專利名稱：雙軸mems掃描的外差干涉系統(tǒng)及方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種基于快速光掃描的激光外差干涉儀系統(tǒng)和方法。
技術(shù)背景
外差干涉是使兩束干涉光波頻率產(chǎn)生一個(gè)頻差，使原來的以光頻為載波的被檢 信息轉(zhuǎn)移到以這一頻差為載波的視頻信號(hào)，從而使光電探測器后的前置放大器可以用交 流放大器代替原先的直流放大器，使信號(hào)的直流漂移及大部分隨機(jī)噪聲得到有效的抑 制，提高了測量精度及重復(fù)性精度。外差干涉實(shí)時(shí)檢測技術(shù)以其測量精度高，測量速度 快，縱向分辨率和橫向分辨率高而被廣泛應(yīng)用在超光滑表面檢測，光學(xué)玻璃的面型測量 以及薄膜厚度的測量方面。
作為正交偏振外差干涉儀系統(tǒng)中的光源發(fā)射系統(tǒng)，正交偏振光源的重要性就顯 得尤為重要。目前廣泛應(yīng)在激光外差干涉儀系統(tǒng)中的正交偏振光源大多是基于塞曼效應(yīng) 的He-Ne激光器，該激光器依靠在He-Ne激光管上外加磁場，由塞曼效應(yīng)分裂后產(chǎn)生左 旋光和右旋光。但是由于外加磁場的不理想，引起了正交偏振光的偏振方向不是嚴(yán)格的 垂直正交。
隨著紅外光學(xué)材料的發(fā)展以及被廣泛應(yīng)用在各個(gè)領(lǐng)域，對(duì)于紅外光學(xué)材料的檢 測也就隨之被廣泛關(guān)注。然而，目前的激光外差干涉儀系統(tǒng)中所用到的激光光源仍然停 留在可見光波段附近，比較常用的光源一般采用光束質(zhì)量較好He-Ne激光器，或者是具 有一定帶寬的半導(dǎo)體激光器。這些波長對(duì)于紅外材料的高精度測量已經(jīng)滿足不了要求。
外差干涉儀系統(tǒng)不管是用來檢測超光滑樣品的表面還是薄膜的厚度測量，都是 對(duì)整個(gè)待測樣品表面的整體測量。早期的外差干涉儀系統(tǒng)中大都采用待測樣品的機(jī)械運(yùn) 動(dòng)的方式來達(dá)到對(duì)樣品全局掃描測量的目的。這種方式簡單易操作，但是由于機(jī)械運(yùn)動(dòng) 的方式存在比較大的振動(dòng)誤差，給橫向測量分辨率和縱向測量分辨率帶來較大的影響。
總而言之，目前的正交偏振外差干涉儀系統(tǒng)中主要存在以下四方面的問題。 (一)，工作波長停留在可見光波段。(二)掃描方式采用樣品運(yùn)動(dòng)的方式來達(dá)到掃描的 目的。(三)，干涉系統(tǒng)中光束的傳播途徑是自由空間的模式。(四)正交偏振光源采用 塞曼效應(yīng)的雙頻發(fā)射系統(tǒng)。發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明為了解決現(xiàn)有的正交偏振外差干涉儀技術(shù)工作波長為可見光波段，并且 震動(dòng)誤差大的問題，提出一種雙軸MEMS掃描的外差干涉系統(tǒng)及方法。
雙軸MEMS掃描的外差干涉系統(tǒng)，它包括分束棱鏡、檢偏器、第一光電探測 器、第二偏振分束棱鏡、第三偏振分束棱鏡、合束棱鏡、第二光電探測器、計(jì)算機(jī)、1/4 波片、MEMS振鏡、F-Theta透鏡組、待測樣品池和反射鏡，分束棱鏡將入射至其中 心位置的光束進(jìn)行分束形成反射光束和透射光束，其中反射光束經(jīng)過檢偏器后聚焦至第 一光電探測器的光敏面上，第一光電探測器的信號(hào)輸出端與計(jì)算機(jī)的第一信號(hào)輸入端相連，所述透射光束經(jīng)過第二偏振分束棱鏡透射的光束傳播至第三偏振分束棱鏡，所述透 射光束經(jīng)過第二偏振分束棱鏡反射的光束傳播至合束棱鏡，第三偏振分束棱鏡透射的光 束先后經(jīng)過1/4波片和MEMS振鏡之后入射至F-Theta透鏡組，所述MEMS振鏡設(shè)置在 F-Theta透鏡組的系統(tǒng)焦點(diǎn)處，F(xiàn)-Theta透鏡組的出射光束射入待測樣品池，待測樣品池 的出射光束經(jīng)過反射鏡的反射沿原光路返回至第三偏振分束棱鏡，第三偏振分束棱鏡反 射的光束傳播至合束棱鏡，合束棱鏡的出射光束聚焦至第二光電探測器的光敏面上，第 二光電探測器的信號(hào)輸出端與計(jì)算機(jī)的第二信號(hào)輸入端相連。
