專利名稱：電路圖案檢查裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種采用非接觸方式能夠檢查形成于基板上的導(dǎo)電圖案的缺陷的電 路圖案檢查裝置。
背景技術(shù)：
最近，顯示裝置以在玻璃基板上使用液晶的液晶顯示裝置、或者利用等離子的等 離子顯示裝置為主。在這些顯示裝置的制造工序中，對形成于玻璃基板上的作為電路配線 的導(dǎo)電圖案進(jìn)行有無斷線和短路不良的檢查。作為過去常用的導(dǎo)電圖案的檢查方法，例如如專利文獻(xiàn)1中記載的那樣，已知有 如下的接觸式檢查方法(插針式觸點方式)其中，使檢查探針的針頭接觸導(dǎo)電圖案的兩 端，從一側(cè)的檢查探針施加直流檢測信號，檢測從另一側(cè)的檢查探針傳輸出的直流檢查信 號，通過有無檢測信號來檢查有無斷線和短路。作為其他檢查方法，在專利文獻(xiàn)2中，使至少兩個檢查探針接近導(dǎo)體圖案，在采用 與導(dǎo)體圖案非接觸的方式進(jìn)行電容耦合的狀態(tài)下使其移動的同時，從一側(cè)的檢查探針施加 交流檢查信號，通過另一側(cè)的檢查探針檢測傳輸于導(dǎo)體圖案的交流檢查信號。通過檢測信 號的波形變化，進(jìn)行導(dǎo)電圖案中有無斷線和短路的檢查。專利文獻(xiàn)1 日本特開昭62-269075號公報專利文獻(xiàn)2 日本特開2004-191381號公報

發(fā)明內(nèi)容
(發(fā)明要解決的問題)隨著追求顯示畫面的大畫面化，上述的顯示裝置的畫面尺寸更大型化，同時要求 顯示畫面的致密度，力求顯示像素的微細(xì)化。因此，顯示像素的驅(qū)動用配線或信號線等導(dǎo)電 圖案變長的同時，被微細(xì)化。在對多個導(dǎo)電圖案進(jìn)行檢查時，在由專利文獻(xiàn)1所提案的使針頭尖接觸的檢查探 針中，作為第一方法，以橫穿排列的導(dǎo)電圖案上的方式使檢查探針滑行移動，順次進(jìn)行檢 查。或者作為第二方法，配備與導(dǎo)電圖案數(shù)相同數(shù)的檢查探針，使檢查探針統(tǒng)一接觸，或者 作為第三方法，使檢查探針上下移動的同時，以選擇性地與導(dǎo)電圖案接觸的方式使其移動。在使檢查探針滑行移動時，因為在針頭尖接觸導(dǎo)電圖案的狀態(tài)下移動，所以造成 由剝落或傷痕所形成的損壞的問題。此外，即使檢查探針不滑動而接觸導(dǎo)電圖案，也造成因 為針頭尖的接觸而向?qū)щ妶D案加壓所形成的傷痕等損壞問題。此外，在使用程序等力求檢 查探針的接觸動作和移動自動化的情況下，隨著導(dǎo)電圖案的細(xì)線化和配線間隔的微小化的 進(jìn)展，位置控制變得愈發(fā)不容易。此外，在采用通過非接觸方式與導(dǎo)電圖案進(jìn)行電容耦合的電極的檢查裝置中，隨 著與電極相對向的導(dǎo)電圖案的表面積的縮小的進(jìn)展，檢測出的檢查信號值也變小。當(dāng)增大 導(dǎo)電圖案的檢查信號值時，檢測出的檢查信號也變大，但是，隨著導(dǎo)電圖案的微細(xì)化，可以容許的檢查信號值也變小。此外，在檢測信號中，除檢查信號外檢測出包含來自外部的被重 疊的噪聲。因此，對判斷檢查信號是否為噪聲需要熟練程度，或者在進(jìn)行計算機判斷時，基 準(zhǔn)值的設(shè)定變得困難。此外，當(dāng)對檢查對象基板，使用一個傳感器部并使其移動進(jìn)行檢查時，得到一個檢 測信號。在僅由一個檢測信號進(jìn)行判斷時，雖然通過嚴(yán)格設(shè)定閾值，能夠從微小的信號變化 中判斷有無缺陷，但是，因為同時也對檢測信號中可能包含的噪聲成分也作為判斷對象，所 以得到的判斷結(jié)果不能確定是否僅為真的缺陷。因此，再次以相同條件實施第二次的檢查， 將得到的第二次檢查結(jié)果與第一次的檢查結(jié)果進(jìn)行比較，進(jìn)行缺陷的確定。因此，為了得到 正確的檢查結(jié)果，以相同的檢查條件對同一檢查對象必須進(jìn)行至少兩次檢查。在該檢查方 法中，為了得到正確的檢查結(jié)果，因為花費進(jìn)行兩次檢查的時間，所以，不易縮短檢查時間。 再有，當(dāng)?shù)谝淮蔚臋z查和第二次的檢查之間空有時間時，以相同的條件進(jìn)行檢查不易做到。因此，本發(fā)明的目的在于提供一種電路圖案檢查裝置，該電路圖案檢查裝置對排 列于基板上的各導(dǎo)電圖案以時間序列的方式采用多組傳感器進(jìn)行多次檢測，生成將這些檢 測信號進(jìn)行乘積運算的判斷信號，來實現(xiàn)導(dǎo)電圖案好壞的適當(dāng)判斷。