和第三反射鏡(21)入射至大直角棱鏡(22)的方向平行；第二反射鏡(19)，用于反射通過大直角棱鏡(22)的探測光；第二偏振分束器(18)，還用于透過第二反射鏡(19)反射的探測光；第二擴(kuò)束鏡(17)，還用于接收透過第二偏振分束器(18)的探測光，將其光斑放大；第四凸透鏡(16)，還用于將通過第二擴(kuò)束鏡(17)的探測光到樣品(4)表面；第三凸透鏡(15)，還用于將從樣品(4)表面反射的探測光近似平行入射至第一擴(kuò)束鏡(14)；第一擴(kuò)束鏡(14)，還用于接收通過第三凸透鏡(15)的偏振探測光，將其光斑縮小；第一偏振分束器(13)，還用于接收通過第一擴(kuò)束鏡(14)的探測光，使之透過并入射至第二偏振器(10)；第二偏振器(10)，還用于接收透過第一偏振分束器(13)的探測光，并過濾掉和探測光偏振方向不同的雜散光。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的反向共線瞬態(tài)熱反射測量系統(tǒng)，其特征在于，所述偏振輸出 脈沖激光器(1)是波長700 900nm的鈦寶石飛秒激光器，重復(fù)頻率76MHz，脈沖寬度約 lOOfso
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的反向共線瞬態(tài)熱反射測量系統(tǒng)，其特征在于，所述分束器(2) 采用約90%透過、10%反射的分束器。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的反向共線瞬態(tài)熱反射測量系統(tǒng)，其特征在于，波片(3)采用二 分之一波片。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的反向共線瞬態(tài)熱反射測量系統(tǒng)，其特征在于，第一反射鏡(6)、第二反射鏡(19)和第三反射鏡(21)采用45度全反鏡。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的反向共線瞬態(tài)熱反射測量系統(tǒng)，其特征在于，第一凸透鏡(7)、第二凸透鏡(11)、第三凸透鏡(15)和第四凸透鏡(16)的焦距范圍在50 300mm之間 選取。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的反向共線瞬態(tài)熱反射測量系統(tǒng)，其特征在于，聲光調(diào)制器(8) 的調(diào)制頻率范圍為1kHz 10MHz。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的反向共線瞬態(tài)熱反射測量系統(tǒng)，其特征在于，光電探測器 (12)采用響應(yīng)時間小于2ns的探測器。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的反向共線瞬態(tài)熱反射測量系統(tǒng)，其特征在于，第一擴(kuò)束鏡 (14)和第二擴(kuò)束鏡(17)分別采用3 5倍擴(kuò)束鏡。
10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的反向共線瞬態(tài)熱反射測量系統(tǒng)，其特征在于，位移平臺(23) 移動精度為每步100納米，掃描范圍大于150毫米，相應(yīng)的光程延時范圍大于Ins。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種反向共線瞬態(tài)熱反射測量系統(tǒng)，該系統(tǒng)用于測量待測樣品(4)，該系統(tǒng)包括偏振輸出脈沖激光器(1)、分束器(2)、波片(3)、第一偏振器(5)、第二偏振器(10)、聲光調(diào)制器(8)、大直角棱鏡(22)、位移平臺(23)、第一偏振分束器(13)、第二偏振分束器(18)、光電探測器(12)、第三反射鏡(21)、第三凸透鏡(15)、第四凸透鏡(16)、第二擴(kuò)束鏡(17)和光路截止擋板(20)，待測樣品(4)設(shè)置在第三凸透鏡(15)和第四凸透鏡(16)之間。該測量系統(tǒng)減少光學(xué)元器件，簡化調(diào)節(jié)過程，提高探測信號的信噪比，并兼顧到材料的吸收和反射特性。
文檔編號G01N21/00GK101832910SQ20101017319
公開日2010年9月15日 申請日期2010年5月14日 優(yōu)先權(quán)日2010年5月14日
發(fā)明者李劍, 畢可東, 鄭月明, 陳云飛 申請人:東南大學(xué)