雙軸MEMS掃描的正交偏振激光外差干涉方法，它是基于雙軸MEMS掃描的正 交偏振激光外差干涉系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)的，偏振正交激光發(fā)射系統(tǒng)出射的光束經(jīng)過分束棱鏡后被 分成第一透射光束和第一反射光束，所述第一反射光束和第一透射光束均為偏振正交光 束，第一反射光束經(jīng)過檢偏器后變成偏振方向與紙面成45°的光束，并且入射至第一光 電探測器的光敏面上，第一光電探測器的輸出信號(hào)作為參考中頻信號(hào)發(fā)送至計(jì)算機(jī)，第 一透射光束經(jīng)過第二偏振分束棱鏡后光束中的S光被反射出去，P光被透射出去，所述P 光經(jīng)過第三偏振分束棱鏡后再次被透射，入射至1/4波片，經(jīng)過1/4波片透射出的光束變 成右旋圓偏振光后，照射在MEMS振鏡上，MEMS振鏡的快軸和慢軸同時(shí)轉(zhuǎn)動(dòng)，在空間 掃描出了一個(gè)空間范圍，在空間的掃描光束透射過F-Theta透鏡組變成平行光透射過待測 樣品池，經(jīng)過反射鏡的平行光沿原光路返回，再次透射過待測樣品池、F-Theta透鏡組、 MEMS振鏡和1/4波片，經(jīng)過1/4波片的右旋圓偏振光變成S光后入射至第三偏振分束棱 鏡，經(jīng)過第三偏振分束棱鏡反射的S光和第二偏振分束棱鏡反射的S光共同進(jìn)入到合束棱 鏡中進(jìn)行干涉，上述兩束混合光束被第二光電探測器的光敏面接收，第二光電探測器的 輸出信號(hào)作為測量中頻信號(hào)發(fā)送至計(jì)算機(jī)，經(jīng)過計(jì)算機(jī)處理后得到待測樣品的物理量信 息，所述物理量信息包括表面輪廓起伏信息，厚度信息，折射率分布信息。
本發(fā)明的裝置和方法采用人眼安全的2μιη激光波長，激光光束是通過光纖來傳 播的，正交偏振激光發(fā)射系統(tǒng)通過采用兩個(gè)聲光移頻器件來實(shí)現(xiàn)雙光束發(fā)射的目的。快 速掃描方式是通過MEMS振鏡和F-Theta透鏡組的組合光學(xué)掃描系統(tǒng)來實(shí)現(xiàn)對(duì)樣品的掃 描目的，本發(fā)明適用于紅外光學(xué)材料的檢測領(lǐng)域。


圖1為雙軸MEMS掃描的外差干涉系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖。圖2為雙軸MEMS掃 描的外差干涉系統(tǒng)的另一種結(jié)構(gòu)示意圖。圖3為具體實(shí)施方式
十一中F-Theta透鏡組18 的結(jié)構(gòu)示意圖。圖4為MEMS振鏡17和F-Theta透鏡組18結(jié)合的組合的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施方式
具體實(shí)施方式