(解決技術(shù)問題的技術(shù)方案)為了達(dá)到上述目的，基于本發(fā)明的實施方式，提供一種電路圖案檢查裝置，該電路 圖案檢查裝置將多個導(dǎo)電圖案形成直列狀的基板作為檢查對象，包括第1傳感器對，該第 1傳感器對都具備與所述導(dǎo)電圖案中的第一導(dǎo)電圖案相對向的第一供電電極和第一傳感電 極；第2傳感器對，該第2傳感器對都具備與從所述第一導(dǎo)電圖案間隔預(yù)先設(shè)定的圖案數(shù)目 的距離的第二導(dǎo)電圖案相對向的第二供電電極和第二傳感電極；移動部，該移動部保持所 述第1傳感器對和所述第2傳感器對，在所述導(dǎo)電圖案的上方以一定的距離分開，并且以與 該導(dǎo)電圖案的直列相交叉的方式進(jìn)行移動；檢查信號供給部，該檢查信號供給部在利用所 述移動部的所述第1傳感器對和所述第2傳感器對的移動中，供給所述第一供電電極和所 述第二供電電極由交流信號構(gòu)成的同一檢查信號，將該檢查信號順次施加于與所述第一供 電電極和所述第二供電電極相對向、并且進(jìn)行電容耦合的各個導(dǎo)電圖案；檢查信號處理部， 該檢查信號處理部將預(yù)先設(shè)定的判斷基準(zhǔn)值，與通過分別與施加所述檢查信號的所述導(dǎo)電 圖案進(jìn)行電容耦合的所述第一傳感電極和所述第二傳感電極獲得的第一檢測信號和第二 檢測信號進(jìn)行比較，從而選出缺陷候補，進(jìn)而，以在所述第一檢測信號上和所述第二檢測信 號上的導(dǎo)電圖案的位置一致的方式進(jìn)行使任一檢測信號的位置移動的距離軸匹配；以及缺 陷判斷部，該缺陷判斷部將所述導(dǎo)電圖案的位置一致的所述第一檢測信號和所述第二檢測 信號中的所述缺陷候補彼此進(jìn)行比較，將在相同圖案位置上共通存在的缺陷候補判斷為所 述導(dǎo)電圖案的真缺陷。再者，提供一種電路圖案檢查裝置的檢查方法，為具備檢查部的電路圖案檢查裝 置的檢查方法，該檢查部將多個導(dǎo)電圖案形成直列狀的基板作為檢查對象，由在與用于檢 測存在缺陷的導(dǎo)電圖案的所述導(dǎo)電圖案的直列相交叉的方向上空開規(guī)定的圖案數(shù)目的距 離而并排設(shè)置的至少兩組供電電極和一對傳感電極所構(gòu)成，其中，使所述檢查部沿與所述 直列交叉的方向移動，并通過電容耦合從各個所述供電電極對彼此分開的不同的導(dǎo)電圖案 順次施加由交流信號構(gòu)成的同一檢查信號，通過對傳輸于施加了所述檢查信號的各個所述 導(dǎo)電圖案的所述檢查信號進(jìn)行電容耦合，分別從所述傳感電極獲得第一檢測信號和第二檢測信號，將預(yù)先設(shè)定的判斷基準(zhǔn)值與所述第一檢測信號和第二檢測信號進(jìn)行比較，從而選 出缺陷候補，以在所述第一檢測信號上和所述第二檢測信號上的導(dǎo)電圖案的位置一致的方 式，使任一檢測信號的位置移動而得到距離軸匹配，將所述導(dǎo)電圖案的位置一致的所述第 一檢測信號和所述第二檢測信號中的所述缺陷候補彼此進(jìn)行比較，將在相同圖案位置上共 通存在的缺陷候補判斷為所述導(dǎo)電圖案的真缺陷。(發(fā)明的效果)根據(jù)本發(fā)明，能夠提供一種電路圖案檢查裝置，該電路圖案檢查裝置對排列于基 板上的各導(dǎo)電圖案以時間序列的方式采用多組傳感器進(jìn)行多次檢測，生成將這些檢測信號 進(jìn)行乘積運算的判斷信號，來實現(xiàn)導(dǎo)電圖案好壞的適當(dāng)判斷。


圖1為表示本發(fā)明涉及的電路圖案檢查裝置的雙組檢查部的示意構(gòu)成的圖。圖2(a)、(b)為用于說明有關(guān)在電路圖案檢查裝置中判斷有無缺陷的說明圖。圖3為表示本實施方式涉及的電路圖案檢查裝置的整體構(gòu)成的框圖。圖4為表示電路圖案檢查裝置的雙組檢查部的示意構(gòu)成的圖。圖5(a)為表示在檢查信號處理部中利用雙通道電極的檢測信號的圖，圖5(b)為 表示對檢測信號實施平滑化處理的信號的圖，圖5(c)為表示實施距離軸匹配處理的檢測 信號的圖。圖6(a)為表示得到距離軸匹配處理的檢測信號差分的差分信號的圖，圖6(b)為 表示對差分信號利用乘積運算的進(jìn)行微小變化增強處理的乘積信號的圖，圖6(c)為表示 在乘積信號中對脈沖噪聲進(jìn)行平滑化處理的信號的圖。圖7為用于說明有關(guān)在電路圖案檢查裝置中的測定的圖。(符號說明)1電路圖案檢查裝置2雙組檢查部3移動機構(gòu)4驅(qū)動控制部5檢查信號處理部6控制部7輸入部8顯示部9存儲器11檢查信號供給單元12傳感器單元13檢查信號供給部14平滑化部15距離軸匹配部16差值算出部17微小變化增強部
6
18192021a、21b22、2322a、23a22b、23b10010110310具體實施例方式下面，參照附圖對本發(fā)明的實施方式進(jìn)行詳細(xì)地說明。利用本發(fā)明的電路圖案檢查裝置為與基板分體的檢查裝置，在制造工序中，例如 用于檢測形成于玻璃制的基板上的多列導(dǎo)電圖案(配線圖案)的斷線或短路的不良圖案。 作為檢查對象的導(dǎo)電圖案為，例如用于液晶顯示面板或接觸式面板等的電路配線、多列平 行排列的導(dǎo)電圖案、或者整個導(dǎo)電圖案的一端側(cè)通過短路棒(bar)連接的櫛狀導(dǎo)電圖案。 另外，形成于基板上的各導(dǎo)電圖案當(dāng)圖案的位置為能夠確定時，即使不是等間隔的配置也 能夠進(jìn)行檢查。