一、結(jié)合圖1和圖2說明本實(shí)施方式，雙軸MEMS掃描的外差干 涉系統(tǒng)，它包括分束棱鏡8、檢偏器9、第一光電探測器10、第二偏振分束棱鏡11、第三 偏振分束棱鏡12、合束棱鏡13、第二光電探測器14、計(jì)算機(jī)15、1/4波片16、MEMS 振鏡17、F-Theta透鏡組18、待測樣品池19和反射鏡20，分束棱鏡8將入射至其中心位 置的光束進(jìn)行分束形成反射光束和透射光束，其中反射光束經(jīng)過檢偏器9后聚焦至第一 光電探測器10的光敏面上，第一光電探測器10的信號(hào)輸出端與計(jì)算機(jī)15的第一信號(hào)輸入端相連，所述透射光束經(jīng)過第二偏振分束棱鏡11透射的光束傳播至第三偏振分束棱鏡 12，所述透射光束經(jīng)過第二偏振分束棱鏡11反射的光束傳播至合束棱鏡13，第三偏振分 束棱鏡12透射的光束先后經(jīng)過1/4波片16和MEMS振鏡17之后入射至F-Theta透鏡組 18，所述MEMS振鏡17設(shè)置在F-Theta透鏡組18的系統(tǒng)焦點(diǎn)處，F(xiàn)-Theta透鏡組18的 出射光束射入待測樣品池19，待測樣品池19的出射光束經(jīng)過反射鏡20的反射沿原光路返 回至第三偏振分束棱鏡12，第三偏振分束棱鏡12反射的光束傳播至合束棱鏡13，合束棱 鏡13的出射光束聚焦至第二光電探測器14的光敏面上，第二光電探測器14的信號(hào)輸出 端與計(jì)算機(jī)15的第二信號(hào)輸入端相連。
具體實(shí)施方式
二、結(jié)合圖1和圖2說明本實(shí)施方式，本實(shí)施方式是對(duì)具體實(shí)施 方式一的進(jìn)一步說明，雙軸MEMS掃描的外差干涉系統(tǒng)，它還包括正交偏振激光發(fā)射系 統(tǒng)，該正交偏振激光發(fā)射系統(tǒng)包括激光器1、光纖分束器2、第一偏振移頻模塊kl、第二 偏振移頻模塊k2和第一偏振分束棱鏡7，激光器1發(fā)射的線偏振光進(jìn)入光纖分束器2，被 分為兩個(gè)支路，其中第一支路的光束經(jīng)過第一偏振移頻模塊kl后變成第一線偏振光入射 至第一偏振分束棱鏡7，第一線偏振光后經(jīng)過第一偏振分束棱鏡7被透射出去，第二支路 的光束經(jīng)過第二偏振移頻模塊k2后變成第二線偏振光入射至第一偏振分束棱鏡7，第二 線偏振光經(jīng)過第一偏振分束棱鏡7被反射出去，第一偏振分束棱鏡7的透射光束與反射光 束形成一束光發(fā)射至分束棱鏡8的中心位置，所述第一線偏振光和第二線偏振光偏振方 向相互垂直。
具體實(shí)施方式
三、本實(shí)施方式是對(duì)具體實(shí)施方式
二的進(jìn)一步說明，激光器1為 2 μ m激光器。
激光器1的工作波長處于人眼安全的2 μ m波段。
具體實(shí)施方式
四、本實(shí)施方式是對(duì)具體實(shí)施方式
二或三的進(jìn)一步說明，第一偏 振移頻模塊kl由第一聲光頻移器3和第一偏振器5組成，第二偏振移頻模塊k2由第二聲 光頻移器4和第二偏振器6組成，第一支路的光束經(jīng)過第一聲光頻移器3后入射至第一偏 振器5，第一偏振器5出射的光束為第一線偏振光；第二支路的光束經(jīng)過第二聲光頻移器 4后入射至第二偏振器6，第二偏振器6出射的光束為第二線偏振光；
具體實(shí)施方式
五、本實(shí)施方式是對(duì)具體實(shí)施方式
二或三的進(jìn)一步說明，第一偏 振移頻模塊kl由第一聲光頻移器3和第一偏振器5組成，第二偏振移頻模塊k2由第二聲 光頻移器4和第二偏振器6組成，第一支路的光束經(jīng)過第一偏振器5后入射至第一聲光頻 移器3，第一聲光頻移器3出射的光束為第一線偏振光，第二支路的光束經(jīng)過第二偏振器 6后入射至第二聲光頻移器4，第二聲光頻移器4出射的光束為第二線偏振光。
具體實(shí)施方式
六、本實(shí)施方式是對(duì)具體實(shí)施方式
四或五的進(jìn)一步說明，第一偏 振移頻模塊kl使得第一線偏振光的偏振方向垂直于紙面，第二偏振移頻模塊k2使得第二 線偏振光的偏振方向平行于紙面。
具體實(shí)施方式
七、本實(shí)施方式是對(duì)具體實(shí)施方式
一、二、三、四、五或六的進(jìn) 一步說明，分束棱鏡8的分光比為50 50。
具體實(shí)施方式
八、本實(shí)施方式是對(duì)具體實(shí)施方式
六或七的進(jìn)一步說明，檢偏器9 的偏振方向與紙面夾角為45°。
具體實(shí)施方式
九、本實(shí)施方式是對(duì)具體實(shí)施方式
六的進(jìn)一步說明，第一偏振分束棱鏡7、第二偏振分束棱鏡11和第三偏振分束棱鏡12均是透射偏振方向垂直于紙面光 束，反射偏振方向平行于紙面的光束。
具體實(shí)施方式
十、本實(shí)施方式是對(duì)具體實(shí)施方式
一、二、三、四、五、六、 七、八或九的進(jìn)一步說明，MEMS振鏡17接收光束直徑為1mm，并且二維最大空間掃描 角度為40度。
具體實(shí)施方式
十一、本實(shí)施方式是對(duì)具體實(shí)施方式
一、二、三、四、五、六、 七、八、九或十的進(jìn)一步說明，F(xiàn)-Theta透鏡組18由第一透鏡18-1、第二透鏡18-2和第 三透鏡18-3組成，所述第一透鏡18-1和第二透鏡18-2的材料是SFl 1，第三透鏡18_3 的材料是BK7，其中第一透鏡18-1的第一表面的曲率半徑為-241mm，第二表面的曲 率半徑為-197.70mm，中心厚度為31.15mm，邊沿厚度為25.72mm，第二透鏡18_2的 第一表面的曲率半徑為-1472.30mm，第二表面的曲率半徑為-510.50mm，中心厚度為 19.87mm，邊沿厚度為5.00mm，第三透鏡18_3的的第一表面的曲率半徑為1432.20mm， 第二表面的曲率半徑為-1260.83mm，中心厚度為M.16mm，邊沿厚度為5.00mm。
所述第一透鏡18-1、第二透鏡18-2和第三透鏡18_3的具體參數(shù)如下表所示
權(quán)利要求
1.雙軸MEMS掃描的外差干涉系統(tǒng)，其特征在于它包括分束棱鏡(8)、檢偏器(9)、 第一光電探測器(10)、第二偏振分束棱鏡(11)、第三偏振分束棱鏡(12)、合束棱鏡 (13)、第二光電探測器(14)、計(jì)算機(jī)(15)、1/4 波片(16)、MEMS 振鏡(17)、F-Theta 透鏡組(18)、待測樣品池(19)和反射鏡(20)，分束棱鏡(8)將入射至其中心位置的光束 進(jìn)行分束形成反射光束和透射光束，其中反射光束經(jīng)過檢偏器(9)后聚焦至第一光電探 測器(10)的光敏面上，第一光電探測器(10)的信號(hào)輸出端與計(jì)算機(jī)(15)的第一信號(hào)輸 入端相連，所述透射光束經(jīng)過第二偏振分束棱鏡(11)透射的光束傳播至第三偏振分束棱 鏡(12)，所述透射光束經(jīng)過第二偏振分束棱鏡(11)反射的光束傳播至合束棱鏡(13)，第 三偏振分束棱鏡(12)透射的光束先后經(jīng)過1/4波片(16)和MEMS振鏡(17)之后入射至 F-Theta透鏡組(18)，所述MEMS振鏡(17)設(shè)置在F-Theta透鏡組(18)的系統(tǒng)焦點(diǎn)處， F-Theta透鏡組(18)的出射光束射入待測樣品池(19)，待測樣品池(19)的出射光束經(jīng)過 反射鏡(20)的反射沿原光路返回至第三偏振分束棱鏡(12)，第三偏振分束棱鏡(12)反射 的光束傳播至合束棱鏡(13)，合束棱鏡(13)的出射光束聚焦至第二光電探測器(14)的光 敏面上，第二光電探測器(14)的信號(hào)輸出端與計(jì)算機(jī)(15)的第二信號(hào)輸入端相連。