再者，在下述的雙組檢查部移動時，在同一導(dǎo)電圖案上，當(dāng)為供電電極和傳 感電極能夠相對向的圖案時，即使在導(dǎo)電圖案的途中為彎曲或?qū)挾茸兓材軌蜻M(jìn)行同等的 檢查。另外，在下面說明中，為了易于理解，將以一定間隔形成直列狀的導(dǎo)電圖案作為檢查 對象進(jìn)行說明。圖1為表示本發(fā)明涉及的電路圖案檢查裝置的雙組檢查部的示意構(gòu)成的說明圖。 圖2(a)、(b)為說明有關(guān)在電路圖案檢查裝置中判斷有無缺陷的說明圖。如圖1所示，電路圖案檢查裝置1具備雙組檢查部2，該雙組檢查部2間隔規(guī)定 距離設(shè)置在形成于玻璃基板等具有絕緣性的基板100上的多列導(dǎo)電圖案101的上方；檢查 信號供給部13，該檢查信號供給部13供給雙組檢查部2由交流構(gòu)成的檢查信號；檢查信號 處理部5，該檢查信號處理部5對從雙組檢查部2檢測出的檢測信號實施下述的信號處理； 缺陷判斷部20，該缺陷判斷部20設(shè)置在下述控制部(圖2所示的控制部6)內(nèi)；以及顯示 部8，該顯示部8顯示包括檢查結(jié)果的檢查信息。雙組檢查部2具有兩組由供電電極和一對傳感電極構(gòu)成的檢查部。具體是，雙組 檢查部2由具備用于將檢查信號供給(施加)于導(dǎo)電圖案101的供電電極21(21a，21b)的 檢查信號供給單元11、以及具備將供給于導(dǎo)電圖案101的檢查信號作為檢測信號SO檢測的 傳感電極22、23的傳感器單元12所構(gòu)成。在該例中，通過由位于同一導(dǎo)電體圖案上方的供 電電極21a和傳感電極22構(gòu)成的第一檢查部、以及由一起位于對于第一檢查部間隔數(shù)個圖 案的距離的導(dǎo)電圖案上方的供電電極21b和傳感電極23構(gòu)成的第二檢查部所構(gòu)成。供電 電極21b和傳感電極23也位于同一導(dǎo)電體圖案上方。檢查信號供給部13以相同周期時刻分別對供電電極21a和供電電極21b施加同
脈沖噪聲平滑化部 CPU
缺陷判斷部 供電電極 傳感器對 傳感電極
噪聲電極(傳感電極) 基板 導(dǎo)電圖案 臂部
導(dǎo)向部件電壓值相同頻率的交流檢查信號。供電電極21a、21b分別對相對向的導(dǎo)電圖案101進(jìn)行電 容耦合，并施加交流檢查信號。這些檢查信號傳輸于導(dǎo)電圖案101，被相對向進(jìn)行電容耦合 的傳感電極22、23所獲得。另外，檢查信號為通過電容耦合傳輸?shù)男盘柤纯?，不僅是交流正 弦波，也可以為矩形(脈沖)波的信號。這些單元11、12通過移動機構(gòu)3，在從供電電極21a、21b對導(dǎo)電圖案101施加檢查 信號的狀態(tài)、并且在傳感電極22、23從導(dǎo)電圖案101檢測檢查信號的狀態(tài)、在圖案的上方保 持相同間隔距離(測定間隔)的狀態(tài)，以與導(dǎo)電圖案的直列交叉(橫穿)的方式進(jìn)行移動。 另外，檢查信號供給單元11和傳感器單元12為與導(dǎo)電圖案、以及供電電極和傳感電極相對 向的位置時，在檢查對象的基板上也可以間隔配置(例如導(dǎo)電圖案的兩端)，相反，也可以 配置在接近位置上。這是因為雙組檢查部2通過電容耦合，檢測檢測信號的變化，因而由于 斷線在導(dǎo)電圖案中的容量與正常時不同，作為檢測信號的變化呈現(xiàn)。這樣構(gòu)成的第一檢查部和第二檢查部在對作為檢查對象的基板100上方進(jìn)行一 體地一次掃描移動中，分別實施檢查動作，對一個導(dǎo)電圖案101都進(jìn)行各一次檢查，在分別 檢測出的檢測信號S0a、S0b中包含對同一導(dǎo)電圖案的檢查結(jié)果。即，當(dāng)從檢查部側(cè)看時，通 過一次的檢查能夠得到兩次的結(jié)果，從導(dǎo)電圖案側(cè)看時，通過僅有的時間差能夠?qū)嵤﹥纱?檢查。圖2 (a)表示利用第一檢查部(傳感電極22)的判斷信號Sja、以及利用第二檢查 部(傳感電極23)的判斷信號Sjb，為用于說明關(guān)于根據(jù)各個的相同水平的判斷基準(zhǔn)選出缺 陷候補的圖。這里，縱軸可以表示信號值，橫軸可以表示時間軸或者導(dǎo)電圖案位置。在檢查信號供給單元11移動到導(dǎo)電圖案上方時，通過從供電電極21a和供電電極 21b分別與不同的導(dǎo)電圖案進(jìn)行電容耦合，施加相同的交流的檢查信號。傳感電極22、23通過圖案上方的同時，將傳輸于導(dǎo)電圖案101的檢查信號分別作 為檢測信號SOa從傳感電極22、作為檢測信號SOb從傳感電極23檢測。因此，對于一個導(dǎo) 電圖案101，能夠得到兩個檢查結(jié)果。這兩個檢查結(jié)果因為僅偏差傳感器之間的距離，所以， 通過下述的距離軸匹配，對齊檢查位置。另外，這里所說的距離軸匹配是指因為傳感電極22 和傳感電極23間隔數(shù)個圖案的距離而配置，所以在兩個檢測數(shù)據(jù)(檢測信號)中，產(chǎn)生相 應(yīng)距離的偏差。在用于對其進(jìn)行比較時，為了消除該距離的差異，接近檢測數(shù)據(jù)的任一方或 者雙方，在軸上以同一導(dǎo)電圖案一致的方式進(jìn)行移動。在圖2(b)中，使圖2(a)所示的各個判斷信號沿橫軸方向移動，使在縱軸上的圖案
位置一致。首先，檢測信號S0a、S0b被輸出至檢查信號處理部5。在檢查信號處理部5中，根 據(jù)需要實施檢測信號的放大，從放大的檢測信號中除去噪聲成分，從檢查信號SOa、SOb生 成判斷信號Sja、Sjb，輸出至缺陷判斷部20。如圖2(a)所示，該缺陷判斷部20，首先將作為預(yù)先設(shè)定的判斷基準(zhǔn)的相同基準(zhǔn)信 號和各個判斷信號Sja、Sjb進(jìn)行比較，對基準(zhǔn)以下的峰值作為缺陷候補Pal、Pa2和Pbl、Pb2 選出。另外，在圖2(a)中，將基準(zhǔn)以下(或者未到基準(zhǔn))的峰值信號作為缺陷候補設(shè)定，但 是，在信號檢測方法中，也有將基準(zhǔn)以上(或者超過基準(zhǔn))的峰值信號作為缺陷候補設(shè)定的 情況。如上所述，這些判斷信號Sja、Sjb,因為間隔數(shù)個圖案距離配置傳感電極22和傳感電極23，所以，如圖2(b)所示，為了在判斷信號中圖案為同一位置(相同檢測時刻)，通 過距離軸匹配使圖案位置一致。接著，比較如圖2(b)所示的在判斷信號Sja、Sjb中的缺陷候補Pal、Pa2以及Pbl、 Pb2。在該比較中，缺陷候補Pa2和Pbl在縱軸上一致。另外的缺陷候補Pal和Pb2都在縱 軸上一致的缺陷候補不存在。根據(jù)該比較結(jié)果，缺陷判斷部20判斷缺陷候補Pa2和Pbl為 真缺陷，判斷另外的缺陷候補Pal和Pb2為疑似缺陷候補，即為噪聲等。即，導(dǎo)電圖案中的 缺陷為不變的，即使進(jìn)行多次檢查，也得到表示同樣缺陷的檢測信號。與此對比，重疊于檢 測信號的噪聲等，在短時間且單獨產(chǎn)生的情況較多。因此，在包含在利用最初的第一檢查部 的檢測信號中的缺陷候補，作為缺陷候補不包含在利用之后的第二檢查部的檢測信號中的 情況下，第一檢查部的缺陷候補判斷為起因于噪聲等的疑似缺陷。在本實施方式中，為兩組由供電電極和一對傳感電極構(gòu)成的檢查部，但是，當(dāng)然， 并不局限于兩組，必要時，也可以使用三組以上的供電電極和一對傳感電極。由以上可知，根據(jù)本實施方式的雙組檢查部，從檢查部側(cè)看，通過在對檢查對象的 基板100上方進(jìn)行一次移動檢查，第一檢查部和第二檢查部分別進(jìn)行檢查動作，對一個導(dǎo) 電圖案101都進(jìn)行各一次檢查，分別得到檢測信號SOa、SOb0在這些檢測信號中，都包含 對同一導(dǎo)電圖案的檢查結(jié)果，通過一次的檢查能夠得到兩次的結(jié)果。在從這些檢測信號中 選出缺陷候補并進(jìn)行圖案的對位的檢測信號中，將存在于同一位置的缺陷候補判斷為真缺 陷。因而，通過由一次檢測動作得到的檢查信號，實現(xiàn)可靠的判斷，能夠得到適當(dāng)?shù)爻?去噪聲等的導(dǎo)電圖案好壞的結(jié)果。下面，對本發(fā)明的第二實施方式涉及的電路圖案檢查裝置進(jìn)行說明。圖3為表示第二實施方式涉及的電路圖案檢查裝置的整體構(gòu)成的框圖。圖4為表 示電路圖案檢查裝置中雙組檢查部的構(gòu)成的圖。另外，對于與圖1所示的構(gòu)成部位相同的 部位賦予相同的參照符號。該電路圖案檢查裝置1構(gòu)成為包括雙組檢查部2，該雙組檢查部2在檢查時被設(shè) 定成在形成于上述基板100上的多列導(dǎo)電體圖案101上方間隔規(guī)定距離；移動機構(gòu)3，該移 動機構(gòu)3保持雙組檢查部2的間隔(非接觸)狀態(tài)，以在導(dǎo)電體圖案101上方交叉的方式 進(jìn)行移動；驅(qū)動控制部4，該驅(qū)動控制部4驅(qū)動控制移動機構(gòu)3 ；檢查信號供給部13，該檢查 信號供給部13供給雙組檢查部2由交流構(gòu)成的檢查信號；噪聲除去部24、25，該噪聲除去 部24、25生成從由雙組檢查部2的傳感電極22a、23a檢測出的檢測信號減去利用噪聲電極 22b,23b的噪聲信號的檢測信號S0(S0a，SOb)；檢查信號處理部5，該檢查信號處理部5對 檢測信號S0(S0a，D0b)實施下述的信號處理；控制部6，該控制部6控制裝置的整體，而且， 進(jìn)行基于來自檢查信號處理部5的缺陷判斷信號Sj的導(dǎo)電圖案的好壞的缺陷判斷；輸入部 7，該輸入部7由用于對控制部6進(jìn)行指示的鍵盤或開關(guān)面板等構(gòu)成；以及顯示部8，該顯示 部8顯示包含輸入的指示或檢查結(jié)果的檢查信息。雙組檢查部2由將檢查信號供給(施加)于導(dǎo)電圖案101的檢查信號供給單元 11、以及檢測供給導(dǎo)電圖案101的檢查信號的傳感器單元12所構(gòu)成。這些單元通過移動機 構(gòu)3對導(dǎo)電圖案101在上方保持間隔距離(測定間隔)的狀態(tài)下進(jìn)行移動。