2.雙軸MEMS掃描的外差干涉系統(tǒng)，其特征在于它還包括正交偏振激光發(fā)射系統(tǒng)， 該正交偏振激光發(fā)射系統(tǒng)包括激光器(1)、光纖分束器(2)、第一偏振移頻模塊(kl)、第 二偏振移頻模塊(k2)和第一偏振分束棱鏡(7)，激光器(1)發(fā)射的線偏振光進(jìn)入光纖分束 器(2)，被分為兩個(gè)支路，其中第一支路的光束經(jīng)過第一偏振移頻模塊(kl)后變成第一 線偏振光入射至第一偏振分束棱鏡(7)，第一線偏振光后經(jīng)過第一偏振分束棱鏡(7)被透 射出去，第二支路的光束經(jīng)過第二偏振移頻模塊(k2)后變成第二線偏振光入射至第一偏 振分束棱鏡(7)，第二線偏振光經(jīng)過第一偏振分束棱鏡(7)被反射出去，第一偏振分束棱 鏡(7)的透射光束與反射光束形成一束光發(fā)射至分束棱鏡(8)的中心位置，所述第一線偏 振光和第二線偏振光偏振方向相互垂直。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的雙軸MEMS掃描的外差干涉系統(tǒng)，其特征在于激光器(1) 為2ym激光器。
4.根據(jù)權(quán)利要求2或3所述的雙軸MEMS掃描的外差干涉系統(tǒng)，其特征在于第一偏 振移頻模塊(kl)由第一聲光頻移器(3)和第一偏振器(5)組成，第二偏振移頻模塊(k2) 由第二聲光頻移器(4)和第二偏振器(6)組成，第一支路的光束經(jīng)過第一聲光頻移器(3) 后入射至第一偏振器(5)，第一偏振器(5)出射的光束為第一線偏振光；第二支路的光束 經(jīng)過第二聲光頻移器(4)后入射至第二偏振器(6)，第二偏振器(6)出射的光束為第二線 偏振光；或者第一支路的光束經(jīng)過第一偏振器(5)后入射至第一聲光頻移器(3)，第一聲光頻 移器(3)出射的光束為第一線偏振光，第二支路的光束經(jīng)過第二偏振器(6)后入射至第二 聲光頻移器(4)，第二聲光頻移器(4)出射的光束為第二線偏振光。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的雙軸MEMS掃描的外差干涉系統(tǒng)，其特征在于分束棱鏡(8) 的分光比為50 50。
6.根據(jù)權(quán)利要求2所述的雙軸MEMS掃描的外差干涉系統(tǒng)，其特征在于第一偏振移 頻模塊(kl)使得第一線偏振光的偏振方向垂直于紙面，第二偏振移頻模塊(k2)使得第二 線偏振光的偏振方向平行于紙面，檢偏器(9)的偏振方向與紙面夾角為45°。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的雙軸MEMS掃描的外差干涉系統(tǒng)，其特征在于F-Theta透 鏡組(18)由第一透鏡(18-1)、第二透鏡(18-2)和第三透鏡(18-3)組成，所述第一透鏡 (18-1)和第二透鏡(18-2)的材料均是SF11，第三透鏡(18_3)的材料是BK7，其中第 一透鏡(18-1)的第一表面的曲率半徑為-241mm，第二表面的曲率半徑為_197.70mm， 中心厚度為31.15mm，邊沿厚度為25.72mm，第二透鏡(18_2)的第一表面的曲率半徑 為-1472.30mm，第二表面的曲率半徑為-510.50mm，中心厚度為19.87mm，邊沿厚度為 5.00mm,第三透鏡(18_3)的的第一表面的曲率半徑為1432.20mm，第二表面的曲率半徑 為-1260.83mm，中心厚度為24.16mm，邊沿厚度為5.00mm。
8.雙軸MEMS掃描的正交偏振激光外差干涉方法，其特征在于它是基于雙軸MEMS 掃描的外差干涉系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)的，分束棱鏡(8)將入射光束分成第一透射光束和第一反射光 束，所述入射光由偏振方向正交的兩束光束組成，所述第一反射光束和第一透射光束均 由偏振方向正交的兩束光束組成，第一反射光束經(jīng)過檢偏器(9)后偏振方向改變45°， 并且入射至第一光電探測器(10)的光敏面上，第一光電探測器(10)的輸出信號(hào)作為參考 