在移動機構(gòu)3 中設(shè)有未圖示的用于測定與導(dǎo)電圖案101距離的距離傳感器和高度調(diào)整機構(gòu)，調(diào)整成從檢查時的檢查信號供給單元11以及傳感器單元12的導(dǎo)電圖案的間隔距離總是恒定。如圖3所示，在檢查信號供給單元11中，在間隔圖案數(shù)列的距離的導(dǎo)電圖案101 的上方分別設(shè)有間隔相同距離的供電電極21a、21b。在供電電極21a、21b中，從檢查信號 供給部13以相同的周期時刻分別施加同電壓值相同頻率的交流檢查信號。這些供電電極 21a、21b的電極寬度為被適宜地設(shè)定，當(dāng)檢查信號能夠適當(dāng)?shù)毓┙o時，可以為導(dǎo)電圖案101 的寬度以下，當(dāng)向鄰接的導(dǎo)電圖案不施加檢查信號時，也可以具有導(dǎo)電圖案101寬度以上。本實施方式在傳感器單元12中分別設(shè)有兩個傳感電極成對的傳感器對22、23。例如，在傳感器對22中，一側(cè)的傳感電極22a在與供電電極21a同一導(dǎo)電圖案上 方配置成能夠相對向。此外，成對的傳感電極22b在從傳感電極22a間隔數(shù)個圖案的導(dǎo)電 圖案101的上方配置成相對向。該傳感電極22b被構(gòu)成為配置于從供給檢查信號的導(dǎo)電圖 案間隔數(shù)個圖案的導(dǎo)電圖案上方，并檢測噪聲。在下面的說明中，將該傳感電極22b稱作噪 聲電極22b。像本實施方式那樣，在利用由與檢查對象(導(dǎo)電圖案)非接觸的檢查電極的電容 耦合進(jìn)行測定的情況下，不存在接觸型傳感器那樣的絕對性的基準(zhǔn)電位(例如，GND :0V)。 因此，設(shè)置具有與傳感電極22a相同特性的噪聲電極22b，對不供給檢查信號的導(dǎo)電圖案進(jìn) 行檢測，檢測無信號狀態(tài)下的信號值例如噪聲信號。通過從由傳感電極22a檢測出的檢查 信號比較或者減去重疊的噪聲，成為合適的檢測信號。在通過傳感器單元12檢測出的實際的檢測信號中，不僅有起因?qū)щ婓w圖案中配 線誤差的周期性的噪聲的影響，還包括移動時產(chǎn)生的機械伺服機構(gòu)噪聲、以及間隔距離的 變動和來自配置在周邊的器械的共態(tài)噪聲(傳輸在接地線上的噪聲)的影響等。在本實施方式中，在從傳感電極22a間隔規(guī)定距離，例如2mm位置配置噪聲電極 22b。根據(jù)該構(gòu)成，將利用傳感電極22a的檢測輸出、以及利用噪聲電極22b的檢測輸出輸 送至檢查信號處理部5，通過減去重疊的噪聲，在作出虛擬接地電位(GND)的同時，進(jìn)行噪 聲的除去。此外，在本實施方式中，在圖1中表示將檢查信號供給單元11和傳感器單元12配 置在導(dǎo)電圖案101的兩端的實例，但是，該配置僅表示為一個實例，在實際中，也可以設(shè)置 成使其接近。此外，在檢查地方也沒有必要在導(dǎo)電圖案101的兩端側(cè)。在檢查信號供給單 元11和傳感器單元12作為一個單元接近基板上進(jìn)行配置的構(gòu)成的情況下，當(dāng)為導(dǎo)電圖案 上方時，不論為中央側(cè)，還是在任一端側(cè)，當(dāng)以交叉方式進(jìn)行移動時，就能夠?qū)嵤z查。在本實施方式中，傳感電極22a、23a以及噪聲電極22b、23b為了盡量大地檢測出 信號值，具有為導(dǎo)電圖案101的寬度以上、且不覆蓋鄰接的導(dǎo)電圖案的寬度。S卩，具有導(dǎo)電 圖案101的寬度和鄰接的圖案間隙之和(兩側(cè)兩個間隙)以下的寬度。此外，對于沿導(dǎo)電 圖案的方向不作限定，也可以適當(dāng)?shù)卦O(shè)定電極的長度。下面，對檢查信號處理部5進(jìn)行說明。檢查信號處理部5由利用平滑化部14、距離軸匹配部15、差值算出部16、微小變化 增強部17、脈沖噪聲平滑化部18的各電子電路所構(gòu)成。再者，使用對導(dǎo)電圖案101進(jìn)行缺 陷判斷的控制部6內(nèi)的缺陷判斷部20。檢查信號處理部5對輸入的檢查信號S0a、S0b順次進(jìn)行實施平滑處理的平滑化處 理、上述的距離軸匹配處理、差值算出處理、微小變化增強處理、脈沖噪聲平滑化處理。檢查信號被實施這些處理，變換成缺陷判斷信號Sj (Sja，Sjb)，輸出至對整個導(dǎo)電圖案101進(jìn)行 缺陷判斷的缺陷判斷部20。在缺陷判斷部20中，基于各個判斷信號Sja、Sjb來判斷有無 缺陷，并將其判斷結(jié)果顯示于顯示部8的畫面上?？刂撇?由進(jìn)行裝置整體的各構(gòu)成部的控制的CPU(中央處理單元)19、缺陷判斷 部20、存儲有關(guān)程序或數(shù)據(jù)信息的存儲器9構(gòu)成。存儲器9為一般的存儲器，利用例如ROM、RAM或者閃存器等，存儲控制用程序、各 種運算用程序以及數(shù)據(jù)(圖表)等。下面，參照圖5 (a)-(c)和圖6(a)-(c)，對通過檢查信號處理部5的各構(gòu)成部進(jìn)行 的處理進(jìn)行說明。圖7表示測定條件。圖5 (a)表示傳感器對22、23的各個檢測信號SO (SOa, SOb)。該檢測信號SO為從 利用上述傳感電極22a、23b的檢測信號獲取利用噪聲電極22b、23b的檢測信號(噪聲信 號)之差，制作噪聲除去和虛擬接地電位(GND)的信號。在本實施例中，如上所述，因為空開多個導(dǎo)電圖案的間隔配置傳感器對22、23，所 以，如圖4所示，在使其在基板100上的導(dǎo)電圖案101上移動并且以時間序列的方式實施檢 查的情況下，在通過同一導(dǎo)電圖案時，產(chǎn)生時間差。因此，在檢測的檢測信號S0a、S0b中，如 圖5(a)的Al、A2、A3所示具有時間差，在信號波形產(chǎn)生相同的變化。此外，在對導(dǎo)電圖案施加檢查信號時，存在噪聲從外部通過其他途徑進(jìn)入并且該 噪聲重疊于檢測信號而被檢測的情況。這樣的噪聲的大部分瞬間附加的情況較多，當(dāng)用兩 個傳感電極錯開時間，對同一導(dǎo)電圖案進(jìn)行檢測時，即使用一側(cè)的傳感電極檢測出噪聲，但 另一側(cè)的傳感電極中該噪聲沒被檢測出。因此，通過設(shè)定時間差，比較兩個電極的檢測信 號，能夠辨別是檢測信號變化還是噪聲。接著，如果需要，對檢測信號進(jìn)行平滑化處理，對檢測信號的振幅和波動進(jìn)行緩慢 化。如圖5(a)所示，這里，波動是指整個信號(或者振幅中心)像波起伏那樣值(電壓值) 產(chǎn)生變化。圖5 (b)表示通過平滑化部14對檢測信號進(jìn)行平滑化處理的檢測信號Sl (Sla, Slb)。采用一般的平滑化電路實施平滑化處理，使檢測信號的振幅遲緩。平滑化的檢測信號Sla、Slb因為還具有時間差(相位差)，所以，如圖5 (c)所示， 通過距離軸匹配部15實施使兩個檢測信號的相位一致的匹配處理。通過該匹配處理，在圖 5(a)所示的Al中表示檢測信號S2(S2a，S2b)。在該匹配處理中，因為兩個傳感電極之間的 距離、以及檢測時的傳感電極的移動速度是已知，所以能夠容易地算出移動距離差。只使一 側(cè)的檢測信號僅移動其移動距離差即可。通過該匹配處理，同一導(dǎo)電圖案中的檢測信號一致。這是表示例如，圖5(a)所示 的括起來的相同的注意地方的Al傾斜。但是，通過實施匹配處理，Al成垂直方向，其傾斜 消失，顯示為一致。再者，分別對一致的檢測信號S2a、S2b通過差值算出部16獲得差值。具體是，如 圖6(a)所示的差分信號S3(S3a、S3b)在檢測信號S2a、S2b為以某個間隔抽樣的信號值的 情況下，獲取與之前的信號值的差分，為用該差值圖示的信號。因此，縱軸的輸出電壓值與 圖5(c)相比，小兩位以上。此外，通過獲取該信號的差分，僅抽取兩個差分信號S3a、S3b的 變化特征，而且，能夠作出一致的虛擬接地電位(GND)。通過虛擬接地電位，整個信號的波動 (信號振幅的基準(zhǔn)值的上下變化)消失，成為處于恒定基準(zhǔn)值(OV)的振幅信號。
11
在圖6(b)中，表示通過微小變化增強部17對差分信號S3a、S3b實施增強處理的 乘積信號S4。該增強處理利用差分信號S3a和差分信號S3b的乘積進(jìn)行運算處理(下面， 稱作乘積運算)。該乘積運算當(dāng)同一導(dǎo)電圖案101存在不良地方時，差分信號S3a、S3b中因 為在信號值上都產(chǎn)生變化，所以，通過這些相乘(乘積運算)，比未處理的算出值更增強其 變化。當(dāng)簡單地說明時，例如，正常時的信號值為3，當(dāng)不良(有缺陷)時的信號值為5時， 必須通過其差2進(jìn)行好壞判斷。但是，如本實施方式那樣，從同一導(dǎo)電圖案將進(jìn)行兩次檢測的信號彼此相乘，正常 時為3X3 = 9，不良時為5X5 = 25，9與25比較，根據(jù)其差16能夠進(jìn)行好壞判斷。根據(jù)采用本實施方式中利用圖7中的測定條件的測定結(jié)果，增強圖6(b)所示的 Al、A2、A3地方的檢測信號。接著，如圖6(c)所示，對增強處理的乘積信號S4通過使用一般的濾波器等的脈沖 噪聲平滑化部18，進(jìn)行脈沖噪聲的平滑化處理。通過該處理對在極短時間的急劇的變化進(jìn) 行緩慢化，通過使脈沖噪聲不突出，能夠得到如圖6(c)所示的振幅變化緩慢化的信號(缺 陷判斷信號Sj)。接著，判斷信號Sj輸出至設(shè)置在控制部6的缺陷判斷部20。在缺陷判斷部20中， 設(shè)定如圖6(c)所示的判斷閾值。該判斷閾值基于判斷信號Sj的正常時的值(信號B1，B2 的范圍)進(jìn)行適當(dāng)?shù)卦O(shè)定。在本實施方式中，作為一例設(shè)定判斷閾值為正常時的峰值的大 致2倍的0.00012V。對檢測出超過該閾值的信號值A(chǔ)1、A2、A3的導(dǎo)電圖案101，判斷為在3 根導(dǎo)電圖案101上存在缺陷(斷線)。另外，基于坐標(biāo)圖的橫軸所示的移動距離，能夠特定 存在缺陷的導(dǎo)電圖案101。如上說明那樣，在本實施方式的電路圖案檢查裝置中，對作為檢查對象的導(dǎo)電圖 案，在移動的供電電極21a相對向時，采用非接觸方式進(jìn)行電容耦合，施加交流檢查信號， 此時，從與該導(dǎo)電圖案相對向的傳感電極22a檢測出第一檢測信號。