中頻信號(hào)發(fā)送至計(jì)算機(jī)(15)，第一透射光束經(jīng)過第二偏振分束棱鏡(11)后光束中的S光 被反射出去，P光被透射出去，所述P光經(jīng)過第三偏振分束棱鏡(12)后再次被透射，入射 至1/4波片(16)，經(jīng)過1/4波片(16)透射出的光束變成右旋圓偏振光后，照射在MEMS 振鏡(17)上，MEMS振鏡(17)的快軸和慢軸同時(shí)轉(zhuǎn)動(dòng)，在空間掃描出了一個(gè)空間范 圍，在空間的掃描光束透射過F-Theta透鏡組(18)變成平行光透射過待測樣品池(19)， 經(jīng)過反射鏡(20)的平行光沿原光路返回，再次透射過待測樣品池(19)、F-Theta透鏡組 (18)、MEMS振鏡(17)和1/4波片(16)，經(jīng)過1/4波片(16)的右旋圓偏振光變成S光 后入射至第三偏振分束棱鏡(12)，經(jīng)過第三偏振分束棱鏡(12)反射的S光和第二偏振分 束棱鏡(11)反射的S光共同進(jìn)入到合束棱鏡(13)中進(jìn)行干涉形成混合光束，上述混合光 束被第二光電探測器(14)的光敏面接收，第二光電探測器(14)的輸出信號(hào)作為測量中頻 信號(hào)發(fā)送至計(jì)算機(jī)(15)，計(jì)算機(jī)(15)對(duì)接收到的參考中頻信號(hào)和測量中頻信進(jìn)行處理后 得到待測樣品的物理量信息，所述物理量信息包括表面輪廓起伏信息，厚度信息，折射 率分布信息。
9.基于權(quán)利要求8所述的雙軸MEMS掃描的正交偏振激光外差干涉方法，其特征 在于偏振正交激光發(fā)射系統(tǒng)出射光束的獲得方法為激光器(1)發(fā)射任意方向的線偏 振光，線偏振光入射至光纖分束器(2)，線偏振光被分為第一支路(2-1)和第二支路 (2-2)，第一支路(2-1)經(jīng)過第一偏振移頻模塊(kl)后生成具有頻率移動(dòng)Δ 1的偏振方向 垂直于紙面的P光，第二支路(2-2)經(jīng)過第二偏振移頻模塊(k2)后生成具有頻率移動(dòng)Δ 2 的偏振方向平行于紙面的S光，生成的P光和S光經(jīng)過第一偏振分束棱鏡(7)的傳播后， 形成正交偏振激光。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的雙軸MEMS掃描的正交偏振激光外差干涉方法，其特征在 于第一聲光頻移器(3)將第一支路(2-1)光束的頻率移動(dòng)Δ 1 = 99.9MHz,第二聲光頻移 器⑷將第二支路(2-2)光束的頻率移動(dòng)Δ2 = 100MHz。
全文摘要
雙軸MEMS掃描的外差干涉系統(tǒng)及方法，涉及一種基于快速光掃描的激光外差干涉儀系統(tǒng)和方法，解決了現(xiàn)有的正交偏振外差干涉儀技術(shù)工作波長為可見光波段，并且震動(dòng)誤差大的問題，方案為利用2μm偏振正交激光經(jīng)過分束棱鏡分束后獲得透射光束和反射光束，其中反射光束作為參考中頻信號(hào)傳遞至計(jì)算機(jī)，透射光束中的S光被反射出去，P光被透射出去，P光經(jīng)過第1/4波片、MEMS振鏡和F-Theta透鏡組透射過待測樣品池，再按原光路返回，與P光混合，混合光束作為測量中頻信號(hào)發(fā)送至計(jì)算機(jī)，經(jīng)過計(jì)算機(jī)處理后得到待測樣品的物理量信息。本發(fā)明適用于紅外光學(xué)材料的檢測領(lǐng)域。
文檔編號(hào)G01B11/30GK102022977SQ20101052025
公開日2011年4月20日 申請日期2010年10月26日 優(yōu)先權(quán)日2010年10月26日
發(fā)明者季一勤, 李彥超, 王春輝, 高龍 申請人:中國航天科工集團(tuán)第三研究院第八三五八研究所, 哈爾濱工業(yè)大學(xué)