再者，經(jīng)時后對同一導(dǎo) 電圖案，在移動的供電電極21b相對向時，采用非接觸方式進(jìn)行電容耦合，施加交流檢查信 號，此時，從與該導(dǎo)電圖案相對向的傳感電極23a檢測出第二檢測信號。因此，在本實施方式中，對同一導(dǎo)電圖案通過至少兩組的傳感器對進(jìn)行兩次檢測， 并通過比較同步的兩個檢測信號，判斷有無缺陷。再者，在利用比較的判斷中，在檢測的兩個檢測信號中變化少的情況下，獲取這些 第一檢測信號和第二檢測信號的乘積，生成使缺陷地方的信號變化顯著增強的缺陷判斷信 號。缺陷判斷信號使用噪聲電極的檢測信號來除去穩(wěn)定地重疊在檢測信號中的噪聲。另外，在本實施方式中，說明了對于各個導(dǎo)電圖案，通過兩組的傳感器對進(jìn)行兩次 檢測的實例，當(dāng)然，并不限定于此，也可以使用兩組以上的傳感器對，進(jìn)行兩次以上的檢測。此外，在上述的實施方式中，為傳感電極和噪聲電極的傳感器對。但是，傳感電極 (第一傳感電極)在與某個導(dǎo)電圖案相對向時，通過以與鄰接的導(dǎo)電圖案相對向的方式鄰 接設(shè)置第二傳感電極，不僅能夠檢測斷線缺陷，而且能夠檢測短路缺陷。在該情況下，第二 傳感電極未必需要正對鄰接的導(dǎo)電圖案，即使僅覆蓋該導(dǎo)電圖案的一部分也能夠檢測。此 外，在上述的實例中，獲取兩個檢測信號的乘積進(jìn)行增強處理，但是，也可以為在兩個以上 的檢測信號中的乘積運算。此外，在本實施方式中，是為了力求檢查時間的效率化(提高檢查處理速度)，通過搭載雙組檢查部2的移動機構(gòu)3，在移動狀態(tài)下連續(xù)進(jìn)行檢查的實例。與此對比，現(xiàn)有的 電路圖案檢查裝置例如搭載傳感器對(傳感電極和噪聲電極)或者一個傳感器(僅傳感 電極)的檢查裝置也能夠適用本發(fā)明的檢查方法。即，對每個排列的導(dǎo)電圖案進(jìn)行使其移 動停止的步驟，通過在停止時進(jìn)行至少兩次檢查，能夠得到具有時間差的檢查結(jié)果。對于這 些檢查結(jié)果，通過進(jìn)行上述的檢查信號的乘積運算，能夠得到圖6(c)所示的相同的缺陷判 斷信號，能夠得到同等的檢查結(jié)果?？傊?，當(dāng)能夠獲得對一個檢查對象具有時間差的多個檢測信號時，能夠?qū)θ魏螜z 查裝置都適用，能夠得到同等的檢查結(jié)果。另外，雖然實際上是不可能的，但是，作為單純的 理論，當(dāng)為噪聲沒有明顯重疊的檢測信號時，即使為一個檢測信號S的乘積(SXS)，也能夠 得到同等的檢查結(jié)果。在該乘積運算中，也可以進(jìn)行多次。此外，與本實施方式不同，對檢測信號即使乘以某個系數(shù)，也能夠使正常的導(dǎo)電圖 案的檢測信號與存在缺陷的導(dǎo)電圖案的檢測信號之差在一定程度上變大。但是，因為對各 個導(dǎo)電圖案的檢測信號乘以同一系數(shù)，所以，在檢測信號之間的差較小的情況下，其差不會 變得太大，未必能夠說判斷變得容易，而且，沒有系數(shù)中的依據(jù)，因為脫離了發(fā)明宗旨，所以 不采用。下面，對搭載圖7所示的第二實施方式涉及的雙組檢查部的電路圖案檢查裝置進(jìn) 行說明。雖然為在上述的第一實施方式中的檢查信號處理部5中采用電子電路進(jìn)行實施 的實例，但是，本實施方式為通過應(yīng)用軟件(高精度缺陷抽出算法)實現(xiàn)檢查信號處理部5 執(zhí)行的信號處理的實例。在本實施方式中，首先，對由傳感器對22、23所得的檢測信號，實施為了將各檢測 信號的振幅和波動緩慢化的平滑化處理(平滑化處理工序)。接著，將由傳感器對22所得的檢測信號設(shè)為fn，由傳感器對23所得的檢測信號設(shè) 為gn，在將形成包括缺陷的波形的數(shù)據(jù)點數(shù)的1/2設(shè)為i的情況下，該i的數(shù)據(jù)數(shù)的差分表 示為(差值算出處理工序)
權(quán)利要求
1.一種電路圖案檢查裝置，將多個導(dǎo)電圖案形成直列狀的基板作為檢查對象，所述電 路圖案檢查裝置的特征在于包括第1傳感器對，該第1傳感器對具備與所述導(dǎo)電圖案中的第一導(dǎo)電圖案同時相對向的 第一供電電極和第一傳感電極；第2傳感器對，該第2傳感器對具備與從所述第一導(dǎo)電圖案間隔預(yù)先設(shè)定的圖案數(shù)目 的距離的第二導(dǎo)電圖案同時相對向的第二供電電極和第二傳感電極；移動部，該移動部保持所述第1傳感器對和所述第2傳感器對，在所述導(dǎo)電圖案的上方 以一定的距離分開，并且以與該導(dǎo)電圖案的直列相交叉的方式進(jìn)行移動；檢查信號供給部，該檢查信號供給部在利用所述移動部的所述第1傳感器對和所述第 2傳感器對的移動中，供給所述第一供電電極和所述第二供電電極由交流信號構(gòu)成的同一 檢查信號，將該檢查信號順次施加于與所述第一供電電極和所述第二供電電極相對向、并 且進(jìn)行電容耦合的各個導(dǎo)電圖案；檢查信號處理部，該檢查信號處理部將預(yù)先設(shè)定的判斷基準(zhǔn)值，與通過分別與施加所 述檢查信號的所述導(dǎo)電圖案進(jìn)行電容耦合的所述第一傳感電極和所述第二傳感電極獲得 的第一檢測信號和第二檢測信號進(jìn)行比較，從而選出缺陷候補，進(jìn)而，以在所述第一檢測信 號上和所述第二檢測信號上的導(dǎo)電圖案的位置一致的方式進(jìn)行使任一檢測信號的位置移 動的距離軸匹配；以及缺陷判斷部，該缺陷判斷部將所述導(dǎo)電圖案的位置一致的所述第一檢測信號和所述第 二檢測信號中的所述缺陷候補彼此進(jìn)行比較，將在相同圖案位置上共通存在的缺陷候補判 斷為所述導(dǎo)電圖案的真缺陷。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電路圖案檢查裝置，其特征在于 所述檢查信號處理部除了所述距離軸匹配部，還包括差值算出部，該差值算出部以任意間隔從所述檢測信號中抽取信號值，通過以時間序 列的方式與之前的信號值的差分，生成各個差分信號；以及微小變化增強部，該微小變化增強部將所述差分信號相乘，生成更加增強包含在該差 分信號中的信號的局部變化的乘積信號。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電路圖案檢查裝置，其特征在于 在所述電路圖案檢查裝置中，所述第1傳感器對具有第一噪聲電極，該第一噪聲電極在從所述第一傳感電極間隔任 意圖案數(shù)目的第三導(dǎo)電圖案的上方分開配置；并且所述第2傳感器對具有第二噪聲電極，該第二噪聲電極在從所述第二傳感電極間隔任 意圖案數(shù)目的第四導(dǎo)電圖案的上方分開配置。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的電路圖案檢查裝置，其特征在于 在所述電路圖案檢查裝置中，所述缺陷判斷部在通過所述距離軸匹配部使所述第一檢測信號和所述第二檢測信號 的檢測時刻同步時，將所述檢測信號的局部變化與基于所述移動部的移動速度決定的所述 導(dǎo)電圖案的形成位置進(jìn)行對照，決定存在缺陷的導(dǎo)電圖案。
5.一種電路圖案檢查裝置的檢查方法，為具備檢查部的電路圖案檢查裝置的檢查方 法，該檢查部將多個導(dǎo)電圖案形成直列狀的基板作為檢查對象，由在與用于檢測存在缺陷的導(dǎo)電圖案的所述導(dǎo)電圖案的直列相交叉的方向上空開規(guī)定的圖案數(shù)目的距離而并排設(shè) 置的至少兩組供電電極和一對傳感電極所構(gòu)成，所述電路圖案檢查裝置的檢查方法的特征 在于使所述檢查部沿與所述直列交叉的方向移動，并通過電容耦合從各個所述供電電極對 彼此分開的不同的導(dǎo)電圖案順次施加由交流信號構(gòu)成的同一檢查信號，通過對傳輸于施加了所述檢查信號的各個所述導(dǎo)電圖案的所述檢查信號進(jìn)行電容耦 合，分別從所述傳感電極獲得第一檢測信號和第二檢測信號，將預(yù)先設(shè)定的判斷基準(zhǔn)值與所述第一檢測信號和第二檢測信號進(jìn)行比較，從而選出缺 陷候補，以在所述第一檢測信號上和所述第二檢測信號上的導(dǎo)電圖案的位置一致的方式，使任 一檢測信號的位置移動而得到距離軸匹配，將所述導(dǎo)電圖案的位置一致的所述第一檢測信號和所述第二檢測信號中的所述缺陷 候補彼此進(jìn)行比較，將在相同圖案位置上共通存在的缺陷候補判斷為所述導(dǎo)電圖案的真缺 陷。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的電路圖案檢查裝置的檢查方法，其特征在于 以任意間隔從同步的所述多個檢測信號中抽取信號值，通過以時間序列的方式與之前 的信號值的差分，生成各個差分信號，將所述差分信號相乘，生成更加增強包含在該差分信號中的信號的局部變化的乘積信號。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種電路圖案檢查裝置，能夠解決在采用非接觸方式與導(dǎo)體圖案進(jìn)行電容耦合的電極的電路圖案檢查裝置中，隨著檢查對象的導(dǎo)電圖案的微細(xì)化的進(jìn)展，得到的檢查信號值變小，判斷缺陷變難的問題。本發(fā)明的電路圖案檢查裝置將具備空開間隔配置的兩組的傳感器對的檢查部移動的同時，通過電容耦合對各導(dǎo)電圖案施加由交流信號構(gòu)成的檢查信號，并且通過電容耦合檢測傳輸于導(dǎo)電圖案的檢查信號，通過利用一次移動的檢查分別檢測來自各導(dǎo)電圖案的檢查信號，將這些檢測信號與判斷基準(zhǔn)值進(jìn)行比較，從而選出缺陷候補，使在各檢查信號中的導(dǎo)電圖案的位置一致，將缺陷候補彼此進(jìn)行比較，將在相同圖案位置上共通存在缺陷候補的導(dǎo)電圖案判斷為不良。
文檔編號G01R31/28GK101995545SQ201010243928
公開日2011年3月30日 申請日期2010年8月2日 優(yōu)先權(quán)日2009年8月4日
發(fā)明者加藤浩介, 坂和正敏, 羽森寬 申請人:Oht株式會社